JP2001234335A - 蒸着装置 - Google Patents
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- JP2001234335A JP2001234335A JP2000039815A JP2000039815A JP2001234335A JP 2001234335 A JP2001234335 A JP 2001234335A JP 2000039815 A JP2000039815 A JP 2000039815A JP 2000039815 A JP2000039815 A JP 2000039815A JP 2001234335 A JP2001234335 A JP 2001234335A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機被膜の原料材料を用い、被コーティング
物の表面に真空中で蒸着膜を形成する装置であって、蒸
発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少なくでき
る蒸着装置を提供する。 【解決手段】 有機被膜の原料材料１１を収容し、一方
に開口部を有する蒸発管４と、この蒸発管４を加温する
ヒータ６と、蒸着槽を備える装置であって、上記蒸発管
４の管壁３がステンレスより熱伝導度の高い材料で形成
されている、または、蒸発管４の管壁３が、内側にステ
ンレス又は鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にス
テンレスより熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形
成している。
物の表面に真空中で蒸着膜を形成する装置であって、蒸
発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少なくでき
る蒸着装置を提供する。 【解決手段】 有機被膜の原料材料１１を収容し、一方
に開口部を有する蒸発管４と、この蒸発管４を加温する
ヒータ６と、蒸着槽を備える装置であって、上記蒸発管
４の管壁３がステンレスより熱伝導度の高い材料で形成
されている、または、蒸発管４の管壁３が、内側にステ
ンレス又は鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にス
テンレスより熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形
成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機被膜の原料材
料を用い、電子部品等の被コーティング物の表面に真空
中で蒸着膜を形成する蒸着装置に関するものである。
料を用い、電子部品等の被コーティング物の表面に真空
中で蒸着膜を形成する蒸着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置等の電子部品の表面に、絶縁
性、耐熱性が良好なポリイミド被膜等の有機被膜をコー
ティングするため、真空中で蒸着膜を形成する蒸着装置
が利用されている（例えば、特開平８−１３１３６号公
報等）。図７に、２種の有機被膜の原料材料１１を収容
し、一方に開口部を有する蒸発管１４と、この蒸発管１
４を加温するヒータ６と、収納した被コーティング物１
に蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽１０を
備える蒸着装置を示す。上記蒸着装置を用いて蒸着膜を
形成する方法は、被コーティング物１を収容した網状の
バレル２を蒸着槽１０内に収納すると共に、２種の原料
材料１１を投入した蒸発管４を導入管５に装着し、次い
で、上記蒸着槽１０内を真空ポンプ１５を稼動させて、
所定の真空度になるまで排気すると共に、蒸着槽１０を
加熱し被コーティング物１を加温する。その後、蒸発管
４に投入された原料材料１１をヒータ６で加熱し、導入
管５を介して原料材料１１の原料蒸気を蒸着槽１０内に
導入し、モータ１６によって軸回転するバレル２内の被
コーティング物１の表面に、上記原料蒸気を蒸着するこ
とで有機の蒸着膜を形成する。
性、耐熱性が良好なポリイミド被膜等の有機被膜をコー
ティングするため、真空中で蒸着膜を形成する蒸着装置
が利用されている（例えば、特開平８−１３１３６号公
報等）。図７に、２種の有機被膜の原料材料１１を収容
し、一方に開口部を有する蒸発管１４と、この蒸発管１
４を加温するヒータ６と、収納した被コーティング物１
に蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽１０を
備える蒸着装置を示す。上記蒸着装置を用いて蒸着膜を
形成する方法は、被コーティング物１を収容した網状の
バレル２を蒸着槽１０内に収納すると共に、２種の原料
材料１１を投入した蒸発管４を導入管５に装着し、次い
で、上記蒸着槽１０内を真空ポンプ１５を稼動させて、
所定の真空度になるまで排気すると共に、蒸着槽１０を
加熱し被コーティング物１を加温する。その後、蒸発管
４に投入された原料材料１１をヒータ６で加熱し、導入
管５を介して原料材料１１の原料蒸気を蒸着槽１０内に
導入し、モータ１６によって軸回転するバレル２内の被
コーティング物１の表面に、上記原料蒸気を蒸着するこ
とで有機の蒸着膜を形成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記蒸発管１４は、そ
