JPH01100268A - 差圧シール装置 - Google Patents

差圧シール装置

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JPH01100268A
JPH01100268A JP25739687A JP25739687A JPH01100268A JP H01100268 A JPH01100268 A JP H01100268A JP 25739687 A JP25739687 A JP 25739687A JP 25739687 A JP25739687 A JP 25739687A JP H01100268 A JPH01100268 A JP H01100268A
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Masao Iguchi
征夫 井口
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Ulvac Inc
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Ulvac Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 長尺薄帯例えば冷延ないし熱延鋼帯のような長尺材を連
続的に送給する間に、真空蒸着、イオンブレーティング
、スパッタリングなどのいわゆるドライブレーティング
法によって表面被覆を施す際には、複数の圧力差のある
空間領域相互(以下差圧室と呼ぶ)によって、ドライブ
レーティング領域に至る間に、順次真空度をあげ、つい
で下げていくエア・トウ・エア(Air−to−Air
)方式が用いられ、このような差圧室相互間における圧
力差を維持しつ2長尺材の連続的な通過を誘導する、差
圧シールを必要とし、ここに適切な差圧シールを有利に
実現することができる、差圧シール装置を提案しようと
するものである。
(従来の技術) エア・トウ・エア方式に関してすでに多数の提案を見る
ことができ、たとえば米国特許第2384500号、同
2972330号、同2996410号明細書をはじめ
、三菱重工技法Vo1.21(1984) No、 6
の21〜7などのように、近年来の精密工作技術の進歩
と相まって、実用化が進められつつある。これらのシー
ル法のうちの、とくに最後に引用した文献には、通板の
向きにわずかに軸心をずらせた一対のロール間に挟んで
長尺材を各ロール周面に沿わせるようにして、シール面
積を拡大することが、また最近に至って特開昭62−1
3572号公報では、一対の通板ロールに、長尺材を囲
うシールバーとアダプターとを組合せて、その囲いの内
部にて差圧を維持する試みが提案されているが、何れに
あっても、一対のロール間に長尺材を挟圧して通板する
ので、被処理物は、その表、裏面で曲げ応力、圧縮応力
が働き、さらには大きな張力も受ける。
二のような張力や局部的な面圧の作用は、製品の品質に
悪影響を及ぼし、例えば一方向性珪素鋼板にエア・トウ
・エア方式を適用した際に磁気特性の劣化を起こすこと
がわかった。
また、このような問題に加えて、通板中の振動による板
割れなども発生し易いことが指摘された。
(発明が解決しようとする問題点) 長尺薄帯のアエ・トウ・エア方式による処理に適合して
、製品品質の劣化や仮割れなどを生じるうれいなしに、
有効な差圧シールを実現することができる、差圧シール
装置を提案することがこの発明の目的である。
(問題点を解決するための手段) この発明は、圧力差のある空間領域相互間にわたり、該
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
差圧シールにおいて、 上記空間領域相互間の境界にて、長尺薄帯の巻きがけ案
内を司る、単一のガイドロールと、上記長尺薄帯の周囲
を囲むように配設され、その対向する一方の面の側の一
部が上記単一のガイドロール上の薄帯面に近接し、かつ
、同薄帯面に沿った形状に形成され、対向する他方の側
の一部が上記ロール外周面に近接し、かつ、該先端が上
記ロール外周面に沿った形状に形成されるとともに、上
記ロール外面に沿った形状に形成され、かつ、該先端部
が上記ロール外面に近接し、上記対向する両部分をほぼ
気密に保つように接続した側面構造を有するシーリング
アタチメントからなり、該シーリングアタッチメントは
上記単一のガイドロール上の薄帯面に近接し、かつ該薄
