JPH06101030A - 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置及び製造方法Info
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- JPH06101030A JPH06101030A JP24934492A JP24934492A JPH06101030A JP H06101030 A JPH06101030 A JP H06101030A JP 24934492 A JP24934492 A JP 24934492A JP 24934492 A JP24934492 A JP 24934492A JP H06101030 A JPH06101030 A JP H06101030A
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Abstract
(57)【要約】
磁性材料に無駄が少なく、効率良く、かつ、低廉なコス
トで磁気記録媒体を提供することにある。 【構成】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、基体
に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒体
の製造装置であって、前記容器を回転させる駆動手段を
具備してなる磁気記録媒体の製造装置。
トで磁気記録媒体を提供することにある。 【構成】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、基体
に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒体
の製造装置であって、前記容器を回転させる駆動手段を
具備してなる磁気記録媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置及び製造方法に関するものである。
置及び製造方法に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
【０００３】すなわち、無電解メッキといった湿式メッ
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
【０００４】このような蒸着手段による磁気記録媒体の
製造装置は、図４のように構成されているものが一般的
である。尚、図４中、２１は冷却キャン、２２はポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給側ロー
ル、２３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、２４は遮蔽
板、２５はルツボ、２６は磁性合金、２７は電子銃、２
８は真空容器である。すなわち、真空容器２８内を所定
の真空度のものに排気した後、電子銃２７を作動させて
ルツボ２５内の磁性合金２６を蒸発させ、ＰＥＴフィル
ムに対して磁性合金２６を堆積（蒸着）させることによ
って磁気記録媒体が製造されている。
製造装置は、図４のように構成されているものが一般的
である。尚、図４中、２１は冷却キャン、２２はポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給側ロー
ル、２３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、２４は遮蔽
板、２５はルツボ、２６は磁性合金、２７は電子銃、２
８は真空容器である。すなわち、真空容器２８内を所定
の真空度のものに排気した後、電子銃２７を作動させて
ルツボ２５内の磁性合金２６を蒸発させ、ＰＥＴフィル
ムに対して磁性合金２６を堆積（蒸着）させることによ
って磁気記録媒体が製造されている。
【０００５】ところで、このようにして蒸発する磁性粒
子のうちＰＥＴフィルムに蒸着しない割合がかなりの程
度になっていることが判り、無駄が多く、それだけコス
トが高くついていることが判って来た。
子のうちＰＥＴフィルムに蒸着しない割合がかなりの程
度になっていることが判り、無駄が多く、それだけコス
トが高くついていることが判って来た。
【０００６】
【発明の開示】前記の問題点に対する研究が鋭意押し進
められて行った結果、磁性粒子の蒸発量分布は図４中仮
想線で示すようなガウス分布にあり、そして図４中矢印
で示す範囲外にある蒸発粒子はＰＥＴフィルムに蒸着せ
ず、特に図４中Ｘで示される領域の蒸発粒子の量は多く
あることから、無駄が多いものとなっていることが究明
されたのである。
められて行った結果、磁性粒子の蒸発量分布は図４中仮
想線で示すようなガウス分布にあり、そして図４中矢印
で示す範囲外にある蒸発粒子はＰＥＴフィルムに蒸着せ
ず、特に図４中Ｘで示される領域の蒸発粒子の量は多く
あることから、無駄が多いものとなっていることが究明
されたのである。
【０００７】このような知見に基づいて本発明が達成さ
れたものであり、本発明の目的は、磁性材料に無駄が少
なく、効率良く、かつ、低廉なコストで磁気記録媒体を
提供することにある。この本発明の目的は、容器に入れ
られた磁性材料を蒸発させ、基体に堆積させることによ
り磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であって、
前記容器を回転させる駆動手段を具備したことを特徴と
する磁気記録媒体の製造装置によって達成される。
れたものであり、本発明の目的は、磁性材料に無駄が少
なく、効率良く、かつ、低廉なコストで磁気記録媒体を
提供することにある。この本発明の目的は、容器に入れ
られた磁性材料を蒸発させ、基体に堆積させることによ
り磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置であって、
前記容器を回転させる駆動手段を具備したことを特徴と
する磁気記録媒体の製造装置によって達成される。
【０００８】又、容器に入れられた磁性材料を蒸発さ
せ、基体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気
記録媒体の製造方法であって、磁性粒子の蒸発を前記容
器に入れられた磁性材料の傾斜液面から行わせることを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成され
る。以下、本発明について更に詳しく説明する。
せ、基体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気
