JP5259482B2 - シール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置 - Google Patents

Description

本発明は、シール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置に関し、特に、複数のロールで仕切られる二つの空間を通気不能にシールするシール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置に関する。

帯状に形成されたＰＥＴ等の樹脂フィルムや金属薄膜などの基材に、インジウムなどの金属や非金属を連続して成膜させる装置として、基材を大気圧力下から成膜処理を行う真空処理室内に搬入させるとともに、成膜処理された基材を大気圧力下に搬出させる連続成膜装置がある。

このような連続成膜装置では、真空処理室の前後に大気圧力より減圧された少なくとも一の予備室を設け、大気圧力から徐々に減圧することで、成膜処理を行う真空処理室を真空状態に保持している。
そのため、連続成膜装置では、真空処理室を含め、装置内を複数の空間に区画するとともに、真空処理室に近づくにつれて真空度が高まるよう、それぞれの空間を異なる圧力に保つ必要がある。
複数の空間をそれぞれの圧力に保つためには、各空間の気密性を高めるとともに、排気ポンプで各空間を異なる圧力となるように排気しなければならない。
しかしながら、基材は帯状に連なることから、装置全体として繋がる一つの空間を、少なくとも基材が通過する領域を確保しつつ、複数の空間に区画するとともに、区画された各空間を可能な限り気密状態にする必要がある。

連続成膜装置内を区画するとともに、区画された各空間を気密にするシール手段として、シールブロックを用いる方法と、基材を搬送するロールを用いる方法がある。
例えば、特許文献１には、シールブロックを用いた連続成膜装置が提案されている。
この連続成膜装置では、基材が通過可能な隙間を有して対向配置されたシールブロックで装置内を仕切り、複数の予備室に区画するとともに、このシールブロックにより各予備室の気密性が保たれるようになっている。

また、特許文献２には、複数のロールを利用して装置内を区画するとともに、ロールの周囲をシールして、気密にするシール装置が提案されている。
このシール装置では、相対する二つのロールで装置内を仕切り、複数の予備室に区画するとともに、シール部材を各ロールに接するようにロールの周囲に配置して、各予備室の気密性を保持するように構成されている。

特開平１−２９８１６３号公報 特開昭６１−１２４５７１号公報

しかしながら、これらの特許文献に記載されたシール手段では、以下のような問題が指摘されていた。
例えば、特許文献１記載の発明では、対向配置されたシールブロック間の隙間により、各予備室が連通することから、この隙間を介して、隣り合う予備室間で空気が流通することになり、圧力差を減少させる要因となっていた。その結果、圧力差を保持するために、保持する圧力より多めに排気しなければならないことから、排気容量の大きい排気ポンプを使用せざるを得ず、燃料コストを増大させていた。

一方、装置内を複数のロールにより複数の空間に仕切る連続成膜装置では、ロールは帯状の基材を搬送するために必要不可欠なものであることから、その機能を発揮しつつ、その物理的存在を、いわゆるロールシール方式と称される、シール手段の一部として有効に活用したものといえる。
ところが、特許文献２に記載のシール装置では、ロールの周囲を全てシールする構成になっているため、以下のような弊害が生じていた。

例えば、特許文献２に記載のシール装置では、ロール周面に接する舌状の弾性シールは、ロールの軸方向に全て接するとともに、ロール端面に接するサイドピースは、各々のロール端面に接することで、相対する二つのロールを四方から囲んでシールする構成となっている。
このように、ロールを四方から囲む構成では、シールする範囲も自ずと広くなり、その分、空気漏れを生じさせる可能性も増大し、気密性の確保が困難となっていた。
また、ロール端面をシールする構成において、ロールは温度や湿度の変化に伴い特に軸方向に大きく伸縮することから、ロールが縮むことにより、空気漏れが生じるおそれがあった。

以上のような現状のシール装置が有する問題を解決すべく、本願発明者らは、鋭意研究の結果、基材が送入出可能な最小限の大きさの開口を確保したシール範囲を有するとともに、ロール周面に接することで、ロール軸方向の伸縮による影響を受けることなく、近接する複数のロールで仕切られる二つの空間を通気不能にシールする従来には存在しない画期的なシール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置を実現し得る本発明に想到するに至ったものである。

