JPS6320453A - 差動排気型蒸着処理室 - Google Patents
差動排気型蒸着処理室Info
- Publication number
- JPS6320453A JPS6320453A JP16374386A JP16374386A JPS6320453A JP S6320453 A JPS6320453 A JP S6320453A JP 16374386 A JP16374386 A JP 16374386A JP 16374386 A JP16374386 A JP 16374386A JP S6320453 A JPS6320453 A JP S6320453A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- steel strip
- chamber
- treatment chamber
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は差動排気型の蒸着処理室に関するものである
。
。
従来、第３図に示す如く、真空にさｎた蒸着処理室ｌに
、シールロール３，３を入側及び出側に設け、このシー
ルロール３．３で挟持さｎた状態で連続的に送給さｎる
鋼帯Ｓに、ルツボ２から蒸発さｎる蒸着材料を蒸着する
ことが行わｎている。
、シールロール３，３を入側及び出側に設け、このシー
ルロール３．３で挟持さｎた状態で連続的に送給さｎる
鋼帯Ｓに、ルツボ２から蒸発さｎる蒸着材料を蒸着する
ことが行わｎている。
この場合、高真空（１Ｏ−４Ｔｏｒｒ以下）が必要にな
るのは、ルツぎ２と鋼帯Ｓとの間であるが、上記構造の
蒸着処理室１では室内全体を高真空に排気しなけｎばな
らず排気容量の大きな真空ポンプが必要となる。
るのは、ルツぎ２と鋼帯Ｓとの間であるが、上記構造の
蒸着処理室１では室内全体を高真空に排気しなけｎばな
らず排気容量の大きな真空ポンプが必要となる。
一方、肉厚変動の極めて少ないフィルムＦのイン、ライ
ン蒸着装置として第４図に示すものがある。こ：ｒＬは
蒸着処理室４を蒸着ロール５と仕切壁６とによって、蒸
着室８と巻取室９とに区画し、そｎぞｎの室に排気装置
を接続した差動排気構造となっている。こうして蒸着室
８と巻取室９とをそｎぞｎ排気することによって、特に
高い真空度の必要な蒸着室８の真空度を所定の値に保ち
つつ、全体の排気容量を小さくして、前述の問題点を解
消するようにしたものである。この場合巻取室９から蒸
着室８へのリークを小さくすることが望ましく、シール
金物２を蒸着ロール５との間にわずかな隙間を保って仕
切壁６に固定している。
ン蒸着装置として第４図に示すものがある。こ：ｒＬは
蒸着処理室４を蒸着ロール５と仕切壁６とによって、蒸
着室８と巻取室９とに区画し、そｎぞｎの室に排気装置
を接続した差動排気構造となっている。こうして蒸着室
８と巻取室９とをそｎぞｎ排気することによって、特に
高い真空度の必要な蒸着室８の真空度を所定の値に保ち
つつ、全体の排気容量を小さくして、前述の問題点を解
消するようにしたものである。この場合巻取室９から蒸
着室８へのリークを小さくすることが望ましく、シール
金物２を蒸着ロール５との間にわずかな隙間を保って仕
切壁６に固定している。
しかし、上記構成のものは、フィルムのように肉厚が薄
く且つその変動の小さいものには適用できるが、銅帯の
ように処理すべき材料の肉厚が０．２〜２．０ ｍｓと
広範囲に変シ、且つ肉厚変動のあるものには適用できな
い。
く且つその変動の小さいものには適用できるが、銅帯の
ように処理すべき材料の肉厚が０．２〜２．０ ｍｓと
広範囲に変シ、且つ肉厚変動のあるものには適用できな
い。
この発明は上記のような銅帯に適用できるようにし九差
動排気型の蒸着処理室を提供することを目的とするもの
である。
動排気型の蒸着処理室を提供することを目的とするもの
である。
〔問題点を解決するための手段、作用〕銅帯への蒸着処
理室を蒸着案内ロールと仕切壁とにより蒸着室と処理室
とに区画し、そｎぞｎの室に排気装置を接続すると共に
、上記蒸着案内ロールＫＥ接するシールロールをホルダ
にスプリング付勢して該蒸着案内ロールの周方向に複数
本設け、且つ上記ホルダを上記仕切壁に摺動可能に設け
る。
理室を蒸着案内ロールと仕切壁とにより蒸着室と処理室
とに区画し、そｎぞｎの室に排気装置を接続すると共に
、上記蒸着案内ロールＫＥ接するシールロールをホルダ
にスプリング付勢して該蒸着案内ロールの周方向に複数
本設け、且つ上記ホルダを上記仕切壁に摺動可能に設け
る。
鋼帯の肉厚変更及び肉厚変動が６つ九場合にも、スプリ
ング付勢さｎたシールロールが追随して移動するので何
ら支１ｓＦｉない。従って特に肉厚を検る複数本のシー
ルロールによりリークを小さくすることができる。
ング付勢さｎたシールロールが追随して移動するので何
ら支１ｓＦｉない。従って特に肉厚を検る複数本のシー
ルロールによりリークを小さくすることができる。
本発明の一実施例を第１図、第２図によシ説明する。蒸
着処理室１０は、蒸着案内ロール１１と仕切壁１２とに
よって蒸着室１３と処理室１４とに区画さｎｌそｊＬ（
′ｊＬの室に排気装置を接続した差動排気構造になって
いる。複数本のシールロール１６がホルダＪ７に回転可
能に設けらｎている。
着処理室１０は、蒸着案内ロール１１と仕切壁１２とに
よって蒸着室１３と処理室１４とに区画さｎｌそｊＬ（
′ｊＬの室に排気装置を接続した差動排気構造になって
いる。複数本のシールロール１６がホルダＪ７に回転可
能に設けらｎている。
シールロール１６Ｆｉスプリング１８にょ夛付勢さｎる
と共に、図示しない手段によシホルダ１７がら抜は出す
ことを防止さｎている。そしてホルダ１７は、仕切壁１
