JPH07243041A - 成膜方法及びその装置 - Google Patents
成膜方法及びその装置Info
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- JPH07243041A JPH07243041A JP3726394A JP3726394A JPH07243041A JP H07243041 A JPH07243041 A JP H07243041A JP 3726394 A JP3726394 A JP 3726394A JP 3726394 A JP3726394 A JP 3726394A JP H07243041 A JPH07243041 A JP H07243041A
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- film forming
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 綺麗に膜が形成される技術を提供することで
ある。 【構成】 飛来する粒子を支持体に堆積させることによ
り膜を構成する成膜方法であって、前記支持体に飛来す
る粒子が堆積する前段階の位置で該支持体に振動を作用
させる成膜方法。
ある。 【構成】 飛来する粒子を支持体に堆積させることによ
り膜を構成する成膜方法であって、前記支持体に飛来す
る粒子が堆積する前段階の位置で該支持体に振動を作用
させる成膜方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁性金属薄膜と
いった膜の製造技術に関するものである。
いった膜の製造技術に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図６のように構成されているものが
一般的である。尚、図６中、３１は冷却キャンロール、
３２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム３３の供給側ロール、３２ｂはＰＥＴフィルム３３の
巻取側ロール、３４は遮蔽板、３５はルツボ、３６は磁
性金属、３７は真空容器である。そして、真空容器３７
内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃３８を作
動させてルツボ３５内の磁性金属３６を蒸発させ、ＰＥ
Ｔフィルム３３に対して磁性金属３６の蒸発粒子を堆積
（蒸着）させることによって磁気記録媒体が製造されて
いる。
媒体の製造装置は、図６のように構成されているものが
一般的である。尚、図６中、３１は冷却キャンロール、
３２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム３３の供給側ロール、３２ｂはＰＥＴフィルム３３の
巻取側ロール、３４は遮蔽板、３５はルツボ、３６は磁
性金属、３７は真空容器である。そして、真空容器３７
内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃３８を作
動させてルツボ３５内の磁性金属３６を蒸発させ、ＰＥ
Ｔフィルム３３に対して磁性金属３６の蒸発粒子を堆積
（蒸着）させることによって磁気記録媒体が製造されて
いる。
【０００４】しかしながら、このような蒸着装置を用い
ての磁性膜の形成に際して蒸着ムラといった問題の有る
ことが判って来た。
ての磁性膜の形成に際して蒸着ムラといった問題の有る
ことが判って来た。
【０００５】
【発明の開示】前記の問題点に対する研究が鋭意押し進
められて行くうちに、蒸着ムラの問題はＰＥＴフィルム
３３にあることが判って来た。すなわち、キャンロール
３１に案内されているＰＥＴフィルム３３は１〜５ｋｇ
／巾程度のテンションが加わって供給側ロール３２ａか
ら巻取側ロール３２ｂに走行しているのであるが、キャ
ンロール３１に添接している時に皺が形成されているこ
とに気付いたのである。そして、この皺が形成されてい
る所に磁性金属３６の蒸発粒子が飛来し、堆積（蒸着）
すると、前記の皺がそのまま転写されるように成膜され
てしまい、蒸着ムラが起きるのであろうとの推察がなさ
れた。
められて行くうちに、蒸着ムラの問題はＰＥＴフィルム
３３にあることが判って来た。すなわち、キャンロール
３１に案内されているＰＥＴフィルム３３は１〜５ｋｇ
／巾程度のテンションが加わって供給側ロール３２ａか
ら巻取側ロール３２ｂに走行しているのであるが、キャ
ンロール３１に添接している時に皺が形成されているこ
とに気付いたのである。そして、この皺が形成されてい
る所に磁性金属３６の蒸発粒子が飛来し、堆積（蒸着）
すると、前記の皺がそのまま転写されるように成膜され
てしまい、蒸着ムラが起きるのであろうとの推察がなさ
れた。
【０００６】そこで、皺が発生しても、この皺が直ちに
除去（解消）されたならば、問題は起きないであろうと
考えた。そして、皺を解消する為の研究を押し進めて行
