JPH0849075A - 成膜装置 - Google Patents
成膜装置Info
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- JPH0849075A JPH0849075A JP6183785A JP18378594A JPH0849075A JP H0849075 A JPH0849075 A JP H0849075A JP 6183785 A JP6183785 A JP 6183785A JP 18378594 A JP18378594 A JP 18378594A JP H0849075 A JPH0849075 A JP H0849075A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- support
- pad
- sliding contact
- film forming
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 製造歩留りが高く、金属薄膜体、例えば磁気
記録媒体を低廉なコストで提供することを目的とする。 【構成】 飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆積さ
せることにより金属薄膜を設ける成膜装置であって、真
空槽と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段と、支
持体の巻取手段と供給手段との間を走行する支持体を案
内する前記真空槽内に配置されたロールと、このロール
に沿って摺接する摺接手段とを具備してなる成膜装置。
記録媒体を低廉なコストで提供することを目的とする。 【構成】 飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆積さ
せることにより金属薄膜を設ける成膜装置であって、真
空槽と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段と、支
持体の巻取手段と供給手段との間を走行する支持体を案
内する前記真空槽内に配置されたロールと、このロール
に沿って摺接する摺接手段とを具備してなる成膜装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気記録媒体の
製造装置に関するものである。
製造装置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図５のように構成されているものが
一般的である。尚、図５中、３１は冷却キャンロール、
３２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム３３の供給側ロール、３２ｂはＰＥＴフィルム３３の
巻取側ロール、３４は遮蔽板、３５はルツボ、３６は磁
性金属、３７は真空槽である。そして、真空槽３７内を
所定の真空度のものに排気した後、電子銃３８を作動さ
せてルツボ３５内の磁性金属３６を蒸発させ、ＰＥＴフ
ィルム３３に対して磁性金属３６の蒸発粒子を堆積（蒸
着）させることによって磁気記録媒体が製造されてい
る。
媒体の製造装置は、図５のように構成されているものが
一般的である。尚、図５中、３１は冷却キャンロール、
３２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム３３の供給側ロール、３２ｂはＰＥＴフィルム３３の
巻取側ロール、３４は遮蔽板、３５はルツボ、３６は磁
性金属、３７は真空槽である。そして、真空槽３７内を
所定の真空度のものに排気した後、電子銃３８を作動さ
せてルツボ３５内の磁性金属３６を蒸発させ、ＰＥＴフ
ィルム３３に対して磁性金属３６の蒸発粒子を堆積（蒸
着）させることによって磁気記録媒体が製造されてい
る。
【０００４】しかしながら、このようにして製造される
磁気記録媒体には皺が起きていることが頻繁にあり、製
造歩留りを低下させている。
磁気記録媒体には皺が起きていることが頻繁にあり、製
造歩留りを低下させている。
【０００５】
【発明の開示】前記の問題点に対する研究が鋭意押し進
められて行くうちに、製造歩留り低下の問題は巻取側ロ
ール３２ｂにＰＥＴフィルム３３を巻き取る際に起きて
いることが判って来た。すなわち、冷却キャンロール３
１に案内されて走行して来たＰＥＴフィルム３３が冷却
キャンロール３１に貼り付いていたりしてＰＥＴフィル
ム３３の走行性が低下し、これによってＰＥＴフィルム
３３に皺が発生し、このまま巻取側ロール３２ｂに巻き
取られて行くと、この皺が転写され、長い領域にわたっ
て皺が形成され、不良品の発生率が高くなることが判っ
て来たのである。
められて行くうちに、製造歩留り低下の問題は巻取側ロ
ール３２ｂにＰＥＴフィルム３３を巻き取る際に起きて
いることが判って来た。すなわち、冷却キャンロール３
１に案内されて走行して来たＰＥＴフィルム３３が冷却
キャンロール３１に貼り付いていたりしてＰＥＴフィル
ム３３の走行性が低下し、これによってＰＥＴフィルム
３３に皺が発生し、このまま巻取側ロール３２ｂに巻き
取られて行くと、この皺が転写され、長い領域にわたっ
て皺が形成され、不良品の発生率が高くなることが判っ
て来たのである。
【０００６】又、冷却キャンロール３１の前段階におい
て皺が発生していると、皺が形成されているＰＥＴフィ
ルム３３に対して磁性金属３６が蒸着し、磁性膜には凹
凸条が形成されたものとなり、そして巻取側ロール３２
ｂに巻き取られて行くと、この凹凸条の皺が転写され、
長い領域にわたって皺が形成され、不良品の発生率が高
