KR20150073295A - 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비 - Google Patents

플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비 Download PDF

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에이티 주식회사
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Abstract

본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비(100)는, 밀폐가 가능한 챔버(110)와, 상기 챔버(110) 내에 장착되어 플렉시블 필름(F)이 풀려나도록 장착된 언와인딩 롤(120)과, 상기 언와인딩 롤(120)의 측방에 배치되어 상기 플렉시블 필름(F)이 감기도록 상기 챔버(110) 내에 장착된 와인딩 롤(130)과, 상기 언와인딩 롤(120)과 와인딩 롤(130)의 하방에 배치되도록 상기 챔버(110) 내에 장착되고 상기 플렉시블 필름(F)에 열을 가하여 수분 및 오염물질의 증발이 가능하도록 구성된 가열부(140)를 포함하여 구성된다.
따라서, 플라즈마와 히팅을 통해서 플렉시블 필름의 표면을 증착이 용이하도록 처리함과 동시에 수분과 오염물질 등의 아웃개싱을 용이하게 제거할 수 있기 때문에, 금속물질의 증착성을 좋게 하고, 투과율이 우수할 뿐만 아니라, 균일하게 증착되므로 터치패널에 사용 시, 전기적 특성이 우수한 효과가 있다.

Description

플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비 {Roll to roll dry system for removing outgassing of flexible film}
본 발명은 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 관한 것으로서, 더욱 상세히는 롤투롤 스퍼터 시스템으로 플렉시블 필름을 투입하기 전에 플렉시블 필름에 포함된 수분 및 오염물질인 아웃개싱을 제거할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 위한 롤투롤 전열처리장비에 관한 것이다.
일반적으로 플렉시블 필름(F)은 디스플레이, 태양전지, 터치패널, 윈도우 필름 등의 박막 증착용으로 사용되는 것으로서 합성수지재의 필름의 일측면에 금속 물질이 증착된 것이다.
이처럼, 합성수지재의 필름의 일측면에 금속 물질을 증착시키는 장치가 롤투롤 스퍼트 시스템(1)이라고 한다.
상기 롤투롤 스퍼트 시스템(1)은 진공 및 진공 해제가 가능한 챔버(10) 내에 플렉시블 필름(F)이 풀려나는 언와인딩 롤(11)과 상기 와인딩 롤(11)의 측방에 배치되어 상기 플렉시블 필름(F)이 감기는 와인딩 롤(13)이 구성되고, 상기 언와인딩 롤(11)과 와인딩 롤(13)의 하방에는 메인롤(15)이 구성되어 언와인딩 롤(11)에서 풀려난 플렉시블 필름(F)이 상기 메인롤(15)을 거쳐서 상기 와인딩 롤(13)에 감기도록 구성된 것이다.
그리고 상기 메인 롤(15) 하방에는 상기 메일 롤(15)을 통해 지나가는 플렉시블 필름(F)에 금속 물질을 증착시키는 금속증착장치(20)가 구성된다.
상기 금속증착장치(20)는 챔버(10) 내에서 일측면에 고정되어 플렉시블 필름(F)을 향해 플라즈마를 발생시키는 캐소드가 구성되고, 상기 캐소드를 수용하며 상방으로 개방된 캐소드 챔버(25)가 구성된다.
상기 캐소드는 롤투롤 스퍼트 시스템(1)에 일반적으로 장착되는 것으로서 상부에 금, 은, 구리, 알루미늄 등으로 형성된 판 형상의 타겟이 노출된 것이다.
상기 롤투롤 스퍼트 시스템(1)의 작동 원리를 살펴보면 다음과 같다.
