JPH06145982A - 薄膜形成装置 - Google Patents
薄膜形成装置Info
- Publication number
- JPH06145982A JPH06145982A JP29683792A JP29683792A JPH06145982A JP H06145982 A JPH06145982 A JP H06145982A JP 29683792 A JP29683792 A JP 29683792A JP 29683792 A JP29683792 A JP 29683792A JP H06145982 A JPH06145982 A JP H06145982A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- thin film
- film forming
- vapor
- belt
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 各種薄膜形成に使用される薄膜形成装置にお
いて薄膜を形成する基板材料の搬送及び冷却にベルトを
用いた場合、このベルトの冷却方法として二重の冷却ベ
ルトい或は液状の冷却媒体を用いることにより、電磁変
換特性を始めとする、磁気テープの特性を改善し、同時
に生産性を著しく改善することを目的とする。 【構成】 冷却ベルト１２の内側に、二重に小冷却ベル
ト１６を設け、小冷却ローラ１７によって冷却すること
で基板材料の温度上昇を防ぎ、蒸発源からの飛来分子の
入射角を低くできるため、緻密で堅固な薄膜形成が可能
となり、ビデオ用蒸着磁気テープに使用した場合、電磁
変換特性、スチル寿命、ヘッド目詰まり等の面で飛躍的
に向上した良好な特性が得られ、同時に生産性を向上さ
せることができる。
いて薄膜を形成する基板材料の搬送及び冷却にベルトを
用いた場合、このベルトの冷却方法として二重の冷却ベ
ルトい或は液状の冷却媒体を用いることにより、電磁変
換特性を始めとする、磁気テープの特性を改善し、同時
に生産性を著しく改善することを目的とする。 【構成】 冷却ベルト１２の内側に、二重に小冷却ベル
ト１６を設け、小冷却ローラ１７によって冷却すること
で基板材料の温度上昇を防ぎ、蒸発源からの飛来分子の
入射角を低くできるため、緻密で堅固な薄膜形成が可能
となり、ビデオ用蒸着磁気テープに使用した場合、電磁
変換特性、スチル寿命、ヘッド目詰まり等の面で飛躍的
に向上した良好な特性が得られ、同時に生産性を向上さ
せることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はテープ、ディスク等の記
録媒体や包装、装飾用の薄膜形成材料を製作するのに必
要な真空蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、等の
薄膜形成方法及び装置に関するものである。
録媒体や包装、装飾用の薄膜形成材料を製作するのに必
要な真空蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、等の
薄膜形成方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、薄膜形成装置は高能率化が益々要
求されており、例えば連続真空蒸着では通常、ロール状
に巻いた被蒸着材料を順次繰り出して蒸着を行うが、こ
の被蒸着材料の搬送及び支持には円筒状のローラーを使
用し、熱負荷を受ける蒸着部分では、被蒸着材料の冷却
を兼ねた口径の比較的大きなドラム状のロールを使用す
るのが一般的である。特に磁気テープでは、記録密度の
向上にともない真空蒸着法による蒸着テープが考案され
ている。この蒸着テープは斜め蒸着法により製作される
が、この場合も蒸着部分ではドラム状の冷却回転ロール
を使用するのが普通である。さらに近年、蒸着効率を上
げ、製品の性能を改善するため回転ロールを使用せず、
帯状の冷却ベルトを使用して被蒸着材料を搬送、冷却す
る方法が考案されている。この場合、冷却ベルトの直線
区間をできるだけ長く取れば効率の良い蒸着ができる。
しかし、長い帯状のベルトを効率よく冷却するのは難し
く、このため、種々の冷却機構を持った薄膜形成方法及
び装置が検討されている。
求されており、例えば連続真空蒸着では通常、ロール状
に巻いた被蒸着材料を順次繰り出して蒸着を行うが、こ
の被蒸着材料の搬送及び支持には円筒状のローラーを使
用し、熱負荷を受ける蒸着部分では、被蒸着材料の冷却
を兼ねた口径の比較的大きなドラム状のロールを使用す
るのが一般的である。特に磁気テープでは、記録密度の
