JP6201191B2 - 銅張積層板の製造方法 - Google Patents
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F2 銅薄膜層付樹脂フィルム基材
S 2層構造の銅張積層板
1 樹脂フィルム基材
2 下地金属層
3 銅薄膜層
4 銅電気めっき層
5 銅層
6 銅張積層板
10 ロール・ツー・ロールスパッタリング装置
11a、11b、11c、11d フリーロール
12 チャンバー
13 巻出ロール
14 キャンロール
15a、15b、15c、15d スパッタリングカソード
16a 前フィードロール
16b 後フィードロール
17a、17b、17c テンションロール
18 巻取ロール
19a、19b 赤外線ヒータ
20 ロール・ツー・ロール電気めっき装置
21 電気めっき槽
22 巻出ロール
23a〜23j 反転ロール
24a〜24t アノード
26a〜26j 給電ロール
28 めっき液
29 巻取ロール
Claims (3)
- ピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとからなりイミド結合を含む厚み25μm以下のポリイミドフィルムをその長手方向に単位断面積あたり0.762〜3.05N/mm 2 の張力を加えた状態で、圧力0.1〜10Paのアルゴンガス又は窒素ガスからなる不活性ガス雰囲気下において100〜200℃に加熱する熱処理を行った後、該熱処理されたポリイミドフィルムの表面に接着剤を介することなくニッケル合金からなる下地金属層を成膜し、前記下地金属層の表面に銅層を成膜することを特徴とする2層構造の銅張積層板の製造方法。
- 前記下地金属層の成膜と、前記銅層のうち前記下地金属層の表面に成膜させる銅薄膜層の成膜とを乾式めっき法で連続して成膜することを特徴とする、請求項1に記載の銅張積層板の製造方法。
- 前記銅薄膜層の表面に湿式めっき法で銅めっき層を成膜して前記銅層を形成することを特徴とする、請求項2に記載の銅張積層板の製造方法。
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