상기 챔버(10) 내부를 진공으로 한 후에 상기 언와인딩 롤(11)에서 플렉시블 필름(F)이 풀려나와서 메일롤(15)을 거쳐서 와인딩 롤(13)에 감긴다. 이때, 상기 캐소드(21) 상방에 불활성 가스인 아르곤 등을 분사하면서 상기 캐소드(21)에 전기를 인가하면 플렉시블 필름(F)과 상기 타겟 사이에 플라즈마가 발생하게 된다. 그러면, 상기 불활성 가스를 구성하는 원자에서 전자가 방출되면서 형성된 양이온은 음극을 띠는 타겟에 충돌하면서 타겟의 금속 원자가 이탈되어 상기 플렉시블 필름의 표면에 증착되어 박막을 형성하게 된다.
그런데 상기 플렉시블 필름(F)은 공장에서 생산되는 공정 중에 수분이나 기름 등의 오염물질인 아웃개싱이 표면에 묻게 된다. 따라서, 이 상태에서 플렉시블 필름(F)에 금속물질을 증착하게 되면 아웃개싱으로 인해서 증착률이 저하되어 불량이 발생하는 문제점이 있었다.
또한, 상기 플렉시블 필름(F)의 표면에 아웃개싱이 잔류된 상태에서 금속물질이 증착된 경우, 디스플레이, 태양전지, 터치패널, 윈도우 필름 등에 사용 시, 투과율이 저하되는 문제점이 있었다. 또한, 수분이나 오염물질로 인해서 금속물질이 균일하게 증착되지 않게 되어 터치패널로 사용할 때에는 전기적 특성이 나빠져서 에러가 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 상기 플렉시블 필름(F)의 표면이 매끈하여 증착률이 저하되는 문제점이 있었다.
(문헌 1) 한국 실용등록 20-0445155 (2009. 06. 26.)
본 발명은 플렉시블 필름을 롤투롤 스퍼터 시스템으로 투입하기 전에 플렉시블 필름에 포함된 수분이나 오염물질인 아웃개싱을 제거하며 플렉시블 필름의 표면을 처리하여 금속물질의 증착성을 좋게 하고, 투과율이 우수할 뿐만 아니라, 터치패널에 사용 시, 전기적 특성이 우수하도록 구성한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비는, 밀폐가 가능한 챔버와, 상기 챔버 내에 장착되어 플렉시블 필름이 풀려나도록 장착된 언와인딩 롤과, 상기 언와인딩 롤의 측방에 배치되어 상기 플렉시블 필름이 감기도록 상기 챔버 내에 장착된 와인딩 롤과, 상기 언와인딩 롤과 와인딩 롤의 하방에 배치되도록 상기 챔버 내에 장착되고 상기 플렉시블 필름에 열을 가하여 수분 및 오염물질의 증발이 가능하도록 구성된 가열부를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 가열부에서 플렉시블 필름이 진입하는 지점과 플렉시블 필름이 배출되는 지점에 각각 장착되어 플라즈마를 발생하는 캐소드를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 가열부는, 박스 형상의 히터챔버와, 상기 히터챔버의 상하방으로 관통되는 다수 개의 관통구와, 상기 히터챔버의 상하방에 배치되도록, 상기 챔버 및 상기 히터챔버 중 어느 하나에 지지되는 프리롤과, 상기 히터챔버 내에 장착된 히터를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 가열부는, 박스 형상의 히터챔버와, 상기 히터챔버에 관통되어 플렉시블 필름이 통과하도록 형성된 입구 및 출구와, 상기 히터챔버 내부에 장착되어 플렉시블 필름을 안내하도록 히터챔버 내부에 회전하도록 장착도니 프리롤과, 상기 히터챔버 내에 장착된 히터를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 히터챔버의 외측면, 내측면 중 선택하여 장착되어 냉각수가 순환하는 쿨링관을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 언와인딩 롤과 와인딩 롤의 측방에 배치되도록 상기 챔버에 지지되어 플렉시블 필름을 안내하도록 구성되고, 상기 언와인딩 롤과 와인딩 롤에 감긴 플레시블 필름과 간격을 유지하도록 구성된 추적롤을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 추적롤의 중심축에 연결된 아암과, 상기 아암에 회전축이 고정되고 상기 챔버에 지지되어 구성된 모터를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 챔버의 내측면에 장착되어 냉매가스가 순환하는 폴리콜드 라인(poly-cold line)을 포함하여 구성된다.
