JP3365207B2 - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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Description
薄膜を形成する真空蒸着装置に関する。
密度化、小型化とともに省資源、低コスト化などの時代
要請があり薄膜磁性層を持つ高密度磁気記録媒体の応用
範囲が広がっている。
して、円筒キャンに高分子フィルムを沿わせて酸素ガス
を介在介入させながら磁性材料を電子ビームで蒸着する
斜め蒸着法がある。しかし、この方式では、蒸発した磁
性材料のごく一部しか高分子フィルム上に付着させるこ
とができず、省資源、高生産性の観点から蒸発物の付着
効率を改善する方法として、高分子フィルムを円筒キャ
ンでなくエンドレスキャリアベルトにより搬送する方式
が試みられてきた。
図3は従来の真空蒸着装置の構造を示すものであり、特
開平6−145982号公報、特開平6−231457
号公報に開示されている。図3において、1は高分子フ
ィルム、2,3は冷却ローラ、4はエンドレスキャリア
ベルト、5は耐火容器、6は蒸発材料、7は蒸気流、8
は電子ビーム、9はマスクである。
いて、以下その動作について説明する。
材料6を加熱し蒸気流7を生じせしめる。この蒸気流は
磁気テープの製造時によく用いられる高分子フィルム1
への入射角度を限定するマスク9により一部さえぎられ
移動する高分子フィルム1に付着する。高分子フィルム
1は蒸発材料6の輻射熱及び蒸気流7の持つ熱によって
耐熱温度以上に温度上昇しないようにエンドレスキャリ
アベルト4に沿わせることにより冷却し、更に、エンド
レスキャリアベルト4を冷却ローラ2、3に密着させる
ことにより冷却させる。
来の構成では、冷却ローラとエンドレスキャリアベルト
を密着させて冷却しているが、一般的に冷却ローラとエ
ンドレスキャリアベルトは金属であり、完全に密着せず
にエンドレスキャリアベルトの冷却が不十分になり磁気
テープの性能に影響があった。また、エンドレスキャリ
アベルトのつなぎ部分、使用による経時劣化での形状変
化、また蒸着処理の時間の経過と共に蒸発材料6の輻射
熱及び蒸気流7の持つ熱によってエンドレスキャリアベ
ルトの幅方向の形状変形等で、エンドレスキャリアベル
トと冷却ローラに隙間が大きくなり、エンドレスキャリ
アベルトの冷却効率が低下して温度が上昇し、高分子フ
ィルムが耐熱温度以上の温度となって劣化変形したり溶
断するなどの問題点があった。
ので、高付着効率で長尺の蒸着ができる巻取り式真空蒸
着装置を提供することを目的とする。
に、本発明の真空蒸着装置は、真空槽内で高分子フィル
ムを搬送するエンドレスキャリアベルトに直接冷却媒体
を密着させることにより、エンドレスキャリアベルトの
冷却効率を上げることを特徴としたものである。
するエンドレスキャリアベルトと冷却ローラの隙間にゲ
ル状態の物質を介在させることにより、エンドレスキャ
リアベルトと冷却ローラの伝熱面積を広げエンドレスキ
ャリアベルトの冷却効率を上げることを特徴としたもの
である。
は、真空槽内で、高分子フィルムを搬送するエンドスレ
キャリアベルトを使用した蒸着装置において、エンドレ
スキャリアベルトを直接冷却媒体に接触させながら冷却
する機能を有することを特徴とする真空蒸着装置とした
ものであり、これにより、エンドレスキャリアベルトの
冷却効果を上げ蒸着中の高分子フィルムの温度上昇を低
く抑えることができ、長尺の蒸着が可能な巻取り式真空
蒸着装置を実現できるものである。
ら図2を用いて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明における真空蒸着装置の
構造を示すものである。図1において、1は高分子フィ
ルム、2,3は冷却ローラ、4はエンドレスキャリアベ
ルト、5は耐火容器、6は蒸発材料、7は蒸気流、8は
電子ビーム、9はマスク、10はゲル状の冷却媒体であ
る。
いて、その動作を説明する。まず、加速された電子ビー
ム8により蒸発材料6を加熱し蒸気流7を生じせしめ
る。この蒸気流は磁気テープの製造時によく用いられる
高分子基板1への入射角度を限定するマスク9により一
部さえぎられ、エンドレスキャリアベルト4に密着して
移動する高分子フィルム1に付着する。エンドレスキャ
リアベルト4の内側には、冷却媒体10を塗布してある
ために、エンドレスキャリアベルト4の使用による劣
化、熱等による変形のため、冷却ローラ2,3との間に
隙間が生じても、その隙間にゲル状物質の媒体があるた
めにエンドレスキャリアベルト4の熱伝面積が広がり冷
却効果は得られる。
レスキャリアベルト4の内側に塗布した実施の形態1に
よる真空蒸着装置と従来の真空蒸着装置の比較を、高記
録密度に適した蒸着磁気テープを試作することにより比
較した。
mのポリエチレンテレフタレートフィルムを120m/
分の速度で移動させ、この高分子フィルム上にCo80
%−Ni20%からなる厚さ0.2μmの磁性層を形成
するという試作を行った。
分後にエンドレスキャリアベルトが変形し、8〜15分
後にポリエチレンテレフタレートフィルムが温度上昇に