った結果、支持体に振動を作用させ、この振動により緊
張を緩和させたならば皺がなくなるであろうとの啓示が
得られるに至った。このような知見に基づいて本発明が
達成されたものであり、本発明の目的は綺麗に膜が形成
される技術を提供することである。
除去（解消）されたならば、問題は起きないであろうと
考えた。そして、皺を解消する為の研究を押し進めて行
った結果、支持体に振動を作用させ、この振動により緊
張を緩和させたならば皺がなくなるであろうとの啓示が
得られるに至った。このような知見に基づいて本発明が
達成されたものであり、本発明の目的は綺麗に膜が形成
される技術を提供することである。
【０００７】この本発明の目的は、飛来する粒子を支持
体に堆積させることにより膜を構成する成膜方法であっ
て、前記支持体に飛来する粒子が堆積する前段階の位置
で該支持体に振動を作用させることを特徴とする成膜方
法によって達成される。又、飛来する粒子を支持体に堆
積させることにより膜を構成する成膜装置であって、前
記支持体に飛来する粒子が堆積する前段階の位置で該支
持体に振動を作用させる振動手段を有することを特徴と
する成膜装置によって達成される。
体に堆積させることにより膜を構成する成膜方法であっ
て、前記支持体に飛来する粒子が堆積する前段階の位置
で該支持体に振動を作用させることを特徴とする成膜方
法によって達成される。又、飛来する粒子を支持体に堆
積させることにより膜を構成する成膜装置であって、前
記支持体に飛来する粒子が堆積する前段階の位置で該支
持体に振動を作用させる振動手段を有することを特徴と
する成膜装置によって達成される。
【０００８】特に、支持体が供給手段から巻取手段に走
行し、飛来する粒子を走行する支持体に堆積させること
により膜を構成する成膜装置であって、前記支持体に飛
来する粒子が堆積する前段階の位置において走行する支
持体が添接されるガイドローラーが設けられてなり、該
ガイドローラーに振動を作用させる振動印加手段が設け
られてなることを特徴とする成膜装置によって達成され
る。
行し、飛来する粒子を走行する支持体に堆積させること
により膜を構成する成膜装置であって、前記支持体に飛
来する粒子が堆積する前段階の位置において走行する支
持体が添接されるガイドローラーが設けられてなり、該
ガイドローラーに振動を作用させる振動印加手段が設け
られてなることを特徴とする成膜装置によって達成され
る。
【０００９】尚、上記の成膜装置におけるガイドローラ
ーは、振動印加手段によりガイドローラーの軸芯方向に
振動可能なよう構成させたり、支持体走行方向に対して
略直交する方向に振動可能なよう構成させたり、振動印
加手段によりガイドローラー端が揺動可能なよう構成さ
せたり、あるいは振動印加手段によりガイドローラー端
が歳差運動可能なよう構成させることが考えられる。特
に、ガイドローラーの動作幅が１μｍ〜１ｎｍの範囲で
ある前記のような動作を行うように構成させていること
が好ましい。勿論、動作は単一のモードであっても良
く、又、複数のモードであっても良い。
ーは、振動印加手段によりガイドローラーの軸芯方向に
振動可能なよう構成させたり、支持体走行方向に対して
略直交する方向に振動可能なよう構成させたり、振動印
加手段によりガイドローラー端が揺動可能なよう構成さ
せたり、あるいは振動印加手段によりガイドローラー端
が歳差運動可能なよう構成させることが考えられる。特
に、ガイドローラーの動作幅が１μｍ〜１ｎｍの範囲で
ある前記のような動作を行うように構成させていること
が好ましい。勿論、動作は単一のモードであっても良
く、又、複数のモードであっても良い。
【００１０】そして、上記のように構成させた成膜装置
を用い、飛来する粒子を走行する支持体に堆積させるに
際して、粒子が堆積する前段階の位置でガイドローラー
を作動させて支持体に振動を作用させると、これまでに
起きていた蒸着ムラが認められず、均一な膜厚のものが
歩留り良く得られた。尚、この成膜装置おいて、飛来す
る粒子が堆積する位置にあっては支持体が冷却キャンロ
ールに添接されており、この冷却キャンロールは中央部
のロール径が端部側のロール径よりも大きなように構成
させていることが好ましい。例えば、キャンロール中央
部の半径ｒ1 が約１００〜１０００ｍｍ、キャンロール
中央部から１０ｃｍ離れた位置における半径ｒ2 が約９
８〜９９９ｍｍ、ｒ1 −ｒ2 が１〜２ｍｍの程度である
ように構成させていることが好ましい。
を用い、飛来する粒子を走行する支持体に堆積させるに
際して、粒子が堆積する前段階の位置でガイドローラー
を作動させて支持体に振動を作用させると、これまでに
起きていた蒸着ムラが認められず、均一な膜厚のものが
歩留り良く得られた。尚、この成膜装置おいて、飛来す
る粒子が堆積する位置にあっては支持体が冷却キャンロ
ールに添接されており、この冷却キャンロールは中央部
のロール径が端部側のロール径よりも大きなように構成
させていることが好ましい。例えば、キャンロール中央