帯面に沿った形状に形成された面に、該薄帯の長手方向
と交差する複数の溝を有することを特徴とするものであ
る。
さて第1図にこの発明による差圧シール装置を適用した
事例を示し、図中1は長尺薄帯、2はガイドロール、3
はシーリングアタッチメントであって、4は第1差圧室
、5は第2差圧室、6は第3差圧室で、これらの圧力差
のある空間領域相互間にわたって該圧力差を維持しつつ
長尺薄帯1を大気圧p0下から添数字の順の圧力pに真
空度を高めるが、ここで差圧の値が最も高いPo  P
+の空間領域相互間に、この発明の差圧シール装置を用
いた場合について、先ず説明する。
該領域相互間の境界に相当する差圧室ケーシング7の入
側にて、ガイドロール2を軸受は支持し、このガイドロ
ール2の外周に長尺薄帯1を予め設定された巻付き接触
角θにて巻きかけする。
シーリングアタッチメント3は、ガイドロールの外周を
ほぼ半周にわたって取囲み、長尺薄帯1の巻きがけ域を
除いてガイドロール2の外周面に対し極く微小なすき間
δ1を形成する凹円弧状シール面S、と、巻きかけ域に
て長尺薄帯1の背面並びに両側縁に対してやはり極く微
小なすき間δ2とδ4,63′を直接形成する第2の凹
円弧状シール面s、及び第2の凹円弧状シール面s2の
奥でこれに連なってガイドロール2の接線方向に、長尺
薄帯lの断面寸法に比しはるかに大きく開口するスリッ
トtをそなえ、このうち第2の凹円弧状シール面s2に
は、長尺薄帯1の長手方向と交差する複数の溝3aを形
成しである。第2図(a)に、シーリングアタッチメン
ト3の外観を、また第2図(b)にガイドロール2に面
する凹円弧状シール面SI+SZをわかり易くそれぞれ
図解した。
第1図に示した例で、差圧室4.5間及び5゜6間の差
圧(p+  J’s)、 (pz  Pz)は、上述の
(po  p+)に比しはるかに小さいこともあって、
軸心を通板方向にずらせたロール対8.9によるロール
シールを用いた場合を示している。
表−1に、上記構成になる差圧シール装置(第2図参照
)を適用し、研磨後の冷延鋼板(板厚0.3mm1板幅
500mm、  ラインスピード15m/win)を通
板させた実験におけるシール性能の調査結果を、他の形
式になる装置の調査結果とともに示す。
なお、他の形式になる装置としては、第2の凹円弧状シ
ール面s2に溝を有しないシーリングアタッチメントを
備えた形式のもの(第3図参照)及び第2の凹円弧状シ
ール面S2に長尺薄帯1の長手方向に沿う複数の溝3b
を形成したシーリングアタッチメントを有する形式のも
の(第4図参照)を用いた。
表−1 表−1から明らかなように溝なしのシーリングアタッチ
メントを備えた差圧シール装置では、大気圧P0に対し
、鋼板の振動を発生させることなしに減圧側の圧力p、
を190Torr程度に差圧を維持できるが、長尺薄帯
1の長手方向と交差する溝3aを形成した差圧シール装
置では、鋼板の振動を発生させることなく、圧力P+を
150Torrに維持でき極めて高い差圧シールが実現
できることが判った。これに対してシーリングアタッチ
メントに長尺薄帯1の長手方向に沿う溝3bを形成した
場合には、圧力plが290Torr程度であり、また
通板中の振動も大きいという結果が得られた。
ここに、シーリングアタッチメントに長尺薄帯1の長手
方向と交差する複数の溝3aを形成することにより高い
差圧が維持できるのは、長尺薄帯の通板中、その領域に
おいて空気流に乱れが生じ、空気抵抗が大きくなるため
と考えられる。
なお、このような差圧シール装置は、真空度が比較的低
く、乱流又は粘性流の領域においてとくに効果的であり
、真空度の高い分子流の領域における差圧シールでは効
果が薄い。
(作 用) 長尺薄帯1は大気圧Poから第1差圧室4内の圧力p、
に至るとくに高い差圧の下に送り進められ、このとき凹
円弧状シール面s1及び長尺薄帯1の長手方向と交差す
る複数の溝3aを有するS2において極く微小なすき間
δ3.δ2.δ3およびδ3′をへだでるにすぎないの
で有効な差圧シールが成就されるだけでなく、長尺薄帯
1は単一のガイドロール2に巻きがけされるようになっ
ているので、強い面圧は受けることがない。
なお第1図において図示したδ2.δ1については長尺
薄帯幅が変わった場合に過大となっても多少は、許容せ
ざるを得ないが、気密性を有しロール軸方向に移動可能
な補助板を設置して薄帯幅の変化があっても常に微小な
すき間とすることはさらに好適である。
