JPH02148416A - 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法及び製造装置Info
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- JPH02148416A JPH02148416A JP30117088A JP30117088A JPH02148416A JP H02148416 A JPH02148416 A JP H02148416A JP 30117088 A JP30117088 A JP 30117088A JP 30117088 A JP30117088 A JP 30117088A JP H02148416 A JPH02148416 A JP H02148416A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は優れた磁気記録媒体を皺なく形成するための製
造方法及び製造装置に関する。
造方法及び製造装置に関する。
従来の技術
高密度磁気記録技術の進展にともない磁気記録媒体は従
来の塗布型記録媒体から薄膜型の記録媒体へと移行しつ
つある。さらに近年では記録方式そのものの変化、即ち
従来の面内磁気記録方式から垂直磁気記録方式への移行
も検討されている。
来の塗布型記録媒体から薄膜型の記録媒体へと移行しつ
つある。さらに近年では記録方式そのものの変化、即ち
従来の面内磁気記録方式から垂直磁気記録方式への移行
も検討されている。
薄膜磁気記録媒体を量産する方法としては連続蒸着法が
最も有効である。即ち第３図に示したように、真空槽２
中で巻き出されたロール状の高分子基板５が円筒状キャ
ン７に沿って走行中に電子ビーム蒸発′ｌ！ｊ９より磁
性層を真空蒸着した後に巻き取りロール１０に巻き取る
ことによって薄膜磁気記録媒体の高速形成が可能である
。さらに磁気特性その他の要求により前記キャンを昇温
することにより磁性層形成時の基板温度を高めることが
ある。例えばＣｏＣｒ合金を磁性層とした垂直磁気記録
媒体の場合には保磁力を確保するため耐熱性高分子基板
を用いて基板温度を２００°Ｃ以上にした磁性層形成が
行われている。
最も有効である。即ち第３図に示したように、真空槽２
中で巻き出されたロール状の高分子基板５が円筒状キャ
ン７に沿って走行中に電子ビーム蒸発′ｌ！ｊ９より磁
性層を真空蒸着した後に巻き取りロール１０に巻き取る
ことによって薄膜磁気記録媒体の高速形成が可能である
。さらに磁気特性その他の要求により前記キャンを昇温
することにより磁性層形成時の基板温度を高めることが
ある。例えばＣｏＣｒ合金を磁性層とした垂直磁気記録
媒体の場合には保磁力を確保するため耐熱性高分子基板
を用いて基板温度を２００°Ｃ以上にした磁性層形成が
行われている。
発明が解決しようとする課題
ところが昇温キャンを用いた場合にはキャンの入り側あ
るいは出側で高分子基板に皺が入りやすい。この皺は高
分子基板の急激な温度変化に伴う熱変形に起因するもの
と思われ、加熱ローラの温度が高いほど皺は入りやすい
。また、高密度記録の実現のため、高分子基板の表面性
は平滑化の方向に進んでいるが、基板表面が平滑になれ
ばなる程前述の皺が入りやすい傾向にある。
るいは出側で高分子基板に皺が入りやすい。この皺は高
分子基板の急激な温度変化に伴う熱変形に起因するもの
と思われ、加熱ローラの温度が高いほど皺は入りやすい
。また、高密度記録の実現のため、高分子基板の表面性
は平滑化の方向に進んでいるが、基板表面が平滑になれ
ばなる程前述の皺が入りやすい傾向にある。
課題を解決するための手段
本発明は、真空中で巻き出されたロール状の高分子基板
が昇温された円筒状キャンの周面に沿って走行中に真空
蒸着法によって前記高分子基板上に磁性層を形成する磁
気記録媒体の製造方法において、前記キャンの入り側で
前記基板を積極的に振動させることを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法およびこれを実現するための、真空槽
及び真空排気系と、真空槽中に設けられたロール状高分
子基板の搬送系及び磁性層を真空蒸着するための蒸発源
を有する磁気記録媒体の製造装置において、前記搬送系
が振動機構を備えたガイドローラを有していることを特
徴とする磁気記録媒体の製造装置である。
が昇温された円筒状キャンの周面に沿って走行中に真空
蒸着法によって前記高分子基板上に磁性層を形成する磁
気記録媒体の製造方法において、前記キャンの入り側で