くなることも判って来た。
て皺が発生していると、皺が形成されているＰＥＴフィ
ルム３３に対して磁性金属３６が蒸着し、磁性膜には凹
凸条が形成されたものとなり、そして巻取側ロール３２
ｂに巻き取られて行くと、この凹凸条の皺が転写され、
長い領域にわたって皺が形成され、不良品の発生率が高
くなることも判って来た。
【０００７】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、製造歩留りが高く、金属薄膜体、例えば磁気記録
媒体を低廉なコストで提供することを目的とする。この
本発明の目的は、飛来する金属粒子を支持体上に付着・
堆積させることにより金属薄膜を設ける成膜装置であっ
て、真空槽と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段
と、支持体の巻取手段と供給手段との間を走行する支持
体を案内する前記真空槽内に配置されたロールと、この
ロールに沿って摺接する摺接手段とを具備してなること
を特徴とする成膜装置によって達成される。
あり、製造歩留りが高く、金属薄膜体、例えば磁気記録
媒体を低廉なコストで提供することを目的とする。この
本発明の目的は、飛来する金属粒子を支持体上に付着・
堆積させることにより金属薄膜を設ける成膜装置であっ
て、真空槽と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段
と、支持体の巻取手段と供給手段との間を走行する支持
体を案内する前記真空槽内に配置されたロールと、この
ロールに沿って摺接する摺接手段とを具備してなること
を特徴とする成膜装置によって達成される。
【０００８】尚、この成膜装置は、特に、巻取手段と供
給手段との間に位置する冷却キャンロールに沿って走行
する支持体に対して金属粒子が付着・堆積するよう構成
されており、前記冷却キャンロールの前および／または
後の位置にロールが配置されていて、このロールに対し
て摺接手段が設けられる。この摺接手段は、例えばパッ
ドと、このパッドをロールに圧接させる圧接手段と、前
記パッドをロールに圧接した状態でロール軸芯方向に作
動させ得る作動手段とを具備するものとして構成でき
る。
給手段との間に位置する冷却キャンロールに沿って走行
する支持体に対して金属粒子が付着・堆積するよう構成
されており、前記冷却キャンロールの前および／または
後の位置にロールが配置されていて、このロールに対し
て摺接手段が設けられる。この摺接手段は、例えばパッ
ドと、このパッドをロールに圧接させる圧接手段と、前
記パッドをロールに圧接した状態でロール軸芯方向に作
動させ得る作動手段とを具備するものとして構成でき
る。
【０００９】尚、ロールに圧接させたパッドをロール軸
芯方向に水平作動させるよう構成することが出来る。例
えば、ウォーム方式によりパッドがロール軸芯方向に沿
って作動するよう構成することが出来る。あるいは、パ
ッドをアーム先端に取り付けておき、このアームを首振
り動作させ得るよう構成することも出来る。そして、上
記のように構成させていると、支持体に皺が発生する
と、直ちに摺接手段を動作させ、皺を引き延ばすように
すれば、解皺でき、凹凸条のない磁性膜が成膜でき、そ
して巻取側ロールに綺麗に巻き取られて行く。
芯方向に水平作動させるよう構成することが出来る。例
えば、ウォーム方式によりパッドがロール軸芯方向に沿
って作動するよう構成することが出来る。あるいは、パ
ッドをアーム先端に取り付けておき、このアームを首振
り動作させ得るよう構成することも出来る。そして、上
記のように構成させていると、支持体に皺が発生する
と、直ちに摺接手段を動作させ、皺を引き延ばすように
すれば、解皺でき、凹凸条のない磁性膜が成膜でき、そ
して巻取側ロールに綺麗に巻き取られて行く。
【００１０】尚、冷却キャンロールの前段階において支
持体に皺が発生していると致命的なことになる。従っ
て、冷却キャンロールの前段階の位置においては摺接手
段が設けられていることが好ましい。より好ましくは、
冷却キャンロールの前後の位置に設けられていることで
ある。又、支持体を間に挟んで摺接手段が常にロールに
圧接した状態であると、支持体の走行性が低下する。か
つ、皺は常に発生しているものではないことから、皺が
検出手段により検出されると、摺接手段が自動的に作動
するよう構成していても良い。あるいは、真空槽に設け
た窓から観察し、皺が認められると、摺接手段を作動さ
せられるよう構成していても良い。そして、摺接手段が
作動しない状態にあっては、摺接手段が支持体から離間
しているように構成させていることが好ましい。
持体に皺が発生していると致命的なことになる。従っ
て、冷却キャンロールの前段階の位置においては摺接手
段が設けられていることが好ましい。より好ましくは、
冷却キャンロールの前後の位置に設けられていることで
ある。又、支持体を間に挟んで摺接手段が常にロールに
圧接した状態であると、支持体の走行性が低下する。か
つ、皺は常に発生しているものではないことから、皺が
検出手段により検出されると、摺接手段が自動的に作動
するよう構成していても良い。あるいは、真空槽に設け
た窓から観察し、皺が認められると、摺接手段を作動さ
せられるよう構成していても良い。そして、摺接手段が
作動しない状態にあっては、摺接手段が支持体から離間
しているように構成させていることが好ましい。
【００１１】
【実施例】図１〜図２は、本発明に係る成膜装置、例え
ば磁気記録媒体の製造装置の第１実施例を示すもので、
図１は全体の概略図、図２は要部の概略正面図である。
各図中、１は金属製の冷却キャンロール、２ａは供給側