向上にともない真空蒸着法による蒸着テープが考案され
ている。この蒸着テープは斜め蒸着法により製作される
が、この場合も蒸着部分ではドラム状の冷却回転ロール
を使用するのが普通である。さらに近年、蒸着効率を上
げ、製品の性能を改善するため回転ロールを使用せず、
帯状の冷却ベルトを使用して被蒸着材料を搬送、冷却す
る方法が考案されている。この場合、冷却ベルトの直線
区間をできるだけ長く取れば効率の良い蒸着ができる。
しかし、長い帯状のベルトを効率よく冷却するのは難し
く、このため、種々の冷却機構を持った薄膜形成方法及
び装置が検討されている。
【０００３】いずれの場合も被蒸着材料の受ける熱をい
かに低く抑え、及び、逃すかが、製品の性能及び生産性
に大きな影響がある。
かに低く抑え、及び、逃すかが、製品の性能及び生産性
に大きな影響がある。
【０００４】以下に従来の薄膜形成装置について説明す
る。図３及び図４は従来の薄膜形成装置の一つである連
続真空蒸着装置の一例を示すものである。図３におい
て、１は被蒸着材料である。２は冷却回転ロールで、被
蒸着材料１を搬送、冷却する。３は蒸発源である。４は
被蒸着材料の送り出し軸、５は巻き取り軸である。
る。図３及び図４は従来の薄膜形成装置の一つである連
続真空蒸着装置の一例を示すものである。図３におい
て、１は被蒸着材料である。２は冷却回転ロールで、被
蒸着材料１を搬送、冷却する。３は蒸発源である。４は
被蒸着材料の送り出し軸、５は巻き取り軸である。
【０００５】以上のように構成された薄膜形成装置につ
いて、以下その動作について説明する。まず、送り出し
軸４から被蒸着材料１が繰り出され、冷却回転ロール２
にそって搬送、冷却されると同時に蒸発源３により蒸着
され、巻き取り軸５に巻き取られる。
いて、以下その動作について説明する。まず、送り出し
軸４から被蒸着材料１が繰り出され、冷却回転ロール２
にそって搬送、冷却されると同時に蒸発源３により蒸着
され、巻き取り軸５に巻き取られる。
【０００６】図４は冷却ベルトを用いた連続蒸着装置の
一例を示すものである。図４において、１は被蒸着材料
で、３は蒸発源である。４は被蒸着材料の送り出し軸、
５は巻き取り軸である。６は冷却ベルトで被蒸着材料１
を搬送、冷却する。
一例を示すものである。図４において、１は被蒸着材料
で、３は蒸発源である。４は被蒸着材料の送り出し軸、
５は巻き取り軸である。６は冷却ベルトで被蒸着材料１
を搬送、冷却する。
【０００７】以下この一例の場合の動作について説明す
る。送り出し軸４より繰り出された被蒸着材料１は冷却
ベルト６により搬送、冷却され、同時に蒸発源３により
蒸着されて巻き取り軸５に巻き取られる。
る。送り出し軸４より繰り出された被蒸着材料１は冷却
ベルト６により搬送、冷却され、同時に蒸発源３により
蒸着されて巻き取り軸５に巻き取られる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、被蒸着材料１の温度上昇を防ぐための冷
却ベルトを効率よく冷却しようとすれば冷却ロールの間
隔を狭くする必要があるが、間隔を狭くすると冷却ベル
トの直線区間が減少し、効率の良い蒸着が難しくなると
いう問題点を有していた。
来の構成では、被蒸着材料１の温度上昇を防ぐための冷
却ベルトを効率よく冷却しようとすれば冷却ロールの間
隔を狭くする必要があるが、間隔を狭くすると冷却ベル
トの直線区間が減少し、効率の良い蒸着が難しくなると
いう問題点を有していた。
【０００９】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、冷却ロールと冷却ロールの間でも断続的に冷却ベル
トを冷却し、冷却ベルトの直線区間をより長く設けるこ
とを可能にしている。これにより生産効率の良い蒸着が
できる機構を備えた薄膜形成方法及び装置を提供するこ
とを目的とする。
で、冷却ロールと冷却ロールの間でも断続的に冷却ベル
トを冷却し、冷却ベルトの直線区間をより長く設けるこ
とを可能にしている。これにより生産効率の良い蒸着が
できる機構を備えた薄膜形成方法及び装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の薄膜形成装置は、冷却ロールの間にベルトや
液状媒体を使用することにより、冷却ベルトとの接触面
積を大きくし、伝熱量の大きい冷却構造を設けて効率的
に冷却ベルトを冷却し、被蒸着材を効率よく冷却して、
高品質な製品が効率よく生産できるという構成を有して
いる。
に本発明の薄膜形成装置は、冷却ロールの間にベルトや
液状媒体を使用することにより、冷却ベルトとの接触面
積を大きくし、伝熱量の大きい冷却構造を設けて効率的
