KR101876454B1

KR101876454B1 - 진공 롤투롤 장치 및 롤 타입 기판 제조 방법

Info

Publication number: KR101876454B1
Application number: KR1020110092525A
Authority: KR
Inventors: 김상미; 조국래; 장재혁; 이승준; 이승민; 이대영; 이기범
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2011-09-14
Filing date: 2011-09-14
Publication date: 2018-07-11
Also published as: KR20130029242A; US9481535B2; US20130064978A1

Abstract

진공 롤투롤 장치를 제공한다. 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치는 제1 챔버, 상기 제1 챔버와 이웃하는 제2 챔버, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버 사이에 위치하는 셔터, 상기 셔터에 부착된 실링재 그리고 상기 실링재를 통해 상기 제1 챔버에서 상기 제2 챔버로 이동하는 롤 타입(Roll type) 기판을 포함하고, 상기 롤 타입 기판의 양 측면 중 적어도 하나는 가장자리로 갈수록 두께가 얇아진다.

Description

진공 롤투롤 장치 및 롤 타입 기판 제조 방법{VACUUM ROLL TO ROLL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD FOR ROLL TYPE SUBSTRATE}

본 발명은 진공 롤투롤 장치 및 롤 타입 기판 제조 방법에 관한 것이다.

최근 디스플레이 장치의 급격한 기술 발전과 더불어 가볍고 휘어지면서 소자의 특성이 그대로 유지되는 플렉시블(flexible) 디스플레이 장치에 대한 관심이 날로 증가되고 있다. 플렉시블 디스플레이 장치가 지향하고 있는 저가, 고속의 대량생산을 위해서는 기존의 유리 기판을 근간으로 하는 Batch 타입의 공정이 아닌 연속공정에 의한 롤-투-롤(Roll-to-Roll) 공정이 필수적이다.

롤-투-롤(Roll-to-Roll) 공정이란 플렉시블 디스플레이 장치의 제작에 사용되는 PET, PEN, PES와 같은 고분자 기판을 언와인딩/리와인딩 롤러(Unwinding/Rewinding roller)를 통해 풀거나 되 감아주면서 박막의 성막을 수행하는 공정으로 차세대 플렉시블 광전소자용 고속, 대량 생산방법으로 많은 연구가 진행되고 있다.

박막을 성막하는 공정은 일반적으로 고 진공의 챔버 내에서 이루어질 수 있다. 롤 타입 기판이 진공 챔버 내로 들어간 상태에서 챔버의 셔터를 닫고 진공 펌프에 의해 공기를 흡입하여 진공을 형성한다. 하지만, 롤 타입 기판의 가장자리 부분과 셔터의 오링(O-ring)이 맞닿는 부분의 미세한 틈에 의해 공기의 유입이 발생하여 챔버 내부의 진공도가 떨어지는 문제가 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 진공 롤투롤 장치의 진공도를 높이기 위한 진공 롤투롤 장치 및 롤 타입 기판 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치는 제1 챔버, 상기 제1 챔버와 이웃하는 제2 챔버, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버 사이에 위치하는 셔터, 상기 셔터에 부착된 실링재 그리고 상기 실링재를 통해 상기 제1 챔버에서 상기 제2 챔버로 이동하는 롤 타입(Roll type) 기판을 포함하고, 상기 롤 타입 기판의 양 측면 중 적어도 하나는 가장자리로 갈수록 두께가 얇아진다.

상기 롤 타입 기판은 제1 방향을 따라 이동하고, 상기 롤 타입 기판의 두께가 얇아지는 방향은 상기 제1 방향에 수직일 수 있다.

상기 제2 챔버는 상기 제1 챔버 대비하여 고 진공일 수 있다.

상기 실링재는 하부 실링재와 상부 실링재를 포함하고, 상기 셔터가 열리고 닫히는 것에 따라 상기 하부 실링재와 상기 상부 실링재가 서로 맞물려 상기 롤 타입 기판과 맞닿을 수 있다.