ロール、２ｂは巻取側ロールであり、ＰＥＴ等のポリエ
ステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポ
リカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹
脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった
高分子材料からなる非磁性の厚さ１０μｍ、幅２００ｍ
ｍ程度の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出され、
ガイドローラ４を経て冷却キャンロール１に沿って巻き
回され、この後ガイドローラ４を経て巻取側ロール２ｂ
に巻き取られて行くようになっている。
ば磁気記録媒体の製造装置の第１実施例を示すもので、
図１は全体の概略図、図２は要部の概略正面図である。
各図中、１は金属製の冷却キャンロール、２ａは供給側
ロール、２ｂは巻取側ロールであり、ＰＥＴ等のポリエ
ステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポ
リカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹
脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった
高分子材料からなる非磁性の厚さ１０μｍ、幅２００ｍ
ｍ程度の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出され、
ガイドローラ４を経て冷却キャンロール１に沿って巻き
回され、この後ガイドローラ４を経て巻取側ロール２ｂ
に巻き取られて行くようになっている。
【００１２】５は冷却キャンロール１の下方部に設けら
れたルツボ、６はルツボ５に充填されている磁性金属
（例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ
−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金
属）、７は磁性金属６に向けて電子ビームを照射する電
子銃、８は遮蔽板、９は酸化性ガス供給ノズル、１０は
真空槽である。
れたルツボ、６はルツボ５に充填されている磁性金属
（例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ
−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金
属）、７は磁性金属６に向けて電子ビームを照射する電
子銃、８は遮蔽板、９は酸化性ガス供給ノズル、１０は
真空槽である。
【００１３】１１は、冷却キャンロール１の前後の位置
に設けられたガイドローラ４に対して設けられたパッド
である。尚、このパッド１１は、例えばザビーナ（鐘紡
製）やベンコット（旭化成製）などのようなポリエステ
ルでホコリが出ないように織り込まれたもので構成され
ており、ガイドローラ４に添接させられている支持体３
面上を滑動でき、この摺接滑動によって皺を引き延ばす
ことが出来るようになっている。
に設けられたガイドローラ４に対して設けられたパッド
である。尚、このパッド１１は、例えばザビーナ（鐘紡
製）やベンコット（旭化成製）などのようなポリエステ
ルでホコリが出ないように織り込まれたもので構成され
ており、ガイドローラ４に添接させられている支持体３
面上を滑動でき、この摺接滑動によって皺を引き延ばす
ことが出来るようになっている。
【００１４】１２はパッド１１が取り付けられているベ
ースであり、このベース１２にはスクリュー１３に螺合
する螺旋溝が形成されている。そして、図示しないモー
タの回転によってスクリュー１３が回転すると、これに
つれてベース１２が、図２中、左右方向に動作するよう
になっている。スクリュー１３は軸受部材を介してプレ
ート１４に取り付けられている。このプレート１４の両
端部にはピニオン・ラック機構１５が構成されており、
このピニオン・ラック機構１５の動作によりプレート１
４は動作するようになっている。つまり、ピニオン・ラ
ック機構１５の動作によりプレート１４が、図２中、上
下方向に動作し、これにつれてスクリュー１３も、図２
中、上下方向に動作し、スクリュー１３に螺合している
ベース１２が、図２中、上下方向に動作することから、
パッド１１がガイドローラ４に圧接したり、離れたりす
るようになっている。
ースであり、このベース１２にはスクリュー１３に螺合
する螺旋溝が形成されている。そして、図示しないモー
タの回転によってスクリュー１３が回転すると、これに
つれてベース１２が、図２中、左右方向に動作するよう
になっている。スクリュー１３は軸受部材を介してプレ
ート１４に取り付けられている。このプレート１４の両
端部にはピニオン・ラック機構１５が構成されており、
このピニオン・ラック機構１５の動作によりプレート１
４は動作するようになっている。つまり、ピニオン・ラ
ック機構１５の動作によりプレート１４が、図２中、上
下方向に動作し、これにつれてスクリュー１３も、図２
中、上下方向に動作し、スクリュー１３に螺合している
ベース１２が、図２中、上下方向に動作することから、
パッド１１がガイドローラ４に圧接したり、離れたりす
るようになっている。
【００１５】尚、スクリュー１３の回転動作やピニオン
・ラック機構１５の動作は、図示しない皺検出手段から
の信号により自動的に動作するようになっている。すな
わち、支持体３に皺が検出されると、その旨の信号が制
御回路に入力され、パッド１１がガイドローラ４から離