より溶断した。
間でポリエチレンテレフタレートの溶断は生じなかった
が、テープ長手方向で性能にバラツキが生した。
ンドレスキャリヤベルトと冷却ローラ間にゲル状物質を
塗布することにより、従来の蒸着装置よりエンドレスキ
ャリアベルトの冷却効率は改善された。
2について図面を参照しながら説明する。図2におい
て、1は高分子フィルム、2,3は冷却ローラ、4はエ
ンドレスキャリヤベルト、5は耐火容器、6は蒸発材
料、7は蒸気流、8は電子ビーム、9はマスク、11は
高熱伝導物の粉とゲル状物の混合物媒体である。
いて、以下その動作について説明する。
材料6を加熱し蒸気流7を生じせしめる。この蒸気流は
磁気テープの製造時によく用いられる高分子基板1への
入射角度を限定するマスク9により一部さえぎられ、エ
ンドレスキャリヤベルト4に密着して移動する高分子フ
ィルム1に付着する。このときの蒸発材料6からの輻射
熱、また、使用によるエンドレスキャリアベルト4の劣
化等による変形のため、従来は冷却ローラ2,3との間
に隙間が生じエンドレスキャリアベルト4の冷却効率が
悪化するがその隙間にゲル状態の高熱伝導率の媒体が介
在するために、エンドレスキャリアベルト4と冷却ロー
ラ2,3の伝熱面積は変化せずにエンドレスキャリアベ
ルト4の冷却効果は得られる。
の媒体は、シリコングリスと銅粉を1:3に混合させた
物をエンドレスキャリアベルト4の内側に塗布すること
により、実施の形態1と同様の蒸着条件で処理を行った
結果、蒸着処理時間41分以上、処理長5000mの長
尺の蒸着が可能となり、性能面でも問題ないテープが生
産できた。
分子フィルムを搬送するエンドレスキャリアベルトと冷
却ローラの間に液体冷却媒体、高熱伝導物の粉とゲル状
物の混合物を介在させることにより、エンドレスキャリ
アベルトの冷却効果を上げ蒸着中の高分子フィルムの温
度上昇を低く抑えることができ、長尺の蒸着が可能な巻
取り式真空蒸着装置を実現できるものである。
構成図
構成図
Claims (2)
- 【請求項1】 真空槽内で、高分子フィルムを搬送する
金属製のエンドレスキャリアベルトを使用した蒸着装置
であって、 前記エンドレスキャリアベルトを搬送するローラを前記
エンドレスキャリアベルトのループ内側に複数個有し、
前記複数のローラのうち少なくとも1つは冷却ローラで
あり、 前記エンドレスキャリアベルトの内側全周にわたってゲ
ル状物質を直接塗布したことを特徴とする蒸着装置。 - 【請求項2】 前記ゲル状物質が、シリコングリスと金
属粉を混合したものであることを特徴とする請求項1に
記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12950496A JP3365207B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12950496A JP3365207B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09316641A JPH09316641A (ja) | 1997-12-09 |
JP3365207B2 true JP3365207B2 (ja) | 2003-01-08 |
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ID=15011129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12950496A Expired - Fee Related JP3365207B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3365207B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102378826A (zh) * | 2009-04-22 | 2012-03-14 | 松下电器产业株式会社 | 薄膜形成装置及薄膜形成方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4355032B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-10-28 | パナソニック株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
-
1996
- 1996-05-24 JP JP12950496A patent/JP3365207B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN102378826A (zh) * | 2009-04-22 | 2012-03-14 | 松下电器产业株式会社 | 薄膜形成装置及薄膜形成方法 |
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JPH09316641A (ja) | 1997-12-09 |
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