JPH02175871A - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
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- JPH02175871A JPH02175871A JP88332888A JP33288888A JPH02175871A JP H02175871 A JPH02175871 A JP H02175871A JP 88332888 A JP88332888 A JP 88332888A JP 33288888 A JP33288888 A JP 33288888A JP H02175871 A JPH02175871 A JP H02175871A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、蒸着装置に関するものである。
従来の技術
近年、蒸着装置は、磁気記録テープ、フィルムコンデン
サ等の、金属膜の蒸着に広く利用されている。
サ等の、金属膜の蒸着に広く利用されている。
以下図面を参照しながら、従来のフィルム蒸着装置の一
例について説明する。第２図は従来のフィルム蒸着装置
を示すものである。第２図において、１は蒸着により暎
が堆積されるフィルム、２は蒸着材料、３は蒸着材料２
を溶融し、蒸発させる抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子
ビーム等の真空蒸発源、４は真空蒸着源３に対向して設
けられ、内部に冷却液が循環し、フィルム蒸着面を冷却
し回転するキャン、６はフィルム１をキャン４へ供給す
る供給ローラー、６は蒸着されたフィルム１を巻き取る
巻き取りローラー、７はフィルム１の巻き取り及び走行
を補助するフリーローラー、８は真空チャンバー、９は
真空チャンバー８内を真空排気するための真空排気ポン
プである。
例について説明する。第２図は従来のフィルム蒸着装置
を示すものである。第２図において、１は蒸着により暎
が堆積されるフィルム、２は蒸着材料、３は蒸着材料２
を溶融し、蒸発させる抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子
ビーム等の真空蒸発源、４は真空蒸着源３に対向して設
けられ、内部に冷却液が循環し、フィルム蒸着面を冷却
し回転するキャン、６はフィルム１をキャン４へ供給す
る供給ローラー、６は蒸着されたフィルム１を巻き取る
巻き取りローラー、７はフィルム１の巻き取り及び走行
を補助するフリーローラー、８は真空チャンバー、９は
真空チャンバー８内を真空排気するための真空排気ポン
プである。
以上のように構成された蒸着装置について、以下その動
作について説明する。
作について説明する。
まず、真空チャンバー８内をロータリーポンプ、油拡散
ポンプ、クライオポンプ等の真空排気ポンブ９により１
０−５Ｔｏｏｒ台の真空度まで真空排気する。次に、供
給ローラー６、キャン４、巻き取りローフ−６を回転す
る。フィルム１は、供給ローラー６、フリーローラー７
、キャン４、フリーローラー７と走行し、巻き取りロー
ラー６に巻き取られる。次に、抵抗加熱、高周波誘導加
熱、電子ビーム等の真空蒸着源３により、蒸着材料２が
溶融され蒸発する。蒸発した粒子が飛散し、対向するキ
ャン４上を走行しているフィルム１表面上に堆積し喚が
形成される。このときフィルム１は、冷却液が内部で循
環しているキャン４により冷却される。そして蒸着され
たフィルム１は、フリーローラー７を走行し、最後に巻
き取りローラー６に巻き取られる。
ポンプ、クライオポンプ等の真空排気ポンブ９により１
０−５Ｔｏｏｒ台の真空度まで真空排気する。次に、供
給ローラー６、キャン４、巻き取りローフ−６を回転す
る。フィルム１は、供給ローラー６、フリーローラー７
、キャン４、フリーローラー７と走行し、巻き取りロー
ラー６に巻き取られる。次に、抵抗加熱、高周波誘導加
熱、電子ビーム等の真空蒸着源３により、蒸着材料２が
溶融され蒸発する。蒸発した粒子が飛散し、対向するキ
ャン４上を走行しているフィルム１表面上に堆積し喚が
形成される。このときフィルム１は、冷却液が内部で循
環しているキャン４により冷却される。そして蒸着され
たフィルム１は、フリーローラー７を走行し、最後に巻
き取りローラー６に巻き取られる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、フィルム１は静電
気により、キャン４に付着しているだけで、完全に密着
していないため、フィルム１上で、充分キャン４によシ
冷却される部分と、冷却されない部分が生じる。このた
め、蒸着による、蒸着粒子の凝縮熱及び、蒸着源からの
輻射熱にょシ、フィルム１のキャン４に付着しないで冷
却されていない部分が、伸び、収縮、溶融等の熱変形を
発生する。さらに巻き取りローラー６にフィルム１を巻
き取る際、シワとなり、量産装置の場合、全てが不良と
なる。また、ＦＥＰ等、テフロン系のフィルムは、ＰＥ
７等フィルムと比校して、耐熱温度が低く、従来の構成
では、フィルム冷却温度をいくら低下しても、熱変形を
防止することができないという課題を有していた。
気により、キャン４に付着しているだけで、完全に密着