前記基板を積極的に振動させることを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法およびこれを実現するための、真空槽
及び真空排気系と、真空槽中に設けられたロール状高分
子基板の搬送系及び磁性層を真空蒸着するための蒸発源
を有する磁気記録媒体の製造装置において、前記搬送系
が振動機構を備えたガイドローラを有していることを特
徴とする磁気記録媒体の製造装置である。
作用
本発明によれば振動するガイドローラによって高分子基
板が振動する。昇温キャンの入り側で基板が振動しなか
らキャンに接するために、基板が熱変形しながらキャン
上で基板が振動すべりをすることが出来るので皺の発生
には至らない。
板が振動する。昇温キャンの入り側で基板が振動しなか
らキャンに接するために、基板が熱変形しながらキャン
上で基板が振動すべりをすることが出来るので皺の発生
には至らない。
実施例
第１図は本発明の実施例を示す図で、従来例を示す第３
図と異なる点はキャン入り側に振動機構を備えたガイド
ローラ１１を有する点にある。第１図では振動ガイドロ
ーラ１１を片側にのみ配置しているが、両方向に基板を
走行させて蒸着を行う場合など、場合によってはキャン
７の両側に振動ガイドローラを設置してもよい。振動ガ
イドローラの形式としては様々なものが考えられるが、
コイル・鉄芯と振動板からなる汎用のバイブレータ等が
利用できる。第２図は振動ガイドローラの一例であり、
振動体１２によってローラ面１３が振動する。振動の方
向としては、フィルム長さ方向成分を含むほうがより望
ましい結果が得られた。
図と異なる点はキャン入り側に振動機構を備えたガイド
ローラ１１を有する点にある。第１図では振動ガイドロ
ーラ１１を片側にのみ配置しているが、両方向に基板を
走行させて蒸着を行う場合など、場合によってはキャン
７の両側に振動ガイドローラを設置してもよい。振動ガ
イドローラの形式としては様々なものが考えられるが、
コイル・鉄芯と振動板からなる汎用のバイブレータ等が
利用できる。第２図は振動ガイドローラの一例であり、
振動体１２によってローラ面１３が振動する。振動の方
向としては、フィルム長さ方向成分を含むほうがより望
ましい結果が得られた。
厚さ８７ｚｍのポリイミド基板上に基板温度２５０度で
ＣｏＣｒ磁性層を２５０ｎｍの厚さに蒸着した場合、振
動周波数がｌＯから２００ヘルツの範囲ではキャンの入
り側で皺が発生しなかったが、その他の場合にはキャン
入り側で皺が発生した。
ＣｏＣｒ磁性層を２５０ｎｍの厚さに蒸着した場合、振
動周波数がｌＯから２００ヘルツの範囲ではキャンの入
り側で皺が発生しなかったが、その他の場合にはキャン
入り側で皺が発生した。
キャン入り側での皺はＣｏＣｒ膜形成部分までにほとん
ど消えるが、キャン入り側で皺の発生した場合には蒸着
膜に微かにキャン入り側での皺の痕跡が認められた。こ
の時、振動振幅が０．１ｍｍ以上でないと振動の効果は
認められず、振幅１０ｍｍ以上ではかえって皺が発生し
た。また、厚さ８μｍのポリイミド基板上に基板温度３
００度でＣｏＣｒ磁性層を２５０ ｎ ｍの厚さに蒸着
した場合、振動周波数が１０から２００ヘルツの範囲で
はキャンの入り側で皺が発生しなかったが、その他の場
合にはキャン入り側で皺が発生した。キャン入り側での
皺はＣｏＣｒ膜形成部分までに完全には消えず、キャン
入り側で皺の発生した場合には蒸着膜に皺が入った。尚
、以上の結果については高分子基板状に予めＴ１などの
下地層が形成されている場合も同様であった。
ど消えるが、キャン入り側で皺の発生した場合には蒸着
膜に微かにキャン入り側での皺の痕跡が認められた。こ
の時、振動振幅が０．１ｍｍ以上でないと振動の効果は
認められず、振幅１０ｍｍ以上ではかえって皺が発生し
た。また、厚さ８μｍのポリイミド基板上に基板温度３
００度でＣｏＣｒ磁性層を２５０ ｎ ｍの厚さに蒸着
した場合、振動周波数が１０から２００ヘルツの範囲で
はキャンの入り側で皺が発生しなかったが、その他の場
合にはキャン入り側で皺が発生した。キャン入り側での
皺はＣｏＣｒ膜形成部分までに完全には消えず、キャン
入り側で皺の発生した場合には蒸着膜に皺が入った。尚
、以上の結果については高分子基板状に予めＴ１などの
下地層が形成されている場合も同様であった。
発明の効果
以上の様に本発明の磁気記録媒体の製造方法並びに製造
装置によれば、キャン温度が高い状態でもキャン入り側
で高分子基板に皺を発生する事なくフィルムを走行させ
ることが出来るので、蒸着された磁気記録媒体にも皺は