部の半径ｒ1 が約１００〜１０００ｍｍ、キャンロール
中央部から１０ｃｍ離れた位置における半径ｒ2 が約９
８〜９９９ｍｍ、ｒ1 −ｒ2 が１〜２ｍｍの程度である
ように構成させていることが好ましい。
【００１１】
【実施例】図１及び図２は本発明に係る成膜装置、例え
ば磁気記録媒体の製造装置の第１実施例を示すもので、
図１は全体の概略図、図２は要部（ガイドローラーの部
分）の説明図である。各図中、１は金属製の冷却キャン
ロール、２ａは供給側ロール、２ｂは巻取側ロールであ
り、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料か
らなる非磁性の厚さ１０μｍ、幅２００ｍｍ程度の支持
体Ｆが供給側ロール２ａから繰り出され、ガイドローラ
ー３ａを経て冷却キャンロール１に沿って巻き回され、
この後ガイドローラー３ｂを経て巻取側ロール２ｂに巻
き取られて行くようになっている。
ば磁気記録媒体の製造装置の第１実施例を示すもので、
図１は全体の概略図、図２は要部（ガイドローラーの部
分）の説明図である。各図中、１は金属製の冷却キャン
ロール、２ａは供給側ロール、２ｂは巻取側ロールであ
り、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料か
らなる非磁性の厚さ１０μｍ、幅２００ｍｍ程度の支持
体Ｆが供給側ロール２ａから繰り出され、ガイドローラ
ー３ａを経て冷却キャンロール１に沿って巻き回され、
この後ガイドローラー３ｂを経て巻取側ロール２ｂに巻
き取られて行くようになっている。
【００１２】尚、冷却キャンロール１は、キャンロール
中央部の半径ｒ1 が約１００〜１０００ｍｍ、キャンロ
ール中央部から１０ｃｍ離れた位置における半径ｒ2 が
約９８〜９９９ｍｍ、ｒ1 −ｒ2 が１〜２ｍｍの程度で
あるように構成されている。又、ガイドローラー３ａ，
３ｂも、中央部の半径ｒ1 が約１０〜１００ｍｍ、中央
部から１０ｃｍ離れた位置における半径ｒ2 が約９．８
〜９９．９ｍｍ、ｒ 1 −ｒ2 が０．１〜０．２ｍｍの程
度であるよう太鼓形状に構成されている。
中央部の半径ｒ1 が約１００〜１０００ｍｍ、キャンロ
ール中央部から１０ｃｍ離れた位置における半径ｒ2 が
約９８〜９９９ｍｍ、ｒ1 −ｒ2 が１〜２ｍｍの程度で
あるように構成されている。又、ガイドローラー３ａ，
３ｂも、中央部の半径ｒ1 が約１０〜１００ｍｍ、中央
部から１０ｃｍ離れた位置における半径ｒ2 が約９．８
〜９９．９ｍｍ、ｒ 1 −ｒ2 が０．１〜０．２ｍｍの程
度であるよう太鼓形状に構成されている。
【００１３】非磁性の支持体Ｆの表面には、磁性層（磁
性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダーコート層が
設けられている。すなわち、表面の粗さを適度に粗すこ
とにより、例えば斜め蒸着法により構成される磁性薄膜
の密着性を向上させ、さらに金属薄膜表面の表面粗さを
適度なものとして走行性を改善する為、例えばＳｉＯ 2
等の粒子を含有させた厚さが０．００５〜０．１μｍの
塗膜を設けることによってアンダーコート層が構成され
ている。
性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダーコート層が
設けられている。すなわち、表面の粗さを適度に粗すこ
とにより、例えば斜め蒸着法により構成される磁性薄膜
の密着性を向上させ、さらに金属薄膜表面の表面粗さを
適度なものとして走行性を改善する為、例えばＳｉＯ 2
等の粒子を含有させた厚さが０．００５〜０．１μｍの
塗膜を設けることによってアンダーコート層が構成され
ている。
【００１４】４はルツボであり、このルツボ４内には、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金属５が
充填されている。
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金属５が
充填されている。
【００１５】６は真空容器である。上記のように構成さ
せた装置において、真空容器６内を１０-4〜１０-6Ｔｏ
ｒｒ程度の真空度のものに排気した後、抵抗加熱、高周
波加熱、電子ビーム加熱などによりルツボ４内の磁性金
属５を溶融、蒸発させ、冷却キャンロール１に添接され
ているＰＥＴフィルム等の支持体Ｆに対して０．０４〜
１μｍ厚さ磁性金属５を蒸着させることによって金属薄
膜型の磁気記録媒体が製造される。尚、磁性薄膜の形成
に際して、蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させるこ
とによって磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜によ
る保護層を形成するようにすることが好ましい。但し、
この酸化膜から構成される保護層の厚さは数十Å程度の