본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비는, 플라즈마와 히팅을 통해서 플렉시블 필름의 표면을 증착이 용이하도록 처리함과 동시에 수분과 오염물질을 용이하게 제거할 수 있고, 플렉시블 필름의 표면을 플라즈마로 처리하기 때문에 금속물질의 증착성을 좋게 하고, 투과율이 우수할 뿐만 아니라, 균일하게 증착되므로 터치패널에 사용 시, 전기적 특성이 우수한 효과가 있다.
도 1은 배경기술에 의한 롤투롤 스퍼트 시스템을 도시한 단면도.
도 2는 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 장착된 가열부를 도시한 단면도.
도 4는 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 장착된 가열부의 다른 실시예를 도시한 단면도.
도 5는 도 4에서 도시한 가열부가 장착된 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비를 도시한 단면도.
도 6은 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 장착된 추적롤의 회동 과정을 도시한 예시도.
도 7은 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 장착된 추적롤을 도시한 측면도.
이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시구성과 작동례를 살펴보면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비를 도시한 단면도, 도 3은 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 장착된 가열부를 도시한 단면도, 도 4는 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 장착된 가열부의 다른 실시예를 도시한 단면도, 도 5는 도 4에서 도시한 가열부가 장착된 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비를 도시한 단면도, 도 6은 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 장착된 추적롤의 회동 과정을 도시한 예시도, 도 7은 본 발명에 의한 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비에 장착된 추적롤을 도시한 측면도로서 함께 설명한다.
본 발명은 롤투롤 스퍼터 시스템에 플렉시블 필름(F)을 투입하기 전에 표면에 묻은 수분과 기름 등의 오염물질인 아웃개싱을 제거하며 플렉시블 필름(F)의 표면을 플라즈마로 처리하므로 금속 물질의 증착성이 우수하도록 하여 불량을 방지할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.
이를 위하여 본 발명에서는 다음과 같이 구성한다.
밀폐가 가능한 챔버(110)가 구성되는데 상기 챔버(110)는 기본적으로 롤투롤 스퍼터 시스템의 챔버와 동일한 구조를 가진다.
또한, 상기 챔버(110) 내에 장착되어 플렉시블 필름(F)이 풀려나도록 장착된 언와인딩 롤(120)이 구성되고, 상기 언와인딩 롤(120)의 측방에 배치되어 상기 플렉시블 필름(F)이 감기도록 상기 챔버(110) 내에 장착된 와인딩 롤(130)이 구성된다.
또한, 상기 언와인딩 롤(120)과 와인딩 롤(130)의 하방에 배치되도록 챔버(110) 내에 장착되고 플렉시블 필름(F)에 열을 가하여 수분 및 오염물질의 증발이 가능하도록 구성된 가열부(140)를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 가열부(140)에서 플렉시블 필름(F)이 진입하는 지점과 플렉시블 필름(F)이 배출되는 지점에 각각 장착되어 플라즈마를 발생하도록 타겟(155)이 구성된 캐소드가 배치되고 캐소드는 캐소드 챔버(150) 내부에 장착되어 구성된다. 상기 캐소드 챔버(150)는 상기 챔버(110)에 지지되어 구성되는 것으로서 전방으로 개방되어 타겟(155)이 노출되어 구성된다. 또한, 상기 캐소드 챔버(150)에는 산소가 공급되는 공급관(M)이 연결되고 내부의 산소를 배기하도록 배출관(N)이 연결되어 구성된다. 상기 배출관(N)에는 펌프(P)가 구성되어 캐소드 챔버(150) 내부의 산소를 흡입하여 배출하도록 구성된다. 따라서, 캐소드 챔버(150) 내부에는 항상 새로운 산소가 충전되어 플라즈마를 발생할 수 있도록 구성된다.