発生しない。
装置によれば、キャン温度が高い状態でもキャン入り側
で高分子基板に皺を発生する事なくフィルムを走行させ
ることが出来るので、蒸着された磁気記録媒体にも皺は
発生しない。
第１図は本発明の磁気記録媒体の製造方法の一実施例を
示す図、第２図は本発明の磁気記録媒体製造装置に用い
る振動ガイドローラの一例を示す図、第３図は連続蒸着
法による磁気記録媒体の製遣方法の従来例を示す図であ
る。 ｌ・・・排気系、２・・・真空槽、３・・・回転方向、
４・・・巻出しロール、５・・・高分子基板、６・・・
ガイドローラ、７・・・キャン、８・・・マスク、９・
・・蒸発源、１ｏ・・・巻き取りロール、１１・・・振
動ガイトローラ、１２・ ・ ・振動体、 １３・ ・
・ａ−ラ面。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１冬期 図
示す図、第２図は本発明の磁気記録媒体製造装置に用い
る振動ガイドローラの一例を示す図、第３図は連続蒸着
法による磁気記録媒体の製遣方法の従来例を示す図であ
る。 ｌ・・・排気系、２・・・真空槽、３・・・回転方向、
４・・・巻出しロール、５・・・高分子基板、６・・・
ガイドローラ、７・・・キャン、８・・・マスク、９・
・・蒸発源、１ｏ・・・巻き取りロール、１１・・・振
動ガイトローラ、１２・ ・ ・振動体、 １３・ ・
・ａ−ラ面。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１冬期 図
Claims (4)
- （１）真空中で巻き出されたロール状の高分子基板が昇
温された円筒状キャンの周面に沿って走行中に真空蒸着
法によって前記高分子基板上に磁性層を形成する磁気記
録媒体の製造方法において、前記キャンの入り側で前記
基板を積極的に振動させることを特徴とする磁気記録媒
体の製造方法。 - （２）振動周波数が１０ヘルツ以上２００ヘルツ以下で
あることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製
造方法。 - （３）振動振幅が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であるこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法
。 - （４）真空槽及び真空排気系並びに真空槽中に設けられ
たロール状高分子基板の搬送系及び磁性層を真空蒸着す
るための蒸発源を有する磁気記録媒体の製造装置におい
て、前記搬送系が振動機構を備えたガイドローラを有し
ていることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30117088A JPH02148416A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30117088A JPH02148416A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02148416A true JPH02148416A (ja) | 1990-06-07 |
Family
ID=17893639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30117088A Pending JPH02148416A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02148416A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011129435A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Toyota Motor Corp | 乾燥装置 |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP30117088A patent/JPH02148416A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011129435A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Toyota Motor Corp | 乾燥装置 |
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