ものであり、この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成
される場合もあり、このような時には強制酸化の手段を
講じなくても良い場合がある。
せた装置において、真空容器６内を１０-4〜１０-6Ｔｏ
ｒｒ程度の真空度のものに排気した後、抵抗加熱、高周
波加熱、電子ビーム加熱などによりルツボ４内の磁性金
属５を溶融、蒸発させ、冷却キャンロール１に添接され
ているＰＥＴフィルム等の支持体Ｆに対して０．０４〜
１μｍ厚さ磁性金属５を蒸着させることによって金属薄
膜型の磁気記録媒体が製造される。尚、磁性薄膜の形成
に際して、蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させるこ
とによって磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜によ
る保護層を形成するようにすることが好ましい。但し、
この酸化膜から構成される保護層の厚さは数十Å程度の
ものであり、この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成
される場合もあり、このような時には強制酸化の手段を
講じなくても良い場合がある。
【００１６】ところで、これまでの磁性薄膜の形成時に
は支持体に皺が発生することが有った。しかしながら、
皺の発生したことがセンサーによって検出されると、こ
のセンサーからの信号がガイドローラー３ａ，３ｂを駆
動する駆動装置（図示せず）に入力され、図２に示す如
く、ガイドローラー３ａ，３ｂは軸芯方向において振幅
が１μｍ〜１ｎｍの範囲内、例えば１００μｍ、周波数
１ｋＨｚで振動させられる。そして、これによって直ち
に皺がなくなり、蒸着ムラが起きず、磁性膜が綺麗に形
成される。
は支持体に皺が発生することが有った。しかしながら、
皺の発生したことがセンサーによって検出されると、こ
のセンサーからの信号がガイドローラー３ａ，３ｂを駆
動する駆動装置（図示せず）に入力され、図２に示す如
く、ガイドローラー３ａ，３ｂは軸芯方向において振幅
が１μｍ〜１ｎｍの範囲内、例えば１００μｍ、周波数
１ｋＨｚで振動させられる。そして、これによって直ち
に皺がなくなり、蒸着ムラが起きず、磁性膜が綺麗に形
成される。
【００１７】尚、皺の発生したことは次のようにして検
出される。すなわち、表面具合を観察するカメラを冷却
キャンロール１及びガイドローラー３ａ，３ｂの部分を
走行する支持体に向けて配置し、これらカメラＡ，Ｂ，
Ｃからの画像信号をコンピュータで画像処理することに
よって、皺が発生しているか否かを検出できる。このよ
うにして、蒸着ムラのない磁性薄膜が構成された支持体
Ｆが巻き取られてなる巻取側ロール２ｂを取り出し、そ
して平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニ
ル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバインダ樹
脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイレクト
グラビア法により磁性層とは反対側の支持体Ｆ面上に塗
布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を設け
る。
出される。すなわち、表面具合を観察するカメラを冷却
キャンロール１及びガイドローラー３ａ，３ｂの部分を
走行する支持体に向けて配置し、これらカメラＡ，Ｂ，
Ｃからの画像信号をコンピュータで画像処理することに
よって、皺が発生しているか否かを検出できる。このよ
うにして、蒸着ムラのない磁性薄膜が構成された支持体
Ｆが巻き取られてなる巻取側ロール２ｂを取り出し、そ
して平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニ
ル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバインダ樹
脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイレクト
グラビア法により磁性層とは反対側の支持体Ｆ面上に塗
布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を設け
る。
【００１８】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
【００１９】この後、所定の幅にスリットすることによ
って磁気テープなどが得られる。図３は、本発明に係る
成膜装置、例えば磁気記録媒体の製造装置の第２実施例
を示す要部（ガイドローラーの部分）の説明図である。
本実施例にあっては、皺の発生したことがセンサー（図
示せず）によって検出されると、このセンサーからの信
号がガイドローラー３ａを駆動する駆動装置（図示せ
