JPH02294480A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、蒸着装置に関するものである。

従来の技術 近年、蒸着装置は、磁気記録テープ、フィルム？ンデン
サ等の、金属膜の蒸着に広く利用されている。以下図面
を参照しながら、従来の蒸着装置の一例について説明す
る。第２図は従来の蒸着装置を示すものである。第２図
において、１は蒸着により膜が堆積されるフィルム、２
は蒸着材料、３は蒸着材料２を溶融し、蒸発させる抵抗
加熱、高周波誘導加熱、電子ビーム等の真空蒸着源、４
は真空蒸着源３に対向して設けられ、内部に冷却液が循
環し、フィルム蒸着面を冷却し回転するキャン、６はフ
ィルム１をキャン４へ供給する供給ローラー、ｅは蒸着
されたフィルム１を巻取る巻取シローラー、７はフィル
ム１の巻取シ及び走行を補助するフリーローラー、８は
真空チャンバー９は真空チャンバー８内を真空排気する
ための真空排気ポンプである。

以上のように構成された蒸着装置について、以下その動
作について説明する。

まず、真空チャンバー８内をロータリーポンプ、油拡散
ポンプ、クライオボンデ等の真空排気ボンプ９により、
１０−５Ｔ■ｒｒ台の真空度まで真空排気する。次に、
供給ローラー６、キャン４、巻取りローラー６を回転す
る。フィルム１は、供給ローラー６、フリーローラー７
、キャン４、フリーローデ７と走行し、巻取シローラー
６に巻取られる。次に、抵抗加熱、高周波誘導加熱、電
子ビーム等の真空蒸着源３により、蒸着材料２が溶融さ
れ蒸発する。

蒸発した粒子が飛散し、対向するキャン４上を走行して
いるフィｌｖＪ５１表面上に堆積し膜が形成される。こ
のときフィルム１は、冷却液が内部で循環しているキャ
ン４により冷却される。そして蒸着されたフィルム１は
、フリーローラー７を走行し、最後に、巻取シローラー
６に巻取られる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、フィμムは静電気
によシ、フリーローラー表面に密着する。

このため、フィルムとフリーローラー表面との間での摩
擦抵抗が大きくなる。よってその部分で、フィルムに伸
びやシワが発生する。このような状態では、蒸着前にす
でに、フィルムにシワが発生したり、蒸着後にもシワが
発生するため、量産装置の場合、全てが不良となる。ま
た、ＦＥＰ等、テフロン系ノフィルムｌｄ、ＰＥＴ等フ
ィＩレムト比較して、帯電性が強く、弾性が小さい材料
のため、フィルムの伸び、シワを防止することができな
いという問題点を有していた。

本発明は上記問題点に濫み、フィルムのフリーローラー
表面への密着力を小さくシ、フィルムとフリーローラー
表面との摩擦抵抗を小さくすることによシ、フィルムの
伸び、シワを防止しようとするものである。

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために、本発明の蒸着装置は、フ
ィルムが接触するローラー表面に、凹凸を持つフリーロ
ーラーを備えたものである。

作　　用 本発明は上記した構成によって、フィルムとフリーロー
ラーとの接触面積が小盲くなるため、フィルムの静電気
によるフリーローラーへの密着力が小さくなる。よって
、フィルムとフリーローラーとの間の摩擦抵抗が小さく
なシ、すべりやすくなる。これは、従来のフリーローラ
ーと比べ、大幅にフィルムとフリーローラーとの間の摩
擦抵抗が小さくなることになる。その結果、フィルムの
伸び．シワ等の発生がない状態で、巻取りローラーに巻
取られることとなる。

