JP2010112394A - シールユニット - Google Patents
シールユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010112394A JP2010112394A JP2008283075A JP2008283075A JP2010112394A JP 2010112394 A JP2010112394 A JP 2010112394A JP 2008283075 A JP2008283075 A JP 2008283075A JP 2008283075 A JP2008283075 A JP 2008283075A JP 2010112394 A JP2010112394 A JP 2010112394A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- seal
- housing
- seal unit
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Abstract
【解決手段】下側部材30の上面31を上側部材20の下面24に密着させ、且つ下側部材30の背面34を取り付け板10の表面に密着させて取り付けることで、シールユニットSUが組み立てられる。このとき、下側部材30の凹部32と、上側部材20の下面24とで囲われる空間が、帯金Wが通過する開口APとなる。
【選択図】図2
Description
少なくとも前記板状物の表面に対向する第1板シール面に差動排気シールを備えた第1部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第2板シール面と、前記筐体に対向する第2筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第2部材と、を有し、
前記第1部材と前記第2部材とは分離可能となっていることを特徴とする。
前記筐体に取り付けられ、前記板状物が通過する開口を備えた取り付け部材と、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第1板シール面と、前記取り付け部材に対向する第2筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第1部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第2板シール面と、前記取り付け部材に対向する第2筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第2部材と、を有し、
前記取り付け部材と、前記第1部材と、前記第2部材とは、相互に分離可能となっていることを特徴とする。
11 開口
12 O−リング溝
20 上側部材
21a、21b 袋孔
22a、22b 通孔
23a,23b 凹部
24 下面
30 下側部材
31 上面
32 凹部
33a 第1上面溝
33b 第2上面溝
34 背面
35a 第1背面溝
35b 第2背面溝
120 上側部材
121 下面
121a,121b 袋孔
122a 第1下面溝
122b 第2下面溝
123 背面
124a 第1背面溝
124b 第2背面溝
IR 供給ローラ
OR O−リング
OR 巻き取りローラ
PR1 ローラ対
PR2,PR3 ローラ対
PR4 ローラ対
SU シールユニット
W 帯金
W 角柱
Claims (5)
- 内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第1板シール面に差動排気シールを備えた第1部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第2板シール面と、前記筐体に対向する第2筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第2部材と、を有し、
前記第1部材と前記第2部材とは分離可能となっていることを特徴とするシールユニット。 - 前記第1板シール面は平面状であり、前記第2板シール面は、前記板状物の裏面及び両側面に対向するようにコ字状又はU字状となっていることを特徴とする請求項1に記載のシールユニット。
- 前記第1部材は、前記筐体の一部と一体であることを特徴とする請求項1又は2に記載のシールユニット。
- 前記第1部材は、前記筐体から分離可能となっており、前記筐体に対向する第1筐体シール面に差動排気シールを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のシールユニット。
- 内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
前記筐体に取り付けられ、前記板状物が通過する開口を備えた取り付け部材と、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第1板シール面と、前記取り付け部材に対向する第2筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第1部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第2板シール面と、前記取り付け部材に対向する第2筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第2部材と、を有し、
前記取り付け部材と、前記第1部材と、前記第2部材とは、相互に分離可能となっていることを特徴とするシールユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008283075A JP5273585B2 (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | シールユニット、板状加工装置及び半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008283075A JP5273585B2 (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | シールユニット、板状加工装置及び半導体製造装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012233572A Division JP5516690B2 (ja) | 2012-10-23 | 2012-10-23 | シールユニット、板状加工装置及び半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010112394A true JP2010112394A (ja) | 2010-05-20 |
JP5273585B2 JP5273585B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=42301101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008283075A Active JP5273585B2 (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | シールユニット、板状加工装置及び半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5273585B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019081281A (ja) * | 2017-10-30 | 2019-05-30 | 株式会社リコー | 乾燥装置、液体を吐出する装置、液体付与装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58131470A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
JPH07139635A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-05-30 | Fuji Electric Co Ltd | 回転機械軸受台のシールリング |
JP2004076916A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Ebara Corp | 差動排気シール装置 |
JP2005249079A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Nsk Ltd | シールユニット |
-
2008
- 2008-11-04 JP JP2008283075A patent/JP5273585B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58131470A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
JPH07139635A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-05-30 | Fuji Electric Co Ltd | 回転機械軸受台のシールリング |
JP2004076916A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Ebara Corp | 差動排気シール装置 |
JP2005249079A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Nsk Ltd | シールユニット |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019081281A (ja) * | 2017-10-30 | 2019-05-30 | 株式会社リコー | 乾燥装置、液体を吐出する装置、液体付与装置 |
JP7006135B2 (ja) | 2017-10-30 | 2022-01-24 | 株式会社リコー | 乾燥装置、液体を吐出する装置、液体付与装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5273585B2 (ja) | 2013-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5998012B2 (ja) | スクロール式流体機械 | |
US20150308430A1 (en) | Vacuum pump | |
JP5273585B2 (ja) | シールユニット、板状加工装置及び半導体製造装置 | |
JP2012024892A (ja) | リング状シール吸着ノズル | |
JP5516690B2 (ja) | シールユニット、板状加工装置及び半導体製造装置 | |
JPWO2018135229A1 (ja) | 壁面吸着走行装置 | |
JP2011185224A (ja) | 気密容器、真空ポンプ | |
TWI544979B (zh) | 氣靜壓平台 | |
JP5998943B2 (ja) | 回転機構、搬送装置および半導体製造装置 | |
JP2006066457A (ja) | ステージ駆動装置 | |
JP2005331003A (ja) | ガイド装置 | |
CN215432090U (zh) | 切割治具和激光切割设备 | |
JP2011247405A (ja) | 案内装置 | |
JP4496678B2 (ja) | 位置決め装置 | |
JP2002106563A (ja) | 駆動装置 | |
CN218585065U (zh) | 一种光学系统 | |
JP4273743B2 (ja) | 位置決め装置 | |
JP2005249079A (ja) | シールユニット | |
JP2006138285A (ja) | ポンプ装置 | |
JP2023149956A (ja) | 静圧空気軸受装置 | |
JP4832041B2 (ja) | 内接歯車式ポンプ | |
WO2018047775A1 (ja) | エアタービン駆動スピンドル | |
JP2005240825A (ja) | 静圧気体直動軸受機構 | |
JP2005340354A (ja) | 位置決め装置 | |
JP2003222131A (ja) | 駆動装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120928 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121023 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130422 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5273585 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130505 |