ず）に入力され、図３に示す如く、ガイドローラー３ａ
は支持体Ｆの走行方向に対して直交する方向において振
幅が１μｍ〜１ｎｍの範囲内、例えば１００μｍ、周波
数１ｋＨｚで振動させられるよう構成されたものであ
る。その他の部分の構成は前記実施例のものと同じであ
る。そして、このように構成させたものでも皺がなくな
り、蒸着ムラが起きず、磁性膜が綺麗に形成される。
って磁気テープなどが得られる。図３は、本発明に係る
成膜装置、例えば磁気記録媒体の製造装置の第２実施例
を示す要部（ガイドローラーの部分）の説明図である。
本実施例にあっては、皺の発生したことがセンサー（図
示せず）によって検出されると、このセンサーからの信
号がガイドローラー３ａを駆動する駆動装置（図示せ
ず）に入力され、図３に示す如く、ガイドローラー３ａ
は支持体Ｆの走行方向に対して直交する方向において振
幅が１μｍ〜１ｎｍの範囲内、例えば１００μｍ、周波
数１ｋＨｚで振動させられるよう構成されたものであ
る。その他の部分の構成は前記実施例のものと同じであ
る。そして、このように構成させたものでも皺がなくな
り、蒸着ムラが起きず、磁性膜が綺麗に形成される。
【００２０】図４は、本発明に係る成膜装置、例えば磁
気記録媒体の製造装置の第３実施例を示す要部（ガイド
ローラーの部分）の説明図である。本実施例にあって
は、皺の発生したことがセンサー（図示せず）によって
検出されると、このセンサーからの信号がガイドローラ
ー３ａを駆動する駆動装置（図示せず）に入力され、図
４に示す如く、ガイドローラー３ａはガイドローラー端
が振幅（揺動幅）が１μｍ〜１ｎｍの範囲内、例えば１
００μｍ、周波数１ｋＨｚで振動（揺動）させられるよ
う構成されたものである。その他の部分の構成は前記実
施例のものと同じである。そして、このように構成させ
たものでも皺がなくなり、蒸着ムラが起きず、磁性膜が
綺麗に形成される。
気記録媒体の製造装置の第３実施例を示す要部（ガイド
ローラーの部分）の説明図である。本実施例にあって
は、皺の発生したことがセンサー（図示せず）によって
検出されると、このセンサーからの信号がガイドローラ
ー３ａを駆動する駆動装置（図示せず）に入力され、図
４に示す如く、ガイドローラー３ａはガイドローラー端
が振幅（揺動幅）が１μｍ〜１ｎｍの範囲内、例えば１
００μｍ、周波数１ｋＨｚで振動（揺動）させられるよ
う構成されたものである。その他の部分の構成は前記実
施例のものと同じである。そして、このように構成させ
たものでも皺がなくなり、蒸着ムラが起きず、磁性膜が
綺麗に形成される。
【００２１】図５は、本発明に係る成膜装置、例えば磁
気記録媒体の製造装置の第４実施例を示す要部（ガイド
ローラーの部分）の説明図である。本実施例にあって
は、皺の発生したことがセンサー（図示せず）によって
検出されると、このセンサーからの信号がガイドローラ
ー３ａを駆動する駆動装置（図示せず）に入力され、図
５に示す如く、ガイドローラー３ａはガイドローラー端
が振幅１μｍ〜１ｎｍの範囲内、例えば１００μｍ、周
波数１ｋＨｚで歳差運動させられるよう構成されたもの
である。その他の部分の構成は前記実施例のものと同じ
である。そして、このように構成させたものでも皺がな
くなり、蒸着ムラが起きず、磁性膜が綺麗に形成され
る。
気記録媒体の製造装置の第４実施例を示す要部（ガイド
ローラーの部分）の説明図である。本実施例にあって
は、皺の発生したことがセンサー（図示せず）によって
検出されると、このセンサーからの信号がガイドローラ
ー３ａを駆動する駆動装置（図示せず）に入力され、図
５に示す如く、ガイドローラー３ａはガイドローラー端
が振幅１μｍ〜１ｎｍの範囲内、例えば１００μｍ、周
波数１ｋＨｚで歳差運動させられるよう構成されたもの
である。その他の部分の構成は前記実施例のものと同じ
である。そして、このように構成させたものでも皺がな
くなり、蒸着ムラが起きず、磁性膜が綺麗に形成され
る。
【００２２】
【効果】磁性膜が綺麗に形成され、高性能な磁気記録媒
体が得られる。
体が得られる。
【図１】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の全体概
略図
略図
【図２】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の第１実
施例の要部の説明図
施例の要部の説明図
【図３】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の第２実
施例の要部の説明図
施例の要部の説明図
【図４】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の第３実
施例の要部の説明図
施例の要部の説明図
【図５】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の第４実
施例の要部の説明図
施例の要部の説明図
