JPS62219234A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS62219234A JPS62219234A JP5941686A JP5941686A JPS62219234A JP S62219234 A JPS62219234 A JP S62219234A JP 5941686 A JP5941686 A JP 5941686A JP 5941686 A JP5941686 A JP 5941686A JP S62219234 A JPS62219234 A JP S62219234A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[M業との利用分野]
本発明は、全屈薄膜型磁気記録媒体の製造方法に関する
ものである。
ものである。
[従来の技術]
年々高密度化の傾向にある磁気記録媒体のなかで、垂直
磁気記録媒体は次世代の記録媒体として有力視されてき
た。これは垂直磁気記録方式が原理的に高密度記録が可
能なためであるが、とりわけこの数年間精力的に研究が
すすめられ、垂直磁気記録媒体は現在、実用化の段階に
ある。
磁気記録媒体は次世代の記録媒体として有力視されてき
た。これは垂直磁気記録方式が原理的に高密度記録が可
能なためであるが、とりわけこの数年間精力的に研究が
すすめられ、垂直磁気記録媒体は現在、実用化の段階に
ある。
垂直磁気記録媒体としてはBaフェライトを用いた塗布
媒体もあるが、Co−Or合金薄膜が主流となっている
。Co−Or合金薄膜はスパッタリング、真空蒸着、イ
オンブレーティングなどの方法により形成することがで
きるが、この中で真空RH法はその成膜速度が大きいこ
とから、金属g膜媒体の製造に最も適している。
媒体もあるが、Co−Or合金薄膜が主流となっている
。Co−Or合金薄膜はスパッタリング、真空蒸着、イ
オンブレーティングなどの方法により形成することがで
きるが、この中で真空RH法はその成膜速度が大きいこ
とから、金属g膜媒体の製造に最も適している。
現在、真空蒸着による磁気記録媒体の製造はほとんど連
続式蒸着と呼ばれる方法をもちいている。これは、真空
槽内に円筒形キャンを設け、可撓性基体をキャンに沿っ
て移動させながら電子ビーム蒸着により、連続的に磁性
層を形成するという方法である。 Co−旧糸蒸着媒体
はその代表例としてあげられる。
続式蒸着と呼ばれる方法をもちいている。これは、真空
槽内に円筒形キャンを設け、可撓性基体をキャンに沿っ
て移動させながら電子ビーム蒸着により、連続的に磁性
層を形成するという方法である。 Co−旧糸蒸着媒体
はその代表例としてあげられる。
連続式蒸着法によりCo−Cr垂直磁気記録媒体を製造
する場合、問題となっている点のひとつに可撓性基体の
しわ発生がある。これは基体上に磁性層を形成する際に
生じるもので、蒸発源からの輻射熱や蒸発物質の凝集熱
により急激に基体の温度が上昇することに起因する。
する場合、問題となっている点のひとつに可撓性基体の
しわ発生がある。これは基体上に磁性層を形成する際に
生じるもので、蒸発源からの輻射熱や蒸発物質の凝集熱
により急激に基体の温度が上昇することに起因する。
基体の温度が蒸着時にL昇するのはCo−旧蒸着媒体で
も全く変わりないが、Co−Ni蒸着媒体でしわが発生
しにくく、Co−Cr蒸着媒体でしわが発生しやすいの
は以下の理由による。
も全く変わりないが、Co−Ni蒸着媒体でしわが発生
しにくく、Co−Cr蒸着媒体でしわが発生しやすいの
は以下の理由による。
まずCo−Ni蒸着媒体は、蒸発原子が基体に対して斜
めに入射する斜め蒸着を用いているが、Co−Cr蒸着
媒体は蒸発原子が基体に垂直に入射する通常の蒸着で膜
形成しているという点である。 Co−Ni蒸着媒体の
製造装ごを第1図に示す。
めに入射する斜め蒸着を用いているが、Co−Cr蒸着
媒体は蒸発原子が基体に垂直に入射する通常の蒸着で膜
形成しているという点である。 Co−Ni蒸着媒体の
製造装ごを第1図に示す。
Co−旧蒸着媒体は磁気特性を向上させるために蒸発原
子Sの入射角φが大きくなるように、蒸発原子Sの入射
角を制限するマスク5が広くなっている。このようにす
ると、蒸着初期には成膜速度が小さく、連続的に成膜速
度が増加しながら磁性層を形成してい〈、ところがCo
−Cr蒸着媒体では第2図に示すように蒸発原子Sの入
射角φを制限するマスク5のスリット巾が狭い、これは
Ca−Cr膜の結晶配向性を高めるためであり、入射角
φが小さいほど、結晶配向性が向上する。垂直磁気記録
媒体を得るためには入射角φは30°以下が望ましい。
子Sの入射角φが大きくなるように、蒸発原子Sの入射
角を制限するマスク5が広くなっている。このようにす
ると、蒸着初期には成膜速度が小さく、連続的に成膜速
度が増加しながら磁性層を形成してい〈、ところがCo
−Cr蒸着媒体では第2図に示すように蒸発原子Sの入
射角φを制限するマスク5のスリット巾が狭い、これは
Ca−Cr膜の結晶配向性を高めるためであり、入射角
φが小さいほど、結晶配向性が向上する。垂直磁気記録