実施例 以下本発明の一実施例の蒸着装置について、図面を参照
しながら説明する。

第１図は本発明の一実施例における蒸着装置の概略断面
図を示す。第１図において、１０１は蒸着によシ膜が堆
積されるフィルム、１ｏ２は蒸着材料、１０３は蒸着材
料１０２を溶融し、蒸発させる抵抗加熱．高周波誘導加
熱，電子ビーム等の真空蒸着源、１０４は真空蒸着源１
０３に対向して設けられ、内部に冷却液が循環し、フィ
ルム蒸着面を冷却し回転するキャン、１ｏ６はフィルム
１ｏ１をキャン１０４・へ供給する供給ローラー１０６
は蒸着されたフィルム１０１を巻取る巻取りローラー、
１０７はフィルム１０１の巻取シ及び走行を補助し、フ
ィルム１０１と接触するローラー表面に凹凸を持つフリ
ーローラー　１０８は真空チャンバー　１０９は真空チ
ャンバー１０８内を真空排気するための真空排気ポンプ
である。

以上のように構成されたフィルム蒸着装置について、以
下第１図を用いてその動作を説明する。

まず、真空チャンバー１０８内をロータリーポンプ，油
拡散ポンプ．クライオポンプ等の真空排気ポンプ１０９
によシ６　Ｘ　１　０−５Ｔｏｒｒ程度の真空度まで真
空排気する。次に供給ローラー１０６，キャン１ｏ４，
巻取シローラー１０６を回転する。

フィルム１０１は、供給ローラー１０６．７リーローラ
ー１０７．キャン１ｏ４．フリーローラー１０７と走行
し、巻取りローラー１０６に巻取られる。次に、抵抗加
熱．高周波誘導加熱．電子ビーム等の真空蒸着源１０３
により、蒸着材料１０２が溶融され蒸発する。蒸発した
粒子が飛散し、対向するキャン１０４上を走行している
フィルム１０１表面上に堆積し膜が形成される。このと
き、フィルム１０１Ｕフリーローラー１ｏ７がフィルム
１０１と接触する表面が凹凸となっているためフリーロ
ーラー１０７に密着することなく走行される。

以上のようＫ本実施例によれば、フィルム１０１が接触
するフリーローラー１０７表面に凹凸を備えることによ
り、フィルム１０１とフリーローラ−１０７との接触面
積が小さくなシ、フィルム１ｏ１のフリーローラー１０
７への静電気による密着力を小さくすることができる。

よってフィルム１ｏ１とフリーローラー１０７表面との
摩擦抵抗が小さくなりすべりやすくなるため、フィルム
１０１のシワを防止することができ、またフリーローラ
ー１０７間のフィルム走行速度の変化が小さくなシ、フ
ィルム１０１の伸びを防止することができ、巻取シロー
ラー１０６に巻取ることができる０ また、本実施例によシ、ＦＥＰ等、テフロン系のフィル
ムで、帯電性の非常に強く、弾性の非常に小さいもので
も、フィルムのシワ．伸びを防止することができた。

なお、本実施例において、フリーローラー１０７表面の
凹凸は第１図のようにしたが、ローラー間の平行度がで
ていれば、形状にはこだわらない。

また凹凸の数は多いほど良好で、フィルム１０１に傷や
変形が発生しないように、エッジをなくすようにする。

発明の効果 以上のように本発明は、フィルムが接触するローラー表
面に凹凸を持つフリーローラーを設けることによシ、フ
ィルムの伸び．シワ等の発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における蒸着装置の概略断面図
、第２図は従来の無一一蒸着装置の概略断面図である。 １０１・・・・・・フィルム、１０２・・・・・・蒸着
材料、１０３・・・・・・蒸着源、１０４・・・・・・
キャン、１０５・・・・・・供給ローラー、１０６・・
・・・・巻取シローラー１０７・・・川フリーローラー
。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名第２
図 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空チャンバーと、真空チャンバー内を減圧雰囲気にす
   るための真空ポンプと、真空チャンバー内に装備される
   蒸着材料を備えた少なくとも一個の真空蒸着源と、蒸着
   源に対向して設けられ、フィルム蒸着面を冷却し、回転
   するキャンと、フィルムをキャンへ供給する供給ローラ
   ーと、蒸着されたフィルムを巻取る巻取りローラーと、
   フィルム巻取り及び走行を補助するフリーローラーとを
   備えた蒸着装置において、フリーローラーはフィルムが
   接触するローラー表面に凹凸を持つことを特徴とする蒸
   着装置。