JPH07207443A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 シール装置と蒸着装置間での基板受渡し作業
や装置内でのメンテナンス作業、清掃作業が短時間のう
ちに簡単かつ確実に行える連続真空蒸着装置を提供す
る。 【構成】 真空シール装置８と冷却ロール４と蒸着室２
とを備えた連続真空蒸着装置において、前記真空シール
装置８と蒸着室２との間に作業空間２２及び同空間に通
じる蓋１９ａ付きのマンホール１９を備えたメンテナン
ス室１８を設けると共に、同メンテナンス室１８と前記
蒸着室２との境界に基板１が通過し得る通口２３を有す
る隔壁２０を取外し自在に設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラスチックフィル
ム、紙等の走行基板に、金属材料または非金属材料を連
続的に真空蒸着する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、３本１組のシールロールと２本１
組のシールバーを多段に組み合わせて、その空間を真空
排気する真空シール装置を備えた従来の連続真空蒸着装
置に代わって、１本シールロール型の真空シール装置を
備えた連続真空蒸着装置が開発されている。

【０００３】図２はその一例を示したもので、基板１は
払出しリール１０６から払い出された後、ガイドロール
１０３を通り、冷却ロール１０４に巻回しながらケーシ
ング１１２及び複数のシールバー１１０より成る真空シ
ール装置１０８を経て蒸着室１０２内に搬入され、るつ
ぼ１１５及び加熱コイル１１６より成る蒸着装置１０７
により蒸着材１１７が真空蒸着された後、再び真空シー
ル装置１０８を経て大気中に搬出され巻取りリール１０
５に巻き取られる。

【０００４】ケーシング１１２に配設された複数のシー
ルバー１１０は、冷却ロール１０４と微小の間隙を持っ
て設置されており、このシールバー１１０とケーシング
１１２と冷却ロール１０４とによって囲まれた複数の減
圧室１１１は、それぞれ真空配管１１３を介して真空排
気装置１１４に接続・排気されて段階的に減圧される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の装置は設備費、ランニングコストの低減を計るため
に、小型かつコンパクトな構成になっている。ところ
が、装置を小型化したことにより、初期段階におけるシ
ール装置と蒸着装置間での基板受渡し作業や装置内での
メンテナンス作業、清掃作業が非常にやり難くなってい
る。その上、高真空圧となる蒸着室は大径の真空配管が
取り付けられ、更にシール装置との境界にはシール用隔
壁（図示せず）が設けてあり、このため上記作業性が更
に悪くなるなどの欠点があった。

【０００６】そこで、本発明は、シール装置と蒸着装置
間での基板受渡し作業や装置内でのメンテナンス作業、
清掃作業が短時間のうちに簡単かつ確実に行える連続真
空蒸着装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の、本発明に係る連続真空蒸着装置は、基板が巻回・走
行するシールロールの外周に沿ってケーシングを設けて
複数段の減圧室を形成し、真空排気される同減圧室を真
空シールして成る真空シール装置と、前記シールロール
を通過した基板が巻回・走行する冷却ロールと、同冷却
ロールを通過中の基板に真空蒸着を行う蒸着装置を内設
した蒸着室とを備えた連続真空蒸着装置において、前記
真空シール装置と蒸着室との間に作業用空間及び同空間
に通じるマンホールを備えたメンテナンス室を設けると
共に、同メンテナンス室と前記蒸着室との境界に前記基
板が通過し得る通口を有する隔壁を取外し自在に設けた
ことを特徴とする。

【０００８】

【作用】基板は、適正真空圧に保持された真空シール装
置及びメンテナンス室を経て蒸着室に送られ、蒸着装置
により連続的に真空蒸着される。また、稼動開始前に行
う基板の受渡し作業や休止中に行う装置内のメンテナン
ス作業、清掃作業はメンテナンス室のマンホールを開放
して、また、メンテナンス室と蒸着室との境界の隔壁を
取り外して容易に行われる。