상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 롤 타입 기판의 양 측면의 일부는 상기 실링재와 접촉할 수 있다.

상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 롤 타입 기판의 두께로 인해 상기 하부 실링재와 상기 상부 실링재 사이에 이격된 공간이 생기고, 상기 롤 타입 기판의 가장자리 부분은 상기 이격된 공간을 채울 수 있다.

상기 롤 타입 기판의 가장자리의 단면 모양이 곡선일 수 있다.

상기 실링재는 고무 재질의 오링(O-ring)으로 형성될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 롤 타입 기판 제조 방법은 언와인딩 롤러에 감겨 있는 플렉서블 기판이 풀려 나오는 단계, 상기 플렉서블 기판을 제1 커터를 이용하여 상기 플렉서블 기판의 측면을 잘라내는 단계 그리고 상기 측면이 잘려진 플렉서블 기판을 리와인딩 롤러로 되감는 단계를 포함하고, 상기 제1 커터의 칼날 부분은 상기 플렉서블 기판에 닿는 부분에 대하여 경사지도록 세팅된다.

상기 기판의 측면을 잘라내는 단계는 상기 기판을 기준으로 상기 제1 커터와 마주보는 제2 커터를 동시에 사용하여 상기 기판의 측면을 잘라내는 단계를 포함할 수 있다.

상기 제1 커터의 칼날 부분과 상기 제2 커터의 칼날 부분은 상기 기판의 같은 지점과 맞닿도록 배치할 수 있다.

상기 기판의 측면을 잘라내는 단계는 상기 기판의 양 측면 중 적어도 하나가 가장자리로 갈수록 두께가 얇아지도록 형성할 수 있다.

상기 플렉서블 기판이 제1 방향을 따라 이동할 때 상기 플렉서블 기판의 두께가 얇아지는 방향은 상기 제1 방향에 수직일 수 있다.

상기 제1 커터는 원통형 몸통에 2개의 칼날 부분이 부착될 수 있다.

상기 2개의 칼날 부분은 상기 플렉서블 기판에 닿는 부분에 대하여 경사지도록 세팅될 수 있다.

상기 제1 커터의 원통형 몸통을 상기 플렉서블 기판의 이동 방향과 반대 방향으로 굴려가면서 상기 플렉서블 기판의 측면을 잘라낼 수 있다.

이와 같이 본 발명의 한 실시예에 따르면, 롤 타입 기판의 양 측면의 디자인을 변경함으로써 고 진공 챔버 내로 공기가 유입되는 것을 최소화할 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분을 나타내는 단면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 진공도 변화를 나타내기 위한 단면도이다.
도 7은 도 5 및 도 6의 실시예에 따른 진공도 변화를 나타내는 그래프이다.
도 8은 종래의 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분의 공기 누설 공간을 나타내는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분의 공기 누설 공간을 나타내는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분의 공기 누설 공간을 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에 사용되는 롤 타입 기판 제조 방법을 나타내는 사시도이다.
도 12는 도 11의 "P" 부분을 확대한 단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에 사용되는 롤 타입 기판 제조 방법을 나타내는 사시도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에 사용되는 롤 타입 기판 제조 방법을 나타내는 사시도이다.
도 15는 도 14의 F 방향에서 바라본 정면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에 사용되는 롤 타입 기판 제조 방법을 나타내는 사시도이다.

첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.

도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 또한, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치를 나타내는 단면도이다. 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치를 나타내는 사시도이다.

도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치는 제1 챔버와 제2 챔버를 구비한다. 제1 챔버와 제2 챔버는 서로 대향하여 위치하고, 제1 챔버와 제2 챔버 사이에 셔터(200a, 200b)가 위치한다. 셔터(200a, 200b)는 제1 챔버와 제2 챔버의 경계를 형성하고, 프레임(250)에 의해 둘러싸일 수 있다. 제2 챔버는 제1 챔버 대비하여 상대적으로 고 진공일 수 있다. 여기서, 제1 챔버와 제2 챔버는 하나의 챔버가 셔터에 의해 공간적으로 나누어지는 부분일 수 있다.

