JPH0773460A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0773460A JPH0773460A JP21542793A JP21542793A JPH0773460A JP H0773460 A JPH0773460 A JP H0773460A JP 21542793 A JP21542793 A JP 21542793A JP 21542793 A JP21542793 A JP 21542793A JP H0773460 A JPH0773460 A JP H0773460A
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- magnetic
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- magnetic recording
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁性膜の形成効率が良く、高性能な磁気記録
媒体を製造できる技術を提供することを目的とする。 【構成】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、支持
体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒
体の製造装置であって、前記容器は内周壁部に凹凸が形
成されてなる磁気記録媒体の製造装置。
媒体を製造できる技術を提供することを目的とする。 【構成】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、支持
体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒
体の製造装置であって、前記容器は内周壁部に凹凸が形
成されてなる磁気記録媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図４のように構成されているものが
一般的である。尚、図４中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。
媒体の製造装置は、図４のように構成されているものが
一般的である。尚、図４中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。
【０００４】しかしながら、このような蒸着装置を用い
ての磁性膜の形成に際して、磁性金属２５の蒸発特性に
問題の有ることが判って来た。
ての磁性膜の形成に際して、磁性金属２５の蒸発特性に
問題の有ることが判って来た。
【０００５】
【発明の開示】前記の問題点に対する研究が鋭意押し進
められて行くうちに、磁気記録媒体の製造装置における
ルツボの内部形状に問題のあることが判って来た。すな
わち、従来の磁気記録媒体の製造装置におけるルツボ２
４は、図５のような円柱状の穴が形成されたものである
とか、図６のような円錐台状の穴が形成されたものであ
るとか、あるいは図７のような四角柱状の穴が形成され
たものである。この為、内部に充填された磁性金属が加
熱されて溶融している状態において、この溶湯の表面に
は含有不純物や酸化物といったカスが多少なりとも浮遊
しており、これが磁性金属の蒸発を妨害してしまった
り、又、蒸発磁性粒子にくっついて飛散し、これがＰＥ
Ｔフィルムに堆積してしまうといった問題を引き起こす
ことが究明されて来たのである。
められて行くうちに、磁気記録媒体の製造装置における
ルツボの内部形状に問題のあることが判って来た。すな
わち、従来の磁気記録媒体の製造装置におけるルツボ２
４は、図５のような円柱状の穴が形成されたものである
とか、図６のような円錐台状の穴が形成されたものであ
るとか、あるいは図７のような四角柱状の穴が形成され
たものである。この為、内部に充填された磁性金属が加
熱されて溶融している状態において、この溶湯の表面に
は含有不純物や酸化物といったカスが多少なりとも浮遊
しており、これが磁性金属の蒸発を妨害してしまった
り、又、蒸発磁性粒子にくっついて飛散し、これがＰＥ
Ｔフィルムに堆積してしまうといった問題を引き起こす
ことが究明されて来たのである。
【０００６】そこで、前記溶湯表面のカス除去に対する
研究を鋭意押し進めて行ったのであるが、これは簡単な
ものではなかった。しかしながら、入江にゴミが溜まる
現象の閃きから、ルツボの内周壁部に入江のような形状
を構成させておけば、溶湯表面のカスは入江部分に溜ま
り、蒸発が盛んな中央部には殆どなくなるであろうとの
発想を得るに至った。そして、蒸発が盛んな中央部には
カスが殆どないことから、これらのカスが蒸発磁性粒子
にくっついてＰＥＴフィルムに堆積してしまうといった
問題も起きないであろうとの知見を得るに至ったのであ
る。
研究を鋭意押し進めて行ったのであるが、これは簡単な
ものではなかった。しかしながら、入江にゴミが溜まる
現象の閃きから、ルツボの内周壁部に入江のような形状
を構成させておけば、溶湯表面のカスは入江部分に溜ま
り、蒸発が盛んな中央部には殆どなくなるであろうとの
発想を得るに至った。そして、蒸発が盛んな中央部には
カスが殆どないことから、これらのカスが蒸発磁性粒子
にくっついてＰＥＴフィルムに堆積してしまうといった
問題も起きないであろうとの知見を得るに至ったのであ
る。
【０００７】このような知見を基にして本発明が達成さ
れたものであり、本発明は、磁性膜の形成効率が良く、
高性能な磁気記録媒体を製造できる技術を提供すること
を目的とする。この本発明の目的は、容器に入れられた
磁性材料を蒸発させ、支持体に堆積させることにより磁
性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であって、前記
容器は内周壁部に凹凸が形成されてなることを特徴とす
る磁気記録媒体の製造装置によって達成される。
れたものであり、本発明は、磁性膜の形成効率が良く、
高性能な磁気記録媒体を製造できる技術を提供すること
を目的とする。この本発明の目的は、容器に入れられた
磁性材料を蒸発させ、支持体に堆積させることにより磁
性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であって、前記
容器は内周壁部に凹凸が形成されてなることを特徴とす
る磁気記録媒体の製造装置によって達成される。
【０００８】尚、容器内周壁部の凹凸は鋭角部が多数形
成された、例えばリアス式海岸のような形状に構成され
たものであることが好ましい。特に、微細な凹凸が形成
されてなることが好ましい。そして、容器内周壁部の凹
凸は複数段階にわたって形成されていることが一層好ま
しい結果を呈することになる。
成された、例えばリアス式海岸のような形状に構成され
たものであることが好ましい。特に、微細な凹凸が形成
されてなることが好ましい。そして、容器内周壁部の凹
凸は複数段階にわたって形成されていることが一層好ま
しい結果を呈することになる。
【０００９】
【実施例】図１及び図２は本発明に係る磁気記録媒体の
製造装置の一実施例を示すもので、図１は全体の概略
図、図２は要部の斜視図である。各図中、１は冷却キャ
ン、２ａは供給側ロール、２ｂは巻取側ロールであり、
ＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポ
リスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレン等の
オレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル
系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミック等の
無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料からなる
非磁性の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出され、
冷却キャン１に沿って巻き回され、そして巻取側ロール