していないため、フィルム１上で、充分キャン４によシ
冷却される部分と、冷却されない部分が生じる。このた
め、蒸着による、蒸着粒子の凝縮熱及び、蒸着源からの
輻射熱にょシ、フィルム１のキャン４に付着しないで冷
却されていない部分が、伸び、収縮、溶融等の熱変形を
発生する。さらに巻き取りローラー６にフィルム１を巻
き取る際、シワとなり、量産装置の場合、全てが不良と
なる。また、ＦＥＰ等、テフロン系のフィルムは、ＰＥ
７等フィルムと比校して、耐熱温度が低く、従来の構成
では、フィルム冷却温度をいくら低下しても、熱変形を
防止することができないという課題を有していた。
本究明は上記課題に濫み、フィルムのキャンへの密着力
を向上し、フィルム全体をムラなく冷却することにより
、蒸着によるフィルムの熱変形を置は、アースと絶縁さ
れた巻き取りローラと、フリーローラーをもち、蒸着後
のフィルムに直流の電圧を印加する直流電源を備えたも
のである。
を向上し、フィルム全体をムラなく冷却することにより
、蒸着によるフィルムの熱変形を置は、アースと絶縁さ
れた巻き取りローラと、フリーローラーをもち、蒸着後
のフィルムに直流の電圧を印加する直流電源を備えたも
のである。
作用
本発明は上記した構成によって、蒸着後のフィＡ／ムに
直流の電圧が印加されるため、フィルム表面の金属蒸着
膜が、正または負に帯電し、アース電位であるキャンと
フィルムの間で電位差が発生する。そのため、キャン表
面へ、フィルムが完全に密着する。これは、従来の静電
気による付着力と比べ、大幅に付着力が向上し、蒸着さ
れるフィルム表面全体がムラなく、キャンにより冷却さ
れることになる。その結果、フィルムの伸び、収縮、溶
融等の熱変形を防止することができ、巻き取りローラー
にシワなく巻き取られることとなる。
直流の電圧が印加されるため、フィルム表面の金属蒸着
膜が、正または負に帯電し、アース電位であるキャンと
フィルムの間で電位差が発生する。そのため、キャン表
面へ、フィルムが完全に密着する。これは、従来の静電
気による付着力と比べ、大幅に付着力が向上し、蒸着さ
れるフィルム表面全体がムラなく、キャンにより冷却さ
れることになる。その結果、フィルムの伸び、収縮、溶
融等の熱変形を防止することができ、巻き取りローラー
にシワなく巻き取られることとなる。
実施例
以下本発明の一実施例の蒸着装置について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
第１図は本発明の一実施例における蒸着装置の概略断面
図を示す。第１図において１ｏ１は蒸着により膜が堆積
されるフィルム、１０２は蒸着材料、１０３は蒸着材料
１０２を溶融し、蒸発させる抵抗加熱、高周波誘導加熱
、電子ビーム等の真空蒸着源、１０４は真空蒸発源１０
３に対向して設けられ、内部に冷却液が循環し、フィル
ム蒸着面を冷却し回転するキャン、１０６はフィルム１
０１をキャン１０４へ供給する供給ローフ−１０６は蒸
着されたフィルム１ｏ１を巻き取り、さらにフィルム１
０１と接触するローラー表面がテフロン等絶縁材料のテ
ープ及びコーティングで覆われ、アースと絶縁された巻
き取りローラー１０７ａはフィルム１０１の巻き取り及
び走行を補助し、フィルム１０１と接触するローラー表
面がテフロン等絶縁材料のテープ及びコーティングで覆
われ、アースと絶縁されたフリーローラー１０７ｂはフ
ィルム１０１の巻き取り及び走行を補助し、アースと絶
縁され、さらにフィルム１０１の蒸着面と導通があるフ
リーローツー、１ｏ８は真空チャンバー、１０９は真空
チャンバー１０８内を真空排気するための真空排気ポン
プ、１１０は、フリーローラー１０７ｂを通じて、蒸着
後のフィＩレム１ｏ１に、直流の電圧を印加する直流電
源である。
図を示す。第１図において１ｏ１は蒸着により膜が堆積
されるフィルム、１０２は蒸着材料、１０３は蒸着材料
１０２を溶融し、蒸発させる抵抗加熱、高周波誘導加熱
、電子ビーム等の真空蒸着源、１０４は真空蒸発源１０
３に対向して設けられ、内部に冷却液が循環し、フィル
ム蒸着面を冷却し回転するキャン、１０６はフィルム１
０１をキャン１０４へ供給する供給ローフ−１０６は蒸
着されたフィルム１ｏ１を巻き取り、さらにフィルム１
０１と接触するローラー表面がテフロン等絶縁材料のテ
ープ及びコーティングで覆われ、アースと絶縁された巻
き取りローラー１０７ａはフィルム１０１の巻き取り及
び走行を補助し、フィルム１０１と接触するローラー表
面がテフロン等絶縁材料のテープ及びコーティングで覆
われ、アースと絶縁されたフリーローラー１０７ｂはフ
ィルム１０１の巻き取り及び走行を補助し、アースと絶
縁され、さらにフィルム１０１の蒸着面と導通があるフ
リーローツー、１ｏ８は真空チャンバー、１０９は真空
チャンバー１０８内を真空排気するための真空排気ポン
プ、１１０は、フリーローラー１０７ｂを通じて、蒸着
後のフィＩレム１ｏ１に、直流の電圧を印加する直流電
源である。
以上のように構成された蒸着装置について、以下第１図
を用いてその動作を説明する。
を用いてその動作を説明する。
まず、真空チャンバー１０８内をロータリーポンプ、油
拡散ポンプ、クライオポンプ等の真空排気ポンプ１０９
により５ Ｘ １０−５Ｔｏｏτ程度の真空度まで真空
排気する。次に供給ローラー１０６、キャン１０４、巻