여기서, 제1 챔버는 프로세스 챔버로 기판이 진입되기 전에 기판이 프로세스 챔버로 진입될 수 있는 환경을 조성하는 로드락 챔버(load lock chamber)일 수 있고, 제2 챔버는 로드락 챔버 내의 기판을 프로세스 챔버로 이송하거나 프로세스 챔버 내의 기판을 로드락 챔버로 이송하는 로봇 암이 설치된 트랜스퍼 챔버일 수 있다. 하지만, 제1 챔버가 로드락 챔버, 제2 챔버가 트랜스퍼 챔버인 것으로 한정되지 않고, 제2 챔버가 고진공을 필요로 하는 경우에 적용될 수 있다.

셔터(200a, 200b)의 열리고 닫히는 동작에 의해 제1 챔버와 제2 챔버 사이에 이동 통로가 형성된다. 셔터(200a, 200b)에는 실링재(300a, 300b)가 부착되어 있다. 본 실시예에서 실링재(300a, 300b)는 오링(O-ring; 300a, 300b)일 수 있고, 여기서 실링재(300a, 300b)는 오링인 것으로 설명하나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 오링(O-ring; 300a, 300b)은 고무 재질로 형성될 수 있다.

본 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에서 롤 타입 기판(100)은 구동 롤러(150)에 감겨 있다. 롤 타입 기판(100)은 플렉서블(flexible) 한 플라스틱 기판일 수 있다. 롤 타입 기판(100)은 셔터(200a, 200b)가 열린 상태에서 구동 롤러(150)가 회전함에 따라 오링(300a, 300b) 사이를 통과한다. 따라서, 롤 타입 기판(100)은 제1 방향(d1)을 따라 제1 챔버에서 제2 챔버로 이동한다.

도 1 및 도 2는 롤 타입 기판(100)이 제1 방향(d1)을 따라 제2 챔버로 일정 부분이 이동한 후에 셔터(200a, 200b)가 닫힌 상태를 나타낸다.

도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분을 나타내는 단면도이다.

도 3을 참고하면, 하부 셔터(200a)의 상부면에 하부 오링(300a)이 부착되어 있고, 상부 셔터(200b)의 하부면에 상부 오링(300b)이 부착되어 있다. 도 3은 셔터(200a, 200b)가 닫힌 상태를 나타낸다.

하부 오링(300a)과 상부 오링(300b) 사이에 롤 타입 기판(100)이 개재되어 있다. 본 실시예에 따른 롤 타입 기판(100)의 측면 부분(E)의 단면은 테이퍼가 형성되어 있다. 셔터(200a, 200b)가 닫히면서 오링(300a, 300b)은 롤 타입 기판(100)에 밀착되면서 롤 타입 기판(100)의 두께로 인해 오링(300a, 300b)의 모양이 변형된다. 오링(300a, 300b)의 변형 부분과 롤 타입 기판(100) 가장자리 사이에 이격된 공간(H)이 생길 수 있다. 하지만, 본 발명의 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 롤 타입 기판(100) 측면 부분(E)의 단면 모양이 테이퍼져 있기 때문에 이격 공간(H)이 최소화된다. 다시 말해, 롤 타입 기판(100)의 가장자리 부분은 이격 공간(H)을 채우고 있다.

다른 실시예에서, 롤 타입 기판(100)의 측면 부분의 단면은 곡선일 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분을 나타내는 단면도이다.

본 실시예에 따른 대부분의 구성이 도 3에서 설명한 실시예와 유사하므로 차이가 있는 부분에 대해서만 설명하기로 한다. 차이가 있는 부분을 제외한 나머지 구성은 도 3에서 설명한 내용이 적용될 수 있다.

