JPH0586469A - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
- Publication number
- JPH0586469A JPH0586469A JP3248789A JP24878991A JPH0586469A JP H0586469 A JPH0586469 A JP H0586469A JP 3248789 A JP3248789 A JP 3248789A JP 24878991 A JP24878991 A JP 24878991A JP H0586469 A JPH0586469 A JP H0586469A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- vapor deposition
- vacuum
- roller
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸発した粒子の中のイオンをフィルムに強力
に衝突させ、膜のフィルムに対する付着強度を向上す
る。 【構成】 真空雰囲気の維持が可能な真空チャンバー１
０８と、真空チャンバー１０８内を減圧雰囲気にするた
めの真空ポンプ１０９と、蒸着材料１０２を備えた少な
くとも一個の真空蒸発源１０３と、蒸発源１０３に対向
して設けられ、フィルム１０１蒸着面を冷却し、回転す
るキャン１０４と、フィルム１０１をキャン１０４へ供
給する供給ローラー１０５と、蒸着されたフィルム１０
１を巻取る巻取りローラー１０６と、フィルム１０１巻
取り及び走行を補助するフリーローラー１０７とを備え
たフィルム蒸着装置において、前記キャン１０４内部に
固定のマグネット１１０とを備えたことを特徴とする。
に衝突させ、膜のフィルムに対する付着強度を向上す
る。 【構成】 真空雰囲気の維持が可能な真空チャンバー１
０８と、真空チャンバー１０８内を減圧雰囲気にするた
めの真空ポンプ１０９と、蒸着材料１０２を備えた少な
くとも一個の真空蒸発源１０３と、蒸発源１０３に対向
して設けられ、フィルム１０１蒸着面を冷却し、回転す
るキャン１０４と、フィルム１０１をキャン１０４へ供
給する供給ローラー１０５と、蒸着されたフィルム１０
１を巻取る巻取りローラー１０６と、フィルム１０１巻
取り及び走行を補助するフリーローラー１０７とを備え
たフィルム蒸着装置において、前記キャン１０４内部に
固定のマグネット１１０とを備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸着装置に関するもの
である。
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、蒸着装置は、磁気記録テープ、フ
ィルムコンデンサ等の、金属膜の蒸着に広く利用されて
いる。
ィルムコンデンサ等の、金属膜の蒸着に広く利用されて
いる。
【０００３】以下図面を参照しながら、従来の蒸着装置
の一例について説明する。図２は従来のフィルム蒸着装
置を示すものである。図２において、１は蒸着により膜
が堆積されるフィルム、２は蒸着材料、３は蒸着材料２
を溶融し、蒸発される抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子
ビーム等の真空蒸発源、４は真空蒸発源３に対向して設
けられ、内部に冷却液が循環し、フィルム蒸着面を冷却
し回転するキャン、５はフィルム１をキャン４へ供給す
る供給ローラー、６は蒸着されたフィルム１を巻取る巻
取りローラー、７はフィルム１の巻取り及び走行を補助
する金属のフリーローラー８は真空チャンバー、９は真
空チャンバー８内を真空排気するための真空排気ポンプ
である。
の一例について説明する。図２は従来のフィルム蒸着装
置を示すものである。図２において、１は蒸着により膜
が堆積されるフィルム、２は蒸着材料、３は蒸着材料２
を溶融し、蒸発される抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子
ビーム等の真空蒸発源、４は真空蒸発源３に対向して設
けられ、内部に冷却液が循環し、フィルム蒸着面を冷却
し回転するキャン、５はフィルム１をキャン４へ供給す
る供給ローラー、６は蒸着されたフィルム１を巻取る巻
取りローラー、７はフィルム１の巻取り及び走行を補助
する金属のフリーローラー８は真空チャンバー、９は真