媒体を得るためには入射角φは30°以下が望ましい。
従ってこの場合には成膜速度に勾配はっかない。
また、Co一層蒸若媒体では円筒形キャン2を冷却して
いるが、Co−Cr蒸着媒体では円筒形キャン2を加熱
している。これはCo−Cr蒸着媒体の磁気特性、とり
わけ抗磁力が基体1の温度に依存するためである。良好
な垂直磁気記録媒体を得るためには基体lの温度は15
0℃から300℃の範囲にあることが望ましい。
いるが、Co−Cr蒸着媒体では円筒形キャン2を加熱
している。これはCo−Cr蒸着媒体の磁気特性、とり
わけ抗磁力が基体1の温度に依存するためである。良好
な垂直磁気記録媒体を得るためには基体lの温度は15
0℃から300℃の範囲にあることが望ましい。
つまり、Co−Cr蒸着媒体を製造する場合、斜め蒸着
とは異なり、成膜速度に勾配がなく、かつキャンの温度
が150℃から300’Cと高いため、蒸着時の基体1
の温度上昇が急激であり、しわが発生しやすいのである
。
とは異なり、成膜速度に勾配がなく、かつキャンの温度
が150℃から300’Cと高いため、蒸着時の基体1
の温度上昇が急激であり、しわが発生しやすいのである
。
[発明が解決しようとする問題点]
このようなしわの発生に対して従来とられてきた方法は
基体1の張力を増大させるというものであった。張力を
増大させることにより、キャン2との密着性をたかめ、
しわの発生を抑えていた。
基体1の張力を増大させるというものであった。張力を
増大させることにより、キャン2との密着性をたかめ、
しわの発生を抑えていた。
しかし、この方法では張力を増大させたために。
ノ^体が塑性変形をおこし、磁性層にクラックがはいっ
たり、成膜後のカールがひどくなるなどの問題点があっ
た。
たり、成膜後のカールがひどくなるなどの問題点があっ
た。
本発明は上記問題点を解消するもので、基体の張力を増
大させずに、蒸着時のしわを抑えることができ、量産効
果の著しいCo−Cr垂直磁気記録媒体の製造方法を提
供するものである。
大させずに、蒸着時のしわを抑えることができ、量産効
果の著しいCo−Cr垂直磁気記録媒体の製造方法を提
供するものである。
[問題点を解決するための手段および作用]本発明の製
造方法は、移動する可とう性基体に電子ビーム蒸着によ
り連続的にCo−Crを主成分とする磁性層を形成する
垂直磁気記録媒体の製造方法において、該可とう性基体
を加熱し、かつ帯電させたのちに磁性層を形成すること
を特徴とする。
造方法は、移動する可とう性基体に電子ビーム蒸着によ
り連続的にCo−Crを主成分とする磁性層を形成する
垂直磁気記録媒体の製造方法において、該可とう性基体
を加熱し、かつ帯電させたのちに磁性層を形成すること
を特徴とする。
本発明の構成により帯電した基体と、円筒形キャンとの
間に静電引力がはたらき、極めて密着性が向上する。こ
の為基体の張力を増大させずともしわの発生を抑えるこ
とが可能となり、生産性が向−ヒする。
間に静電引力がはたらき、極めて密着性が向上する。こ
の為基体の張力を増大させずともしわの発生を抑えるこ
とが可能となり、生産性が向−ヒする。
以F本発明を実施例に対応する図面を参照しながら説明
する。第3図は本発明を実現するために用いた蒸着装置
の一実施例の要部構成図である。
する。第3図は本発明を実現するために用いた蒸着装置
の一実施例の要部構成図である。
蒸気流の入射を制限するマスク5に開孔8が設けられて
いる。開孔8は電Pビーム7の反射電子を基体lの表面
に回り込ませる役割をはたしている。
いる。開孔8は電Pビーム7の反射電子を基体lの表面
に回り込ませる役割をはたしている。
電Tビーム7の反射電子を利用せず、基体lの帯電用に
電子ビームを設けてもよい、ここで基体lは、ポリイミ
ド2ポリアミド、ポリエチレンテレフタレートなどの高
分子成形物で膜厚100 p、m以ドのものが適宜選択
されるがとりわけ30gm以下の薄いフィルムの場合に
しわの発生が問題となる。
電子ビームを設けてもよい、ここで基体lは、ポリイミ
ド2ポリアミド、ポリエチレンテレフタレートなどの高
分子成形物で膜厚100 p、m以ドのものが適宜選択
されるがとりわけ30gm以下の薄いフィルムの場合に
しわの発生が問題となる。
円筒形キャン2は金属製で熱媒により温度制御可能であ
る。
る。
このように構成された製造装置で種々の条件により、基
体lを走行させ、蒸着を行った結果、しわの抑制効果が
確認された。
体lを走行させ、蒸着を行った結果、しわの抑制効果が
確認された。
[実施例]
以下に本発明の具体的な実施例を説明する。
実施例1
第2図のように帯電用の開孔がない蒸着装置と第3図の
ように帯電用の開孔のある蒸着装ごで実験を行った。基
体はポリイミド(巾8hm、厚さ8 p、ts 、 1
2ILa+)を使用し、キャン温度は200℃。
ように帯電用の開孔のある蒸着装ごで実験を行った。基
体はポリイミド(巾8hm、厚さ8 p、ts 、 1
2ILa+)を使用し、キャン温度は200℃。
250℃および280℃と変化させた。フィルム搬送速
度は2 m/win、74ルム張力は500 g/mm