に冷却ベルトを冷却し、被蒸着材を効率よく冷却して、
高品質な製品が効率よく生産できるという構成を有して
いる。
【００１１】
【作用】この構成によって、表面にすす状に付着する斜
め入射部の割合が少なく、付着効率の高い中央部の割合
が多くなり、緻密で良好な薄膜が得られる。また、ベル
トの直線部分は半径無限大の円筒の一部と考えられるた
め、単位面積あたりの被蒸着量を高く維持でき、高いス
ペース効率を得ることができる。
め入射部の割合が少なく、付着効率の高い中央部の割合
が多くなり、緻密で良好な薄膜が得られる。また、ベル
トの直線部分は半径無限大の円筒の一部と考えられるた
め、単位面積あたりの被蒸着量を高く維持でき、高いス
ペース効率を得ることができる。
【００１２】
（実施例１）以下本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１３】図１において、１１は被蒸着材料、１２は
冷却ベルトで被蒸着材料１１を搬送、冷却する。１３は
蒸発源、１４は被蒸着材料の送り出し軸、１５は巻き取
り軸、１６は冷却ベルトをさらに冷却する小ベルト、１
７は小ベルトを冷却する小冷却ロールである。
冷却ベルトで被蒸着材料１１を搬送、冷却する。１３は
蒸発源、１４は被蒸着材料の送り出し軸、１５は巻き取
り軸、１６は冷却ベルトをさらに冷却する小ベルト、１
７は小ベルトを冷却する小冷却ロールである。
【００１４】以上のように構成された薄膜形成装置につ
いて、図１を用いてその動作を説明する。送り出し軸１
４より繰り出された被蒸着材料１１は冷却ベルト１２に
より搬送、冷却され、同時に蒸発源１３により蒸着され
て巻き取り軸１５に巻き取られる。一方、被蒸着材料１
１を通じて熱を受けた冷却ベルト１２は小ベルト１６に
より冷却され、さらに小ベルト１６は小冷却ロール１７
により冷却される。このようにして冷却ベルト１２の温
度上昇を抑えることによって被蒸着材料１１の過熱を防
ぐことができる。
いて、図１を用いてその動作を説明する。送り出し軸１
４より繰り出された被蒸着材料１１は冷却ベルト１２に
より搬送、冷却され、同時に蒸発源１３により蒸着され
て巻き取り軸１５に巻き取られる。一方、被蒸着材料１
１を通じて熱を受けた冷却ベルト１２は小ベルト１６に
より冷却され、さらに小ベルト１６は小冷却ロール１７
により冷却される。このようにして冷却ベルト１２の温
度上昇を抑えることによって被蒸着材料１１の過熱を防
ぐことができる。
【００１５】以上のように本実施例によれば、小ベルト
１６を使用して冷却ベルト１２の直線区間で冷却するこ
とにより、冷却ベルト１２を効率よく冷却することが可
能となり、緻密で特性の良い薄膜を効率よく生成させる
ことができる。
１６を使用して冷却ベルト１２の直線区間で冷却するこ
とにより、冷却ベルト１２を効率よく冷却することが可
能となり、緻密で特性の良い薄膜を効率よく生成させる
ことができる。
【００１６】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第
２の実施例を示すビデオ用蒸着磁気テープの磁性薄膜形
成装置の配置図である。図２において、２１は被蒸着材
料、２２は冷却ベルトで被蒸着材料２１を搬送、冷却す
る。２３は蒸発源、２４は被蒸着材料２１の送り出し
軸、２５は巻き取り軸、２６は液状冷却媒体、２７は冷
却媒体２６を封じ込める箱である。
ついて図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第
２の実施例を示すビデオ用蒸着磁気テープの磁性薄膜形
成装置の配置図である。図２において、２１は被蒸着材
料、２２は冷却ベルトで被蒸着材料２１を搬送、冷却す
る。２３は蒸発源、２４は被蒸着材料２１の送り出し
軸、２５は巻き取り軸、２６は液状冷却媒体、２７は冷
却媒体２６を封じ込める箱である。
【００１７】以上は図１の構成と同様なものである。図
１の構成と異なるのは冷却ベルト２２を冷却するのに小
ベルトに替えて液状冷却媒体２６を用いた点である。
１の構成と異なるのは冷却ベルト２２を冷却するのに小
ベルトに替えて液状冷却媒体２６を用いた点である。
【００１８】上記のように構成された薄膜形成装置につ
いて、以下その動作を説明する。送り出し軸２４より繰
り出された被蒸着材料２１は冷却ベルト２２により搬
送、冷却され、同時に蒸発源２３により蒸着されて巻き
取り軸２５に巻き取られる。一方、被蒸着材料２１を通
じて熱を受けた冷却ベルト２２は冷却媒体２６により冷
却され、さらに冷却媒体２６は外部から冷却される。こ
のようにして冷却ベルト２２の温度上昇を抑えることに