間している場合には、ピニオン・ラック機構１５を動作
させてパッド１１をガイドローラ４に添接させている支
持体３面に圧接させ、この後スクリュー１３を動作させ
てパッド１１を摺接させれば、縦方向（支持体３の走行
方向）に発生している皺は横方向に引き延ばされ、解皺
されるようになっている。
・ラック機構１５の動作は、図示しない皺検出手段から
の信号により自動的に動作するようになっている。すな
わち、支持体３に皺が検出されると、その旨の信号が制
御回路に入力され、パッド１１がガイドローラ４から離
間している場合には、ピニオン・ラック機構１５を動作
させてパッド１１をガイドローラ４に添接させている支
持体３面に圧接させ、この後スクリュー１３を動作させ
てパッド１１を摺接させれば、縦方向（支持体３の走行
方向）に発生している皺は横方向に引き延ばされ、解皺
されるようになっている。
【００１６】上記のように構成させた斜め蒸着装置にお
いて、真空槽１０内を１０-4〜１０ -6Ｔｏｒｒ程度の真
空度のものに排気した後、電子銃７を作動させてルツボ
５内の磁性金属６を溶融、蒸発させ、冷却キャンロール
１に添接されているＰＥＴフィルム等の支持体３に対し
て０．０４〜１μｍ厚さ磁性金属を蒸着させることによ
って金属薄膜型の磁気記録媒体が製造される。尚、金属
磁性薄膜の形成に際して蒸着部分に酸素を供給してお
り、金属磁性薄膜の表層部分が酸化され、酸化膜による
保護層が形成されると共に磁気特性の向上が図られてい
る。この後、支持体３は巻取側ロール２ｂに巻き取られ
て行く。
いて、真空槽１０内を１０-4〜１０ -6Ｔｏｒｒ程度の真
空度のものに排気した後、電子銃７を作動させてルツボ
５内の磁性金属６を溶融、蒸発させ、冷却キャンロール
１に添接されているＰＥＴフィルム等の支持体３に対し
て０．０４〜１μｍ厚さ磁性金属を蒸着させることによ
って金属薄膜型の磁気記録媒体が製造される。尚、金属
磁性薄膜の形成に際して蒸着部分に酸素を供給してお
り、金属磁性薄膜の表層部分が酸化され、酸化膜による
保護層が形成されると共に磁気特性の向上が図られてい
る。この後、支持体３は巻取側ロール２ｂに巻き取られ
て行く。
【００１７】このような成膜時、支持体３には冷却キャ
ンロール１の前後の段階で皺が発生していることがあ
る。特に、支持体３には電子ビームからの散乱電子が付
着したりして静電気を帯びており、これが為に支持体３
の走行性が低下して皺が発生したり、冷却キャンロール
１に貼り付いてしまったりする。ところで、冷却キャン
ロール１の前段階で皺が発生すると、その皺があるまま
磁性膜が形成されるようになり、又、冷却キャンロール
１の後段階で皺が発生すると、その皺があるまま巻取側
ロール２ｂに巻き取られて行き、この皺が転写され、長
い領域にわたって皺が形成され、不良品の発生率が高く
なる。
ンロール１の前後の段階で皺が発生していることがあ
る。特に、支持体３には電子ビームからの散乱電子が付
着したりして静電気を帯びており、これが為に支持体３
の走行性が低下して皺が発生したり、冷却キャンロール
１に貼り付いてしまったりする。ところで、冷却キャン
ロール１の前段階で皺が発生すると、その皺があるまま
磁性膜が形成されるようになり、又、冷却キャンロール
１の後段階で皺が発生すると、その皺があるまま巻取側
ロール２ｂに巻き取られて行き、この皺が転写され、長
い領域にわたって皺が形成され、不良品の発生率が高く
なる。
【００１８】しかしながら、上記のような解皺装置が設
けられていると、必要に応じてこれを作動させることに
より皺がなくなり、従って磁性膜が綺麗に形成され、か
つ、綺麗に巻き取られて行く。よって、製品の歩留りが
高くなる。このようにして、良好な金属磁性薄膜が構成
された支持体３が巻き取られてなる巻取側ロール２ｂを
取り出し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック
及び塩化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーとからな
るバインダ樹脂を分散させてなるバックコート用の塗料
をダイレクトグラビア法により磁性層とは反対側の支持
体３面上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコー
ト層を設ける。
けられていると、必要に応じてこれを作動させることに
より皺がなくなり、従って磁性膜が綺麗に形成され、か
つ、綺麗に巻き取られて行く。よって、製品の歩留りが
高くなる。このようにして、良好な金属磁性薄膜が構成
された支持体３が巻き取られてなる巻取側ロール２ｂを
取り出し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック
及び塩化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーとからな
るバインダ樹脂を分散させてなるバックコート用の塗料
をダイレクトグラビア法により磁性層とは反対側の支持
体３面上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコー
ト層を設ける。
【００１９】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
【００２０】この後、所定の幅にスリットすることによ
って磁気テープなどが得られる。図３及び図４は本発明
に係る成膜装置、例えば磁気記録媒体の製造装置の第２
実施例を示すもので、図３は要部の概略正面図、図４は
要部の概略側面図である。前記実施例では、パッド１１
が水平移動されるように構成させていたのであるが、図