き取りローラー１０６を回転する。フィルム１ｏ１は、
供給ローフ−１ｏ６、フリーローラー１０７ａ、キャン
１０４、フリーローラー１ｏ７ｂ、フリーローラー１０
７ａと走行し、巻き取りローラー１０６に巻き取られる
。次に抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子ビーム等の真空
蒸着源１０３により、蒸着材料１０２が溶−され蒸発す
る。蒸発した粒子が飛散し、対向するキャン１０４上を
走行しているフィルム１０１表１ｍ上に堆積し膜が形成
される。このとき、フリーローラー１０７ｂを通じて、
蒸着後のフィルム１０１に、直流電源１１０よシ、０〜
負５ｏｏｖ程度の電圧を印加し、フィルム１ｏ１と、キ
ャ：／１０４との間に電位差を生じさせる。そして、冷
却液が内部で循環しているキャン１０４にフィルム１ｏ
１が密着し、冷却され、フリーローラー１０７ｂ１１０
７ａと走行し、最後に、巻き取りローラー１０６に巻き
取られる。
拡散ポンプ、クライオポンプ等の真空排気ポンプ１０９
により５ Ｘ １０−５Ｔｏｏτ程度の真空度まで真空
排気する。次に供給ローラー１０６、キャン１０４、巻
き取りローラー１０６を回転する。フィルム１ｏ１は、
供給ローフ−１ｏ６、フリーローラー１０７ａ、キャン
１０４、フリーローラー１ｏ７ｂ、フリーローラー１０
７ａと走行し、巻き取りローラー１０６に巻き取られる
。次に抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子ビーム等の真空
蒸着源１０３により、蒸着材料１０２が溶−され蒸発す
る。蒸発した粒子が飛散し、対向するキャン１０４上を
走行しているフィルム１０１表１ｍ上に堆積し膜が形成
される。このとき、フリーローラー１０７ｂを通じて、
蒸着後のフィルム１０１に、直流電源１１０よシ、０〜
負５ｏｏｖ程度の電圧を印加し、フィルム１ｏ１と、キ
ャ：／１０４との間に電位差を生じさせる。そして、冷
却液が内部で循環しているキャン１０４にフィルム１ｏ
１が密着し、冷却され、フリーローラー１０７ｂ１１０
７ａと走行し、最後に、巻き取りローラー１０６に巻き
取られる。
以上のように本実施例によれば、フィルム１ｏ１に蒸着
された金属膜に、フリーローラー１０７ｂを通じて、直
流電源１１ｏにより、負の電圧を印加することにより、
アース電位のキャン１０４と、フィルム１０１との間に
電位差を生じさせ、キャン１０４へ、フィルム１０１を
強力に密着させることができる。よって、蒸着時のフィ
ルム１０１表面全体がムラなくキャン１０４により冷却
され、蒸着粒子の凝縮熱及び、蒸着源からの輻射熱によ
るフィルム１ｏ１の伸び、収縮、溶融等の熱変形を防止
することができ、巻き取りローツー１０６にシワなく巻
き取ることができる。
された金属膜に、フリーローラー１０７ｂを通じて、直
流電源１１ｏにより、負の電圧を印加することにより、
アース電位のキャン１０４と、フィルム１０１との間に
電位差を生じさせ、キャン１０４へ、フィルム１０１を
強力に密着させることができる。よって、蒸着時のフィ
ルム１０１表面全体がムラなくキャン１０４により冷却
され、蒸着粒子の凝縮熱及び、蒸着源からの輻射熱によ
るフィルム１ｏ１の伸び、収縮、溶融等の熱変形を防止
することができ、巻き取りローツー１０６にシワなく巻
き取ることができる。
また、本実施例により、ＦＥＰ等、テフロン系のブイｌ
レムで、耐熱温度が２００°Ｃと非常に低いものでも、
熱変形を防止することができた。
レムで、耐熱温度が２００°Ｃと非常に低いものでも、
熱変形を防止することができた。
なお、本実施例において、蒸着後のフィルム１ｏ１に、
直流電源１１０により、負の電圧を印加するとしたが、
正の電圧を印加してもよい。
直流電源１１０により、負の電圧を印加するとしたが、
正の電圧を印加してもよい。
発明の効果
以上のように本発明は、アースと絶縁された巻き取りロ
ーラーと、フリーローフ−をもち、蒸着後のフィルムに
直流の電圧を印加する直流電源を設けることにより、蒸
着粒子の凝縮熱及び、蒸着源からの輻射熱によるフィル
ムの伸び、収縮、溶融等の熱変形を防止することができ
、巻き取りローラーにシワなく巻き取ることができる。
ーラーと、フリーローフ−をもち、蒸着後のフィルムに
直流の電圧を印加する直流電源を設けることにより、蒸
着粒子の凝縮熱及び、蒸着源からの輻射熱によるフィル
ムの伸び、収縮、溶融等の熱変形を防止することができ
、巻き取りローラーにシワなく巻き取ることができる。
第１図は本発明の実施例における蒸着装置の概略断面図
、第２図は従来の蒸着装置の概略断面図である。 １ｏ１・・・・・・フィルム、１０２・・・・・・蒸着
材料、１０３・・・・・・蒸着源、１０４・・・・・・
キャン、１０６・・・・・・供給ローラー、１０６・・
・・・・巻キ取すローラー１０７ｂ・・・・・・フリー
ローラー、１１０・・・・・・Ｉ［流［源。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名派 （Ｏ ）コ
、第２図は従来の蒸着装置の概略断面図である。 １ｏ１・・・・・・フィルム、１０２・・・・・・蒸着
材料、１０３・・・・・・蒸着源、１０４・・・・・・
キャン、１０６・・・・・・供給ローラー、１０６・・