すなわち、本発明は、上述したような現状の技術が有する問題を解決するために提案されたものであり、最小限のシール範囲で、複数のロールで仕切られる空間の気密性を高めるロール用のシール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明のシール装置は、帯状の基材を、近接して配置された複数のロールの間に通して、圧力の異なる複数の空間に亘って搬送しつつ、この基材に所定の成膜処理を行う成膜装置内に取付けられ、前記複数のロールで仕切られる送入側の空間と送出側の空間を、通気不能にシールするシール装置であって、前記複数のロールの間と通じて、前記基材を送入出可能に開口させた開口部と、前記ロールの軸方向に延びるとともに、前記開口部を挟んで平行に設けられ、ロール周面に接する軸方向シール部と、前記ロールの軸方向とほぼ直交する方向に延びるとともに、前記開口部を挟んで平行に設けられ、各ロール周面に連続して接する連続シール部と、を備え、前記軸方向シール部と前記連続シール部とが環状に繋げられて、一体に形成されるとともに、前記送入側の空間又は前記送出側の空間のいずれか一方の空間を前記開口部と連通させ、他方の空間を当該装置外部に連通させて取付けられ、前記送入側の空間と前記送出側の空間をシールする構成としてある。

このような構成とすることにより、複数のロールで仕切られる送入側の空間と送出側の空間を、それぞれシール装置の開口部又はシール装置外部と連通させて、通気不能にシールすることができる。
具体的には、軸方向シール部と連続シール部は、各々ロール周面に接するとともに、環状に繋げられて、一体に形成されるため、開口部とシール装置外部を、シール装置本体で隔てて、通気不能にシールすることができる。
そこで、本発明のシール装置を、例えば、送出側の空間を開口部に連通させ、送入側の空間をシール装置外部と連通させて取付けた場合には、開口部と連通する送出側の空間は、シール装置の内周面と複数のロールとで塞ぐことができるため、送入側の空間と送出側の空間を、通気不能とすることができる。

また、軸方向シール部と連続シール部は、各々ロール周面に接している。
これにより、軸方向シール部と連続シール部は、温度や湿度の変化によりロールが軸方向に伸縮したときでも、常にロール周面に接しているため、安定したシール性能を発揮することができる。

また、軸方向シール部と連続シール部は、複数のロールの間と通じて、基材を送入出可能に開口させた開口部を挟んでそれぞれ平行に設けられることから、シール装置をコンパクトな大きさにすることができる。
すなわち、連続シール部は、基材の幅が確保されるように、平行に配置されるとともに、各ロール周面に連続して接し、また、軸方向シール部は、基材の厚みを確保しつつ、ロール周面に接する間隔を設けて平行に配置されれば足りることから、四方からロールを囲んでシールする従来のシール構造と比べると、シール範囲を狭くすることができ、その分、空気漏れの発生を低減させることができる。つまり、外形をコンパクトにしつつ、シール性能を向上させることができる。
また、一体型であることから、取付けも容易となり、かつ、汎用性も向上する。

また、本発明のシール装置は、前記ロールと接する面側において、前記各シール部に沿って凹設され、前記ロールとの間に連続した帯状の閉空間を形成させる溝部と、前記閉空間を排気可能に外部と連通させる排気孔と、を備える構成とすることができる。

このような構成とすることにより、送入側の空間と送出側の空間との間に、さらにもう一つの閉空間を設けることができ、この閉空間を、送入側の空間と送出側の空間との圧力差を緩和させる緩衝空間として利用することができる。
すなわち、この閉空間が、送入側の空間と送出側の空間のほぼ中間の圧力となるように排気孔から排気することで、送入側の空間と送出側の空間との空気の流通がこの閉空間により緩和され、送入側の空間と送出側の空間においてそれぞれ保持される圧力の安定性を増大させることができる。
また、この閉空間は、容積が小さいことから、排気容量の小さい排気ポンプを用いて排気することができ、省力化を図りつつ、かつ装置全体において各室の圧力を効率よく保持できる。