空チャンバー８内を真空排気するための真空排気ポンプ
である。
【０００４】以上のように構成されたフィルム蒸着装置
について、以下その動作について説明する。
について、以下その動作について説明する。
【０００５】まず、真空チャンバー８内をロータリーポ
ンプ、油拡散ポンプ、クライオポンプ等の真空排気ポン
プ９により、１０−５Ｔｏｒｒ台の真空度まで真空排気
する。次に、供給ローラー５、キャン４、巻取りローラ
ー６を回転する。フィルム１は、供給ローラー５、フリ
ーローラー７、キャン４、フリーローラー７と走行し、
巻取りローラー６に巻取られる。次に、抵抗加熱、高周
波誘導加熱、電子ビーム等の真空蒸発源３により、蒸着
材料２が溶融され蒸発する。蒸発した粒子が飛散し、対
向するキャン４上を走行しているフィルム１表面上に堆
積し膜が形成される。このときフィルム１は、冷却液が
内部で循環しているキャン４により冷却される。そして
蒸着されたフィルム１は、フリーローラー７を走行し、
最後に、巻取りローラー６に巻き取られる。
ンプ、油拡散ポンプ、クライオポンプ等の真空排気ポン
プ９により、１０−５Ｔｏｒｒ台の真空度まで真空排気
する。次に、供給ローラー５、キャン４、巻取りローラ
ー６を回転する。フィルム１は、供給ローラー５、フリ
ーローラー７、キャン４、フリーローラー７と走行し、
巻取りローラー６に巻取られる。次に、抵抗加熱、高周
波誘導加熱、電子ビーム等の真空蒸発源３により、蒸着
材料２が溶融され蒸発する。蒸発した粒子が飛散し、対
向するキャン４上を走行しているフィルム１表面上に堆
積し膜が形成される。このときフィルム１は、冷却液が
内部で循環しているキャン４により冷却される。そして
蒸着されたフィルム１は、フリーローラー７を走行し、
最後に、巻取りローラー６に巻き取られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、膜のフィルム１に対する付着強度が充分
に向上させることができず、付着強度を向上するため
に、フィルム１に前処理としてアニールによる水分及び
不純物の除去、またはプラズマ処理による不純物の除去
及びフィルム１表面上に凹凸を形成するなどが必要とな
り、生産タクトが長くなり、場合によっては前処理専用
の設備が必要となるという問題点を有していた。
うな構成では、膜のフィルム１に対する付着強度が充分
に向上させることができず、付着強度を向上するため
に、フィルム１に前処理としてアニールによる水分及び
不純物の除去、またはプラズマ処理による不純物の除去
及びフィルム１表面上に凹凸を形成するなどが必要とな
り、生産タクトが長くなり、場合によっては前処理専用
の設備が必要となるという問題点を有していた。
【０００７】本発明は上記問題点に鑑み、蒸発した粒子
のイオンをフィルムに協力に衝突させ、膜のフィルムに
対する付着強度を向上する蒸着装置を提供するものであ
ることを課題とする。
のイオンをフィルムに協力に衝突させ、膜のフィルムに
対する付着強度を向上する蒸着装置を提供するものであ
ることを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の蒸着装置は、キャン内部に固定のマグネッ
トを備えたものである。
に、本発明の蒸着装置は、キャン内部に固定のマグネッ
トを備えたものである。
【０００９】
【作用】本発明は上記した構成によって、フィルムの蒸
着面に蒸発源からの２次電子がトラップされるため、蒸
発した粒子の中のイオンが電子に引き付けられフィルム
に強力に衝突しイオンエネルギーにより膜のフィルムに
対する付着強度が向上する。その結果、付着強度を向上
させるためのフィルムの前処理が必要なくなるため、生
産タクトが短縮され、前処理専用の設備も必要なくなる
こととなる。
着面に蒸発源からの２次電子がトラップされるため、蒸
発した粒子の中のイオンが電子に引き付けられフィルム
に強力に衝突しイオンエネルギーにより膜のフィルムに
対する付着強度が向上する。その結果、付着強度を向上
させるためのフィルムの前処理が必要なくなるため、生
産タクトが短縮され、前処理専用の設備も必要なくなる
こととなる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の一実施例の蒸着装置について、
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施例における蒸着装置