2以下、蒸発源はCo−Cr合金、磁性層厚は0.4μ
層とした。
度は2 m/win、74ルム張力は500 g/mm
2以下、蒸発源はCo−Cr合金、磁性層厚は0.4μ
層とした。
第2図のような開孔のない装置の場合、蒸発原子が入射
するAの部分からしわが発生した。しわの発生はキャン
温度が上昇すると増加する傾向にあり、キャン温度28
0℃では80層■の巾に10本以上のしわが発生する場
合もあった。フィルムの厚さ8終■と12Bとではしわ
の発生にほとんど差がなかった。これに対して第3図の
ように開孔がある場合はどの条件でもしわは発生しなか
った。
するAの部分からしわが発生した。しわの発生はキャン
温度が上昇すると増加する傾向にあり、キャン温度28
0℃では80層■の巾に10本以上のしわが発生する場
合もあった。フィルムの厚さ8終■と12Bとではしわ
の発生にほとんど差がなかった。これに対して第3図の
ように開孔がある場合はどの条件でもしわは発生しなか
った。
実施例2
実施例1と同様、開孔のない装置と開孔のある装置で実
験を行った。基体はポリアミド(巾80厘I、厚さlO
終m)を使用し、キャン温度は150°Cおよび200
°Cと変化させた。フィルム搬送速度は2 m/win
、フィルム張力は500g/mm2以下、蒸発源はCo
−Cr合金、磁性層厚は0.4μmとした。
験を行った。基体はポリアミド(巾80厘I、厚さlO
終m)を使用し、キャン温度は150°Cおよび200
°Cと変化させた。フィルム搬送速度は2 m/win
、フィルム張力は500g/mm2以下、蒸発源はCo
−Cr合金、磁性層厚は0.4μmとした。
開孔のない装置では蒸発原子が入射するAの部分からし
わが発生した。しわの発生はキャンの温度の高いほうが
多かった。これに対して開孔のある装置ではしわは発生
しなかった。
わが発生した。しわの発生はキャンの温度の高いほうが
多かった。これに対して開孔のある装置ではしわは発生
しなかった。
[)A明の効果]
以上のように本発明は電子ビーム蒸着により可撓性基体
上に磁性層を形成する際に磁性層が形成される前に基体
を帯電することによりキャンと基体の密若性をたかめ、
蒸着時のしわの発生を抑えることができ、生産性にすぐ
れた全屈薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供するもの
であり、その量産的効果は大きい。
上に磁性層を形成する際に磁性層が形成される前に基体
を帯電することによりキャンと基体の密若性をたかめ、
蒸着時のしわの発生を抑えることができ、生産性にすぐ
れた全屈薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供するもの
であり、その量産的効果は大きい。
第1図は斜め蒸着用連続式蒸着装δの要部構成図、第2
図は帯電用開孔のない連続式蒸着装置の要部構成図、第
3図は、帯電用開孔のある連続式M着装置の要部構成図
。 1は可撓性基体、2は円筒形キャン、3は巻き取りロー
ル、4は巻き出しロール、5はマスク、6は蒸発源、7
は電子ビーム、8は基体帯電用開孔部、Sは蒸発原子、
φは蒸発原子の入射角、Aは蒸発原子の入射しはじめる
位置を示す。
図は帯電用開孔のない連続式蒸着装置の要部構成図、第
3図は、帯電用開孔のある連続式M着装置の要部構成図
。 1は可撓性基体、2は円筒形キャン、3は巻き取りロー
ル、4は巻き出しロール、5はマスク、6は蒸発源、7
は電子ビーム、8は基体帯電用開孔部、Sは蒸発原子、
φは蒸発原子の入射角、Aは蒸発原子の入射しはじめる
位置を示す。
Claims (1)
- 移動する可撓性基体に電子ビーム蒸着により連続的に
、Co−Crを主成分とする磁性層を形成する垂直磁気
記録媒体の製造方法において、該可撓性基体を加熱し、
かつ帯電させたのちに磁性層を形成することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5941686A JPS62219234A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5941686A JPS62219234A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62219234A true JPS62219234A (ja) | 1987-09-26 |
Family
ID=13112643
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5941686A Pending JPS62219234A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62219234A (ja) |
-
1986
- 1986-03-19 JP JP5941686A patent/JPS62219234A/ja active Pending
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