상기 캐소드 챔버(150) 내부에는 공급관(M)과 배출관(N)에 의해서 산소가 충전된 상태이므로 플라즈마는 발생하지만 타겟(155)의 금속 이온이 플렉시블 필름(F)에 증착되는 현상은 발생하지 않는다. 만약, 아르곤 등의 불활성 가스를 충전한다면 증착 현상이 발생할 것이다. 그러나, 활성가스인 산소를 충전하므로 증착 없이 플라즈마에 의해서 플렉시블 필름(F)의 표면 처리가 가능하도록 구성된다. 상기 표면 처리는 매끈한 플렉시블 필름(F)의 표면에 미세한 거칠기를 주어 금속이온의 증착이 용이하도록 하는 트리트먼트 과정이다.
상기 캐소드는 일반적으로 롤투롤 스퍼터 시스템에 사용되는 것으로서 전기의 인가에 의해 플라즈마를 발생하도록 구성된 것으로서 당해업자라면 누구나 알 수 있는 사항이므로 자세한 설명은 생략한다.
그리고, 상기 캐소드 챔버(150)에서 타겟(155)의 전방에는 플렉시블 필름(F)이 통과할 수 있도록 안내하는 안내롤(170)이 구성된다.
또한, 상기 가열부(140)는, 도 2 및 도 3에서처럼, 박스 형상의 히터챔버(141)가 구성되고, 상기 히터챔버(141)의 상하방으로 관통되는 관통구(I)가 다수 개 구성된다. 즉, 플렉시블 필름(F)이 캐소드 챔버(150)를 통과한 후, 관통구(I)를 통해서 상방에서 하방으로 히터챔버(140)를 관통한다. 그리고, 관통구(I)를 통해서 히터챔버(140)의 하방에서 상방으로 통과하도록 구성된다. 이런 식으로 플렉시블 필름(F)은 지그재그 형으로 히터챔버(141)를 다수 회 통과한 후, 상기 와인딩 롤(130) 쪽인 상방으로 배출되도록 구성된다. 또한, 히터챔버(140)의 상하부에는 히터챔버(140)를 통과하는 플렉시블 필름(F)을 안내하는 프리롤(143)이 상기 챔버(110)에 회동 가능하도록 지지되어 구성된다. 즉, 프리롤(143)은 다수 개로 구비되어 플렉시블 필름(F)이 지그재그로 안내되어 이송될 수 있도록 배치된다.
상기 프리롤(143)은 챔버(150)에 회전 가능하도록 지지되어 구성될 수도 있고 히터챔버(141)에 지지되어 회전 가능하도록 구성할 수도 있다. 또한, 상기 히터챔버(141) 내에 장착되어 플렉시블 필름(F)에 열을 가하는 히터(145)를 포함하는데, 일례로서 전기의 인가에 의해 가열하는 것으로서 근적외선 히터가 사용될 수 있다. 상기 히터(145)는 다수 개가 구비되어 프리롤(143) 사이에서 플렉시블 필름(F)에 열을 가할 수 있도록 구성된다. 이때의 온도는 플렉시블 필름(F)을 변형시키지 않도록 적정 온도로 컨트롤함은 물론이다.
상기 가열부(140)의 다른 실시예로서 도 4 도 5와 함께 살펴보면 다음과 같다.
박스 형상의 히터챔버(141)가 구성되고, 상기 히터챔버(141)에 관통되어 상기 플렉시블 필름(F)이 투입되는 입구(E)가 구성된다. 또한, 상기 입구(E)를 통해서 투입된 플렉시블 필름(F)이 안내되도록 히터챔버(141) 내에 회전하도록 장착된 프리롤(143)이 구성된다. 그리고, 상기 프리롤(143)을 거친 플렉시블 필름(F)이 히터챔버(141) 밖으로 배출되는 출구(O)가 구성된다. 또한, 히터챔버(141) 내에 장착되어 플렉시블 필름(F)에 열을 가하는 히터(145)를 포함하는데, 일례로서 전기의 인가에 의해 가열하는 것으로서 적외선 히터가 사용될 수 있다. 상기 프리롤(143)은 다수 개로 구비되어 플렉시블 필름(F)이 지그재그로 안내되어 이송될 수 있도록 구성되며, 상기 히터(145)는 다수 개가 구비되어 프리롤(143) 사이에서 플렉시블 필름(F)에 열을 가할 수 있도록 구성된다. 이때의 온도는 플렉시블 필름(F)을 변형시키지 않도록 적정 온도로 컨트롤함은 물론이다.