また、本発明の連続成膜装置は、帯状の基材を、近接して配置された複数のロールの間に通して、大気圧力下から少なくとも一の減圧された予備室を介して所定の成膜処理を行う真空処理室内に搬入させるとともに、成膜処理された基材を少なくとも一の減圧された予備室を介して大気圧力下に搬出させる連続成膜装置であって、前記複数のロールで仕切られる送入側の空間と送出側の空間を、通気不能にシールするシール装置を備え、前記シール装置が、本発明のシール装置である構成としてある。

このような構成とすることにより、大気圧力下と予備室、予備室と真空処理室とを、それぞれ本発明のシール装置で高気密状態にシールすることから、成膜処理を行う真空処理室の真空状態を良好に保つことができ、製造効率を向上させることができる。

また、本発明の連続成膜装置は、前記複数のロールのうち少なくとも一のロールを弾性ロールとし、前記弾性ロールを他のロールに接するように配置した構成とすることができる。
このような構成とすることにより、複数のロールを干渉するように接して配置しても、弾性ロールが弾性変形するため、それぞれのロールが回動不能となることもなく、また、ロールの間に挟まれる基材の幅方向に隙間が形成されず、ロール間が弾性体で閉ざされてシールされるため、各室の気密性を向上させることができる。

また、本発明の連続成膜装置は、前記弾性ロールと前記他のロールとの距離を調整可能な調整手段を備える構成とすることができる。
これにより、弾性ロールと他のロールとの距離を調整することで、弾性ロールと他のロールとの密着度を調整でき、各室の気密性を増大させる調整を行うことができる。

以上、本発明のシール装置と、これを備える連続成膜装置によれば、最小限のシール範囲で、ロールで仕切られる空間の気密性を高めて、効率的に成膜処理を行うことができる。

本発明の一実施形態に係る連続成膜装置を示す概略正面図である。 本発明の一実施形態に係る連続成膜装置の予備室を拡大した拡大正面図である。 本発明の一実施形態に係るシール装置を示す概略斜視図である。 本発明の一実施形態に係るシール装置とロールとの関係を示す概略斜視図である。 本発明の一実施形態に係るシール装置によるシール原理を模式的に示す説明図である。

以下、本発明に係るシール装置と、これを備える連続成膜装置の好ましい実施形態について、図面を参照して説明する。

［連続成膜装置］
本実施形態に係る連続成膜装置は、図１に示すように、帯状の基材Ｂを、装置内に近接して配置された複数のロールの間に通して、大気圧力下から減圧された複数の予備室１１ａ〜１１ｃを介して所定の成膜処理を行う真空処理室内１０ａ，１０ｂに搬入させるとともに、成膜処理された基材Ｂを減圧された複数の予備室１１ｄ〜１１ｆを介して大気圧力下に搬出させる連続成膜装置１である。
具体的には、連続成膜装置１は、大気圧力下に設置され、巻回された基材Ｂを装置内に巻き出す巻出ロール１２ａと、真空状態に減圧され、基材Ｂに各々異なる成膜処理を行う真空処理室１０ａ，１０ｂと、成膜処理された基材Ｂを巻き取る巻取ロール１２ｂとを備えている。
また、巻出ロール１２ａと真空処理室１０ａとの間であって、基材Ｂを真空処理室１０に搬入する側には、予備室１１ａ〜１１ｃが設けられ、真空処理室１０ｂと巻取ロール１２ｂとの間であって、基材Ｂを真空処理室１０から搬出する側には、予備室１１ｄ〜１１ｆが設けられている。

真空処理室１０と、予備室１１ａ〜１１ｆは、図示しない排気ポンプとそれぞれ接続され、各室がそれぞれ異なる圧力となるように排気されている。
具体的には、真空処理室１０は、高真空度（例えば、０．１ｔｏｒｒ）に保持されるように排気され、予備室１１ａ〜１１ｃは、真空処理室１０に近づくにつれ、低圧になるように段階的に減圧され、予備室１１ｄ〜１１ｆは、反対に、真空処理室１０から遠ざかるにつれ、段階的に増圧するように差動排気される。
このように本発明の連続成膜装置１は、基材Ｂを、大気圧力下から徐々に減圧させて真空処理室内１０ａ，１０ｂに搬入させるとともに、成膜処理された基材Ｂを徐々に増圧させて大気圧力下に搬出させる、いわゆるＡｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ方式の連続成膜装置として構成されている。