記録媒体の製造方法であって、磁性粒子の蒸発を前記容
器に入れられた磁性材料の傾斜液面から行わせることを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成され
る。以下、本発明について更に詳しく説明する。
【０００９】図１は磁気記録媒体の製造装置（蒸着装
置）であり、１は冷却キャン、２はＰＥＴフィルム等の
基板１１の供給側ロール、３はＰＥＴフィルム１１の巻
取側ロール、４は遮蔽板、５はルツボ、６はＣｏ−Ｎｉ
などの磁性合金、７は電子銃、８は真空容器である。と
ころで、ルツボ５は、例えばＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，
Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3Ｎ4 ，ＢＮ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，Ｓ
ｉＯ2 等のセラミックス材料を用いて所定の形状に成形
した内型と外型との間に炭素系繊維材料、特に炭素系繊
維布を配設し、これらの上下から力を加えると共に、加
熱・焼成することにより構成されたものであり、その形
状として図２に示される如くリング状に構成されてい
る。そして、電子銃７からの電子線が照射される部分を
除いては遮蔽部材９によって上方開口部は覆われてい
る。すなわち、不要な部分からの蒸発が起きないように
構成されている。又、所定の位置に誘導加熱用のコイル
が配置されていて、予備加熱されている。すなわち、電
子銃７からの電子線が照射されると、その部分から蒸発
が直ちに起きるようになっている。
置）であり、１は冷却キャン、２はＰＥＴフィルム等の
基板１１の供給側ロール、３はＰＥＴフィルム１１の巻
取側ロール、４は遮蔽板、５はルツボ、６はＣｏ−Ｎｉ
などの磁性合金、７は電子銃、８は真空容器である。と
ころで、ルツボ５は、例えばＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，
Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3Ｎ4 ，ＢＮ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，Ｓ
ｉＯ2 等のセラミックス材料を用いて所定の形状に成形
した内型と外型との間に炭素系繊維材料、特に炭素系繊
維布を配設し、これらの上下から力を加えると共に、加
熱・焼成することにより構成されたものであり、その形
状として図２に示される如くリング状に構成されてい
る。そして、電子銃７からの電子線が照射される部分を
除いては遮蔽部材９によって上方開口部は覆われてい
る。すなわち、不要な部分からの蒸発が起きないように
構成されている。又、所定の位置に誘導加熱用のコイル
が配置されていて、予備加熱されている。すなわち、電
子銃７からの電子線が照射されると、その部分から蒸発
が直ちに起きるようになっている。
【００１０】このような構成のルツボ５は、図示してい
ないモーターやギア等の駆動力伝達機構によって矢印で
示すように回転させられるよう構成されていることに大
きな特徴がある。すなわち、ルツボ５が所定の回転手段
によって回転させられると、電子銃７からの電子線が照
射される部分における溶融磁性材料は遠心力の作用によ
って、図１に示す如く、傾斜面が形成されることにな
る。
ないモーターやギア等の駆動力伝達機構によって矢印で
示すように回転させられるよう構成されていることに大
きな特徴がある。すなわち、ルツボ５が所定の回転手段
によって回転させられると、電子銃７からの電子線が照
射される部分における溶融磁性材料は遠心力の作用によ
って、図１に示す如く、傾斜面が形成されることにな
る。
【００１１】この為、電子銃７からの電子線照射によっ
て蒸発する磁性粒子の量は図１中仮想線で示すガウス分
布にあることから、図４で示す場合よりも無駄になる量
が少なく、それだけコストが安くなる。尚、液面の傾斜
角度（仮想線で示す法線の傾斜角度）θは約１５〜６０
°、さらに望ましくは約３０〜４５°であることが好ま
しいものであった。そして、このような傾斜角度θにす
る為のルツボ５の回転速度は、ルツボ５内に充填されて
いる磁性金属の密度や溶融粘度によって適宜決めれば良
い。
て蒸発する磁性粒子の量は図１中仮想線で示すガウス分
布にあることから、図４で示す場合よりも無駄になる量
が少なく、それだけコストが安くなる。尚、液面の傾斜
角度（仮想線で示す法線の傾斜角度）θは約１５〜６０
°、さらに望ましくは約３０〜４５°であることが好ま
しいものであった。そして、このような傾斜角度θにす
る為のルツボ５の回転速度は、ルツボ５内に充填されて
いる磁性金属の密度や溶融粘度によって適宜決めれば良
い。
【００１２】上記のように構成させた装置において、真
空容器８内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃
７を作動させてルツボ５内の磁性合金６を蒸発させ、Ｐ
ＥＴフィルム等の基板１１に対して磁性合金６を斜め蒸
着させることによって磁気記録媒体が製造される。図３
に本発明により得られた磁気記録媒体の概略断面図を示
す。
空容器８内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃
７を作動させてルツボ５内の磁性合金６を蒸発させ、Ｐ
ＥＴフィルム等の基板１１に対して磁性合金６を斜め蒸
着させることによって磁気記録媒体が製造される。図３
に本発明により得られた磁気記録媒体の概略断面図を示
す。
【００１３】同図中、１１は非磁性の基板であり、この
基板１１はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリ
イミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロ
ピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、
塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラ
ミック等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材
料が用いられる。
基板１１はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリ
イミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロ
ピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、
塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラ
ミック等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材
料が用いられる。
【００１４】基板１１面上には磁性層の密着性を向上さ
せる為のアンダーコート層１２が設けられている。すな
わち、表面の粗さを適度に粗すことにより斜め蒸着法に
より構成される磁性層の密着性を向上させ、さらに磁気
記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走行性を改
善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが
０．０１〜０．５μｍの塗膜を設けることによってアン
ダーコート層１２が構成されている。
せる為のアンダーコート層１２が設けられている。すな
わち、表面の粗さを適度に粗すことにより斜め蒸着法に
より構成される磁性層の密着性を向上させ、さらに磁気
記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走行性を改
善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが
０．０１〜０．５μｍの塗膜を設けることによってアン
ダーコート層１２が構成されている。
【００１５】アンダーコート層１２の上に、上記した蒸
着装置により金属薄膜型の磁性層１３が設けられる。例
えば、１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空雰囲気下で強
磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱
などにより蒸発させ、基板１１のアンダーコート層１２
面上に蒸着させることにより、磁性層１３が０．０４〜
１μｍ厚形成される。尚、より高い保磁力を得る為、基
板に対して強磁性金属材料を斜めに蒸着させる斜め蒸着
法によることが好ましい。
着装置により金属薄膜型の磁性層１３が設けられる。例
えば、１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空雰囲気下で強
磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱
などにより蒸発させ、基板１１のアンダーコート層１２
面上に蒸着させることにより、磁性層１３が０．０４〜
１μｍ厚形成される。尚、より高い保磁力を得る為、基
板に対して強磁性金属材料を斜めに蒸着させる斜め蒸着
法によることが好ましい。
【００１６】磁性層１３を構成する材料としては、例え
ばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合
金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合
金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたもの等
が挙げられる。
ばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合
金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合
金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたもの等
が挙げられる。
【００１７】磁性層１３の形成に際して、蒸着部分に酸
素を供給し、強制酸化させることによって磁性層１３の
表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層１４を形成す
る。尚、この酸化膜から構成される保護層１４の厚さは
数十Å程度のものであり、この程度の厚さの酸化膜は自
然酸化で構成される場合もあり、このような時には強制
酸化の手段を講じなくても良い場合がある。
素を供給し、強制酸化させることによって磁性層１３の
表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層１４を形成す
る。尚、この酸化膜から構成される保護層１４の厚さは
数十Å程度のものであり、この程度の厚さの酸化膜は自
然酸化で構成される場合もあり、このような時には強制
酸化の手段を講じなくても良い場合がある。
【００１８】１５は酸化膜からなる保護層１４の上に設
けられた潤滑剤層である。すなわち、潤滑剤層１５が、
潤滑剤を含有させた塗料を所定の手段で塗布することに
より、約５〜５０Å、好ましくは約１０〜３０Å程度の
厚さ設けられる。１６は、基板１１の他面に設けられた
カーボンブラック等を含有させたバックコート層であ
る。
けられた潤滑剤層である。すなわち、潤滑剤層１５が、
潤滑剤を含有させた塗料を所定の手段で塗布することに
より、約５〜５０Å、好ましくは約１０〜３０Å程度の
厚さ設けられる。１６は、基板１１の他面に設けられた
カーボンブラック等を含有させたバックコート層であ
る。
【００１９】以下、具体的な実施例を挙げて説明する。
【００２０】
〔実施例１〕図１に示される如くの真空蒸着装置に厚さ
９．３μｍのＰＥＴフィルム１１を装着した。そして、
先ず、真空容器８内を所定の真空度のものに排気した
後、駆動手段を作動させてルツボ５を回転させ、磁性材
料溶融面の傾斜角度θが４５°となるようになし、そし
て電子銃７を作動させてルツボ５内の磁性金属６を蒸発
させ、斜め蒸着法によりＰＥＴフィルム１１に対して磁
性金属６を１５００Å厚蒸着させた。そして、酸素ガス
導入管より酸素を供給し、蒸着膜の表面層を強制酸化さ
せ、数十Å厚の酸化膜による表面保護層を形成した。
９．３μｍのＰＥＴフィルム１１を装着した。そして、
先ず、真空容器８内を所定の真空度のものに排気した
後、駆動手段を作動させてルツボ５を回転させ、磁性材
料溶融面の傾斜角度θが４５°となるようになし、そし
て電子銃７を作動させてルツボ５内の磁性金属６を蒸発
させ、斜め蒸着法によりＰＥＴフィルム１１に対して磁
性金属６を１５００Å厚蒸着させた。そして、酸素ガス
導入管より酸素を供給し、蒸着膜の表面層を強制酸化さ