【図６】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図
Ｆ 支持体 １ 冷却キャンロール ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ａ，３ｂ ガイドローラー ４ ルツボ ５ 磁性金属 ６ 真空容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (7)
- 【請求項１】 飛来する粒子を支持体に堆積させること
により膜を構成する成膜方法であって、前記支持体に飛
来する粒子が堆積する前段階の位置で該支持体に振動を
作用させることを特徴とする成膜方法。 - 【請求項２】 飛来する粒子を支持体に堆積させること
により膜を構成する成膜装置であって、前記支持体に飛
来する粒子が堆積する前段階の位置で該支持体に振動を
作用させる振動手段を有することを特徴とする成膜装
置。 - 【請求項３】 支持体が供給手段から巻取手段に走行
し、飛来する粒子を走行する支持体に堆積させることに
より膜を構成する成膜装置であって、前記支持体に飛来
する粒子が堆積する前段階の位置において走行する支持
体が添接されるガイドローラーが設けられてなり、該ガ
イドローラーに振動を作用させる振動印加手段が設けら
れてなることを特徴とする請求項２の成膜装置。 - 【請求項４】 振動印加手段によりガイドローラーがそ
の軸芯方向に振動可能なよう構成されてなることを特徴
とする請求項３の成膜装置。 - 【請求項５】 振動印加手段によりガイドローラーが支
持体走行方向に対して略直交する方向に振動可能なよう
構成されてなることを特徴とする請求項３の成膜装置。 - 【請求項６】 振動印加手段によりガイドローラー端が
揺動可能なよう構成されてなることを特徴とする請求項
３の成膜装置。 - 【請求項７】 振動印加手段によりガイドローラー端が
歳差運動可能なよう構成されてなることを特徴とする請
求項３の成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3726394A JPH07243041A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | 成膜方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3726394A JPH07243041A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | 成膜方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07243041A true JPH07243041A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12492784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3726394A Pending JPH07243041A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | 成膜方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07243041A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008017492A1 (de) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Verfahren zum Transport eines bandförmigen Substrats und Vakuumbeschichtungsanlage |
-
1994
- 1994-03-08 JP JP3726394A patent/JPH07243041A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008017492A1 (de) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Verfahren zum Transport eines bandförmigen Substrats und Vakuumbeschichtungsanlage |
| DE102008017492B4 (de) * | 2008-04-04 | 2013-07-25 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Verfahren zum Transport eines bandförmigen Substrats und Vakuumbeschichtungsanlage |
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