JPH02175870A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、蒸着装置に関するものである。

従来の技術 近年、蒸着装置は、磁気記録テープ、フィルムコンデン
サ等の、金属膜の蒸着に広く利用されている。

以下図面を参照しながら、従来のフィルム蒸着装置の一
例について説明する。第２図は従来のフィルム蒸着装置
を示すものである。第２図において、１は蒸着により膜
が堆積されるフィルム、２は蒸着材料、３は蒸着材料２
を溶融し、蒸発させる抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子
ビーム等の真空蒸発源、４は真空蒸着源３に対向して設
けられ、内部に冷却液が循環し、フィルム蒸着面を冷却
し回転するキャン、６はフィルム１をキャン４へ供給す
る供給ローラー、６は蒸着されたフィルム１を巻き取る
巻き取りローラー、７はフィルム１の巻き取シ及び走行
を補助するフリーローラー、８は真空チャンバー、９は
真空チャンバー８内を真空排気するための真空排気ポン
プである。

以上のように構成された蒸着装置について、以下その動
作について説明する。

まず、真空チャンバー８内をロータリーポンプ、油拡散
ポンプ、クライオポンプ等の真空排気ポンプ９により１
０　　Ｔｏｒｒ台の真空度まで真空排気する。次に、供
給ローラー６、キャン４、巻き取りローラー６を回転す
る。フィルム１は、供給ローラー６、フリーローラー７
、キャン４．フリーローラー７と走行し、巻き取りロー
ラー６に巻き取られる。次に、抵抗加熱、高周波誘導加
熱、電子ビーム等の真空蒸着源３により、蒸着材料２が
溶融され蒸発する。蒸発した粒子が飛散し、対向するキ
ャン４上を走行しているフィルム１表面上に堆積し膜が
形成される。このときフィルム１は、冷却液が内部で循
環しているキャン４により冷却される。そして蒸着され
たフィルム１は、フリーローラー７を走行し、最後に、
巻き取りローラー６に巻き取られる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、蒸着による蒸着粒
子の凝縮熱及び、真空蒸着源３からの輻射熱により加熱
されたフィルム１は、キャン４により冷却されているも
のの、完全に常温まで冷却されていないため、蒸着後の
フィルムを巻き取る巻き取りローラ６との間に温度差が
生じる。このため、蒸着後のフィルム１が、巻き取りロ
ーラー６に巻き取られる際に、巻き取りローラー６表面
で、急冷され、収縮し、シワを発生し、量産の場合、全
てが不良となるという課題を有していた。

本発明は上記課題に鑑み、蒸着後のフィルムと巻き取り
ローラーとの温度差を少なくすることにより、巻き取り
の際のフィルムの収縮をなくし、シワの発生を防止し、
量産の場合に製品の歩留りを向上させる蒸着装置を提供
するものである。

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために、本発明の蒸着装置は、巻
き取りローラーを加熱制御する制御手段を設けたもので
ある。

作　　用 本発明は上記した構成によって、巻き取りローラーが加
熱制御されるため、蒸着後のフィルムとの温度差が、少
なくなり、巻き取υローラー表面でのフィルムの、収縮
がなくなり、巻き取シの際のシワを防止することができ
る。その結果、量産の場合に製品の歩留９が向上する。

実施例 以下本発明の一実施例の蒸着装置について、図面を参照
しながら説明する。

第１図は本発明の一実施例における蒸着装置の概略断面
図を示す。第１図において１０１は蒸着により膜が堆積
されるフィルム、１０２は蒸着材料、１０３は蒸着材料
１０２を溶融し、蒸発させる抵抗加熱、高周波誘導加熱
、電子ビーム等の真空蒸着源、１０４は真空蒸発源１０
３に対向して設けられ、内部に冷却液が循環し、フィル
ム蒸着面を冷却１回転するキャン、１０５はフィルム１
ｏ１をキャン１０４へ供給する供給ローラー１０６は蒸
着されたフィルム１０１を巻き取シ、さらに温水循環器
１１１によりローラー表面が加熱制御される巻き取りロ
ーラー、１０７はフィルム１０１の巻き取シ及び走行を
補助するフリーローラー、１０８は真空チャンバー、１
０９は真空チャンバー１０８内を真空排気するための真
空排気ポンプ、１１０は巻き取りローラー１０６と温水
循環器１１１との間で温水を循環させる配管である。