の取扱い易さから剛性を有するステンレスを材料とする
ものが、汎用されている。また、上記蒸発管１４を加温
するヒータ６は、図８に示すように、蒸発管１４の開口
部と同じ側に開口部を有し、蒸発管１４を導入管５の差
込口７に挿着した後に、蒸発管１４の外側面１２を覆う
ように配設されるトンネルヒータ６ａと称されるもの
が、汎用されている。なお、図中の符号８は、導入管５
の壁面を加温している第２のヒータである。
の取扱い易さから剛性を有するステンレスを材料とする
ものが、汎用されている。また、上記蒸発管１４を加温
するヒータ６は、図８に示すように、蒸発管１４の開口
部と同じ側に開口部を有し、蒸発管１４を導入管５の差
込口７に挿着した後に、蒸発管１４の外側面１２を覆う
ように配設されるトンネルヒータ６ａと称されるもの
が、汎用されている。なお、図中の符号８は、導入管５
の壁面を加温している第２のヒータである。
【０００４】上記トンネルヒータ６ａは、２種の原料材
料１１を同時に加熱するのに、取扱いが簡単ではある
が、しかし、上記トンネルヒータ６ａを取付ける際に、
蒸発管１４の外側面１２とトンネルヒータ６ａとの間隔
を一定とすることが難しく、蒸発管１４との間隔にばら
つきが生じる。そのため、蒸発管１４に収容した原料材
料１１の温度分布もばらつくこととなるため、原料材料
１１の蒸発速度が変動する。上記原料材料１１の蒸発速
度が変動すると、この蒸着膜の膜厚みや膜強度が不均一
になる恐れがある。上記蒸着膜は、絶縁性、耐熱性等の
品質確保のため、膜厚みや膜強度のより高水準での安定
が求められている。
料１１を同時に加熱するのに、取扱いが簡単ではある
が、しかし、上記トンネルヒータ６ａを取付ける際に、
蒸発管１４の外側面１２とトンネルヒータ６ａとの間隔
を一定とすることが難しく、蒸発管１４との間隔にばら
つきが生じる。そのため、蒸発管１４に収容した原料材
料１１の温度分布もばらつくこととなるため、原料材料
１１の蒸発速度が変動する。上記原料材料１１の蒸発速
度が変動すると、この蒸着膜の膜厚みや膜強度が不均一
になる恐れがある。上記蒸着膜は、絶縁性、耐熱性等の
品質確保のため、膜厚みや膜強度のより高水準での安定
が求められている。
【０００５】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、蒸発管に収容した原料材
料の蒸発速度の変動を少なくできる蒸着装置を提供する
ことにある。
で、その目的とするところは、蒸発管に収容した原料材
料の蒸発速度の変動を少なくできる蒸着装置を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の蒸着装置
は、有機被膜の原料材料を収容し、一方に開口部を有す
る蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータと、収納した
被コーティング物に、真空中で加熱蒸発させた上記原料
物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽と
を備える蒸着装置において、上記蒸発管の管壁がステン
レスより熱伝導度の高い材料で形成されていることを特
徴とする。上記によって、蒸発管が熱伝導度の高い材料
で形成されているので、蒸発管とヒータとの間隔にばら
つきが生じても、蒸発管の管壁の温度のばらつきを少な
くすることができるので、その結果、蒸発管に収容した
原料材料の蒸発速度の変動を少なくできるものである。
は、有機被膜の原料材料を収容し、一方に開口部を有す
る蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータと、収納した
被コーティング物に、真空中で加熱蒸発させた上記原料
物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成する蒸着槽と
を備える蒸着装置において、上記蒸発管の管壁がステン
レスより熱伝導度の高い材料で形成されていることを特
徴とする。上記によって、蒸発管が熱伝導度の高い材料
で形成されているので、蒸発管とヒータとの間隔にばら
つきが生じても、蒸発管の管壁の温度のばらつきを少な
くすることができるので、その結果、蒸発管に収容した
原料材料の蒸発速度の変動を少なくできるものである。
【０００７】請求項２記載の蒸着装置は、有機被膜の原
料材料を収容し、一方に開口部を有する蒸発管と、この
蒸発管を加温するヒータと、収納した被コーティング物
に、真空中で加熱蒸発させた上記原料物質を蒸着し、重
合させて有機被膜を形成する蒸着槽とを備える蒸着装置
において、上記蒸発管の管壁が、内側にステンレス又は
鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にステンレスよ
り熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形成している
ことを特徴とする。上記によって、上記蒸着装置は、上
記蒸発管の管壁が、内側に剛性層を外側に熱伝導層を有
しているので、剛性層で蒸発管の強度を保持し、熱伝導
層で蒸発管の管壁の温度にばらつきを少なくするように
できるものである。その結果、上記蒸着装置は、蒸発管
とヒータとの間隔にばらつきが生じても、蒸発管の管壁
の温度のばらつきが少ないので、蒸発管に収容した原料
材料の蒸発速度の変動を少なくできるものである。
料材料を収容し、一方に開口部を有する蒸発管と、この