せ、数十Å厚の酸化膜による表面保護層を形成した。
【００２１】この後、テープを取り出し、平均粒径２０
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側のＰＥＴフィルム１１に塗布し、乾燥
厚さが０．５μｍのバックコート層を設けた。この後、
フッ素パーフルオロポリエーテル（グレード：ＦＯＭＢ
ＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシル基変性、日本モンテ
ジソン社製）をフッ素不活性液体（フロリナート、ＦＣ
−８４、住友スリーエム社製）に０．１％となるよう希
釈・分散させた塗料をダイ塗工方式により乾燥後の厚さ
が２０Å程度となるように塗布し、７０℃で乾燥させ
た。
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側のＰＥＴフィルム１１に塗布し、乾燥
厚さが０．５μｍのバックコート層を設けた。この後、
フッ素パーフルオロポリエーテル（グレード：ＦＯＭＢ
ＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシル基変性、日本モンテ
ジソン社製）をフッ素不活性液体（フロリナート、ＦＣ
−８４、住友スリーエム社製）に０．１％となるよう希
釈・分散させた塗料をダイ塗工方式により乾燥後の厚さ
が２０Å程度となるように塗布し、７０℃で乾燥させ
た。
【００２２】この後、所定の幅にスリットし、図３に示
す如くの磁気テープを作製した。 〔実施例２〕実施例１において、θが３０°となるよう
にルツボ５の回転速度を制御して同様に行った。 〔実施例３〕実施例１において、θが６０°となるよう
にルツボ５の回転速度を制御して同様に行った。
す如くの磁気テープを作製した。 〔実施例２〕実施例１において、θが３０°となるよう
にルツボ５の回転速度を制御して同様に行った。 〔実施例３〕実施例１において、θが６０°となるよう
にルツボ５の回転速度を制御して同様に行った。
【００２３】〔比較例１〕実施例１において、ルツボ５
を回転させず、磁性材料溶融面が水平となるよう、すな
わち図４のようにして行い、図３に示す如くの磁気テー
プを作製した。 〔特性〕上記各例で得た磁気テープにおける消費磁性材
料の量を調べたので、その結果を表１に示す。
を回転させず、磁性材料溶融面が水平となるよう、すな
わち図４のようにして行い、図３に示す如くの磁気テー
プを作製した。 〔特性〕上記各例で得た磁気テープにおける消費磁性材
料の量を調べたので、その結果を表１に示す。
【００２４】 表 １ 消費磁性材料の比（％） 実施例１／比較例１ ６０ 実施例２／比較例１ ７８ 実施例３／比較例１ ８５ これによれば、本発明になるものは無駄になっている量
が少なく、磁気記録媒体をそれだけ低コストで提供でき
ることが判る。
が少なく、磁気記録媒体をそれだけ低コストで提供でき
ることが判る。
【００２５】
【効果】本発明によれば、低コストで高性能な磁気記録
媒体を効率良く提供できる。
媒体を効率良く提供できる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の一実施
例の概略説明図
例の概略説明図
【図２】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の要部部
品の斜視図
品の斜視図
【図３】本発明による磁気記録媒体の概略断面図
【図４】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
１ 冷却キャン ２ 供給側ロール ３ 巻取側ロール ４ 遮蔽板 ５ ルツボ ６ 磁性合金 ７ 電子銃 ８ 真空容器
Claims (2)
- 【請求項１】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、
基体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録
媒体の製造装置であって、前記容器を回転させる駆動手
段を具備したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装
置。 - 【請求項２】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、
基体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録
媒体の製造方法であって、磁性粒子の蒸発を前記容器に
入れられた磁性材料の傾斜液面から行わせることを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24934492A JPH06101030A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24934492A JPH06101030A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06101030A true JPH06101030A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17191632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24934492A Pending JPH06101030A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101030A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013204139A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Nec Corp | 真空蒸着装置および真空蒸着方法 |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP24934492A patent/JPH06101030A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013204139A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Nec Corp | 真空蒸着装置および真空蒸着方法 |
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