真空処理室１０では、真空状態で、基材Ｂにスパッタリング法又は蒸着法により所定の成膜処理を行う。
具体的には、本実施形態の真空処理室１０は、例えば、プラスチック（ＰＥＴ）からなる基材Ｂに、銅（Ｃｕ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、セレン（Ｓｅ）などの化合物からなる光吸収層を形成し、ＣＩＳ系、ＣＩＧＳ系の光電変換セル（太陽電池）を製造する真空チャンバーとして構成され、複数の真空処理室１０ａ，１０ｂを設けることで、光吸収層に加え、窓層（ＺｎＯ：Ａｌ）、バッファ層、電極層（Ｍｏ）などを室別に積層させ、基材Ｂに多層膜を形成できるようになっている。
なお、真空処理室１０は、二室に限られず、成膜処理を行う工程に対応させて一室でもよく、また、三室以上設けることもできる。

予備室１１ａ〜１１ｆは、個別の圧力に減圧されるとともに、基材Ｂを搬送する複数のロールが各々設けられている。予備室１１の具体的な構成を、図２に示す。
同図は予備室１１を拡大した図であり、真空処理室１０に対して搬送側に設置された予備室１１ａ〜１１ｃを示している。なお、予備室１１ａ〜１１ｃと予備室１１ｄ〜１１ｆは、真空処理室１０を挟んで左右対称に形成され、ほぼ同じように構成されている。

各予備室１１は、基材Ｂが挿通可能な挿通孔１６を介して連通されるとともに、基材Ｂを搬送するステンレス等の鋼材で形成された二つの金属ロール１３ａ，１３ｂと、金属ロールにシリコンやゴムなどの弾性部材がロール周面に巻回された弾性ロール１４と、を備えている。
各金属ロール１３は、所定の間隔をおいて、平行に配置されるとともに、図示しないモータにより駆動され、軸１７を中心に回動するように構成されている。
弾性ロール１４は、各金属ロール１３それぞれに隙間なく接し、各金属ロール１３が回動することで、これに伴い、軸１７を中心に従動する。
本実施形態では、基材Ｂは、金属ロール１３ａと弾性ロール１４との間を通して搬送するようになっている。

そして、このように構成されたロール１３，１４により、以下のように各予備室１１ａ〜１１ｆと、真空処理室１０が区画されている。
例えば、予備室１１ａに設けられた各金属ロール１３及び弾性ロール１４と、予備室１１ｂに設けられた各金属ロール１３及び弾性ロール１４との間の空間を予備室１１ｂとし、この空間を排気ポンプで排気して、予備室１１ａ及び予備室１１ｃと異なる圧力に保持する。
このように、本実施形態では、各予備室１１ａ〜１１ｆに設けられた各金属ロール１３及び弾性ロール１４と、これと隣接する予備室１１に設けられた各金属ロール１３及び弾性ロール１４とで、各予備室１１と真空処理室１０とに区画されている。
すなわち、本実施形態の連続成膜装置１は、図１に示すように、基材Ｂが連続して搬送される一つの空間として形成された装置内が、各金属ロール１３及び弾性ロール１４で順次仕切られ、複数の予備室１１と真空処理室１０とが形成されている。

そして、各予備室１１と真空処理室１０を各々異なる圧力に保持しなければならないことから、本実施形態の連続成膜装置１は、各室を気密にするシール手段を備えている。
各室を気密にするシール手段として、各金属ロール１３と弾性ロール１４との間をシールするシール構造（ロールシール方式）と、これらのロール周面に接する本発明のシール装置２０とが設けられている。