蒸発管を加温するヒータと、収納した被コーティング物
に、真空中で加熱蒸発させた上記原料物質を蒸着し、重
合させて有機被膜を形成する蒸着槽とを備える蒸着装置
において、上記蒸発管の管壁が、内側にステンレス又は
鉄よりなる剛性層と、この剛性層の外側にステンレスよ
り熱伝導度の高い材料からなる熱伝導層を形成している
ことを特徴とする。上記によって、上記蒸着装置は、上
記蒸発管の管壁が、内側に剛性層を外側に熱伝導層を有
しているので、剛性層で蒸発管の強度を保持し、熱伝導
層で蒸発管の管壁の温度にばらつきを少なくするように
できるものである。その結果、上記蒸着装置は、蒸発管
とヒータとの間隔にばらつきが生じても、蒸発管の管壁
の温度のばらつきが少ないので、蒸発管に収容した原料
材料の蒸発速度の変動を少なくできるものである。
【０００８】請求項３記載の蒸着装置は、請求項１又は
請求項２記載の蒸着装置において、上記ステンレスより
熱伝導度の高い材料が、銅、アルミニウム、銀、チタン
のうち少なくとも一つであることを特徴とする。
請求項２記載の蒸着装置において、上記ステンレスより
熱伝導度の高い材料が、銅、アルミニウム、銀、チタン
のうち少なくとも一つであることを特徴とする。
【０００９】請求項４記載の蒸着装置は、請求項１乃至
請求項３いずれか記載の蒸着装置において、上記ヒータ
が、蒸発管の開口部と同じ側に開口部を有し、蒸発管の
外側を覆う形状のものであって、上記蒸発管の管壁の外
側と、上記ヒータの内側との間隙に、この間隙を所定の
距離に維持する支持治具を備えていることを特徴とす
る。上記によって、ヒータと蒸発管の管壁との間隔を一
定にするので、管壁の温度のばらつきをより少なくする
ことができるものである。
請求項３いずれか記載の蒸着装置において、上記ヒータ
が、蒸発管の開口部と同じ側に開口部を有し、蒸発管の
外側を覆う形状のものであって、上記蒸発管の管壁の外
側と、上記ヒータの内側との間隙に、この間隙を所定の
距離に維持する支持治具を備えていることを特徴とす
る。上記によって、ヒータと蒸発管の管壁との間隔を一
定にするので、管壁の温度のばらつきをより少なくする
ことができるものである。
【００１０】請求項５記載の蒸着装置は、請求項１乃至
請求項４いずれか記載の蒸着装置において、上記蒸発管
が導入管を介して蒸着槽に取付けられ、上記蒸発管を加
温する第１のヒータと、導入管を加温する第２のヒータ
を備えるものであって、上記第１のヒータは、上記蒸発
管の開口部と同じ側に開口部を有し、蒸発管の外側を覆
う形状のものであり、上記第２のヒータは、導入管に接
してこの導入管の外側を加熱するものであり、さらに、
上記第１のヒータの開口部の周壁と第２のヒータの蒸発
管側とを覆う断熱層を有することを特徴とする。上記に
よって、第１のヒータの開口部から放熱する熱量を抑え
ることができるので、蒸発管の開口部からの距離によっ
て生じる温度のばらつきをより少なくすることができる
ものである。
請求項４いずれか記載の蒸着装置において、上記蒸発管
が導入管を介して蒸着槽に取付けられ、上記蒸発管を加
温する第１のヒータと、導入管を加温する第２のヒータ
を備えるものであって、上記第１のヒータは、上記蒸発
管の開口部と同じ側に開口部を有し、蒸発管の外側を覆
う形状のものであり、上記第２のヒータは、導入管に接
してこの導入管の外側を加熱するものであり、さらに、
上記第１のヒータの開口部の周壁と第２のヒータの蒸発
管側とを覆う断熱層を有することを特徴とする。上記に
よって、第１のヒータの開口部から放熱する熱量を抑え
ることができるので、蒸発管の開口部からの距離によっ
て生じる温度のばらつきをより少なくすることができる
ものである。
【００１１】請求項６記載の蒸着装置は、請求項１乃至
請求項３いずれか記載の蒸着装置において、上記ヒータ
が、蒸発管の管壁に接して、管壁の全体を加熱するもの
であることを特徴とする。上記によって、蒸発管の管壁
の全体がヒータに接して加熱されるので、蒸発管の温度
のばらつきがより少なくすることができるものである。
請求項３いずれか記載の蒸着装置において、上記ヒータ
が、蒸発管の管壁に接して、管壁の全体を加熱するもの
であることを特徴とする。上記によって、蒸発管の管壁
の全体がヒータに接して加熱されるので、蒸発管の温度
のばらつきがより少なくすることができるものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の蒸着装置の概略を図２に
示す装置に基づいて説明する。上記蒸着装置は、２種の
有機被膜の原料材料１１を収容し、一方に開口部を有す
る蒸発管４と、この蒸発管４を加温するヒータ６と、収
納した被コーティング物１に蒸着し、重合させて有機被
膜を形成する蒸着槽１０を備えるものである。上記蒸着
装置は、２種の原料物質１１としてテトラカルボン酸二
無水物である粉末状の無水ピロメリット酸及びジアミン
である粉末状のジアミノジフェニルエーテルをそれぞれ
加熱蒸発させて、電子部品等の被コーティング物１の表
面に真空中で蒸着させることにより蒸着膜としてポリア
ミック酸被膜を形成するものである。
示す装置に基づいて説明する。上記蒸着装置は、２種の
有機被膜の原料材料１１を収容し、一方に開口部を有す
る蒸発管４と、この蒸発管４を加温するヒータ６と、収
納した被コーティング物１に蒸着し、重合させて有機被
膜を形成する蒸着槽１０を備えるものである。上記蒸着
装置は、２種の原料物質１１としてテトラカルボン酸二
無水物である粉末状の無水ピロメリット酸及びジアミン
