JP5278218B2 - 長尺樹脂フィルム処理装置およびロール冷却装置と、ロール冷却方法および長尺樹脂フィルムとロールの冷却方法 - Google Patents
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Description
減圧室と、この減圧室内に設けられ巻回した長尺樹脂フィルムを巻出す巻出軸と、減圧室内に設けられ上記巻出軸から巻出された長尺樹脂フィルムを巻取る巻取軸と、上記巻出軸と巻取軸間の搬送路上に設けられロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する複数のロール群と、搬送中の長尺樹脂フィルムを加熱処理する加熱手段を備える長尺樹脂フィルム処理装置において、
上記ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に加熱手段が設けられ、かつ、加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールにロール冷却装置が付設されていると共に、このロール冷却装置が、長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し上記下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、上記冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備することを特徴とし、
請求項2に係る発明は、
請求項1に記載の発明に係る長尺樹脂フィルム処理装置において、
上記加熱処理が、長尺樹脂フィルムの乾燥処理であることを特徴とし、
請求項3に係る発明は、
請求項1に記載の発明に係る長尺樹脂フィルム処理装置において、
上記加熱処理が、長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に対するプラズマ処理若しくはイオンビーム処理であることを特徴とし、
請求項4に係る発明は、
請求項1〜3のいずれかに記載の発明に係る長尺樹脂フィルム処理装置において、
上記ロール冷却装置の搬送路下流側に、スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法またはCVD法から選択された長尺樹脂フィルムのコーティング手段が設けられていることを特徴とするものである。
減圧室と、この減圧室内に設けられ巻回した長尺樹脂フィルムを巻出す巻出軸と、減圧室内に設けられ上記巻出軸から巻出された長尺樹脂フィルムを巻取る巻取軸と、上記巻出軸と巻取軸間の搬送路上に設けられロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する複数のロール群と、搬送中の長尺樹脂フィルムを加熱処理する加熱手段を備え、かつ、ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に上記加熱手段が設けられた長尺樹脂フィルム処理装置に組み込まれるロール冷却装置において、
加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールに付設されると共に、長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し上記下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、上記冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を有することを特徴とし、
請求項6に係る発明は、
請求項5に記載の発明に係るロール冷却装置において、
上記隙間を介し下流側ロール外周面と対向する冷却装置本体の上記冷却面並びに下流側ロール外周面の放射率が、それぞれ0.60以上であることを特徴とする。
減圧室と、この減圧室内に設けられ巻回した長尺樹脂フィルムを巻出す巻出軸と、減圧室内に設けられ上記巻出軸から巻出された長尺樹脂フィルムを巻取る巻取軸と、上記巻出軸と巻取軸間の搬送路上に設けられロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する複数のロール群と、搬送中の長尺樹脂フィルムを加熱処理する加熱手段を備え、かつ、ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に上記加熱手段が設けられた長尺樹脂フィルム処理装置のロール冷却方法において、
長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し上記下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、上記冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備するロール冷却装置を加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールに付設して、加熱手段が設けられた長尺樹脂フィルム処理装置のロールを冷却することを特徴とし、
請求項8に係る発明は、
請求項7に記載の発明に係るロール冷却方法において、
上記隙間を介し下流側ロール外周面と対向する冷却装置本体の上記冷却面並びに下流側ロール外周面の放射率が、それぞれ0.60以上であることを特徴とする。
減圧室と、この減圧室内に設けられ巻回した長尺樹脂フィルムを巻出す巻出軸と、減圧室内に設けられ上記巻出軸から巻出された長尺樹脂フィルムを巻取る巻取軸と、上記巻出軸と巻取軸間の搬送路上に設けられロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する複数のロール群と、搬送中の長尺樹脂フィルムを加熱処理する加熱手段を備え、かつ、ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に上記加熱手段が設けられた長尺樹脂フィルム処理装置における、上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムと加熱手段と隣り合う搬送路下流側のロールを冷却する方法において、