【０００９】

【実施例】以下添付図面に基づいて、本発明の一実施例
を説明する。図１は本発明に係る連続真空蒸着装置の全
体構成図である。

【００１０】図示のように、本装置は、真空シール装置
８、メンテナンス室１８及び蒸着室２を主たる構成部材
としている。

【００１１】真空シール装置８は、シールロール９、こ
のシールロール９の外周に沿って設けたケーシング１
０、このケーシング１０に前記シールロール９と微小隙
間を明けて配設された複数のシールバー（図示せず、図
２の符号１１０参照）等により成り、シールロール９と
各シールバーとで形成する複数段の減圧室を適正に真空
シールする作用を行う。

【００１２】また、蒸着室２のケーシング２ａ内には、
冷却ロール４及び蒸着材１７を収納するるつぼ１５、加
熱コイル１６より成る蒸着装置７が内設されており、冷
却ロール４に沿って走行する基板１表面に蒸着材１７を
真空蒸着する。

【００１３】更に、メンテナンス室１８は、そのケーシ
ング１８ａが前記真空シール装置８と蒸着室２とを結ぶ
中間位置に挿設され、作業を行う適正広さの作業空間２
２と蓋１９ａ付きのマンホール１９を有し、また、蒸着
室２との境界には基板１を自由に走行させる通口２３を
備えた隔壁２０が取外し自在に設けられており、初期段
階での通板作業、メンテナンス作業、清掃作業を行う。

【００１４】上記各装置には、適宜ガイドロール３及び
エキスパンダロール２１が配置されていて基板１の走行
方向及び張力が適正に調整される。また、真空シール装
置８、メンテナンス室１８及び蒸着室２には真空排気装
置に通じる真空配管（図示せず）が接続されていてそれ
ぞれ適正真空圧に保持される。

【００１５】次に、本連続真空蒸着装置の作用を説明す
る。稼動時、大気中の図示しない払出しリールから払い
出された基板１は、適正真空圧下の真空シール装置８及
びメンテナンス室１８を経て蒸着室２に送られ、冷却ロ
ール４を通るあいだに、蒸着装置７によって蒸着材１７
を真空蒸着された後、再び、メンテナンス室１８及び真
空シール装置８を経て大気中に搬出され、図示しない巻
取りリールに巻き取られる。

【００１６】一方、稼動開始前に基板１を装置各部に受
け渡す際又は休止中に装置内メンテナンス作業、清掃作
業等を行う際は、蓋１９ａを開けてマンホール１９を開
放し、更に隔壁２０を取り外した後、メンテナンス室１
８の作業空間２２を利用して行われる。

【００１７】このように、基板１に対する真空蒸着は従
来どおり連続して適正に行うことができ、稼動休止中に
実施する上記各作業は短時間のうちに簡単かつ確実に行
うことができる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、真
空シール装置と蒸着室との間に作業用空間及び同空間に
通じるマンホールを備えたメンテナンス室を設けると共
に、同メンテナンス室と前記蒸着室との境界に前記基板
が通過し得る通口を有する隔壁を取外し自在に設けたの
で、基板に対する真空蒸着はこれまでどおり連続的に効
率良く行うことができる上、稼動開始前或いは休止中に
実施する基板の受渡し作業や装置内メンテナンス作業、
清掃作業等はメンテナンス室を介して短時間のうちに簡
単かつ確実に行うことができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る連続真空蒸着装置の一実施例の構
成図である。

【図２】従来の連続真空蒸着装置を示す図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 蒸着室 ３ ガイドロール ４ 冷却ロール ７ 蒸着装置 ８ 真空シール装置 ９ シールロール １０ ケーシング １８ メンテナンス室 １９ マンホール ２０ 隔壁 ２２ 作業空間

フロントページの続き (72)発明者 新屋 謙治 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 沖田 肇 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板が巻回・走行するシールロールの外
   周に沿ってケーシングを設けて複数段の減圧室を形成
   し、真空排気される同減圧室を真空シールして成る真空
   シール装置と、前記シールロールを通過した基板が巻回
   ・走行する冷却ロールと、同冷却ロールを通過中の基板
   に真空蒸着を行う蒸着装置を内設した蒸着室とを備えた
   連続真空蒸着装置において、前記真空シール装置と蒸着
   室との間に作業用空間及び同空間に通じるマンホールを
   備えたメンテナンス室を設けると共に、同メンテナンス
   室と前記蒸着室との境界に前記基板が通過し得る通口を
   有する隔壁を取外し自在に設けたことを特徴とする連続
   真空蒸着装置。