よって被蒸着材料２１の過熱を防ぐことができる。
いて、以下その動作を説明する。送り出し軸２４より繰
り出された被蒸着材料２１は冷却ベルト２２により搬
送、冷却され、同時に蒸発源２３により蒸着されて巻き
取り軸２５に巻き取られる。一方、被蒸着材料２１を通
じて熱を受けた冷却ベルト２２は冷却媒体２６により冷
却され、さらに冷却媒体２６は外部から冷却される。こ
のようにして冷却ベルト２２の温度上昇を抑えることに
よって被蒸着材料２１の過熱を防ぐことができる。
【００１９】以上のように、本実施例によれば、小ベル
ト２６を使用して冷却ベルト２２の直線区間で冷却する
ことにより、冷却ベルト２２を効率よく冷却することが
可能となり、緻密で特性の良い薄膜を効率よく生成させ
ることができる。
ト２６を使用して冷却ベルト２２の直線区間で冷却する
ことにより、冷却ベルト２２を効率よく冷却することが
可能となり、緻密で特性の良い薄膜を効率よく生成させ
ることができる。
【００２０】本実施例による薄膜形成装置を用いた場合
の特性と従来の薄膜形成装置を用いた場合の特性を、ビ
デオ用蒸着磁気テープ製作に使用した場合について（表
１）に比較して示している。
の特性と従来の薄膜形成装置を用いた場合の特性を、ビ
デオ用蒸着磁気テープ製作に使用した場合について（表
１）に比較して示している。
【００２１】
【表１】 この（表１）から明らかなように、本実施例による薄膜
形成装置は、磁気テープの性能の内、特に電磁変換特
性、スチル特性、ヘッド目詰まり、生産性の点で優れた
効果が得られる。
形成装置は、磁気テープの性能の内、特に電磁変換特
性、スチル特性、ヘッド目詰まり、生産性の点で優れた
効果が得られる。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明は、被蒸着材料の内
側にさらに二重に冷却ベルトを設けたり、或いは液状の
媒体で冷却することにより、被蒸着材料の温度上昇を最
小限に抑え、緻密で堅固な薄膜を形成し、その結果、特
性の極めて良い蒸着テープを効率よく製造することがで
きる優れた薄膜形成装置を実現できるものである。
側にさらに二重に冷却ベルトを設けたり、或いは液状の
媒体で冷却することにより、被蒸着材料の温度上昇を最
小限に抑え、緻密で堅固な薄膜を形成し、その結果、特
性の極めて良い蒸着テープを効率よく製造することがで
きる優れた薄膜形成装置を実現できるものである。
【図１】本発明の第１の実施例における薄膜形成装置の
配置図
配置図
【図２】本発明の第２の実施例における薄膜形成装置の
配置図
配置図
【図３】従来の薄膜形成装置の一般的な配置図
【図４】従来の冷却ベルトを用いた薄膜形成装置の配置
図
図
１１ 被蒸着材料 １２ 冷却ベルト １３ 蒸発源 １４ 送り出し軸 １５ 巻き取り軸 １６ 小ベルト １７ 小冷却ロール ２１ 被蒸着材料 ２２ 冷却ベルト ２３ 蒸発源 ２４ 送り出し軸 ２５ 巻き取り軸 ２６ 液状冷却媒体 ２７ 箱
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下野 和幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 蒸着、スパッタ等、薄膜形成時に被薄膜
形成材料に対し、熱負荷を与える薄膜形成装置におい
て、薄膜形成効率を向上させるベルト状の冷却帯を使用
する場合、この冷却帯を更に冷却するため、内側に二重
以上の冷却帯を設け、接触面積を増すことにより、冷却
効率を高める機構を有することを特徴とする薄膜形成装
置。 - 【請求項２】 同様の薄膜形成装置において、冷却帯の
内側を封じ込められた液状の媒体で冷却する構造を備え
ることを特徴とする薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29683792A JPH06145982A (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29683792A JPH06145982A (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 薄膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06145982A true JPH06145982A (ja) | 1994-05-27 |
Family