長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し上記下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、上記冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備するロール冷却装置を加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールに付設して、上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムと加熱手段と隣り合う搬送路下流側の下流側ロールを冷却することを特徴とし、
請求項10に係る発明は、
請求項9に記載の発明に係る長尺樹脂フィルムとロールの冷却方法において、
上記隙間を介し下流側ロール外周面と対向する冷却装置本体の上記冷却面並びに下流側ロール外周面の放射率が、それぞれ0.60以上であることを特徴とするものである。
ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に加熱手段が設けられ、かつ、加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールにロール冷却装置が付設されているため、加熱処理された長尺樹脂フィルムが上記下流側ロールに接触してもロール冷却装置の作用によりロールの温度が上昇し難いことから、ロールの軸が曲がって長尺樹脂フィルムを斜行搬送させ、あるいは、長尺樹脂フィルムの斜行搬送に起因して長尺樹脂フィルムの幅方向端部側に傷が付いてしまう等の問題を解消することが可能となる。
長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備し、冷却装置本体の上記冷却面により下流側ロール表面からの放射熱を吸収させて間接的にロールを冷却する構造になっているため、ロール・トゥ・ロール方式における搬送系の制御を複雑にすることなく、加熱手段の搬送路下流側に位置する下流側ロールを減圧雰囲気下において冷却させることが可能となる。
長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備するロール冷却装置を加熱手段の搬送路下流側に位置する下流側ロールに付設し、冷却装置本体の上記冷却面により下流側ロール表面からの放射熱を吸収させて間接的にロールを冷却する方法のため、ロール・トゥ・ロール方式における搬送系の制御を複雑にすることなく、加熱手段の搬送路下流側に位置する下流側ロールを減圧雰囲気下において冷却させることが可能となる。
長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備するロール冷却装置を加熱手段の搬送路下流側に位置する下流側ロールに付設し、冷却装置本体の上記冷却面により上記隙間を通過する長尺樹脂フィルムからの放射熱と下流側ロール表面からの放射熱を吸収させて間接的に冷却する方法のため、ロール・トゥ・ロール方式における搬送系の制御を複雑にすることなく、長尺樹脂フィルムと下流側ロールとを減圧雰囲気下において冷却させることが可能となる。
[実施例1]
長尺樹脂フィルム11として、厚さ38μm、幅500mmのポリイミド系フィルム(東レ・デュポン社製 商品名カプトン)を巻出軸5に長さ750m取り付けた。また、下流側ロール7cはアルミニウム製の材料で構成され、その外周面は黒色アルマイト処理されてその放射率は0.95であった。
[実施例2]
長尺樹脂フィルム11として、厚さ35μm、幅500mmのポリイミド系フィルム(宇部興産社製 商品名ユーピレックス)を巻出軸5に長さ750m取り付けた。
[実施例3]
アルミニウム製ロールの外周面を黒色アルマイト処理し、かつ、部分的にマスキングを施してアルミニウムを部分的に蒸着させて得られたロール表面の放射率が平均的に0.6である下流側ロール7cを適用した以外は実施例1と同様の条件で1本目と2本目のポリイミド系フィルムの加熱処理を実施した。
[比較例1]
上側冷却ブロック13bと下側冷却ブロック13aとで構成されるロール冷却装置を付設しなかった以外は実施例1と同様の条件で、厚さ38μm、幅500mm、長さ750mのポリイミド系フィルム(東レ・デュポン社製 商品名カプトン)を加熱乾燥処理したところ、1本目は600m以降に、2本目は400m以降にポリイミド系フィルムの斜行が確認された。尚、1本目と2本目のいずれも500m処理以降のロールの温度は130℃であった。また、2本目の加熱処理終了後、下流側ロール7cにおける回転軸19の偏芯の程度を測定したところ約100μmであり、回転軸19の変形が認められた。
[比較例2]
アルミニウム製ロールの外周面にハードクロムめっきを施して得られた放射率が0.2以下である下流側ロール7cを適用した以外は比較例1と同様の条件で、1本目と2本目の厚さ38μm、幅500mm、長さ750mのポリイミド系フィルム(東レ・デュポン社製 商品名カプトン)を加熱乾燥処理したところ、1本目は600m以降に、2本目は500m以降にポリイミド系フィルムの斜行が確認された。尚、1本目と2本目のいずれも500m処理以降のロールの温度は130℃であった。また、2本目の加熱処理終了後、下流側ロール7cにおける回転軸19の偏芯の程度を測定したところ約90μmであり、回転軸19の変形が認められた。
2 真空ポンプ
3 バルブ
4 真空チャンバー
5 巻出軸
6 巻取軸
7a,7d ロール
7b 上流側ロール
7c 下流側ロール
8 真空計
9a,9b ヒーター
10 熱電対
11 長尺樹脂フィルム
12 表面電位計
13a 下側冷却ブロック
13b 上側冷却ブロック
14a フィルム搬入口
14b フィルム排出口
15 放射温度計
16 フッ化バリウム製窓
17 黒体テープ
18 覗き穴
19 回転軸
21 冷却装置
22 キャンロール
23 スパッタリングカソード
Claims (10)
- 減圧室と、この減圧室内に設けられ巻回した長尺樹脂フィルムを巻出す巻出軸と、減圧室内に設けられ上記巻出軸から巻出された長尺樹脂フィルムを巻取る巻取軸と、上記巻出軸と巻取軸間の搬送路上に設けられロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する複数のロール群と、搬送中の長尺樹脂フィルムを加熱処理する加熱手段を備える長尺樹脂フィルム処理装置において、
