JPS6314558U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6314558U JPS6314558U JP10674686U JP10674686U JPS6314558U JP S6314558 U JPS6314558 U JP S6314558U JP 10674686 U JP10674686 U JP 10674686U JP 10674686 U JP10674686 U JP 10674686U JP S6314558 U JPS6314558 U JP S6314558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- gap
- chamber
- sealing device
- labyrinth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 210000003027 ear inner Anatomy 0.000 claims 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
Description
第１図Ａは本考案の一実施例に係わるロールシ
ール装置の主要部を示す縦断面図、第１図Ｂは同
シール装置に真空排気孔を設けた実施例を示す要
部断面図、第２図Ａは本考案の他の実施例による
ロールシール装置の要部縦断面図、第２図Ｂは同
シール装置に真空排気孔を設けた実施例を示す要
部断面図、第３図は本考案の別の実施例によるロ
ールシール装置の要部縦断面図、第４図は更に別
の実施例を示すロールシール装置の要部断面図、
第５図は第４図の変形例を示すシールロール胴端
部の概略斜視図である。 Ｐ……帯状体、１，１１……チヤンバ、１ａ…
…チヤンバ隔壁、１ｂ……チヤンバ両側壁、２，
１２……シールロール、３……フイン、４……凹
部、５……ラビリンス、６……可動シール部材の
付勢バネ、７……位置決めローラ、８……固定シ
ール部材、１０……可動シール部材、ｇ，ｇ′…
…シールすべき間隙。
ール装置の主要部を示す縦断面図、第１図Ｂは同
シール装置に真空排気孔を設けた実施例を示す要
部断面図、第２図Ａは本考案の他の実施例による
ロールシール装置の要部縦断面図、第２図Ｂは同
シール装置に真空排気孔を設けた実施例を示す要
部断面図、第３図は本考案の別の実施例によるロ
ールシール装置の要部縦断面図、第４図は更に別
の実施例を示すロールシール装置の要部断面図、
第５図は第４図の変形例を示すシールロール胴端
部の概略斜視図である。 Ｐ……帯状体、１，１１……チヤンバ、１ａ…
…チヤンバ隔壁、１ｂ……チヤンバ両側壁、２，
１２……シールロール、３……フイン、４……凹
部、５……ラビリンス、６……可動シール部材の
付勢バネ、７……位置決めローラ、８……固定シ
ール部材、１０……可動シール部材、ｇ，ｇ′…
…シールすべき間隙。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 帯状体を連続的に大気中から真空中に導く
シールロールをチヤスバ内に設けた連続真空処理
設備のシール装置において、前記シールロールと
チヤンバ間のシールすべき間隙の壁に、フインと
凹部が交互に連続するラビリンスを設け、このラ
ビリンス効果により前記間隙部を流れる漏れ気体
の圧力を減圧することにより、漏れ量を減少する
ようにしたことを特徴とするシール装置。 (2) 前記シールロールとチヤンバ間のシールす
べき間隙が、シールロールの外周面と前記チヤン
バ内のシールロール沿いに湾曲する対向壁面との
間の帯状体導入間隙であり、この間隙を形成する
湾曲対向壁面にラビリンスが設けられていること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記
載のシール装置。 (3) シールロール沿いに湾曲する対向壁面が、
前記チヤンバにバネ付勢して設けた或いはシリン
ダ等により昇降可能とした可動シール部材のロー
ル沿い湾曲面として形成され、この可動シール部
材のロール沿い湾曲面に前記ラビリンスを設ける
と共に、このラビリンスのフインと前記シールロ
ールとの隙間を一定の狭隙に保持するための１本
あるいは複数本の位置決めローラが可動シール部
材に設けられていることを特徴とする実用新案登
録請求の範囲第２項に記載のシール装置。 (4) ラビリンス間に開口した１個あるいは複数
個の真空排気孔を設け、真空排気することを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第２項または第３
項に記載のシール装置。 (5) 前記シールロールとチヤンバ間のシールす
べき間隙が、シールロールの胴部両端面と前記チ
ヤンバの両側壁面との隙間であり、この隙間を形
成するチヤンバ両側壁の内面部またはロール胴部
両端面部に前記ラビリンスが設けられていること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記
載のシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10674686U JPS6314558U (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10674686U JPS6314558U (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6314558U true JPS6314558U (ja) | 1988-01-30 |
Family
ID=30982388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10674686U Pending JPS6314558U (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6314558U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010248575A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Nishi Kogyo Kk | シール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置 |
| JP2021080529A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 株式会社カネカ | シール装置、真空装置、成膜装置及び多層フィルム製造方法 |
| WO2021106273A1 (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 芝浦機械株式会社 | ガスシール構造及び抽出乾燥装置 |
| WO2022102406A1 (ja) * | 2020-11-11 | 2022-05-19 | 芝浦機械株式会社 | 抽出乾燥装置 |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP10674686U patent/JPS6314558U/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010248575A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Nishi Kogyo Kk | シール装置と、このシール装置を備える連続成膜装置 |
| JP2021080529A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 株式会社カネカ | シール装置、真空装置、成膜装置及び多層フィルム製造方法 |
| WO2021106273A1 (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 芝浦機械株式会社 | ガスシール構造及び抽出乾燥装置 |
| JP2021085646A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 芝浦機械株式会社 | ガスシール構造及び抽出乾燥装置 |
| CN114729783A (zh) * | 2019-11-29 | 2022-07-08 | 芝浦机械株式会社 | 气体密封构造及提取干燥装置 |
| CN114729783B (zh) * | 2019-11-29 | 2023-10-03 | 芝浦机械株式会社 | 气体密封构造及提取干燥装置 |
| WO2022102406A1 (ja) * | 2020-11-11 | 2022-05-19 | 芝浦機械株式会社 | 抽出乾燥装置 |
| JP2022080319A (ja) * | 2020-11-11 | 2022-05-30 | 芝浦機械株式会社 | 抽出乾燥装置 |
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