である粉末状のジアミノジフェニルエーテルをそれぞれ
加熱蒸発させて、電子部品等の被コーティング物１の表
面に真空中で蒸着させることにより蒸着膜としてポリア
ミック酸被膜を形成するものである。
【００１３】上記蒸着装置の蒸着槽１０は、その槽内に
形状が円筒で回転軸１３を有する網状のバレル２を備え
ており、このバレル２は、その中に多数の被コーティン
グ物１を収容すると共に、回転軸１３に連動したモータ
１６を稼動することによって軸回転する。また、上記蒸
着槽１０は、その槽内を所定の真空度に調整する真空ポ
ンプ１５が接続されている。
形状が円筒で回転軸１３を有する網状のバレル２を備え
ており、このバレル２は、その中に多数の被コーティン
グ物１を収容すると共に、回転軸１３に連動したモータ
１６を稼動することによって軸回転する。また、上記蒸
着槽１０は、その槽内を所定の真空度に調整する真空ポ
ンプ１５が接続されている。
【００１４】上記蒸着装置は、蒸発管４に投入された原
料物質１１をヒータ６で加熱し、蒸着槽１０の側面部に
取付けられた導入管５を介して原料物質１１の原料蒸気
を蒸着槽１０内に導入している。上記導入管５は、上記
蒸着槽１０内に、複数個の導入口５ａが管の長手方向に
それぞれ列設され、この導入口５ａから原料蒸気を蒸着
槽１０内に導入している。
料物質１１をヒータ６で加熱し、蒸着槽１０の側面部に
取付けられた導入管５を介して原料物質１１の原料蒸気
を蒸着槽１０内に導入している。上記導入管５は、上記
蒸着槽１０内に、複数個の導入口５ａが管の長手方向に
それぞれ列設され、この導入口５ａから原料蒸気を蒸着
槽１０内に導入している。
【００１５】上記蒸着装置は、被コーティング物１を収
容した網状のバレル２を、蒸着槽１０内に収納し、この
バレル２を軸回転させながら、蒸着槽１０内を真空ポン
プ１５を稼動させて、所定の真空度にした後に、蒸発管
４に投入された原料物質１１をヒータで加熱し、導入管
５を介して原料物質１１の原料蒸気を蒸着槽１０内に導
入し、被コーティング物１の表面に、ポリアミド酸被膜
を形成する。なお、ポリアミック酸被膜を形成した被コ
ーティング物１は、この蒸着装置から取出された後に、
さらに、ポリアミック酸被膜を加熱処理することによ
り、ポリイミドの有機被膜が形成される。
容した網状のバレル２を、蒸着槽１０内に収納し、この
バレル２を軸回転させながら、蒸着槽１０内を真空ポン
プ１５を稼動させて、所定の真空度にした後に、蒸発管
４に投入された原料物質１１をヒータで加熱し、導入管
５を介して原料物質１１の原料蒸気を蒸着槽１０内に導
入し、被コーティング物１の表面に、ポリアミド酸被膜
を形成する。なお、ポリアミック酸被膜を形成した被コ
ーティング物１は、この蒸着装置から取出された後に、
さらに、ポリアミック酸被膜を加熱処理することによ
り、ポリイミドの有機被膜が形成される。
【００１６】なお、本発明の蒸着装置で形成する有機被
膜は、上記ポリイミドの被膜以外にも、例えば、ポリパ
ラキシレン、ポリ尿素等の被膜を例示することができ
る。
膜は、上記ポリイミドの被膜以外にも、例えば、ポリパ
ラキシレン、ポリ尿素等の被膜を例示することができ
る。
【００１７】次に、請求項１記載の蒸着装置について説
明する。図１は請求項１記載の蒸着装置を説明した要部
の概略図である。
明する。図１は請求項１記載の蒸着装置を説明した要部
の概略図である。
【００１８】上記蒸着装置は、上記蒸発管４の管壁３が
ステンレスより熱伝導度の高い材料で形成されているも
のである。上記ステンレスより熱伝導度の高い材料とし
ては、銅、アルミニウム、銀、チタン等が例示される。
また、上記蒸着装置は、蒸発管４を加温するヒータ６を
備え、このヒータ６は、蒸発管４の開口部と同じ側に開
口部を有し、蒸発管４を導入管５の差込口７に挿着した
後に、蒸発管４の外側面１２を覆うように配設されるト
ンネルヒータ６ａと称されるものである。なお、図中の
符号８は、導入管５の壁面に接してこの導入管５の外側
を加熱する第２のヒータである。この第２のヒータとし
ては、マントルヒータが例示される。
ステンレスより熱伝導度の高い材料で形成されているも
のである。上記ステンレスより熱伝導度の高い材料とし
ては、銅、アルミニウム、銀、チタン等が例示される。
また、上記蒸着装置は、蒸発管４を加温するヒータ６を
備え、このヒータ６は、蒸発管４の開口部と同じ側に開
口部を有し、蒸発管４を導入管５の差込口７に挿着した
後に、蒸発管４の外側面１２を覆うように配設されるト
ンネルヒータ６ａと称されるものである。なお、図中の
符号８は、導入管５の壁面に接してこの導入管５の外側
を加熱する第２のヒータである。この第２のヒータとし
ては、マントルヒータが例示される。
【００１９】上記蒸着装置は、蒸発管４が銅等の熱伝導
度の高い材料で形成されているので、上記トンネルヒー
タ６ａを取付ける際に、蒸発管４の外側面１２とトンネ
ルヒータ６ａとの間隔にばらつきが生じても、上記蒸発
管４の管壁３の温度のばらつきを少なくすることがで
き、その結果、蒸発管４に収容した原料材料１１の蒸発
速度の変動を少なくできる。
度の高い材料で形成されているので、上記トンネルヒー
タ６ａを取付ける際に、蒸発管４の外側面１２とトンネ
ルヒータ６ａとの間隔にばらつきが生じても、上記蒸発
管４の管壁３の温度のばらつきを少なくすることがで
き、その結果、蒸発管４に収容した原料材料１１の蒸発
速度の変動を少なくできる。
【００２０】因みに、長さ３００ｍｍの銅製の蒸発管４
と従来のステンレス製の蒸発管１４を用いて温度を測定