２ｂに巻き取られて行くようになっている。
製造装置の一実施例を示すもので、図１は全体の概略
図、図２は要部の斜視図である。各図中、１は冷却キャ
ン、２ａは供給側ロール、２ｂは巻取側ロールであり、
ＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポ
リスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレン等の
オレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル
系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミック等の
無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料からなる
非磁性の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出され、
冷却キャン１に沿って巻き回され、そして巻取側ロール
２ｂに巻き取られて行くようになっている。
【００１０】尚、非磁性の支持体３の表面には、磁性層
（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダーコート
層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適度に粗
すことにより、例えば斜め蒸着法により構成される磁性
薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表面の表
面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、例えば
ＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５〜０．
１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコート層が
構成されている。
（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダーコート
層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適度に粗
すことにより、例えば斜め蒸着法により構成される磁性
薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表面の表
面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、例えば
ＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５〜０．
１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコート層が
構成されている。
【００１１】４はルツボであり、このルツボ４内には、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金属５が
充填されている。
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金属５が
充填されている。
【００１２】尚、ルツボ４の構成材料としては、例えば
ＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ 3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｂ
Ｎ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 ，Ｂ4 Ｃ等のセラミッ
クス、あるいは平織クロスやしゅす織クロスのように織
った炭素系繊維を介在させたセラミックス等が挙げられ
る。中でも好ましいものは、炭化ホウ素製のルツボ、あ
るいは炭素系繊維を介在させたセラミックス製のルツボ
である。
ＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ 3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｂ
Ｎ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 ，Ｂ4 Ｃ等のセラミッ
クス、あるいは平織クロスやしゅす織クロスのように織
った炭素系繊維を介在させたセラミックス等が挙げられ
る。中でも好ましいものは、炭化ホウ素製のルツボ、あ
るいは炭素系繊維を介在させたセラミックス製のルツボ
である。
【００１３】そして、このような素材を用いて図２のよ
うな形状に成形されている。すなわち、鋭角状の凹部４
ａが内周壁部に形成されている。尚、鋭角状の凹部４ａ
内に更に微細な凹凸が形成されている。６は真空容器で
ある。上記のように構成させた装置において、真空容器
６内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度のものに排
気した後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱など
によりルツボ４内の磁性金属５を溶融、蒸発させ、ＰＥ
Ｔフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１μｍ厚さ
磁性金属５を蒸着させることによって金属薄膜型の磁気
記録媒体が製造される。尚、磁性薄膜の形成に際して、
蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させることによって
磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層を
形成するようにすることが好ましい。尚、この酸化膜か
ら構成される保護層の厚さは数十Å程度のものであり、
この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成される場合も
あり、このような時には強制酸化の手段を講じなくても
良い場合がある。
うな形状に成形されている。すなわち、鋭角状の凹部４
ａが内周壁部に形成されている。尚、鋭角状の凹部４ａ
内に更に微細な凹凸が形成されている。６は真空容器で
ある。上記のように構成させた装置において、真空容器
６内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度のものに排
気した後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱など
によりルツボ４内の磁性金属５を溶融、蒸発させ、ＰＥ
Ｔフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１μｍ厚さ
磁性金属５を蒸着させることによって金属薄膜型の磁気
記録媒体が製造される。尚、磁性薄膜の形成に際して、
蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させることによって
磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層を
形成するようにすることが好ましい。尚、この酸化膜か
ら構成される保護層の厚さは数十Å程度のものであり、
この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成される場合も
あり、このような時には強制酸化の手段を講じなくても
良い場合がある。
【００１４】ところで、磁性金属５が充填されているル
ツボ４は、図２のような形状（星型形状）に構成されて
いる。この為、ルツボ４内の溶湯に浮遊しているカスは
次第に鋭角状の凹部４ａ内に嵌まり込むようになる。従
って、蒸発面積の広い部分を占める中央部にカスが存在
せず、カスによって磁性金属の蒸発が遮られるといった
ことは起きず、均一な蒸発速度で蒸発して行くようにな
り、支持体３に堆積する金属薄膜は均一なものとなり、
高品質なものが歩留り良く得られる。かつ、磁性金属に