各金属ロール１３と弾性ロール１４との間をシールするシール構造は、図２に示すように、金属ロール１３ａ，１３ｂと弾性ロール１４とが隙間なく接するように設置するだけでなく、弾性ロール１４を弾性部材で形成することで、弾性ロール１４が弾性変形して、金属ロール１３ａ，１３ｂと弾性ロール１４との密着度を高めるように構成してある。
その結果、金属ロール１３ａと弾性ロール１４との間において、基材Ｂの幅方向に形成される隙間が弾性ロール１４で閉ざされ、各室間をシールすることができる。

また、弾性ロール１４は、空気により可動するエアシリンダ１５に直結され、各金属ロール１３との距離を調整できるように構成されている（調整手段）。
これにより、金属ロール１３ａ，１３ｂと弾性ロール１４との距離を変化させることで、これらのロール間の密着度を調整できるようになっている。
なお、調整手段は、空気により可動するエアシリンダ１５に限られず、油圧により可動させる油圧シリンダを用いてもよい。また、弾性ロール１４を、電気を動力とするモータにより可動させ、各金属ロール１３との距離を調整することもできる。

［シール装置］
次に、本発明のシール装置２０は、金属ロール１３ａ，１３ｂと弾性ロール１４の各ロール周面に接することで、各ロール１３，１４と各予備室１１の壁面との間に形成される隙間をシールするように構成されている。以下に、シール装置２０について図面を参照しつつ、詳述する。

図３は、本実施形態のシール装置２０を示す概略斜視図であり、図４は、シール装置２０と各ロール１３，１４との関係を示す概略斜視図であり、図５は、シール装置２０によるシール原理を模式的に示す説明図である。
これらの図に示すように、本実施形態のシール装置２０は、基材Ｂを送入出可能に開口させた開口部２４を囲む、軸方向シール部２１と連続シール部２２とが環状に繋げられて、一体に形成されている。

具体的には、軸方向シール部２１は、ロール１３，１４の軸方向Ｘに延びるとともに、開口部２４を挟んで平行に設けられる、金属ロール１３ａに接する軸方向シール部２１ａと、金属ロール１３ｂに接する軸方向シール部２１ｂと、を備えている（図４参照）。
このように、軸方向シール部２１は、各金属ロール１３の軸方向Ｘをシールするように構成されている。

一方、連続シール部２２は、ロール１３，１４の軸方向Ｘと直交する方向Ｙに延びるとともに、開口部２４を挟んで平行に設けられ、金属ロール１３ａに接する連続シール部２２ａと、金属ロール１３ｂに接する連続シール部２２ｂと、弾性ロール１４に接する連続シール部２２ｃと、をそれぞれ備えている（図４参照）。
各連続シール部２２ａ〜２２ｃは、各々接するロール１３，１４と同じ曲率を有する円弧状に形成されるとともに、各連続シール部２２ａ〜２２ｃが連続して連なることで、ロール１３，１４の軸方向Ｘと直交する方向Ｙをシールするように構成されている。

そして、シール装置２０は、このように構成された軸方向シール部２１と連続シール部２２とが環状に繋げられたものであり、各ロール１３，１４の回動に伴い、摺接面２０ａ，２０ｂが各ロール周面に摺接しながら、ロール１３，１４との間に隙間を生じさせることなく密着するようになっている。
摺接面２０ａ，２０ｂの背面側となる底面２０ｅは、平面状に形成され、シール装置２０は、この底面２０ｅが予備室１１の壁面に接して、ボルト等で固着される。
また、環状に繋げられた軸方向シール部２１と連続シール部２２とで囲まれる開口部２４は、金属ロール１３ａと弾性ロール１４、及び金属ロール１３ｂと弾性ロール１４のそれぞれの間に通じ、金属ロール１３ａと弾性ロール１４との間に挟まれる基材Ｂが送入出可能に開口されている。

さらに、シール装置２０は、ロール１３，１４と接する摺接面２０ａ，２０ｂ側において、各シール部２１，２２に沿って凹設され、接したロール周面との間に連続した帯状の閉空間２３ｂを形成させる溝部２３と、この閉空間２３ｂを排気可能に外部と連通させる複数の排気孔２３ａと、を備えている（図３、図５参照）。