した。粉末状の無水ピロメリット酸を蒸発皿９に入れ、
蒸発管４，１４に収容した後に、トンネルヒータ６ａで
覆い加熱し、開口部より５０ｍｍのｂ点と、開口部より
２５０ｍｍのａ点の蒸発管の管壁の内側の温度を測定し
た。従来のステンレス製の蒸発管を用いたものは、ａ点
の温度が２４８℃で、ｂ点の温度が２０７℃と差が４１
℃あったのに対し、銅製の蒸発管を用いたものは、ａ点
の温度が２４７℃で、ｂ点の温度が２２８℃と差が１９
℃と、蒸発管の管壁の温度にばらつきが少ないものであ
った。その結果、蒸発管に収容した無水ピロメリット酸
の蒸発速度のばらつきを少なくできることが確認でき
た。
と従来のステンレス製の蒸発管１４を用いて温度を測定
した。粉末状の無水ピロメリット酸を蒸発皿９に入れ、
蒸発管４，１４に収容した後に、トンネルヒータ６ａで
覆い加熱し、開口部より５０ｍｍのｂ点と、開口部より
２５０ｍｍのａ点の蒸発管の管壁の内側の温度を測定し
た。従来のステンレス製の蒸発管を用いたものは、ａ点
の温度が２４８℃で、ｂ点の温度が２０７℃と差が４１
℃あったのに対し、銅製の蒸発管を用いたものは、ａ点
の温度が２４７℃で、ｂ点の温度が２２８℃と差が１９
℃と、蒸発管の管壁の温度にばらつきが少ないものであ
った。その結果、蒸発管に収容した無水ピロメリット酸
の蒸発速度のばらつきを少なくできることが確認でき
た。
【００２１】次に、請求項２記載の蒸着装置について説
明する。図３は請求項２記載の蒸着装置を説明した要部
の概略図である。請求項１記載の蒸着装置と異なるとこ
ろのみ説明する。
明する。図３は請求項２記載の蒸着装置を説明した要部
の概略図である。請求項１記載の蒸着装置と異なるとこ
ろのみ説明する。
【００２２】上記蒸着装置は、上記蒸発管４の管壁３
が、内側にステンレス又は鉄よりなる剛性層３ａと、こ
の剛性層３ａの外側にステンレスより熱伝導度の高い材
料からなる熱伝導層３ｂを形成しているものである。上
記ステンレスより熱伝導度の高い材料としては、上記同
様に銅、アルミニウム、銀、チタン等が例示される。上
記蒸発管４は、例えば、ステンレス又は鉄よりなる管を
作製し、この外面を銅、アルミニウム、銀、チタン等の
金属箔で覆うものでもよい。
が、内側にステンレス又は鉄よりなる剛性層３ａと、こ
の剛性層３ａの外側にステンレスより熱伝導度の高い材
料からなる熱伝導層３ｂを形成しているものである。上
記ステンレスより熱伝導度の高い材料としては、上記同
様に銅、アルミニウム、銀、チタン等が例示される。上
記蒸発管４は、例えば、ステンレス又は鉄よりなる管を
作製し、この外面を銅、アルミニウム、銀、チタン等の
金属箔で覆うものでもよい。
【００２３】上述の請求項１記載の蒸着装置のように、
銅やアルミニウムで蒸発管４を形成すると銅やアルミニ
ウムは剛性が低いため、蒸発管４の強度を得るに管壁３
を厚くする必要がある。上記蒸着装置は、上記蒸発管４
の管壁３が、内側に剛性層３ａを外側に熱伝導層３ｂを
有しているので、剛性層３ａで蒸発管４の強度を保持
し、熱伝導層３ｂで蒸発管４の管壁３の温度にばらつき
を少なくするようにしたものである。
銅やアルミニウムで蒸発管４を形成すると銅やアルミニ
ウムは剛性が低いため、蒸発管４の強度を得るに管壁３
を厚くする必要がある。上記蒸着装置は、上記蒸発管４
の管壁３が、内側に剛性層３ａを外側に熱伝導層３ｂを
有しているので、剛性層３ａで蒸発管４の強度を保持
し、熱伝導層３ｂで蒸発管４の管壁３の温度にばらつき
を少なくするようにしたものである。
【００２４】因みに、上記同様に、長さ３００ｍｍのス
テンレス製の管にアルミニウム箔で覆った蒸発管４と従
来のステンレス製の蒸発管１４を用いて温度を測定し
た。粉末状の無水ピロメリット酸を蒸発皿９に入れ、蒸
発管４，１４に収容した後に、トンネルヒータ６ａで覆
い加熱し、開口部より５０ｍｍのｂ点と、開口部より２
５０ｍｍのａ点の蒸発管の管壁の内側の温度を測定し
た。従来のステンレス製の蒸発管１４を用いたものは、
ａ点の温度が２４８℃で、ｂ点の温度が２０７℃と差が
４１℃あったのに対し、ステンレス製の管にアルミニウ
ム箔で覆った蒸発管４を用いたものは、ａ点の温度が２
６２℃で、ｂ点の温度が２３０℃と差が３２℃と、蒸発
管の管壁の温度にばらつきが少ないものであった。その
結果、蒸発管に収容した無水ピロメリット酸の蒸発速度
のばらつきを少なくできることが確認できた。
テンレス製の管にアルミニウム箔で覆った蒸発管４と従
来のステンレス製の蒸発管１４を用いて温度を測定し
た。粉末状の無水ピロメリット酸を蒸発皿９に入れ、蒸
発管４，１４に収容した後に、トンネルヒータ６ａで覆
い加熱し、開口部より５０ｍｍのｂ点と、開口部より２
５０ｍｍのａ点の蒸発管の管壁の内側の温度を測定し
た。従来のステンレス製の蒸発管１４を用いたものは、
ａ点の温度が２４８℃で、ｂ点の温度が２０７℃と差が
４１℃あったのに対し、ステンレス製の管にアルミニウ
ム箔で覆った蒸発管４を用いたものは、ａ点の温度が２
６２℃で、ｂ点の温度が２３０℃と差が３２℃と、蒸発
管の管壁の温度にばらつきが少ないものであった。その
結果、蒸発管に収容した無水ピロメリット酸の蒸発速度
のばらつきを少なくできることが確認できた。
【００２５】図４は、請求項４記載の蒸着装置を説明し
た要部の概略図である。また、図中の蒸発管４の管壁３
は、ステンレスより熱伝導度の高い材料のみで形成した
ものでも、内側に剛性層と、外側に熱伝導層を形成した
ものでもよい。上記蒸着装置と異なるところのみ説明す
る。
た要部の概略図である。また、図中の蒸発管４の管壁３