以上のように構成された蒸着装置について、以下第１図
を用いてその動作を説明する。

まず、真空チャンバー１０８内をロータリーポンプ９油
拡散ポンプ、クライオポンプ等の真空排気ポンプ１０９
によυ５Ｘ１０　　Ｔｏｒｒ程度の真空度まで真空排気
する。次に供給ローラー１ｏ６゜キャン１０４９巻き取
９０−ラー１０６を回転する。フィルム１ｏ１は、供給
ローラー１０Ｓ　、　７リーローラー１０７．キャン１
０４．フリーローラー１０７と走行し、巻き取りローラ
ー１０６に巻き取られる。次に、抵抗加熱・高周波誘導
加熱、電子ビーム等の真空蒸着源１０３により、蒸着材
料１０２が溶融され蒸発する。蒸発した粒子が飛散し、
対向するキャン１０４上を走行しているフィルム１０１
表面上に堆積し膜が形成される。このとき、温水循　　
　　　　　　、環器１１１によシ、配管１１ｏを通して
、巻き取りローラー１０６内に温水を循環し、ローラー
表面を６０℃まで加熱制御する。よって、蒸着後のフィ
ルム１０１は、５０℃まで加熱制御された巻き取りロー
ラーに巻き取られる。

以上のように本実施例によれば、巻き取りローラー１０
６の表面温度を温水循環器１１１により加熱制御するこ
とにより、蒸着時の蒸着粒子の凝縮熱及び、蒸着源１０
３からの輻射熱により加熱され、完全に冷却されていな
い１００℃程度のフィルム１０１との温度差を少なくす
ることができる。よって巻き取りローラー１０６表面で
のフィルム１０１の急激な収縮がなくなシ、巻き取りの
際のシワを防止することができ、量産の場合の製品の歩
留りを向上することができる。

なお、本実施例において巻き取９０−ラー１０１のみを
加熱制御するとしたが、蒸着後のフリーローラー１０７
も同時に加熱制御してもよい。

更に、巻き取りローラ１ｏ１を加熱制御する手段として
は温水循環器１１１以外のものを用いてもよい。

発明の効果 以上のように本発明によれば、巻き取りローラー表面温
度を加熱制御することにより、蒸着後のフィルムとの温
度差を少なくすることによりフィルムの収縮をなくし、
巻き取りローラーにシワなく巻き取ることができ、量産
の場合に製品の歩留りを向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における蒸着装置の概略断面図
、第２図は従来の蒸着装置の概略断面図である。 １０１・・・・・・フィルム、１０２・・・・・・蒸着
材料、１０３・・・…蒸着源、１０４・・・・・・キャ
ン、１０５・・・・・・供給ローラー、１０６・・・・
・・巻き取９０−ラー１０７・・・・・・フリーローフ
−１１１１・・・・・・温水循環器。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名ｌ０
１−フィル、乙、 Ｈｏｚ−、＠　、！夛粁 第２図 １０Ｆ−・−（矢矛訃ロー２−

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空状態の維持が可能な真空チャンバーと、真空
   チャンバー内を減圧雰囲気にするための真空ポンプと、
   蒸着材料を備えた少なくとも１個の真空蒸着源と、蒸着
   源に対向して設けられ、フィルム蒸着面を冷却し、回転
   するキャンと、フィルムをキャンへ供給する供給ローラ
   ーと蒸着されたフィルムを巻き取る巻き取りローラーと
   、フィルムの巻き取り及び走行を補助するフリーローラ
   ーとをもつフィルム蒸着装置において、巻き取りローラ
   ーを加熱制御する加熱制御手段を設けたことを特徴とす
   る蒸着装置。
2. （２）加熱制御手段が、温水循環器である請求項１記載
   の蒸着装置。