そして、以上のような構成からなるシール装置２０のシール原理について、図５を参照して説明する。
図５の例では、基材Ｂは、予備室１１ａから予備室１１ｂに向かって搬送されるものとする。その結果、金属ロール１３ａ，１３ｂと弾性ロール１４とで仕切られる予備室１１ａは基材Ｂの送入側の空間となり、予備室１１ｂは基材Ｂの送出側の空間となる。
そして、シール装置２０は、その底面２０ｅが送出側の空間（予備室１１ａにおける予備室１１ｂ側の壁面）に固着され、その摺接面２０ａ，２０ｂが金属ロール１３ａ，１３ｂと弾性ロール１４の回動に伴って各ロール周面に摺接するように取付けられている。

シール装置２０をこのように取付けることで、予備室１１ａはシール装置２０の外周面２０ｄと連通し、予備室１１ｂはシール装置２０の内周面２０ｃ、つまり、開口部２４と連通することになる。
その結果、送入側の空間（予備室１１ａ）と送出側の空間（予備室１１ｂ）は、環状に形成されたシール装置２０によって隔てられ、空気の流通ができない状態、すなわち、通気不能となる。

このように、シール装置２０は、摺接面２０ａ，２０ｂがロール周面に接してシールするため、温度や湿度の変化によるロール１３，１４の軸方向Ｘに対する伸縮の影響を受けずにシールすることができ、安定したシール性能を発揮することができる。

また、軸方向シール部２１と連続シール部２２は、金属ロール１３ａ，１３ｂと弾性ロール１４の間に通じ、基材Ｂを送入出可能に開口させた開口部２４を挟んでそれぞれ平行に設けてあるため、四方からロール１３，１４をシールする従来のシール構造と比べると、シール範囲を狭くすることができ、その分、空気漏れの発生を低減させることができる。すなわち、外形をコンパクトにしつつ、シール性能を向上させることができる。

なお、本実施形態のシール装置２０は、軸方向シール部２１が、金属ロール１３ａ，１３ｂに接するとともに、連続シール部２２が、金属ロール１３ａ，１３ｂと弾性ロール１４に接するように構成したが、軸方向シール部２１と連続シール部２２が、基材Ｂを挟む金属ロール１３ａと弾性ロール１４からなる二つのロールのみに接するように構成することもできる。
このように構成することで、開口部２４が小さくなり、シール範囲をさらに狭小化させることもできる。
また、シール装置２０は、このようにコンパクトで、一体に形成されるため、取付けも容易であり、汎用性も向上する。

さらに、図５に示すように、シール装置２０は、溝部２３により各ロール周面との間に閉空間２３ｂが形成されるとともに、この閉空間２３ｂを所定の圧力に保つため、排気ポンプと接続可能に外部と連通する複数の排気孔２３ａを設けてある。
これにより、この閉空間２３ｂを、送入側の空間（予備室１１ａ）と送出側の空間（予備室１１ｂ）との圧力差を緩和させる緩衝空間として利用することができる。

すなわち、この閉空間２３ｂを予備室１１ａと予備室１１ｂのほぼ中間の圧力となるように排気孔２３ａを介して排気することで、予備室１１ａと予備室１１ｂとの間における空気の流通がこの閉空間２３ｂにより緩和され、予備室１１ａと予備室１１ｂにおいてそれぞれ保持される圧力の安定性を増大させることができる。
また、この閉空間２３ｂは、容積が小さいことから、排気容量の小さい排気ポンプを用いて排気することができ、省力化を図りつつ、かつ装置全体において各室の圧力を効率よく保持できる。

さらに、前述したように、弾性ロール１４が弾性変形して、基材Ｂを隙間なく挟み込むことで、ロール１３，１４との間がシールされるため、送入側の空間（予備室１１ａ）と送出側の空間（予備室１１ｂ）は、ロール面においても通気不能にシールされる。

このように本実施形態の連続成膜装置１は、各予備室１１と真空処理室１０を通気不能にシールするシール手段を備えていることから、各室を排気する排気ポンプに過度な負荷を与えることなく適正に排気させることができるとともに、高いシール性能を発揮する各予備室１１に挟まれる真空処理室１０を高真空度に保持できることから、基材Ｂに対して連続して行われる成膜処理の効率化が図られる。