は、ステンレスより熱伝導度の高い材料のみで形成した
ものでも、内側に剛性層と、外側に熱伝導層を形成した
ものでもよい。上記蒸着装置と異なるところのみ説明す
る。
【００２６】上記蒸着装置は、ヒータ６として上述のト
ンネルヒータ６ａを備えると共に、上記蒸発管４の管壁
３の外側と、上記ヒータ６の内側との間隙１７に、この
間隙１７を所定の距離に維持する支持治具１８を備え
る。上記支持治具１８は、ヒータ６の内側に接する面積
を小さくするものが、局部的な加熱を防ぐので好まし
い。上記支持治具１８の形状は、円錐や三角錐のものが
挙げられ、例えば、断面視三角形の底面を蒸発管４の外
側に、その頂点をヒータ６の内側に接するように配設す
ることが望ましい。上記蒸着装置は、ヒータ６と蒸発管
４の管壁３との間隔を一定にするので、管壁３の温度の
ばらつきをより少なくすることができるものである。
ンネルヒータ６ａを備えると共に、上記蒸発管４の管壁
３の外側と、上記ヒータ６の内側との間隙１７に、この
間隙１７を所定の距離に維持する支持治具１８を備え
る。上記支持治具１８は、ヒータ６の内側に接する面積
を小さくするものが、局部的な加熱を防ぐので好まし
い。上記支持治具１８の形状は、円錐や三角錐のものが
挙げられ、例えば、断面視三角形の底面を蒸発管４の外
側に、その頂点をヒータ６の内側に接するように配設す
ることが望ましい。上記蒸着装置は、ヒータ６と蒸発管
４の管壁３との間隔を一定にするので、管壁３の温度の
ばらつきをより少なくすることができるものである。
【００２７】図５は、請求項５記載の蒸着装置を説明し
た要部の概略図である。上記蒸着装置と異なるところの
み説明する。
た要部の概略図である。上記蒸着装置と異なるところの
み説明する。
【００２８】上記蒸着装置は、蒸発管４の外側を覆う形
状の第１のヒータ６として、トンネルヒータ６ａと、導
入管５の壁面に接して、加温している第２のヒータを備
えると共に、上記第１のヒータ６の開口部の周壁１９と
第２のヒータの蒸発管側とを覆う断熱層２０を有するも
のである。上記断熱層２０としては、例えば、ガラスウ
ール等の耐熱性を有する布、ステンレスが挙げられる。
上記蒸着装置は、断熱層２０を有するので、ヒータ６の
開口部から放熱する熱量を抑えることができるので、蒸
発管４の開口部からの距離によって生じる温度のばらつ
きをより少なくすることができるものである。
状の第１のヒータ６として、トンネルヒータ６ａと、導
入管５の壁面に接して、加温している第２のヒータを備
えると共に、上記第１のヒータ６の開口部の周壁１９と
第２のヒータの蒸発管側とを覆う断熱層２０を有するも
のである。上記断熱層２０としては、例えば、ガラスウ
ール等の耐熱性を有する布、ステンレスが挙げられる。
上記蒸着装置は、断熱層２０を有するので、ヒータ６の
開口部から放熱する熱量を抑えることができるので、蒸
発管４の開口部からの距離によって生じる温度のばらつ
きをより少なくすることができるものである。
【００２９】図６は、請求項６記載の蒸着装置を説明し
た要部の概略図である。上記蒸着装置と異なるところの
み説明する。
た要部の概略図である。上記蒸着装置と異なるところの
み説明する。
【００３０】上記蒸着装置は、上記ヒータ６が、蒸発管
４の管壁３に接して、管壁３の全体を加熱するものであ
る。上記管壁３の全体を加熱するものとしては、マント
ルヒータ６ｂが例示される。上記蒸着装置は、蒸発管４
の管壁３の全体がヒータ６ｂに接して加熱されるので、
蒸発管４の温度のばらつきがより少なくすることができ
るものである。
４の管壁３に接して、管壁３の全体を加熱するものであ
る。上記管壁３の全体を加熱するものとしては、マント
ルヒータ６ｂが例示される。上記蒸着装置は、蒸発管４
の管壁３の全体がヒータ６ｂに接して加熱されるので、
蒸発管４の温度のばらつきがより少なくすることができ
るものである。
【００３１】
【発明の効果】請求項１記載の蒸着装置は、蒸発管が熱
伝導度の高い材料で形成されているので、蒸発管とヒー
タとの間隔にばらつきが生じても、蒸発管の管壁の温度
にばらつきが少なくできる。その結果、上記蒸着装置
は、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少な
くすることができる。
伝導度の高い材料で形成されているので、蒸発管とヒー
タとの間隔にばらつきが生じても、蒸発管の管壁の温度
にばらつきが少なくできる。その結果、上記蒸着装置
は、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少な
くすることができる。
【００３２】請求項２記載の蒸着装置は、上記蒸発管の
管壁が、内側に剛性層を外側に熱伝導層を有しているの
で、剛性層で蒸発管の強度を保持し、熱伝導層で蒸発管
の管壁の温度にばらつきを少なくするようにする。その
結果、上記蒸着装置は、蒸発管とヒータとの間隔にばら
つきが生じても、蒸発管の管壁の温度にばらつきが少な
くし、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少
なくできる。
管壁が、内側に剛性層を外側に熱伝導層を有しているの
で、剛性層で蒸発管の強度を保持し、熱伝導層で蒸発管
の管壁の温度にばらつきを少なくするようにする。その
結果、上記蒸着装置は、蒸発管とヒータとの間隔にばら
つきが生じても、蒸発管の管壁の温度にばらつきが少な
くし、蒸発管に収容した原料材料の蒸発速度の変動を少
なくできる。