２に摺接した状態でシリンダ１９によシ進退可能に位置
決めさｎるようになっている。
と共に、図示しない手段によシホルダ１７がら抜は出す
ことを防止さｎている。そしてホルダ１７は、仕切壁１
２に摺接した状態でシリンダ１９によシ進退可能に位置
決めさｎるようになっている。
而して、銅帯Ｓの装置への通抜時には、シリンダ１９に
よシホルダ１７を後退させて通抜する。
よシホルダ１７を後退させて通抜する。
通抜後、ホルダ１７を所定の位置まで前進させて、シー
ルロールＪ６を蒸着案内ロール１１に掛は回さｎた銅帯
に押し当てる。ζうして、蒸着時に鋼帯に肉厚変動があ
っても、シールロール１６Ｆｉ肉厚変動に追随して移動
するので、操業に支障なく蒸着室１３と処理室１４との
シールを行うことができる。そして特に高速蒸着時には
ルツが２からの蒸着材料の蒸気流が粘性流となるから、
複数本のシールロール１６１１Ｃより所謂ラビリンス効
果が生じるのでシール性を更に高めることができる。
ルロールＪ６を蒸着案内ロール１１に掛は回さｎた銅帯
に押し当てる。ζうして、蒸着時に鋼帯に肉厚変動があ
っても、シールロール１６Ｆｉ肉厚変動に追随して移動
するので、操業に支障なく蒸着室１３と処理室１４との
シールを行うことができる。そして特に高速蒸着時には
ルツが２からの蒸着材料の蒸気流が粘性流となるから、
複数本のシールロール１６１１Ｃより所謂ラビリンス効
果が生じるのでシール性を更に高めることができる。
この発明は上記のようなもので銅帯の肉厚変更及び肉厚
変動があっても、特別の肉厚検出器を設置することなく
、蒸着室と処理室との間のシールを効果的に行うことが
できる。
変動があっても、特別の肉厚検出器を設置することなく
、蒸着室と処理室との間のシールを効果的に行うことが
できる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図はシ
ールロールを組込んだホルダの拡大説明図、第３図は連
続蒸着装置の説明図、第４図はフィルム用差動排気型蒸
着処理室の説明図である。 １１・・・蒸着案内ロール、１２・・・仕切壁、１３・
・・蒸着室、１４・・・処理室、１６・・・シールロー
ル、１７・・・ホルダ、１８・・・スプリング。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 第４図
ールロールを組込んだホルダの拡大説明図、第３図は連
続蒸着装置の説明図、第４図はフィルム用差動排気型蒸
着処理室の説明図である。 １１・・・蒸着案内ロール、１２・・・仕切壁、１３・
・・蒸着室、１４・・・処理室、１６・・・シールロー
ル、１７・・・ホルダ、１８・・・スプリング。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 鋼帯への蒸着処理室を蒸着案内ロールと仕切壁とにより
蒸着室と処理室とに区画し、それぞれの室に排気装置を
接続すると共に、上記蒸着案内ロールに転接するシール
ロールをホルダにスプリング付勢して該蒸着案内ロール
の周方向に複数本設け、且つ、上記ホルダを上記仕切壁
に摺動可能に設けてなる差動排気型蒸着処理室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16374386A JPS6320453A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 差動排気型蒸着処理室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16374386A JPS6320453A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 差動排気型蒸着処理室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320453A true JPS6320453A (ja) | 1988-01-28 |
Family
ID=15779834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16374386A Pending JPS6320453A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 差動排気型蒸着処理室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320453A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018219747A1 (de) | 2017-11-24 | 2019-05-29 | Fanuc Corporation | Kalibrierungssystem und Kalibrierungsverfahren für einen horizontalen Gelenkarmroboter |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP16374386A patent/JPS6320453A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018219747A1 (de) | 2017-11-24 | 2019-05-29 | Fanuc Corporation | Kalibrierungssystem und Kalibrierungsverfahren für einen horizontalen Gelenkarmroboter |
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