ID=17838803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29683792A Pending JPH06145982A (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06145982A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009072242A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Panasonic Corporation | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| WO2010122742A1 (ja) | 2009-04-22 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| WO2011093073A1 (ja) | 2010-01-26 | 2011-08-04 | パナソニック株式会社 | 薄膜の製造装置、薄膜の製造方法及び基板搬送ローラ |
| US8697582B2 (en) | 2011-11-22 | 2014-04-15 | Panasonic Corporation | Substrate conveying roller, thin film manufacturing device, and thin film manufacturing method |
| US9045819B2 (en) | 2008-12-10 | 2015-06-02 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Method for forming thin film while providing cooling gas to rear surface of substrate |
-
1992
- 1992-11-06 JP JP29683792A patent/JPH06145982A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009072242A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Panasonic Corporation | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| JPWO2009072242A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2011-04-21 | パナソニック株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| KR101226390B1 (ko) * | 2007-12-05 | 2013-01-24 | 파나소닉 주식회사 | 박막 형성 장치 및 박막 형성 방법 |
| US9045819B2 (en) | 2008-12-10 | 2015-06-02 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Method for forming thin film while providing cooling gas to rear surface of substrate |
| WO2010122742A1 (ja) | 2009-04-22 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| WO2011093073A1 (ja) | 2010-01-26 | 2011-08-04 | パナソニック株式会社 | 薄膜の製造装置、薄膜の製造方法及び基板搬送ローラ |
| US9340865B2 (en) | 2010-01-26 | 2016-05-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Thin film-manufacturing apparatus,thin film-manufacturing method,and substrate-conveying roller |
| US8697582B2 (en) | 2011-11-22 | 2014-04-15 | Panasonic Corporation | Substrate conveying roller, thin film manufacturing device, and thin film manufacturing method |
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