シーリングアタッチメント3の凹円弧状シール面s2に
形成する溝3aは幅o、i〜10mm、深さ0.01〜
5 mm、間隔 (ピッチ) 1〜20mm程度の複数
の線状とするのが好ましく、その断面形状はいかようで
あっても良い。またこのような溝の作成は旧述したよう
に真空度の低い領域の境界における差圧シールにおいて
効果的であるため、同−形式になるシーリングアタッチ
メントでも、真空度の低い高圧側は溝のサイズを大きく
、又ピッチを太き(し真空度の高い低圧側は溝のサイズ
を小さくピッチを狭くするとさらに高い差圧シールが実
現できる点で有利である。
(実施例) 第4図に、上掲第1図について述べた差圧シールを2回
くり返すことによってpo(大気圧)からp、さらにp
IからP2への高差圧をより有利に達成し得る例を示す
ココニ、板厚0.23+wm、板幅50011I11ノ
冷延!lviヲラインスピード20m/minにて通板
させ、差圧シール状況を調査した。その結果を比較例に
おける調査結果とともに示す。
表−2 表−2から明らかなように、この発明によれば、極めて
高い差圧が維持できることが確かめられた。
(発明の効果) この発明の差圧シール装置は、単一のガイドロールに、
長尺薄帯の長手方向と交差する複数の溝を有するアタッ
チメントを併用した仕組になるので、品質劣化の原因と
なる局部面圧を生じさせたり振動等のうれいなしに高い
差圧シールが実現でき、とくに超鉄損一方向性珪素鋼板
に対しドライブレーティング皮膜の形成を行うときに用
いて好適なばかりでなく、局部面圧が製品品質に影響し
易い軟鋼などに対しても適用し得るのはいうまでもない
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明に従う差圧シール装置の構成説明図
、 第2図(a)、 (b)は要部の外観図、第3図及び第
4図は、比較例の要部の外観図、第5図はこの発明の実
施例を示す模式図である。 1・・・長尺薄帯      2・・・ガイドロール3
・・・アタッチメント   4.5.6・・・差圧室7
・・・差圧室ケーシング  8,9・・・ロールs、・
・・凹円弧状シール面 S、・・・第2の凹円弧状シール面 t・・・スリット 第2図 (a) (’b)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、圧力差のある空間領域相互間にわたり、該圧力差を
    維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する差圧シー
    ルにおいて、 上記空間領域相互間の境界にて、長尺薄帯の巻きがけ案
    内を司る、単一のガイドロールと、 上記長尺薄帯の周囲を囲むように配設され、その対向す
    る一方の面の側の一部が上記単一のガイドロール上の薄
    帯面に近接し、かつ、同薄帯面に沿った形状に形成され
    、 対向する他方の側の一部が上記ロール外周面に近接し、
    かつ、該先端が上記ロール外周面に沿った形状に形成さ
    れるとともに、 上記ロール外面に沿った形状に形成され、 かつ、該先端部が上記ロール外面に近接し、上記対向す
    る両部分をほぼ気密に保つように接続した側面構造を有
    するシーリングアタッチメントからなり、該シーリング
    アタッチメントは上記単一のガイドロール上の薄帯面に
    近接し、かつ該薄帯面に沿った形状に形成された面に、
    該薄帯の長手方向と交差する複数の溝を有することを特
    徴とする差圧シール装置。
JP62257396A 1987-10-14 1987-10-14 差圧シール装置 Expired - Lifetime JPH0756073B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013515596A (ja) * 2009-12-24 2013-05-09 ポスコ 鋼板通板装置とこれを含む鋼板表面処理装置及び鋼板の表面処理方法

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JPS58131470A (ja) * 1982-01-29 1983-08-05 Fuji Photo Film Co Ltd ロ−ラ−式シ−ル装置

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