도 4를 참고하면, 본 실시예에 따른 롤 타입 기판(100)의 측면 부분(E)의 단면은 2개의 테이퍼(Taper)가 형성되어 있다.

롤 타입 기판(100)의 측면 부분(E)은 하부 오링(300a) 및 상부 오링(300b)과 맞닿아 있다. 본 실시예에서 롤 타입 기판(100)의 가장자리 부분은 도 3에서 설명한 실시예 대비하여 좀 더 많은 이격 공간(H)을 채우고 있다.

다른 실시예에서, 롤 타입 기판(100)의 가장자리 측면 부분의 단면은 2개의 곡선이 맞물려 형성될 수 있다.

실험예

도 5 및 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 진공도 변화를 나타내기 위한 단면도이다. 도 6은 도 5의 실험예에서 제2 방향(A)을 따라 바라본 단면도이다.

도 5 및 도 6을 참고하면, 오링과 롤 타입 기판 가장자리 사이의 이격 공간의 크기에 따라 진공도에 어떠한 변화가 있는지 검증하기 위해 챔버(500)와 챔버(500)를 덮는 커버부(650), 커버부(650)와 챔버(500) 사이의 주입부에 일정 두께를 갖는 알루미늄 포일(Aluminium foil; 400)를 걸쳐 놓았다. 알루미늄 포일(400)과 챔버의 벽면 사이에 오링(600)을 위치시켰다.

앞에서와 같은 구성에서 진공 펌프를 사용하여 챔버(500) 내부를 진공 상태로 만든다. 이 때, 챔버 내부의 압력이 진공 상태로 변화되는 시간을 측정하였다. 알루미늄 포일(400)의 두께를 변화시키면서 이러한 실험을 반복하였고, 그 결과를 도 7에 나타내었다.

도 7은 도 5 및 도 6의 실시예에 따른 진공도 변화를 나타내는 그래프이다. 먼저, 알루미늄 포일이 없는 경우를 비교예 1, 두께 15um인 알루미늄 포일(400)을 한 겹 걸쳐 놓은 경우를 실시예 1, 두께 15um인 알루미늄 포일(400)을 두 겹 걸쳐 놓은 경우를 실시예 2, 두께 15um인 알루미늄 포일(400)을 세 겹 걸쳐 놓은 경우를 실시예 3, 두께 15um인 알루미늄 포일(400)을 네 겹 걸쳐 놓은 경우를 실시예 4로 하여 각각 측정해 보았다.

도 7을 참고하면, 알루미늄 포일의 개수가 많아질수록 진공 상태에 가까워지는 시간이 오래 걸린다. 즉, 알루미늄 포일의 개수가 많아질수록 단차가 증가하기 때문에 오링과 롤 타입 기판 가장자리 사이의 이격 공간이 커진다.

도 8은 종래의 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분의 공기 누설 공간을 나타내는 단면도이다.

도 8을 참고하면, 종래의 진공 롤투롤 장치의 롤 타입 기판(700) 측면은 기판(700)의 상부면에 대해 실질적으로 수직한 면을 갖는다. 롤 타입 기판(700)의 두께가 대략 200um이고, 플라스틱 기판이라고 가정할 때, 이격 공간(H₁)의 넓이는 다음과 같이 계산할 수 있다.

오링(800a, 800b)의 각도를 도 8에서 30도(θ₁) 라고 할 때, 이격 공간(H₁)의 크기는 17320um²이고, 오링(800a, 800b)의 각도를 15도(θ₂) 라고 할 때, 이격 공간(H₁)의 크기는 8038 um²이다. 따라서, 실제로 오링(800a, 800b)과 롤 타입 기판(700) 가장자리 부분 사이에 형성되는 이격 공간(H₁)의 크기는 대략 8038 um² 내지17320 um²의 범위일 수 있다.

도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분의 공기 누설 공간을 나타내는 단면도이다.