또한, 상기 도 3 및 도 4에 의한, 히터챔버(141)는 외부로 열이 발열될 경우, 플렉시블 필름(F)을 변형시킬 수 있기 때문에, 상기 히터챔버(141)의 외측면, 내측면 중 선택하여 장착되어 냉각수가 순환하는 쿨링관(도면에 표시하지 않음)을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 언와인딩 롤(120)과 와인딩 롤(130)의 측방에 배치되도록 상기 챔버(110)에 지지되어 플렉시블 필름(F)을 안내하도록 구성되고, 상기 언와인딩 롤(120)과 와인딩 롤(130)에 감긴 플레시블 필름(F)과 간격을 유지하도록 구성된 추적롤(163)을 포함하여 구성된다.
상기 언와인딩 롤(120)은 회동이 가능하도록 상기 추적롤(163)의 중심축(S)에 연결된 아암(165)을 포함하고, 상기 아암(165)에 회전축(K)이 고정되며, 상기 챔버(110)에 지지되어 구성된 모터(167)를 포함하여 구성되는데, 상기 모터(167)는 스텝모터가 될 수 있다.
또한, 상기 추적롤(163)의 중심축(S)에는 센서를 장착하고 상시 센서로부터 정보를 수신받아서 상기 모터(167)의 회전각도를 조정하는 제어부를 포함한다. 상기 센서는 추적롤(163)과, 상기 언와인딩 롤(120) 및 와인딩 롤(130)에 감긴 플렉시블 필름(F)과 간격을 감지하는 것으로서, 일례로서 적외선 센서를 사용할 수 있다. 즉, 적외선을 조사하여 반사되는 시간을 계산하여 거리를 산출하는 일반적인 것일 수 있다.
상기 아암(165)에는 일례로서 다수의 안내롤(H)이 더 구성되어 플렉시블 필름(F)을 안내할 수 있도록 구성된다. 또한, 아암(165)은 안내롤(H)과 추적롤(163)의 중심축의 양측에서 지지하는 판상의 것으로서 일측 아암(165)은 모터(167)의 회전축(K)에 연결되고 상대측 아암(165)은 챔버(110) 내에 구성된 프레임에 의해 지지되어 회동하도록 구성된다.
또한, 상기 추적롤(163)은 언와인딩 롤(120)과 와인딩 롤(130)의 하부 측방에 장착되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 추적롤(163)과 안내롤(170) 사이 및 상기 안내롤(170)과 히터챔버(141) 사이에는 다수의 텐션롤(R1,R2, R3, R4)이 구성되어 플렉시블 필름(F)의 텐션을 조정하여 주름지는 현상을 방지할 수 있도록 구성한다.
즉, 상기 언와인딩 롤(120)에서 풀려난 플렉시블 필름(F)은 상기 추적롤(163)및 안내롤(H)을 거쳐서 상기 텐션롤(R1)을 지난 후, 안내롤(170)을 통과하게 되므로 상기 캐소드(150)의 타겟(155)에 대향하게 된다. 그리고, 다시, 상기 텐션롤(R2)을 거친 후, 히터챔버(141) 내부로 안내된 후, 프리롤(143)에 의해서 지그재그 형으로 히터챔버(141)를 통과하게 된다. 그리고, 마지막으로 텐션롤(R3)에 안내되어 상기 캐소드(150)의 맞은편에 위치하는 캐소드(150)의 전방에 배치된 안내롤(170)을 통과하게 된다. 이때, 캐소드(150)의 타겟(155)에 대향하게 된다. 그리고, 상기 텐션롤(R4)에 안내된 후, 추적롤(163)과 안내롤(H)을 거쳐서 와인딩 롤(130)에 감기도록 구성된다.