上記ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に加熱手段が設けられ、かつ、加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールにロール冷却装置が付設されていると共に、このロール冷却装置が、長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し上記下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、上記冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備することを特徴とする長尺樹脂フィルム処理装置。 - 上記加熱処理が、長尺樹脂フィルムの乾燥処理であることを特徴とする請求項1に記載の長尺樹脂フィルム処理装置。
- 上記加熱処理が、長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に対するプラズマ処理若しくはイオンビーム処理であることを特徴とする請求項1に記載の長尺樹脂フィルム処理装置。
- 上記ロール冷却装置の搬送路下流側に、スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法またはCVD法から選択された長尺樹脂フィルムのコーティング手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の長尺樹脂フィルム処理装置。
- 減圧室と、この減圧室内に設けられ巻回した長尺樹脂フィルムを巻出す巻出軸と、減圧室内に設けられ上記巻出軸から巻出された長尺樹脂フィルムを巻取る巻取軸と、上記巻出軸と巻取軸間の搬送路上に設けられロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する複数のロール群と、搬送中の長尺樹脂フィルムを加熱処理する加熱手段を備え、かつ、ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に上記加熱手段が設けられた長尺樹脂フィルム処理装置に組み込まれるロール冷却装置において、
加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールに付設されると共に、長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し上記下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、上記冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を有することを特徴とするロール冷却装置。 - 上記隙間を介し下流側ロール外周面と対向する冷却装置本体の上記冷却面並びに下流側ロール外周面の放射率が、それぞれ0.60以上であることを特徴とする請求項5に記載のロール冷却装置。
- 減圧室と、この減圧室内に設けられ巻回した長尺樹脂フィルムを巻出す巻出軸と、減圧室内に設けられ上記巻出軸から巻出された長尺樹脂フィルムを巻取る巻取軸と、上記巻出軸と巻取軸間の搬送路上に設けられロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する複数のロール群と、搬送中の長尺樹脂フィルムを加熱処理する加熱手段を備え、かつ、ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に上記加熱手段が設けられた長尺樹脂フィルム処理装置のロール冷却方法において、
長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し上記下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、上記冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備するロール冷却装置を加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールに付設して、加熱手段が設けられた長尺樹脂フィルム処理装置のロールを冷却することを特徴とするロール冷却方法。 - 上記隙間を介し下流側ロール外周面と対向する冷却装置本体の上記冷却面並びに下流側ロール外周面の放射率が、それぞれ0.60以上であることを特徴とする請求項7に記載のロール冷却方法。
- 減圧室と、この減圧室内に設けられ巻回した長尺樹脂フィルムを巻出す巻出軸と、減圧室内に設けられ上記巻出軸から巻出された長尺樹脂フィルムを巻取る巻取軸と、上記巻出軸と巻取軸間の搬送路上に設けられロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する複数のロール群と、搬送中の長尺樹脂フィルムを加熱処理する加熱手段を備え、かつ、ロール・トゥ・ロール方式の搬送手段を構成する隣り合う1組の上流側ロール・下流側ロール間の搬送路上に上記加熱手段が設けられた長尺樹脂フィルム処理装置における、上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムと加熱手段と隣り合う搬送路下流側のロールを冷却する方法において、
長尺樹脂フィルムが通過できる隙間を介し上記下流側ロール外周面を覆ってその表面を冷却させる冷却面を有する冷却装置本体と、この冷却装置本体に設けられ上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムを冷却装置本体内に搬入させるフィルム搬入口と、上記冷却装置本体に設けられ冷却装置本体内に搬入された長尺樹脂フィルムを搬送路下流側に排出させるフィルム排出口を具備するロール冷却装置を加熱手段の搬送路下流側に位置する上記下流側ロールに付設して、上記加熱手段を通過した長尺樹脂フィルムと加熱手段と隣り合う搬送路下流側の下流側ロールを冷却することを特徴とする長尺樹脂フィルムとロールの冷却方法。 - 上記隙間を介し下流側ロール外周面と対向する冷却装置本体の上記冷却面並びに下流側ロール外周面の放射率が、それぞれ0.60以上であることを特徴とする請求項9に記載の長尺樹脂フィルムとロールの冷却方法。
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