・・・・巻キ取すローラー１０７ｂ・・・・・・フリー
ローラー、１１０・・・・・・Ｉ［流［源。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名派 （Ｏ ）コ
Claims (1)
- 真空状態の維持が可能な真空チャンバーと、真空チャン
バー内を減圧雰囲気にするための真空ポンプと、蒸着材
料を備えた少なくとも１個の真空蒸着源に対向して設け
られ、フィルム蒸着面を冷却し、回転するキャンと、フ
ィルムをキャンへ供給する供給ローラーと蒸着されたフ
ィルムを巻き取る巻き取りローラーと、フィルムの巻き
取り及び走行を補助するフリーローラーとをもつフィル
ム蒸着装置において、蒸着後のフィルムに直流の電圧を
印加する電圧印加手段を備えたことを特徴とする蒸着装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP88332888A JPH02175871A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 蒸着装置 |
| KR1019890019521A KR930006121B1 (ko) | 1988-12-27 | 1989-12-26 | 증착장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP88332888A JPH02175871A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02175871A true JPH02175871A (ja) | 1990-07-09 |
Family
ID=18259922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP88332888A Pending JPH02175871A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 蒸着装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02175871A (ja) |
| KR (1) | KR930006121B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005049883A1 (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-02 | Ulvac, Inc. | 巻取式真空蒸着方法及び巻取式真空蒸着装置 |
| JP2010163693A (ja) * | 2010-04-12 | 2010-07-29 | Ulvac Japan Ltd | 巻取式真空蒸着方法 |
| JP4850905B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2012-01-11 | 株式会社アルバック | 巻取式真空蒸着装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6130669A (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP88332888A patent/JPH02175871A/ja active Pending
-
1989
- 1989-12-26 KR KR1019890019521A patent/KR930006121B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6130669A (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005049883A1 (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-02 | Ulvac, Inc. | 巻取式真空蒸着方法及び巻取式真空蒸着装置 |
| JP2005146401A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-09 | Ulvac Japan Ltd | 巻取式真空蒸着方法及び巻取式真空蒸着装置 |
| JP4516304B2 (ja) * | 2003-11-20 | 2010-08-04 | 株式会社アルバック | 巻取式真空蒸着方法及び巻取式真空蒸着装置 |
| JP4850905B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2012-01-11 | 株式会社アルバック | 巻取式真空蒸着装置 |
| JP2010163693A (ja) * | 2010-04-12 | 2010-07-29 | Ulvac Japan Ltd | 巻取式真空蒸着方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930006121B1 (ko) | 1993-07-07 |
| KR900010047A (ko) | 1990-07-06 |
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