또한, 도 2 및 도 5에서처럼, 상기 챔버(110)의 내측면에는 폴리콜드 라인(Q, ly-cold line)이 설치된다. 상기 폴리콜드 라인(Q)은 냉매가스(일례로 -170℃)가 순환하는 파이프로서 챔버(110) 내부의 수분 및 오염 기체를 포집하는 역할을 하도록 구성된 것이다.
상기 구성에 의한 본 발명의 작동례를 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 상기 캐소드 챔버(150)에 산소가 주입되면서 배출되도록 한다. 따라서, 캐소드를 통해서 플라즈마는 발생하지만 증착은 발생하지 않게 된다. 이 점은 당해업자라면 누구나 알 수 있는 사항이므로 자세한 설명은 생략한다.
이 상태에서 상기 언와인딩 롤(120)에서 풀려난 플렉시블 필름(F)은 추적롤(163)을 지나서 텐션롤(R1)에 감기게 된다. 이때, 추적롤(163)은 언와인딩 롤(120)에 감긴 플렉시블 필름(F)과 정해진 간격을 유지하도록 한다. 상기 간격은 플렉시블 필름(F)의 두께에 따라 가변될 수 있음은 물론이다. 따라서, 플렉시블 필름(F)이 주름지지 않고 펴진 상태로 풀려날 수 있도록 한다. 상기 추적롤(163)은 언와인딩 롤(120)에서 플렉시블 필름(F)에 풀려날수록 상기 모터(167)의 구동에 의해 안쪽으로 회동하여 일정 간격이 유지될 수 있도록 한다. 즉, 상기 센서에 의해서 추적롤(163)과 언와인딩 롤(120)에 감긴 플렉시블 필름(F)의 거리값이 상기 제어부로 전송되면 제어부는 셋팅된 간격과 일치하도록 상기 모터(167)를 제어하게 된다.
이렇게 해서 풀려난 플렉시블 필름(F)은 텐션롤(R1)을 지나서 캐소드(150) 전방의 안내롤(170)을 거치게 되는데, 이때 캐소드(150)에서 발생하는 플라즈마로 인해서 플렉시블 필름(F)의 표면은 증착이 용이하도록 거칠기를 주게 되며 이때 오염물질도 동시에 이탈된다.
그러고나서, 상기 가열부(140)의 히터챔버(141)를 상방에서 하방으로 지그재그 형으로 이동하면서 플렉시블 필름(F)에 묻거나 포함된 수분이 증기가 이탈된다. 이때, 플렉시블 필름(F)은 프리롤(143)에 의해서 안내된다.
이때, 상기 쿨링관(도면에 표시하지 않음)으로 인해서 히터챔버(141)의 외부로 방열되는 열을 차단하므로 챔버(110) 내부에 축열되는 현상을 방지하여 플렉시블 필름(F)이 변형되는 현상을 방지할 수 있다.
이렇게 해서, 히터챔버(141)를 빠져나온 플렉시블 필름(F)은 텐션롤(R3)을 통해서 안내롤(170)을 통해서 캐소드의 타겟(155) 전방을 지나면서 플라즈마에 의해 다시 한 번 표면이 처리되어 증착이 용이하도록 가공되며 오염물질도 다시 한 번 제거하는 과정을 거치게 된다.
이렇게 해서 캐소드를 통과한 플렉시블 필름(F)은 텐션롤(R4)을 지나서 안내롤(H)과 추적롤(163)을 거친 후, 와인딩 롤(130)에 감기게 된다.