くっついてカスが蒸発・飛散するといったことも起き
ず、この点からも高品質な金属薄膜が歩留り良く得られ
る。
ツボ４は、図２のような形状（星型形状）に構成されて
いる。この為、ルツボ４内の溶湯に浮遊しているカスは
次第に鋭角状の凹部４ａ内に嵌まり込むようになる。従
って、蒸発面積の広い部分を占める中央部にカスが存在
せず、カスによって磁性金属の蒸発が遮られるといった
ことは起きず、均一な蒸発速度で蒸発して行くようにな
り、支持体３に堆積する金属薄膜は均一なものとなり、
高品質なものが歩留り良く得られる。かつ、磁性金属に
くっついてカスが蒸発・飛散するといったことも起き
ず、この点からも高品質な金属薄膜が歩留り良く得られ
る。
【００１５】このようにして、磁性薄膜が構成された支
持体３が巻き取られてなる巻取側ロール２ｂを取り出
し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩
化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバイ
ンダ樹脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイ
レクトグラビア法により磁性層とは反対側の支持体３面
上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を
設ける。
持体３が巻き取られてなる巻取側ロール２ｂを取り出
し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩
化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバイ
ンダ樹脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイ
レクトグラビア法により磁性層とは反対側の支持体３面
上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を
設ける。
【００１６】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるように塗布
し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるように塗布
し、７０℃で乾燥させる。
【００１７】この後、所定の幅にスリットすることによ
って磁気テープなどが得られる。図３は、本発明に係る
磁気記録媒体の製造装置の他の実施例を示す要部の斜視
図である。本実施例にあっては、磁性金属５が充填され
ているルツボ４の内周壁部の凹凸形状が異なるに過ぎ
ず、基本的な技術思想は同様なものであるから、詳細な
説明は省略する。
って磁気テープなどが得られる。図３は、本発明に係る
磁気記録媒体の製造装置の他の実施例を示す要部の斜視
図である。本実施例にあっては、磁性金属５が充填され
ているルツボ４の内周壁部の凹凸形状が異なるに過ぎ
ず、基本的な技術思想は同様なものであるから、詳細な
説明は省略する。
【００１８】すなわち、本実施例の形状のルツボ４にあ
っても、ルツボ４内の溶湯に浮遊しているカスは次第に
鋭角状の凹部４ａ内に嵌まり込むようになり、蒸発面積
の広い部分を占める中央部にカスが存在せず、カスによ
って磁性金属の蒸発が遮られるといったことは起きず、
均一な蒸発速度で蒸発して行くようになり、支持体３に
堆積する金属薄膜は均一なものとなり、高品質なものが
歩留り良く得られる。かつ、磁性金属にくっついてカス
が飛散するといったことも起きず、この点からも高品質
な金属薄膜が歩留り良く得られる。
っても、ルツボ４内の溶湯に浮遊しているカスは次第に
鋭角状の凹部４ａ内に嵌まり込むようになり、蒸発面積
の広い部分を占める中央部にカスが存在せず、カスによ
って磁性金属の蒸発が遮られるといったことは起きず、
均一な蒸発速度で蒸発して行くようになり、支持体３に
堆積する金属薄膜は均一なものとなり、高品質なものが
歩留り良く得られる。かつ、磁性金属にくっついてカス
が飛散するといったことも起きず、この点からも高品質
な金属薄膜が歩留り良く得られる。
【００１９】
【効果】本発明によれば、磁性膜の形成効率が良く、高
性能な磁気記録媒体が得られる。
性能な磁気記録媒体が得られる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の一実施
例の概略説明図
例の概略説明図
【図２】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の一実施
例の要部の斜視図
例の要部の斜視図
【図３】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の他の実
施例の要部の斜視図
施例の要部の斜視図
【図４】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
【図５】従来の磁気記録媒体の製造装置に用いられてい
るルツボの斜視図
るルツボの斜視図
【図６】従来の磁気記録媒体の製造装置に用いられてい
るルツボの斜視図
るルツボの斜視図
【図７】従来の磁気記録媒体の製造装置に用いられてい
るルツボの斜視図
るルツボの斜視図
１ 冷却キャン ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ４ ルツボ ４ａ 鋭角状の凹部 ５ 磁性金属 ６ 真空容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、
支持体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記
録媒体の製造装置であって、前記容器は内周壁部に凹凸
が形成されてなることを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置。 - 【請求項２】 容器内周壁部の凹凸は鋭角部が多数形成
されたものであることを特徴とする請求項１の磁気記録
媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21542793A JPH0773460A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21542793A JPH0773460A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773460A true JPH0773460A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16672163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21542793A Pending JPH0773460A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0773460A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022038548A1 (en) * | 2020-08-19 | 2022-02-24 | 3M Innovative Properties Company | Evaporation boat for evaporation of metals |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21542793A patent/JPH0773460A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022038548A1 (en) * | 2020-08-19 | 2022-02-24 | 3M Innovative Properties Company | Evaporation boat for evaporation of metals |
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