の概略断面図を示す。図１において、１０１は蒸着によ
り膜が堆積されるフィルム、１０２は蒸着材料、１０３
は蒸着材料１０２を溶融し、蒸発させる抵抗加熱、高周
波誘導加熱、電子ビーム等の真空蒸発源、１０４は真空
蒸発源１０３に対向して設けられ、内部に冷却液が循環
し、フィルム蒸着面を冷却し回転するキャン、１０５は
フィルム１０１をキャン１０４へ供給する供給ローラ
ー、１０６は蒸着されたフィルム１０１を巻取る巻取り
ローラー、１０７はフィルム１０１の巻取り及び走行を
補助するフリーローラー、１０８は真空チャンバー、１
０９は真空チャンバー１０８内を真空排気するための真
空排気ポンプ、１１０はキャン１０４内部に設置されフ
ィルム蒸着面に磁界を発生させ回転せず固定されたマグ
ネットである。以上のように構成されたフィルム蒸着装
置について、以下図１を用いてその動作を説明する。
の概略断面図を示す。図１において、１０１は蒸着によ
り膜が堆積されるフィルム、１０２は蒸着材料、１０３
は蒸着材料１０２を溶融し、蒸発させる抵抗加熱、高周
波誘導加熱、電子ビーム等の真空蒸発源、１０４は真空
蒸発源１０３に対向して設けられ、内部に冷却液が循環
し、フィルム蒸着面を冷却し回転するキャン、１０５は
フィルム１０１をキャン１０４へ供給する供給ローラ
ー、１０６は蒸着されたフィルム１０１を巻取る巻取り
ローラー、１０７はフィルム１０１の巻取り及び走行を
補助するフリーローラー、１０８は真空チャンバー、１
０９は真空チャンバー１０８内を真空排気するための真
空排気ポンプ、１１０はキャン１０４内部に設置されフ
ィルム蒸着面に磁界を発生させ回転せず固定されたマグ
ネットである。以上のように構成されたフィルム蒸着装
置について、以下図１を用いてその動作を説明する。
【００１２】まず、真空チャンバー１０８内をロータリ
ーポンプ、油拡散ポンプ、クライオポンプ等の真空排気
ポンプ１０９により５×１０−５Ｔｏｒｒ程度の真空度
まで真空排気する。次に供給ローラー１０５、キャン１
０４、巻取りローラー１０６を回転する。フィルム１０
１は、供給ローラー１０５、フリーローラー１０７、キ
ャン１０４、フリーローラー１０７と走行し、巻取りロ
ーラー１０６に巻取られる。次に、抵抗加熱、高周波誘
導加熱、電子ビーム等の真空蒸発源１０３により、蒸着
材料１０２が溶融され蒸発する。蒸発した粒子が飛散
し、対向するキャン１０４上を走行しているフィルム１
０１表面上に堆積し膜が形成される。このとき、キャン
１０４内部に設置されたマグネット１１０によりフィル
ム１０１蒸着面上に蒸発源１０３からの２次電子がトラ
ップされ、蒸発した粒子の中のイオンが電子に引き付け
られるフィルム１０１にイオンエネルギーにより強力に
膜が堆積される。
ーポンプ、油拡散ポンプ、クライオポンプ等の真空排気
ポンプ１０９により５×１０−５Ｔｏｒｒ程度の真空度
まで真空排気する。次に供給ローラー１０５、キャン１
０４、巻取りローラー１０６を回転する。フィルム１０
１は、供給ローラー１０５、フリーローラー１０７、キ
ャン１０４、フリーローラー１０７と走行し、巻取りロ
ーラー１０６に巻取られる。次に、抵抗加熱、高周波誘
導加熱、電子ビーム等の真空蒸発源１０３により、蒸着
材料１０２が溶融され蒸発する。蒸発した粒子が飛散
し、対向するキャン１０４上を走行しているフィルム１
０１表面上に堆積し膜が形成される。このとき、キャン
１０４内部に設置されたマグネット１１０によりフィル
ム１０１蒸着面上に蒸発源１０３からの２次電子がトラ
ップされ、蒸発した粒子の中のイオンが電子に引き付け
られるフィルム１０１にイオンエネルギーにより強力に
膜が堆積される。
【００１３】以上のように本実施例によれば、キャン１
０４内部にせっちされたマグネット１１０によりフィル
ム１０１蒸着面上に蒸発源１０３からの２次電子が磁界
によりトラップされ、蒸発した粒子の中のイオンが電子
に引き付けられフィルム１０１に強力に衝突しイオンエ
ネルギーにより膜のフィルム１０１に対する付着強度が
向上する。その結果、付着強度を向上させるためのフィ
ルム１０１の前処理が必要なくなるため、生産タクトが
短縮され、前処理専用の設備も必要なくなることとな
る。
０４内部にせっちされたマグネット１１０によりフィル
ム１０１蒸着面上に蒸発源１０３からの２次電子が磁界
によりトラップされ、蒸発した粒子の中のイオンが電子
に引き付けられフィルム１０１に強力に衝突しイオンエ
ネルギーにより膜のフィルム１０１に対する付着強度が