이렇게 와인딩 롤(130)에 감긴 플렉시블 필름(F)은 롤투롤 스퍼터 시스템으로 옮겨서 증착 처리 과정을 거치게 된다.
상기 본 발명에 의하면, 플렉시블 필름(F)에 포함된 수분이나 기름 등의 오염물질인 아웃개싱을 가열부(140)와 폴리콜드 라인(Q)을 통해서 제거할 수 있고, 플라즈마로 표면을 처리하므로 금속 물질의 증착률이 우수할 뿐만 아니라, 수분이나 오염물질이 없으므로 균일하게 증착시킬 수 있다. 따라서, 불량을 미연에 방지할 수 있는 이점이 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라, 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형례와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
110: 챔버 120: 언와인딩 롤
130: 와인딩 롤 140: 가열부
141: 히터챔버 143: 프리롤
145: 히터 147: 쿨링관
150: 캐소드 155: 타겟
170: 안내롤 163: 추적롤
165: 아암 H: 안내롤
167: 모터 R1, R2, R3, R4: 텐션롤
Q: 폴리콜드 라인

Claims (8)

  1. 밀폐가 가능한 챔버(110)와,
    상기 챔버(110) 내에 장착되어 플렉시블 필름(F)이 풀려나도록 장착된 언와인딩 롤(120)과,
    상기 언와인딩 롤(120)의 측방에 배치되어 상기 플렉시블 필름(F)이 감기도록 상기 챔버(110) 내에 장착된 와인딩 롤(130)과,
    상기 언와인딩 롤(120)과 와인딩 롤(130)의 하방에 배치되도록 상기 챔버(110) 내에 장착되고 상기 플렉시블 필름(F)에 열을 가하여 수분 및 오염물질의 증발이 가능하도록 구성된 가열부(140)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가열부(140)에서 플렉시블 필름(F)이 진입하는 지점과 플렉시블 필름(F)이 배출되는 지점에 각각 장착되어 플라즈마를 발생하는 캐소드(150)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 가열부(140)는, 박스 형상의 히터챔버(141)와,
    상기 히터챔버(141)의 상하방으로 관통되는 다수 개의 관통구(I)와,
    상기 히터챔버(141)의 상하방에 배치되도록, 상기 챔버(110) 및 상기 히터챔버(141) 중 어느 하나에 지지되는 프리롤(143)과,
    상기 히터챔버(141) 내에 장착된 히터(145)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 가열부(140)는, 박스 형상의 히터챔버(141)와,
    상기 히터챔버(141)에 관통되어 플렉시블 필름(F)이 통과하도록 형성된 입구(E) 및 출구(O)와,
    상기 히터챔버(141) 내부에 장착되어 플렉시블 필름(F)을 안내하도록 히터챔버(141) 내부에 회전하도록 장착도니 프리롤(143)과,
    상기 히터챔버(141) 내에 장착된 히터(145)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 히터챔버(141)의 외측면, 내측면 중 선택적으로 장착되어 냉각수가 순환하는 쿨링관(도면에 표시하지 않음)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 언와인딩 롤(120)과 와인딩 롤(130)의 측방에 배치되도록 상기 챔버(110)에 지지되어 플렉시블 필름(F)을 안내하도록 구성되고, 상기 언와인딩 롤(120)과 와인딩 롤(130)에 감긴 플레시블 필름(F)과 간격을 유지하도록 구성된 추적롤(163)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 위한 롤투롤 전열처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 추적롤(163)의 중심축(S)에 연결된 아암(165)과,
    상기 아암(165)에 회전축(K)이 고정되고 상기 챔버(110)에 지지되어 구성된 모터(167)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 위한 롤투롤 전열처리 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 챔버(110)의 내측면에 장착되어 냉매가스가 순환하는 폴리콜드 라인(Q, ly-cold line)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름의 아웃개싱을 위한 롤투롤 전열처리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110339987A (zh) * 2019-07-19 2019-10-18 浙江索凡胶粘制品有限公司 一种烘干设备
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