도 9를 참고하면, 본 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 롤 타입 기판(100) 측면 부분의 단면은 테이퍼가 형성되어 있다. 롤 타입 기판(100)의 두께가 대략 200um이고, 플라스틱 기판이며, 테이퍼 각도(θs)를 45도라고 가정할 때, 이격 공간(H₂)의 넓이는 다음과 같이 계산할 수 있다.

오링(300a, 300b)의 각도를 도 9에서 30도(θ₁) 라고 할 때, 이격 공간(H₂)의 넓이는 다음과 같다.

이격 공간(H₂)의 넓이 = (1/2)*200*400*sin60도-(1/2)*200*200 = 14641 um²

오링(300a, 300b)의 각도를 도 9에서 15도(θ₂) 라고 할 때, 이격 공간(H₂)의 넓이는 다음과 같다.

이격 공간(H₂)의 넓이 = 14641-1/2*400*200*tan15도 = 3923 um²

따라서, 실제로 오링(300a, 300b)과 롤 타입 기판(100) 가장자리 부분 사이에 형성되는 이격 공간(H₂)의 크기는 대략 3923 um² 내지14641 um²의 범위일 수 있다.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 셔터 부분의 공기 누설 공간을 나타내는 단면도이다.

도 10을 참고하면, 본 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치의 롤 타입 기판(100) 측면 부분의 단면은 2개의 테이퍼가 형성되어 있다. 롤 타입 기판(100)의 두께가 대략 200um이고, 플라스틱 기판이며, 테이퍼 각도(θs)를 45도라고 가정할 때, 이격 공간(H₃)의 넓이는 다음과 같이 계산할 수 있다.

오링(300a, 300b)의 각도를 도 10에서 30도(θ₁) 라고 할 때, 이격 공간(H₃)의 넓이는 다음과 같다.

이격 공간(H₃)의 넓이 = (1/2)*200*200*sin60도-100*100 = 7323.5 um²

오링(300a, 300b)의 각도를 도 10에서 15도(θ₂) 라고 할 때, 이격 공간(H₃)의 넓이는 다음과 같다.

이격 공간(H₃)의 넓이 = 7323.5-2*1/2*200*100*tan15도 = 1961.5 um²

따라서, 실제로 오링(300a, 300b)과 롤 타입 기판(100) 가장자리 부분 사이에 형성되는 이격 공간(H₃)의 크기는 대략 1961.5 um² 내지7323.5 um²의 범위일 수 있다.

도 8 내지 도 10에서 살펴본 것처럼, 롤 타입 기판의 디자인을 변경함에 따라 이격 공간의 넓이가 변화하고, 그 공간을 작게 설계하는 것이 가능하다.

롤 타입 기판 가장자리의 테이퍼 각 및 오링의 물성의 한 예로써 탄성 계수는 이격 공간의 넓이에 비례하고, 셔터를 닫는 힘에 반비례하는 경향이 있다. 따라서, 오링의 물성과 셔터를 닫는 힘에 의한 오링의 각도를 θ라 하고, 롤 타입 기판의 테이퍼 각도를 θs라 할 때, 이상적으로 θ와 θs가 같게 되면 이격 공간의 넓이가 0이 되어 공기 누설이 제로가 될 것이다.

다시 말해, 오링의 물성과 구조를 제어하여 롤 타입 기판의 테이퍼각과 오링의 각을 동기화하여 오링과 롤 타입 기판 사이에 형성되는 홀(hole) 크기를 최소화한다. 따라서, 고 진공 챔버 내로 공기가 유입되는 것을 최소화할 수 있다.

도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에 사용되는 롤 타입 기판 제조 방법을 나타내는 사시도이다. 도 12는 도 11의 "P" 부분을 확대한 단면도이다.

도 11을 참고하면, 본 실시예에 따른 롤 타입 기판 제조 방법은 플렉서블 기판(100)이 언와인딩 롤러에서 풀려 나오는 단계, 사선 모양을 갖는 칼날을 포함하는 커터(K)를 이용하여 기판(100)의 진행 방향(도 11의 화살표 방향)과 반대 방향으로 기판(100)의 측면을 잘라내는 단계, 측면이 잘려나간 롤 타입 기판(100)을 리와인딩 롤러로 되 감아주는 단계를 포함한다.

도 12를 참고하면, 본 실시예에 따른 커터(K)는 판화를 할 때 사용하는 삼각칼과 유사하고, 커터(K)의 칼날 부분은 기판(100)에 닿는 면과 θs의 각을 이루고 있다. 따라서, 커터(K)에 의해 잘려나간 롤 타입 기판(100)의 측면은 θs의 각도로 테이퍼진다. 이와 같이 형성된 롤 타입 기판(100)은 도 3에서 설명한 실시예와 같은 모양이 된다.

도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에 사용되는 롤 타입 기판 제조 방법을 나타내는 사시도이다.

도 13을 참고하면, 본 실시예에 따른 롤 타입 기판 제조 방법은 대체로 도 11 및 도 12에서 설명한 실시예와 동일하다. 다만, 복수개의 커터(K)를 사용하여 기판(100)의 위와 아래에서 동시에 기판(100)의 진행 방향(도 12의 화살표 방향)과 반대 방향으로 기판(100)의 측면을 잘라낸다. 이와 같이 형성된 롤 타입 기판(100)은 도 4에서 설명한 실시예와 같은 모양이 된다.

도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에 사용되는 롤 타입 기판 제조 방법을 나타내는 사시도이다. 도 15는 도 14의 F 방향에서 바라본 정면도이다.

도 14 및 도 15를 참고하면, 도 11 및 도 12에서 설명한 실시예의 내용이 대부분 본 실시예에 적용되고, 다만 커터(K)의 전체적인 모양에 차이가 있다. 본 실시예에서 커터(K)는 원통형의 몸체와 원통형 몸체에 부착되어 있는 2개의 칼날 부분을 포함한다. 칼날 부분은 기판(100)과 닿는 면과 θs의 각을 이루고 있다. 따라서, 커터(K)에 의해 잘려나간 롤 타입 기판(100)의 측면은 θs의 각도로 테이퍼진다. 또한, 커터(K)의 원통형 몸체를 이용하여 기판(100)의 진행 방향(도 14의 화살표 방향)과 반대 방향으로 원통형 몸체를 굴려가면서 기판(100)의 측면을 잘라낼 수 있다.

여기서, 2개의 칼날 부분은 기판(100)과 닿는 부분에서 서로 다른 방향으로 경사지도록 세팅된다. 다시 말해, 2개의 칼날 부분은 서로 대칭이 되도록 경사질 수 있다.

도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 롤투롤 장치에 사용되는 롤 타입 기판 제조 방법을 나타내는 사시도이다.

도 16을 참고하면, 본 실시예에 따른 롤 타입 기판 제조 방법은 대체로 도 14 및 도 15에서 설명한 실시예와 동일하다. 다만, 복수개의 커터(K)를 사용하여 기판(100)의 위와 아래에서 동시에 기판(100)의 진행 방향(도 16의 화살표 방향)과 반대 방향으로 기판(100)의 측면을 잘라낸다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

100 롤 타입 기판 150 구동 롤러
200a, 200b 하부 셔터, 상부 셔터 250 프레임
300a, 300b 하부 오링, 상부 오링

Claims

제1 챔버,
상기 제1 챔버와 이웃하는 제2 챔버,
상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버 사이에 위치하는 셔터,
상기 셔터에 부착된 상부 실링재와 하부 실링재, 그리고
상기 상부 실링재와 상기 하부 실링재 사이를 통해 상기 제1 챔버에서 상기 제2 챔버로 이동하는 롤 타입(Roll type) 기판의 위와 아래에서 서로 마주하여 상기 롤 타입 기판의 측면을 잘라내는 제1 커터 및 제2 커터를 포함하고,
상기 롤 타입 기판의 양 측면 중 적어도 하나는 상기 제1 커터 및 상기 제2 커터에 의해 제1 테이퍼 및 제2 테이퍼를 포함하도록 잘라지고, 상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 상부 실링재와 접촉하는 상기 제1 테이퍼 및 상기 하부 실링재와 접촉하는 상기 제2 테이퍼를 포함하여 가장자리로 갈수록 두께가 얇아지는 진공 롤투롤(Vacuum roll to roll) 장치.
제1항에서,
상기 롤 타입 기판은 제1 방향을 따라 이동하고, 상기 롤 타입 기판의 두께가 얇아지는 방향은 상기 제1 방향에 수직인 진공 롤투롤 장치.
제2항에서,
상기 제2 챔버는 상기 제1 챔버 대비하여 고 진공인 진공 롤투롤 장치.
제3항에서,
상기 셔터가 열리고 닫히는 것에 따라 상기 하부 실링재와 상기 상부 실링재가 서로 맞물려 상기 롤 타입 기판과 맞닿는 진공 롤투롤 장치.
삭제
제1항에서,
상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 롤 타입 기판의 두께로 인해 상기 하부 실링재와 상기 상부 실링재 사이에 이격된 공간이 생기고, 상기 롤 타입 기판의 가장자리 부분은 상기 이격된 공간을 채우는 진공 롤투롤 장치.
제1항에서,
상기 롤 타입 기판의 가장자리의 단면 모양이 곡선인 진공 롤투롤 장치.
제1항에서,
상기 상부 실링재 및 상기 하부 실링재는 고무 재질의 오링(O-ring)으로 형성된 진공 롤투롤 장치.
언와인딩 롤러에 감겨 있는 플렉서블 기판이 풀려 나오는 단계,
상기 플렉서블 기판을 제1 커터 및 상기 제1 커터와 마주보는 제2 커터를 동시에 사용하여 상기 플렉서블 기판의 측면이 제1 테이퍼 및 제2 테이퍼를 포함하도록 잘라내는 단계, 그리고
상기 측면이 잘려진 플렉서블 기판을 리와인딩 롤러로 되감는 단계를 포함하고,
상기 제1 커터의 칼날 부분과 상기 제2 커터의 칼날 부분은 상기 플렉서블 기판에 닿는 부분에 대하여 경사지도록 세팅되고,
상기 플렉서블 기판이 상부 실링재와 하부 실링재 사이를 통해 이동할 때, 상기 제1 테이퍼는 상기 상부 실링재와 접촉하고, 상기 제2 테이퍼는 상기 하부 실링재와 접촉하는 롤 타입 기판 제조 방법.
삭제
제9항에서,
상기 제1 커터의 칼날 부분과 상기 제2 커터의 칼날 부분은 상기 기판의 같은 지점과 맞닿도록 배치하는 롤 타입 기판 제조 방법.
제9항에서,
상기 기판의 측면을 잘라내는 단계는 상기 기판의 양 측면 중 적어도 하나가 가장자리로 갈수록 두께가 얇아지도록 형성하는 롤 타입 기판 제조 방법.
제12항에서,
상기 플렉서블 기판이 제1 방향을 따라 이동할 때 상기 플렉서블 기판의 두께가 얇아지는 방향은 상기 제1 방향에 수직인 롤 타입 기판 제조 방법.
제9항에서,
상기 제1 커터는 원통형 몸통에 2개의 칼날 부분이 부착되어 있는 롤 타입 기판 제조 방법.
제14항에서,
상기 2개의 칼날 부분은 상기 플렉서블 기판에 닿는 부분에 대하여 경사지도록 세팅되는 롤 타입 기판 제조 방법.
제15항에서,
상기 제1 커터의 원통형 몸통을 상기 플렉서블 기판의 이동 방향과 반대 방향으로 굴려가면서 상기 플렉서블 기판의 측면을 잘라내는 롤 타입 기판 제조 방법.