以上説明したように、本実施形態のシール装置２０と、このシール装置２０を備える連続成膜装置１は、最小限のシール範囲で、ロール１３、１４で仕切られる空間の気密性を高めて、効率的に成膜処理を行うことができる。

以上、本発明のシール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置の好ましい実施形態について説明したが、本発明に係るシール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態の連続成膜装置１では、シール装置２０がロール１３，１４に対して基材Ｂの送出側に取付けてある予備室１１ａ〜１１ｃを用いて説明したが、予備室１１ｄ〜１１ｆは、真空処理室１０を挟んで予備室１１ａ〜１１ｃと左右対称に構成されているため、これらの予備室１１ｄ〜１１ｆでは、シール装置２０はロール１３，１４に対して基材Ｂの送入側に取付けられている。そして、このようにシール装置２０を送入側に取付けても、送出側に取付けてある場合と同様なシール効果を発揮できることはいうまでもない。
さらに、シール装置２０を送入側と送出側の両方に取付けることもできる。
また、上述した実施形態の連続成膜装置１では、ロール１３，１４を利用して、各室を区画するとともに、通気不能にシールしたが、シールブロックを併設して、気密性をさらに高めることもできる。
また、上述した実施形態では、各空間を仕切るロールの数を三つとしたが、二つ以上であればロールの数はいくつでもよい。

本発明は、複数のロールの間に帯状の基材を通して、基材を大気圧力下から徐々に減圧させて真空処理室に搬入させるとともに、成膜処理された基材を徐々に増圧させて大気圧力下に搬出させる連続成膜装置に広く利用することができる。

１ 連続成膜装置
１０ 真空処理室
１１ 予備室
１２ａ 巻出ロール
１２ｂ 巻取ロール
１３ 金属ロール
１４ 弾性ロール
１５ エアシリンダ
１７ 軸
２０ シール装置
２１ 軸方向シール部
２２ 連続シール部
２３ 溝部
２４ 開口部

Claims (4)

1. 帯状の基材を、近接して配置された複数のロールの間に通して、圧力の異なる複数の空間に亘って搬送しつつ、この基材に所定の成膜処理を行う成膜装置内に取付けられ、前記複数のロールで仕切られる送入側の空間と送出側の空間を、通気不能にシールするシール装置であって、
   前記複数のロールの間と通じて、前記基材を送入出可能に開口させた開口部と、
   前記ロールの軸方向に延びるとともに、前記開口部を挟んで平行に設けられ、ロール周面に接する軸方向シール部と、
   前記ロールの軸方向とほぼ直交する方向に延びるとともに、前記開口部を挟んで平行に設けられ、各ロール周面に連続して接する連続シール部と、
   前記ロールと接する面側において、前記各シール部に沿って凹設され、前記ロールとの間に連続した帯状の閉空間を形成させる溝部と、
   前記閉空間を排気可能に外部と連通させる排気孔と、を備え、
   前記軸方向シール部と前記連続シール部とが環状に繋げられて、一体に形成されるとともに、
   前記送入側の空間又は前記送出側の空間のいずれか一方の空間を前記開口部と連通させ、他方の空間を当該装置外部に連通させて取付けられ、前記送入側の空間と前記送出側の空間をシールすることを特徴とするシール装置。
2. 帯状の基材を、近接して配置された複数のロールの間に通して、大気圧力下から少なくとも一の減圧された予備室を介して所定の成膜処理を行う真空処理室内に搬入させるとともに、成膜処理された基材を少なくとも一の減圧された予備室を介して大気圧力下に搬出させる連続成膜装置であって、
   前記複数のロールで仕切られる送入側の空間と送出側の空間を、通気不能にシールするシール装置を備え、
   前記シール装置が、請求項１記載のシール装置であることを特徴とする連続成膜装置。
3. 前記複数のロールのうち少なくとも一のロールを弾性ロールとし、前記弾性ロールを他のロールに接するように配置した請求項２記載の連続成膜装置。
4. 前記弾性ロールと前記他のロールとの距離を調整可能な調整手段を備える請求項３記載の連続成膜装置。

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