３中、矢印方向に回動し得るアーム２０の先端にパッド
２１を取り付けておき、必要に応じてアーム２０を動作
（押圧し、摺動）させることによって縦方向（支持体３
の走行方向）に発生している皺を横方向に引き延ばし、
もって解皺されるようになっている。尚、２２はアーム
ガイド、２３はｏリング、２４は真空槽１０に構成され
ている窓であり、窓２４から内部を覗きながらアーム２
０を手で作動させられるようになっている。
って磁気テープなどが得られる。図３及び図４は本発明
に係る成膜装置、例えば磁気記録媒体の製造装置の第２
実施例を示すもので、図３は要部の概略正面図、図４は
要部の概略側面図である。前記実施例では、パッド１１
が水平移動されるように構成させていたのであるが、図
３中、矢印方向に回動し得るアーム２０の先端にパッド
２１を取り付けておき、必要に応じてアーム２０を動作
（押圧し、摺動）させることによって縦方向（支持体３
の走行方向）に発生している皺を横方向に引き延ばし、
もって解皺されるようになっている。尚、２２はアーム
ガイド、２３はｏリング、２４は真空槽１０に構成され
ている窓であり、窓２４から内部を覗きながらアーム２
０を手で作動させられるようになっている。
【００２１】その他の技術思想は前記実施例のものと同
じであるから、詳細な説明は省略する。
じであるから、詳細な説明は省略する。
【００２２】
【効果】高性能な磁気記録媒体が歩留り良く得られる。
【図１】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の全体概
略図
略図
【図２】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の要部の
概略正面図
概略正面図
【図３】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の要部の
概略正面図
概略正面図
【図４】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の要部の
概略側面図
概略側面図
【図５】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図
１ 冷却キャンロール ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ４ ガイドローラ １１ パッド １２ ベース １３ スクリュー １４ プレート １５ ピニオン・ラック機構 ２０ アーム ２１ パッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水野谷 博英 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆
積させることにより金属薄膜を設ける成膜装置であっ
て、真空槽と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段
と、支持体の巻取手段と供給手段との間を走行する支持
体を案内する前記真空槽内に配置されたロールと、この
ロールに沿って摺接する摺接手段とを具備してなること
を特徴とする成膜装置。 - 【請求項２】 巻取手段と供給手段との間に位置する冷
却キャンロールに沿って走行する支持体に対して金属粒
子が付着・堆積するよう構成されてなり、前記冷却キャ
ンロールの前および／または後の位置にロールが配置さ
れており、このロールに対して摺接手段が設けられてい
ることを特徴とする請求項１の成膜装置。 - 【請求項３】 摺接手段は、パッドと、このパッドをロ
ールに圧接させる圧接手段と、前記パッドをロールに圧
接した状態でロール軸芯方向に作動させ得る作動手段と
を具備することを特徴とする請求項１または請求項２の
成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6183785A JPH0849075A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6183785A JPH0849075A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0849075A true JPH0849075A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16141898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6183785A Pending JPH0849075A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0849075A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110438467A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-12 | 林初赢 | 一种卷绕式磁控溅射镀膜机 |
-
1994
- 1994-08-04 JP JP6183785A patent/JPH0849075A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110438467A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-12 | 林初赢 | 一种卷绕式磁控溅射镀膜机 |
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