向上する。その結果、付着強度を向上させるためのフィ
ルム１０１の前処理が必要なくなるため、生産タクトが
短縮され、前処理専用の設備も必要なくなることとな
る。
【００１４】なお、本実施例において、マグネット１１
０は永久磁石としたが、電磁石とし、トラップする電子
の量を制御することにより、付着強度を制御しながら、
イオンエネルギーによるフィルム１０１の熱変形を防止
してもよい。
０は永久磁石としたが、電磁石とし、トラップする電子
の量を制御することにより、付着強度を制御しながら、
イオンエネルギーによるフィルム１０１の熱変形を防止
してもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、本発明は、キャン内部に
固定したマグネットを設けることにより、蒸発した粒子
の中のイオンをフィルムに強力に衝突させ、膜のフィル
ムに対する付着強度を向上することができる。
固定したマグネットを設けることにより、蒸発した粒子
の中のイオンをフィルムに強力に衝突させ、膜のフィル
ムに対する付着強度を向上することができる。
【図１】本発明の実施例におけるフィルム蒸着装置の概
略断面図
略断面図
【図２】従来のフィルム蒸着装置の概要断面図
１０１ フィルム １０２ 蒸着材料 １０３ 蒸発源 １０４ キャン １０５ 供給ローラー １０６ 巻取りローラー １０７ フリーローラー １１０ マグネット
Claims (1)
- 【請求項１】 真空雰囲気の維持が可能な真空チャンバ
ーと、真空チャンバー内を減圧雰囲気にするための真空
ポンプと、蒸着材料を備えた少なくとも一個の真空蒸着
発源と、蒸発源に対向して設けられ、フィルム蒸着面を
冷却し、回転するキャンと、フィルムをキャンへ供給す
る供給ローラーと、蒸着されたフィルムを巻取る巻取り
ローラーと、フィルム巻取り及び走行を補助するフリー
ローラーとを備えたフィルム蒸着装置において、前記キ
ャン内部に固定のマグネットを備えたことを特徴とする
蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3248789A JPH0586469A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3248789A JPH0586469A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0586469A true JPH0586469A (ja) | 1993-04-06 |
Family
ID=17183424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3248789A Pending JPH0586469A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0586469A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210001828U (ko) | 2020-02-04 | 2021-08-12 | 이창희 | 만능 렌치 스패너 |
| CN114086147A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-02-25 | 合肥中隐新材料有限公司 | 一种制备光子晶体薄膜卷绕式真空镀膜设备 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP3248789A patent/JPH0586469A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210001828U (ko) | 2020-02-04 | 2021-08-12 | 이창희 | 만능 렌치 스패너 |
| CN114086147A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-02-25 | 合肥中隐新材料有限公司 | 一种制备光子晶体薄膜卷绕式真空镀膜设备 |
| CN114086147B (zh) * | 2021-11-19 | 2024-01-26 | 合肥中隐新材料有限公司 | 一种制备光子晶体薄膜卷绕式真空镀膜设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |