JP2001234335A - 蒸着装置 - Google Patents
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- JP2001234335A JP2001234335A JP2000039815A JP2000039815A JP2001234335A JP 2001234335 A JP2001234335 A JP 2001234335A JP 2000039815 A JP2000039815 A JP 2000039815A JP 2000039815 A JP2000039815 A JP 2000039815A JP 2001234335 A JP2001234335 A JP 2001234335A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機被膜の原料材料を用い、被コーティング
物の表面に真空中で蒸着膜を形成する装置であって、蒸
発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少なくでき
る蒸着装置を提供する。 【解決手段】 有機被膜の原料材料11を収容し、一方
に開口部を有する蒸発管4と、この蒸発管4を加温する
ヒータ6と、蒸着槽を備える装置であって、上記蒸発管
4の管壁3がステンレスより熱伝導度の高い材料で形成
されている、または、蒸発管4の管壁3が、内側にステ
ンレス又は鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にス
テンレスより熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形
成している。
物の表面に真空中で蒸着膜を形成する装置であって、蒸
発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少なくでき
る蒸着装置を提供する。 【解決手段】 有機被膜の原料材料11を収容し、一方
に開口部を有する蒸発管4と、この蒸発管4を加温する
ヒータ6と、蒸着槽を備える装置であって、上記蒸発管
4の管壁3がステンレスより熱伝導度の高い材料で形成
されている、または、蒸発管4の管壁3が、内側にステ
ンレス又は鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にス
テンレスより熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形
成している。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機被膜の原料材
料を用い、電子部品等の被コーティング物の表面に真空
中で蒸着膜を形成する蒸着装置に関するものである。
料を用い、電子部品等の被コーティング物の表面に真空
中で蒸着膜を形成する蒸着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体装置等の電子部品の表面に、絶縁
性、耐熱性が良好なポリイミド被膜等の有機被膜をコー
ティングするため、真空中で蒸着膜を形成する蒸着装置
が利用されている(例えば、特開平8−13136号公
報等)。図7に、2種の有機被膜の原料材料11を収容
し、一方に開口部を有する蒸発管14と、この蒸発管1
4を加温するヒータ6と、収納した被コーティング物1
に蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽10を
備える蒸着装置を示す。上記蒸着装置を用いて蒸着膜を
形成する方法は、被コーティング物1を収容した網状の
バレル2を蒸着槽10内に収納すると共に、2種の原料
材料11を投入した蒸発管4を導入管5に装着し、次い
で、上記蒸着槽10内を真空ポンプ15を稼動させて、
所定の真空度になるまで排気すると共に、蒸着槽10を
加熱し被コーティング物1を加温する。その後、蒸発管
4に投入された原料材料11をヒータ6で加熱し、導入
管5を介して原料材料11の原料蒸気を蒸着槽10内に
導入し、モータ16によって軸回転するバレル2内の被
コーティング物1の表面に、上記原料蒸気を蒸着するこ
とで有機の蒸着膜を形成する。
性、耐熱性が良好なポリイミド被膜等の有機被膜をコー
ティングするため、真空中で蒸着膜を形成する蒸着装置
が利用されている(例えば、特開平8−13136号公
報等)。図7に、2種の有機被膜の原料材料11を収容
し、一方に開口部を有する蒸発管14と、この蒸発管1
4を加温するヒータ6と、収納した被コーティング物1
に蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽10を
備える蒸着装置を示す。上記蒸着装置を用いて蒸着膜を
形成する方法は、被コーティング物1を収容した網状の
バレル2を蒸着槽10内に収納すると共に、2種の原料
材料11を投入した蒸発管4を導入管5に装着し、次い
で、上記蒸着槽10内を真空ポンプ15を稼動させて、
所定の真空度になるまで排気すると共に、蒸着槽10を
加熱し被コーティング物1を加温する。その後、蒸発管
4に投入された原料材料11をヒータ6で加熱し、導入
管5を介して原料材料11の原料蒸気を蒸着槽10内に
導入し、モータ16によって軸回転するバレル2内の被
コーティング物1の表面に、上記原料蒸気を蒸着するこ
とで有機の蒸着膜を形成する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記蒸発管14は、そ
の取扱い易さから剛性を有するステンレスを材料とする
ものが、汎用されている。また、上記蒸発管14を加温
するヒータ6は、図8に示すように、蒸発管14の開口
部と同じ側に開口部を有し、蒸発管14を導入管5の差
込口7に挿着した後に、蒸発管14の外側面12を覆う
ように配設されるトンネルヒータ6aと称されるもの
が、汎用されている。なお、図中の符号8は、導入管5
の壁面を加温している第2のヒータである。
の取扱い易さから剛性を有するステンレスを材料とする
ものが、汎用されている。また、上記蒸発管14を加温
するヒータ6は、図8に示すように、蒸発管14の開口
部と同じ側に開口部を有し、蒸発管14を導入管5の差
込口7に挿着した後に、蒸発管14の外側面12を覆う
ように配設されるトンネルヒータ6aと称されるもの
が、汎用されている。なお、図中の符号8は、導入管5
の壁面を加温している第2のヒータである。
【0004】上記トンネルヒータ6aは、2種の原料材
料11を同時に加熱するのに、取扱いが簡単ではある
が、しかし、上記トンネルヒータ6aを取付ける際に、
蒸発管14の外側面12とトンネルヒータ6aとの間隔
を一定とすることが難しく、蒸発管14との間隔にばら
つきが生じる。そのため、蒸発管14に収容した原料材
料11の温度分布もばらつくこととなるため、原料材料
11の蒸発速度が変動する。上記原料材料11の蒸発速
度が変動すると、この蒸着膜の膜厚みや膜強度が不均一
になる恐れがある。上記蒸着膜は、絶縁性、耐熱性等の
品質確保のため、膜厚みや膜強度のより高水準での安定
が求められている。
料11を同時に加熱するのに、取扱いが簡単ではある
が、しかし、上記トンネルヒータ6aを取付ける際に、
蒸発管14の外側面12とトンネルヒータ6aとの間隔
を一定とすることが難しく、蒸発管14との間隔にばら
つきが生じる。そのため、蒸発管14に収容した原料材
料11の温度分布もばらつくこととなるため、原料材料
11の蒸発速度が変動する。上記原料材料11の蒸発速
度が変動すると、この蒸着膜の膜厚みや膜強度が不均一
になる恐れがある。上記蒸着膜は、絶縁性、耐熱性等の
品質確保のため、膜厚みや膜強度のより高水準での安定
が求められている。
【0005】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、蒸発管に収容した原料材
料の蒸発速度の変動を少なくできる蒸着装置を提供する
ことにある。
で、その目的とするところは、蒸発管に収容した原料材
料の蒸発速度の変動を少なくできる蒸着装置を提供する
ことにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の蒸着装置
は、有機被膜の原料材料を収容し、一方に開口部を有す
る蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータと、収納した
被コーティング物に、真空中で加熱蒸発させた上記原料
物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽と
を備える蒸着装置において、上記蒸発管の管壁がステン
レスより熱伝導度の高い材料で形成されていることを特
徴とする。上記によって、蒸発管が熱伝導度の高い材料
で形成されているので、蒸発管とヒータとの間隔にばら
つきが生じても、蒸発管の管壁の温度のばらつきを少な
くすることができるので、その結果、蒸発管に収容した
原料材料の蒸発速度の変動を少なくできるものである。
は、有機被膜の原料材料を収容し、一方に開口部を有す
る蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータと、収納した
被コーティング物に、真空中で加熱蒸発させた上記原料
物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽と
を備える蒸着装置において、上記蒸発管の管壁がステン
レスより熱伝導度の高い材料で形成されていることを特
徴とする。上記によって、蒸発管が熱伝導度の高い材料
で形成されているので、蒸発管とヒータとの間隔にばら
つきが生じても、蒸発管の管壁の温度のばらつきを少な
くすることができるので、その結果、蒸発管に収容した
原料材料の蒸発速度の変動を少なくできるものである。
【0007】請求項2記載の蒸着装置は、有機被膜の原
料材料を収容し、一方に開口部を有する蒸発管と、この
蒸発管を加温するヒータと、収納した被コーティング物
に、真空中で加熱蒸発させた上記原料物質を蒸着し、重
合させて有機被膜を形成する蒸着槽とを備える蒸着装置
において、上記蒸発管の管壁が、内側にステンレス又は
鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にステンレスよ
り熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形成している
ことを特徴とする。上記によって、上記蒸着装置は、上
記蒸発管の管壁が、内側に剛性層を外側に熱伝導層を有
しているので、剛性層で蒸発管の強度を保持し、熱伝導
層で蒸発管の管壁の温度にばらつきを少なくするように
できるものである。その結果、上記蒸着装置は、蒸発管
とヒータとの間隔にばらつきが生じても、蒸発管の管壁
の温度のばらつきが少ないので、蒸発管に収容した原料
材料の蒸発速度の変動を少なくできるものである。
料材料を収容し、一方に開口部を有する蒸発管と、この
蒸発管を加温するヒータと、収納した被コーティング物
に、真空中で加熱蒸発させた上記原料物質を蒸着し、重
合させて有機被膜を形成する蒸着槽とを備える蒸着装置
において、上記蒸発管の管壁が、内側にステンレス又は
鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にステンレスよ
り熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形成している
ことを特徴とする。上記によって、上記蒸着装置は、上
記蒸発管の管壁が、内側に剛性層を外側に熱伝導層を有
しているので、剛性層で蒸発管の強度を保持し、熱伝導
層で蒸発管の管壁の温度にばらつきを少なくするように
できるものである。その結果、上記蒸着装置は、蒸発管
とヒータとの間隔にばらつきが生じても、蒸発管の管壁
の温度のばらつきが少ないので、蒸発管に収容した原料
材料の蒸発速度の変動を少なくできるものである。
【0008】請求項3記載の蒸着装置は、請求項1又は
請求項2記載の蒸着装置において、上記ステンレスより
熱伝導度の高い材料が、銅、アルミニウム、銀、チタン
のうち少なくとも一つであることを特徴とする。
請求項2記載の蒸着装置において、上記ステンレスより
熱伝導度の高い材料が、銅、アルミニウム、銀、チタン
のうち少なくとも一つであることを特徴とする。
【0009】請求項4記載の蒸着装置は、請求項1乃至
請求項3いずれか記載の蒸着装置において、上記ヒータ
が、蒸発管の開口部と同じ側に開口部を有し、蒸発管の
外側を覆う形状のものであって、上記蒸発管の管壁の外
側と、上記ヒータの内側との間隙に、この間隙を所定の
距離に維持する支持治具を備えていることを特徴とす
る。上記によって、ヒータと蒸発管の管壁との間隔を一
定にするので、管壁の温度のばらつきをより少なくする
ことができるものである。
請求項3いずれか記載の蒸着装置において、上記ヒータ
が、蒸発管の開口部と同じ側に開口部を有し、蒸発管の
外側を覆う形状のものであって、上記蒸発管の管壁の外
側と、上記ヒータの内側との間隙に、この間隙を所定の
距離に維持する支持治具を備えていることを特徴とす
る。上記によって、ヒータと蒸発管の管壁との間隔を一
定にするので、管壁の温度のばらつきをより少なくする
ことができるものである。
【0010】請求項5記載の蒸着装置は、請求項1乃至
請求項4いずれか記載の蒸着装置において、上記蒸発管
が導入管を介して蒸着槽に取付けられ、上記蒸発管を加
温する第1のヒータと、導入管を加温する第2のヒータ
を備えるものであって、上記第1のヒータは、上記蒸発
管の開口部と同じ側に開口部を有し、蒸発管の外側を覆
う形状のものであり、上記第2のヒータは、導入管に接
してこの導入管の外側を加熱するものであり、さらに、
上記第1のヒータの開口部の周壁と第2のヒータの蒸発
管側とを覆う断熱層を有することを特徴とする。上記に
よって、第1のヒータの開口部から放熱する熱量を抑え
ることができるので、蒸発管の開口部からの距離によっ
て生じる温度のばらつきをより少なくすることができる
ものである。
請求項4いずれか記載の蒸着装置において、上記蒸発管
が導入管を介して蒸着槽に取付けられ、上記蒸発管を加
温する第1のヒータと、導入管を加温する第2のヒータ
を備えるものであって、上記第1のヒータは、上記蒸発
管の開口部と同じ側に開口部を有し、蒸発管の外側を覆
う形状のものであり、上記第2のヒータは、導入管に接
してこの導入管の外側を加熱するものであり、さらに、
上記第1のヒータの開口部の周壁と第2のヒータの蒸発
管側とを覆う断熱層を有することを特徴とする。上記に
よって、第1のヒータの開口部から放熱する熱量を抑え
ることができるので、蒸発管の開口部からの距離によっ
て生じる温度のばらつきをより少なくすることができる
ものである。
【0011】請求項6記載の蒸着装置は、請求項1乃至
請求項3いずれか記載の蒸着装置において、上記ヒータ
が、蒸発管の管壁に接して、管壁の全体を加熱するもの
であることを特徴とする。上記によって、蒸発管の管壁
の全体がヒータに接して加熱されるので、蒸発管の温度
のばらつきがより少なくすることができるものである。
請求項3いずれか記載の蒸着装置において、上記ヒータ
が、蒸発管の管壁に接して、管壁の全体を加熱するもの
であることを特徴とする。上記によって、蒸発管の管壁
の全体がヒータに接して加熱されるので、蒸発管の温度
のばらつきがより少なくすることができるものである。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の蒸着装置の概略を図2に
示す装置に基づいて説明する。上記蒸着装置は、2種の
有機被膜の原料材料11を収容し、一方に開口部を有す
る蒸発管4と、この蒸発管4を加温するヒータ6と、収
納した被コーティング物1に蒸着し、重合させて有機被
膜を形成する蒸着槽10を備えるものである。上記蒸着
装置は、2種の原料物質11としてテトラカルボン酸二
無水物である粉末状の無水ピロメリット酸及びジアミン
である粉末状のジアミノジフェニルエーテルをそれぞれ
加熱蒸発させて、電子部品等の被コーティング物1の表
面に真空中で蒸着させることにより蒸着膜としてポリア
ミック酸被膜を形成するものである。
示す装置に基づいて説明する。上記蒸着装置は、2種の
有機被膜の原料材料11を収容し、一方に開口部を有す
る蒸発管4と、この蒸発管4を加温するヒータ6と、収
納した被コーティング物1に蒸着し、重合させて有機被
膜を形成する蒸着槽10を備えるものである。上記蒸着
装置は、2種の原料物質11としてテトラカルボン酸二
無水物である粉末状の無水ピロメリット酸及びジアミン
である粉末状のジアミノジフェニルエーテルをそれぞれ
加熱蒸発させて、電子部品等の被コーティング物1の表
面に真空中で蒸着させることにより蒸着膜としてポリア
ミック酸被膜を形成するものである。
【0013】上記蒸着装置の蒸着槽10は、その槽内に
形状が円筒で回転軸13を有する網状のバレル2を備え
ており、このバレル2は、その中に多数の被コーティン
グ物1を収容すると共に、回転軸13に連動したモータ
16を稼動することによって軸回転する。また、上記蒸
着槽10は、その槽内を所定の真空度に調整する真空ポ
ンプ15が接続されている。
形状が円筒で回転軸13を有する網状のバレル2を備え
ており、このバレル2は、その中に多数の被コーティン
グ物1を収容すると共に、回転軸13に連動したモータ
16を稼動することによって軸回転する。また、上記蒸
着槽10は、その槽内を所定の真空度に調整する真空ポ
ンプ15が接続されている。
【0014】上記蒸着装置は、蒸発管4に投入された原
料物質11をヒータ6で加熱し、蒸着槽10の側面部に
取付けられた導入管5を介して原料物質11の原料蒸気
を蒸着槽10内に導入している。上記導入管5は、上記
蒸着槽10内に、複数個の導入口5aが管の長手方向に
それぞれ列設され、この導入口5aから原料蒸気を蒸着
槽10内に導入している。
料物質11をヒータ6で加熱し、蒸着槽10の側面部に
取付けられた導入管5を介して原料物質11の原料蒸気
を蒸着槽10内に導入している。上記導入管5は、上記
蒸着槽10内に、複数個の導入口5aが管の長手方向に
それぞれ列設され、この導入口5aから原料蒸気を蒸着
槽10内に導入している。
【0015】上記蒸着装置は、被コーティング物1を収
容した網状のバレル2を、蒸着槽10内に収納し、この
バレル2を軸回転させながら、蒸着槽10内を真空ポン
プ15を稼動させて、所定の真空度にした後に、蒸発管
4に投入された原料物質11をヒータで加熱し、導入管
5を介して原料物質11の原料蒸気を蒸着槽10内に導
入し、被コーティング物1の表面に、ポリアミド酸被膜
を形成する。なお、ポリアミック酸被膜を形成した被コ
ーティング物1は、この蒸着装置から取出された後に、
さらに、ポリアミック酸被膜を加熱処理することによ
り、ポリイミドの有機被膜が形成される。
容した網状のバレル2を、蒸着槽10内に収納し、この
バレル2を軸回転させながら、蒸着槽10内を真空ポン
プ15を稼動させて、所定の真空度にした後に、蒸発管
4に投入された原料物質11をヒータで加熱し、導入管
5を介して原料物質11の原料蒸気を蒸着槽10内に導
入し、被コーティング物1の表面に、ポリアミド酸被膜
を形成する。なお、ポリアミック酸被膜を形成した被コ
ーティング物1は、この蒸着装置から取出された後に、
さらに、ポリアミック酸被膜を加熱処理することによ
り、ポリイミドの有機被膜が形成される。
【0016】なお、本発明の蒸着装置で形成する有機被
膜は、上記ポリイミドの被膜以外にも、例えば、ポリパ
ラキシレン、ポリ尿素等の被膜を例示することができ
る。
膜は、上記ポリイミドの被膜以外にも、例えば、ポリパ
ラキシレン、ポリ尿素等の被膜を例示することができ
る。
【0017】次に、請求項1記載の蒸着装置について説
明する。図1は請求項1記載の蒸着装置を説明した要部
の概略図である。
明する。図1は請求項1記載の蒸着装置を説明した要部
の概略図である。
【0018】上記蒸着装置は、上記蒸発管4の管壁3が
ステンレスより熱伝導度の高い材料で形成されているも
のである。上記ステンレスより熱伝導度の高い材料とし
ては、銅、アルミニウム、銀、チタン等が例示される。
また、上記蒸着装置は、蒸発管4を加温するヒータ6を
備え、このヒータ6は、蒸発管4の開口部と同じ側に開
口部を有し、蒸発管4を導入管5の差込口7に挿着した
後に、蒸発管4の外側面12を覆うように配設されるト
ンネルヒータ6aと称されるものである。なお、図中の
符号8は、導入管5の壁面に接してこの導入管5の外側
を加熱する第2のヒータである。この第2のヒータとし
ては、マントルヒータが例示される。
ステンレスより熱伝導度の高い材料で形成されているも
のである。上記ステンレスより熱伝導度の高い材料とし
ては、銅、アルミニウム、銀、チタン等が例示される。
また、上記蒸着装置は、蒸発管4を加温するヒータ6を
備え、このヒータ6は、蒸発管4の開口部と同じ側に開
口部を有し、蒸発管4を導入管5の差込口7に挿着した
後に、蒸発管4の外側面12を覆うように配設されるト
ンネルヒータ6aと称されるものである。なお、図中の
符号8は、導入管5の壁面に接してこの導入管5の外側
を加熱する第2のヒータである。この第2のヒータとし
ては、マントルヒータが例示される。
【0019】上記蒸着装置は、蒸発管4が銅等の熱伝導
度の高い材料で形成されているので、上記トンネルヒー
タ6aを取付ける際に、蒸発管4の外側面12とトンネ
ルヒータ6aとの間隔にばらつきが生じても、上記蒸発
管4の管壁3の温度のばらつきを少なくすることがで
き、その結果、蒸発管4に収容した原料材料11の蒸発
速度の変動を少なくできる。
度の高い材料で形成されているので、上記トンネルヒー
タ6aを取付ける際に、蒸発管4の外側面12とトンネ
ルヒータ6aとの間隔にばらつきが生じても、上記蒸発
管4の管壁3の温度のばらつきを少なくすることがで
き、その結果、蒸発管4に収容した原料材料11の蒸発
速度の変動を少なくできる。
【0020】因みに、長さ300mmの銅製の蒸発管4
と従来のステンレス製の蒸発管14を用いて温度を測定
した。粉末状の無水ピロメリット酸を蒸発皿9に入れ、
蒸発管4,14に収容した後に、トンネルヒータ6aで
覆い加熱し、開口部より50mmのb点と、開口部より
250mmのa点の蒸発管の管壁の内側の温度を測定し
た。従来のステンレス製の蒸発管を用いたものは、a点
の温度が248℃で、b点の温度が207℃と差が41
℃あったのに対し、銅製の蒸発管を用いたものは、a点
の温度が247℃で、b点の温度が228℃と差が19
℃と、蒸発管の管壁の温度にばらつきが少ないものであ
った。その結果、蒸発管に収容した無水ピロメリット酸
の蒸発速度のばらつきを少なくできることが確認でき
た。
と従来のステンレス製の蒸発管14を用いて温度を測定
した。粉末状の無水ピロメリット酸を蒸発皿9に入れ、
蒸発管4,14に収容した後に、トンネルヒータ6aで
覆い加熱し、開口部より50mmのb点と、開口部より
250mmのa点の蒸発管の管壁の内側の温度を測定し
た。従来のステンレス製の蒸発管を用いたものは、a点
の温度が248℃で、b点の温度が207℃と差が41
℃あったのに対し、銅製の蒸発管を用いたものは、a点
の温度が247℃で、b点の温度が228℃と差が19
℃と、蒸発管の管壁の温度にばらつきが少ないものであ
った。その結果、蒸発管に収容した無水ピロメリット酸
の蒸発速度のばらつきを少なくできることが確認でき
た。
【0021】次に、請求項2記載の蒸着装置について説
明する。図3は請求項2記載の蒸着装置を説明した要部
の概略図である。請求項1記載の蒸着装置と異なるとこ
ろのみ説明する。
明する。図3は請求項2記載の蒸着装置を説明した要部
の概略図である。請求項1記載の蒸着装置と異なるとこ
ろのみ説明する。
【0022】上記蒸着装置は、上記蒸発管4の管壁3
が、内側にステンレス又は鉄よりなる剛性層3aと、こ
の剛性層3aの外側にステンレスより熱伝導度の高い材
料からなる熱伝導層3bを形成しているものである。上
記ステンレスより熱伝導度の高い材料としては、上記同
様に銅、アルミニウム、銀、チタン等が例示される。上
記蒸発管4は、例えば、ステンレス又は鉄よりなる管を
作製し、この外面を銅、アルミニウム、銀、チタン等の
金属箔で覆うものでもよい。
が、内側にステンレス又は鉄よりなる剛性層3aと、こ
の剛性層3aの外側にステンレスより熱伝導度の高い材
料からなる熱伝導層3bを形成しているものである。上
記ステンレスより熱伝導度の高い材料としては、上記同
様に銅、アルミニウム、銀、チタン等が例示される。上
記蒸発管4は、例えば、ステンレス又は鉄よりなる管を
作製し、この外面を銅、アルミニウム、銀、チタン等の
金属箔で覆うものでもよい。
【0023】上述の請求項1記載の蒸着装置のように、
銅やアルミニウムで蒸発管4を形成すると銅やアルミニ
ウムは剛性が低いため、蒸発管4の強度を得るに管壁3
を厚くする必要がある。上記蒸着装置は、上記蒸発管4
の管壁3が、内側に剛性層3aを外側に熱伝導層3bを
有しているので、剛性層3aで蒸発管4の強度を保持
し、熱伝導層3bで蒸発管4の管壁3の温度にばらつき
を少なくするようにしたものである。
銅やアルミニウムで蒸発管4を形成すると銅やアルミニ
ウムは剛性が低いため、蒸発管4の強度を得るに管壁3
を厚くする必要がある。上記蒸着装置は、上記蒸発管4
の管壁3が、内側に剛性層3aを外側に熱伝導層3bを
有しているので、剛性層3aで蒸発管4の強度を保持
し、熱伝導層3bで蒸発管4の管壁3の温度にばらつき
を少なくするようにしたものである。
【0024】因みに、上記同様に、長さ300mmのス
テンレス製の管にアルミニウム箔で覆った蒸発管4と従
来のステンレス製の蒸発管14を用いて温度を測定し
た。粉末状の無水ピロメリット酸を蒸発皿9に入れ、蒸
発管4,14に収容した後に、トンネルヒータ6aで覆
い加熱し、開口部より50mmのb点と、開口部より2
50mmのa点の蒸発管の管壁の内側の温度を測定し
た。従来のステンレス製の蒸発管14を用いたものは、
a点の温度が248℃で、b点の温度が207℃と差が
41℃あったのに対し、ステンレス製の管にアルミニウ
ム箔で覆った蒸発管4を用いたものは、a点の温度が2
62℃で、b点の温度が230℃と差が32℃と、蒸発
管の管壁の温度にばらつきが少ないものであった。その
結果、蒸発管に収容した無水ピロメリット酸の蒸発速度
のばらつきを少なくできることが確認できた。
テンレス製の管にアルミニウム箔で覆った蒸発管4と従
来のステンレス製の蒸発管14を用いて温度を測定し
た。粉末状の無水ピロメリット酸を蒸発皿9に入れ、蒸
発管4,14に収容した後に、トンネルヒータ6aで覆
い加熱し、開口部より50mmのb点と、開口部より2
50mmのa点の蒸発管の管壁の内側の温度を測定し
た。従来のステンレス製の蒸発管14を用いたものは、
a点の温度が248℃で、b点の温度が207℃と差が
41℃あったのに対し、ステンレス製の管にアルミニウ
ム箔で覆った蒸発管4を用いたものは、a点の温度が2
62℃で、b点の温度が230℃と差が32℃と、蒸発
管の管壁の温度にばらつきが少ないものであった。その
結果、蒸発管に収容した無水ピロメリット酸の蒸発速度
のばらつきを少なくできることが確認できた。
【0025】図4は、請求項4記載の蒸着装置を説明し
た要部の概略図である。また、図中の蒸発管4の管壁3
は、ステンレスより熱伝導度の高い材料のみで形成した
ものでも、内側に剛性層と、外側に熱伝導層を形成した
ものでもよい。上記蒸着装置と異なるところのみ説明す
る。
た要部の概略図である。また、図中の蒸発管4の管壁3
は、ステンレスより熱伝導度の高い材料のみで形成した
ものでも、内側に剛性層と、外側に熱伝導層を形成した
ものでもよい。上記蒸着装置と異なるところのみ説明す
る。
【0026】上記蒸着装置は、ヒータ6として上述のト
ンネルヒータ6aを備えると共に、上記蒸発管4の管壁
3の外側と、上記ヒータ6の内側との間隙17に、この
間隙17を所定の距離に維持する支持治具18を備え
る。上記支持治具18は、ヒータ6の内側に接する面積
を小さくするものが、局部的な加熱を防ぐので好まし
い。上記支持治具18の形状は、円錐や三角錐のものが
挙げられ、例えば、断面視三角形の底面を蒸発管4の外
側に、その頂点をヒータ6の内側に接するように配設す
ることが望ましい。上記蒸着装置は、ヒータ6と蒸発管
4の管壁3との間隔を一定にするので、管壁3の温度の
ばらつきをより少なくすることができるものである。
ンネルヒータ6aを備えると共に、上記蒸発管4の管壁
3の外側と、上記ヒータ6の内側との間隙17に、この
間隙17を所定の距離に維持する支持治具18を備え
る。上記支持治具18は、ヒータ6の内側に接する面積
を小さくするものが、局部的な加熱を防ぐので好まし
い。上記支持治具18の形状は、円錐や三角錐のものが
挙げられ、例えば、断面視三角形の底面を蒸発管4の外
側に、その頂点をヒータ6の内側に接するように配設す
ることが望ましい。上記蒸着装置は、ヒータ6と蒸発管
4の管壁3との間隔を一定にするので、管壁3の温度の
ばらつきをより少なくすることができるものである。
【0027】図5は、請求項5記載の蒸着装置を説明し
た要部の概略図である。上記蒸着装置と異なるところの
み説明する。
た要部の概略図である。上記蒸着装置と異なるところの
み説明する。
【0028】上記蒸着装置は、蒸発管4の外側を覆う形
状の第1のヒータ6として、トンネルヒータ6aと、導
入管5の壁面に接して、加温している第2のヒータを備
えると共に、上記第1のヒータ6の開口部の周壁19と
第2のヒータの蒸発管側とを覆う断熱層20を有するも
のである。上記断熱層20としては、例えば、ガラスウ
ール等の耐熱性を有する布、ステンレスが挙げられる。
上記蒸着装置は、断熱層20を有するので、ヒータ6の
開口部から放熱する熱量を抑えることができるので、蒸
発管4の開口部からの距離によって生じる温度のばらつ
きをより少なくすることができるものである。
状の第1のヒータ6として、トンネルヒータ6aと、導
入管5の壁面に接して、加温している第2のヒータを備
えると共に、上記第1のヒータ6の開口部の周壁19と
第2のヒータの蒸発管側とを覆う断熱層20を有するも
のである。上記断熱層20としては、例えば、ガラスウ
ール等の耐熱性を有する布、ステンレスが挙げられる。
上記蒸着装置は、断熱層20を有するので、ヒータ6の
開口部から放熱する熱量を抑えることができるので、蒸
発管4の開口部からの距離によって生じる温度のばらつ
きをより少なくすることができるものである。
【0029】図6は、請求項6記載の蒸着装置を説明し
た要部の概略図である。上記蒸着装置と異なるところの
み説明する。
た要部の概略図である。上記蒸着装置と異なるところの
み説明する。
【0030】上記蒸着装置は、上記ヒータ6が、蒸発管
4の管壁3に接して、管壁3の全体を加熱するものであ
る。上記管壁3の全体を加熱するものとしては、マント
ルヒータ6bが例示される。上記蒸着装置は、蒸発管4
の管壁3の全体がヒータ6bに接して加熱されるので、
蒸発管4の温度のばらつきがより少なくすることができ
るものである。
4の管壁3に接して、管壁3の全体を加熱するものであ
る。上記管壁3の全体を加熱するものとしては、マント
ルヒータ6bが例示される。上記蒸着装置は、蒸発管4
の管壁3の全体がヒータ6bに接して加熱されるので、
蒸発管4の温度のばらつきがより少なくすることができ
るものである。
【0031】
【発明の効果】請求項1記載の蒸着装置は、蒸発管が熱
伝導度の高い材料で形成されているので、蒸発管とヒー
タとの間隔にばらつきが生じても、蒸発管の管壁の温度
にばらつきが少なくできる。その結果、上記蒸着装置
は、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少な
くすることができる。
伝導度の高い材料で形成されているので、蒸発管とヒー
タとの間隔にばらつきが生じても、蒸発管の管壁の温度
にばらつきが少なくできる。その結果、上記蒸着装置
は、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少な
くすることができる。
【0032】請求項2記載の蒸着装置は、上記蒸発管の
管壁が、内側に剛性層を外側に熱伝導層を有しているの
で、剛性層で蒸発管の強度を保持し、熱伝導層で蒸発管
の管壁の温度にばらつきを少なくするようにする。その
結果、上記蒸着装置は、蒸発管とヒータとの間隔にばら
つきが生じても、蒸発管の管壁の温度にばらつきが少な
くし、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少
なくできる。
管壁が、内側に剛性層を外側に熱伝導層を有しているの
で、剛性層で蒸発管の強度を保持し、熱伝導層で蒸発管
の管壁の温度にばらつきを少なくするようにする。その
結果、上記蒸着装置は、蒸発管とヒータとの間隔にばら
つきが生じても、蒸発管の管壁の温度にばらつきが少な
くし、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少
なくできる。
【図1】本発明の請求項1記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図2】本発明に用いられる蒸着装置の一例を説明した
概略図である。
概略図である。
【図3】本発明の請求項2記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図4】本発明の請求項4記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図5】本発明の請求項5記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図6】本発明の請求項6記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図7】従来の蒸着装置の一例を説明した概略図であ
る。
る。
【図8】従来の蒸着装置を説明した要部の概略図であ
る。
る。
1 被コーティング物 2 バレル 3 管壁 3a 剛性層 3b 熱伝導層 4 蒸発管 5 導入管 6 ヒータ 10 蒸着槽 11 原料物質 15 真空ポンプ
Claims (6)
- 【請求項1】 有機被膜の原料材料を収容し、一方に開
口部を有する蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータ
と、収納した被コーティング物に、真空中で加熱蒸発さ
せた上記原料物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成
する蒸着槽とを備える蒸着装置において、上記蒸発管の
管壁がステンレスより熱伝導度の高い材料で形成されて
いることを特徴とする蒸着装置。 - 【請求項2】 有機被膜の原料材料を収容し、一方に開
口部を有する蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータ
と、収納した被コーティング物に、真空中で加熱蒸発さ
せた上記原料物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成
する蒸着槽とを備える蒸着装置において、上記蒸発管の
管壁が、内側にステンレス又は鉄よりなる剛性層と、こ
の剛性層の外側にステンレスより熱伝導度の高い材料か
らなる熱伝導層を形成していることを特徴とする蒸着装
置。 - 【請求項3】 上記ステンレスより熱伝導度の高い材料
が、銅、アルミニウム、銀、チタンのうち少なくとも一
つであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の
蒸着装置。 - 【請求項4】 上記ヒータが、蒸発管の開口部と同じ側
に開口部を有し、蒸発管の外側を覆う形状のものであっ
て、上記蒸発管の管壁の外側と、上記ヒータの内側との
間隙に、この間隙を所定の距離に維持する支持治具を備
えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3いずれ
か記載の蒸着装置。 - 【請求項5】 上記蒸発管が導入管を介して蒸着槽に取
付けられ、上記蒸発管を加温する第1のヒータと、導入
管を加温する第2のヒータを備えるものであって、上記
第1のヒータは、上記蒸発管の開口部と同じ側に開口部
を有し、蒸発管の外側を覆う形状のものであり、上記第
2のヒータは、導入管に接してこの導入管の外側を加熱
するものであり、さらに、上記第1のヒータの開口部の
周壁と第2のヒータの蒸発管側とを覆う断熱層を有する