【図１】本発明の請求項１記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図２】本発明に用いられる蒸着装置の一例を説明した
概略図である。
概略図である。
【図３】本発明の請求項２記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図４】本発明の請求項４記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図５】本発明の請求項５記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図６】本発明の請求項６記載の蒸着装置を説明した要
部の概略図である。
部の概略図である。
【図７】従来の蒸着装置の一例を説明した概略図であ
る。
る。
【図８】従来の蒸着装置を説明した要部の概略図であ
る。
る。
１ 被コーティング物 ２ バレル ３ 管壁 ３ａ 剛性層 ３ｂ 熱伝導層 ４ 蒸発管 ５ 導入管 ６ ヒータ １０ 蒸着槽 １１ 原料物質 １５ 真空ポンプ
Claims (6)
- 【請求項１】 有機被膜の原料材料を収容し、一方に開
口部を有する蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータ
と、収納した被コーティング物に、真空中で加熱蒸発さ
せた上記原料物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成
する蒸着槽とを備える蒸着装置において、上記蒸発管の
管壁がステンレスより熱伝導度の高い材料で形成されて
いることを特徴とする蒸着装置。 - 【請求項２】 有機被膜の原料材料を収容し、一方に開
口部を有する蒸発管と、この蒸発管を加温するヒータ
と、収納した被コーティング物に、真空中で加熱蒸発さ
せた上記原料物質を蒸着し、重合させて有機被膜を形成
する蒸着槽とを備える蒸着装置において、上記蒸発管の
管壁が、内側にステンレス又は鉄よりなる剛性層と、こ
の剛性層の外側にステンレスより熱伝導度の高い材料か
らなる熱伝導層を形成していることを特徴とする蒸着装
置。 - 【請求項３】 上記ステンレスより熱伝導度の高い材料
が、銅、アルミニウム、銀、チタンのうち少なくとも一
つであることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の
蒸着装置。 - 【請求項４】 上記ヒータが、蒸発管の開口部と同じ側
に開口部を有し、蒸発管の外側を覆う形状のものであっ
て、上記蒸発管の管壁の外側と、上記ヒータの内側との
間隙に、この間隙を所定の距離に維持する支持治具を備
えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３いずれ
か記載の蒸着装置。 - 【請求項５】 上記蒸発管が導入管を介して蒸着槽に取
付けられ、上記蒸発管を加温する第１のヒータと、導入
管を加温する第２のヒータを備えるものであって、上記
第１のヒータは、上記蒸発管の開口部と同じ側に開口部
を有し、蒸発管の外側を覆う形状のものであり、上記第
２のヒータは、導入管に接してこの導入管の外側を加熱
するものであり、さらに、上記第１のヒータの開口部の
周壁と第２のヒータの蒸発管側とを覆う断熱層を有する
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４いずれか記載の
蒸着装置。 - 【請求項６】 上記ヒータが、蒸発管の管壁に接して、
管壁の全体を加熱するものであることを特徴とする請求
項１乃至請求項３いずれか記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000039815A JP2001234335A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000039815A JP2001234335A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001234335A true JP2001234335A (ja) | 2001-08-31 |
Family
ID=18563321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000039815A Pending JP2001234335A (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001234335A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004047452A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造装置 |
| JP2006009134A (ja) * | 2003-07-31 | 2006-01-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造装置 |
| JP2007084911A (ja) * | 2005-03-23 | 2007-04-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 金属酸化物の蒸着方法、複合材料層の作製方法及び表示装置の製造方法 |