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4いずれか記載の
蒸着装置。 - 【請求項6】 上記ヒータが、蒸発管の管壁に接して、
管壁の全体を加熱するものであることを特徴とする請求
項1乃至請求項3いずれか記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000039815A JP2001234335A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000039815A JP2001234335A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 蒸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001234335A true JP2001234335A (ja) | 2001-08-31 |
Family
ID=18563321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000039815A Pending JP2001234335A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001234335A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004047452A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造装置 |
JP2006009134A (ja) * | 2003-07-31 | 2006-01-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造装置 |
JP2007084911A (ja) * | 2005-03-23 | 2007-04-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 金属酸化物の蒸着方法、複合材料層の作製方法及び表示装置の製造方法 |
WO2009125497A1 (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 国立大学法人東北大学 | 均熱装置および有機膜成膜装置 |
WO2010035128A2 (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | Applied Materials, Inc. | Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials |
US8110509B2 (en) | 2002-05-17 | 2012-02-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating light emitting devices |
KR101241071B1 (ko) * | 2003-07-31 | 2013-03-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 증착 용기 및 기상 증착 장치 |
WO2015180210A1 (zh) * | 2014-05-28 | 2015-12-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 蒸镀源加热装置 |
-
2000
- 2000-02-17 JP JP2000039815A patent/JP2001234335A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2010035128A2 (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | Applied Materials, Inc. | Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials |
WO2010035128A3 (en) * | 2008-09-29 | 2010-06-17 | Applied Materials, Inc. | Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials |
US8591223B2 (en) | 2008-09-29 | 2013-11-26 | Applied Materials, Inc. | Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials |
RU2538891C2 (ru) * | 2008-09-29 | 2015-01-10 | Эпплайд Материалс, Инк. | Испаритель для органических материалов и способ испарения органических материалов |
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