| WO2009125497A1 (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 国立大学法人東北大学 | 均熱装置および有機膜成膜装置 |
| WO2010035128A2 (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | Applied Materials, Inc. | Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials |
| US8110509B2 (en) | 2002-05-17 | 2012-02-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating light emitting devices |
| KR101241071B1 (ko) * | 2003-07-31 | 2013-03-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 증착 용기 및 기상 증착 장치 |
| WO2015180210A1 (zh) * | 2014-05-28 | 2015-12-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 蒸镀源加热装置 |
-
2000
- 2000-02-17 JP JP2000039815A patent/JP2001234335A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8110509B2 (en) | 2002-05-17 | 2012-02-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating light emitting devices |
| JP2004047452A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造装置 |
| KR101241071B1 (ko) * | 2003-07-31 | 2013-03-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 증착 용기 및 기상 증착 장치 |
| JP4578872B2 (ja) * | 2003-07-31 | 2010-11-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 容器および蒸着装置 |
| JP2006009134A (ja) * | 2003-07-31 | 2006-01-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造装置 |
| JP2007084911A (ja) * | 2005-03-23 | 2007-04-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 金属酸化物の蒸着方法、複合材料層の作製方法及び表示装置の製造方法 |
| WO2009125497A1 (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 国立大学法人東北大学 | 均熱装置および有機膜成膜装置 |
| JP5143892B2 (ja) * | 2008-04-11 | 2013-02-13 | 国立大学法人東北大学 | 均熱装置および有機膜成膜装置 |
| US8691017B2 (en) | 2008-04-11 | 2014-04-08 | National University Corporation Tohoku University | Heat equalizer and organic film forming apparatus |
| WO2010035128A2 (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | Applied Materials, Inc. | Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials |
| WO2010035128A3 (en) * | 2008-09-29 | 2010-06-17 | Applied Materials, Inc. | Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials |
| US8591223B2 (en) | 2008-09-29 | 2013-11-26 | Applied Materials, Inc. | Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials |
| RU2538891C2 (ru) * | 2008-09-29 | 2015-01-10 | Эпплайд Материалс, Инк. | Испаритель для органических материалов и способ испарения органических материалов |
| WO2015180210A1 (zh) * | 2014-05-28 | 2015-12-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 蒸镀源加热装置 |
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