JPS634424A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は磁気記録媒体の製造方法に係り、特に有機フィ
ルム上に磁性層を蒸着あるいはスパッタにより連続して
形成する磁気記録媒体の製３Ｌ７ｊ法に関する。

（従来の技術とその問題点） 近時、磁気記録媒体の高密度化に対する有効な手段とし
て垂直磁化記録方式が開発されている。

この垂直磁化記録方式に用いる磁気記録媒体のうら代表
的なものとして、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレ
ート等の耐熱性の高分子フィルム上にＱｏ−Ｃｒ系薄膜
を蒸着あるい１よスパッタリングにより連続的に形成し
て記録磁化層としたものが知られている。

このような記録媒磁化層を耐熱性の高分子材お１の表面
に形成する方法としては、第１図に承りような方式が知
られている。

この方法では、同図に示すように、耐熱性フィルムから
なる基体フィルム１を逆回転する回転ロール２ａ、２ｂ
の周面に沿わせて通過させ、−方の回転ロール２ａを通
過する際、その周面上で片側の表面上にターゲット３ａ
からＧｏ−Ｃｒをスバッタリングし、他方の主回転ロー
ル２ｂの円面を通過する際、基体フィルム１の反対側の
表面上にターゲット３ｂから同様にＧｏ−Ｃｒをスパッ
タリングして基体フィルムの両面にＣｏ　　ｃｐｓ膜が
形成される。なお図中４は基体フィルム１の供給ロール
、５は基体フィルム１の巻取ロールでおる。

しかしながらこのような従来の方法では、基体フィルム
の表面にスリップ傷が発生してこれが磁性層に小ざな傷
を多発さける原因になるうえに、フィルムにしわが発生
して円滑な搬送ができなくなるという問題があった。

このようなトラブルを避ｔプるために基体フィルムの幅
方向の両端部近傍にエンボス加工を施し、この基体フィ
ルムと回転ロール間に空間を作って摩擦力を低下さける
方法が提案されている。

しかしながらこの方法では、エンボス加工の施されたフ
ィルムの両端部がエンボス加工の凹凸により見掛は上厚
くなっているため、フィルムと主回転ロールとの接触具
合がフィルムの中央部とその両端部のかなりの部分て異
なるため、スパッタリングあるいは蒸６によりＣｏ−０
ｒ膜を形成した時、幅方向の１ＩＣ１の分４Ｔが悪くな
るという問題があった。

（発明が解決しようとする問題点） このように高密度記録には、垂直磁気記録方式が適して
いるが、基体フィルムの表面を平滑にしていくと、スパ
ッタ装置、おるいは蒸着装置内での円滑な搬送が困難に
なって幅方向の）−Ｉ　Ｃｌの分布が悪くなるという問
題があった。

これは基体フィルムと搬送回転ロールとの摩Ｉ寮力が増
大するのが原因と考えられる。

このような搬送系では、基体フィルムの搬送は基体フィ
ルムと回転ロールとの摩擦を利用して行なっており、−
方、基体フィルムは伸縮性かおるため、伸縮ｍに幅方向
にむらか生じ、このため基体フィルムは波打らするよう
な状態で搬送され、基体フィルムと回転ロール面との間
で発生する摩擦力にも幅方向にむらが生じ磁化層が不均
一となって幅方向のＨＣｌの分イｆｉか悪くなるのであ
る。

このような幅方向の摩擦力のむらは負荷が小さい間はほ
とんど問題とならないが負荷が大きくなると、むらの割
合いが各回転ロールで増幅され、ついにはしわになった
り、スリップを発生させるようになる。

本発明は、このような従来の問題を解消すべくなされた
もので、基体フィルムのしわの発生や回転ロールとの間
のスリップを防止し、かつ幅方向のＨＣｌの分布の改善
された磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的と
する。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） Ｖなわら本発明の磁気記録媒体の′！Ａ造方法は、基体
フィルムを回転ロールによって搬送さＵながら蒸４ある
いはスパッタによりその表面に磁性層を連続的に形成す
る磁気記録媒体の製造方法において、前記回転ロールの
両端部近傍の周面に微小突起を形成するとともに前記基
体フィルムの幅方向の両端部近傍をこの微小突起上に位
置させて搬送することを特徴としている。

上記の微小突起は、例えば回転ロールの両端部近傍の周
面にホーニング加工等により微小な凹凸を形成し、この
微小凹凸上に平滑な回転ロール面に比べていくらか高く
なるよう金属めっきを施すことにより形成される。

（作　用） 本発明においては、基体フィルムの搬送は、基体フィル
ムと回転ロール聞の１皐ｖとの外に、微小突起が基体フ
ィルムに食込ｌυだ状態で回転ロールの張力によっても
行われ、）ユ体フィルムと回転ロールと間のスリップや
基体フィルムの一方のみが引張られ易いトラブルが解消
され、円滑な搬送が可能となって幅方向のＨＣｌの分イ
［ｉが改氾ひｈる。

（実施例） 次に本発明の実施例について説明する。

第１図に示したスパッタ装置と同じスパッタ装置の主回
転ロール２ａ、２ｂおよび巻取ロール５の両端部の周面
に、第２図および第３図に示１ように、微小突起６を形
成した。

この微小突起６は、各ロール中央部を５７０ｚ：１残す
ようにマスクしたあと、アルミナおるいはガラスピーズ
等でホーニング加工を施し、しかる後ホーニング加工を
施した部分に１〜２μ■の厚さに（回転ロールの平滑部
分より１〜２μｍ弱高くなるように）硬質クロムメツキ
を施ずことにより形成した。

次にこのようにして両端部近傍の周面に微小突起６を形
成したロールを使用した、第１図に示したスパッタ装置
を使用して、幅６００１ｍ　、厚さ７５μｍ１表面相さ
Ｒａ３ＯＡのポリイミドフィルム上にスパッタリングに
よりＣｏ−Ｃｒ膜を形成した。

なおスパッタリングはポリイミドフィルムに５ｋＢの張
力を与え、主回転ロール２ａ、２ｂの温度を１３０〜１
５０’Ｃに保持しながら行なった。

この方法で形成された磁気記録フィルムの両端面には微
小突起６によって変形したあとが残っており、微小突起
６かポリイミドフィルムの搬送に寄与していることが認
められた。

またこの実施例で得た磁気記録媒体の垂直方向の保磁力
ＨＣｔも格別変化は生じなかった。

−方、これとは別に両端部近傍に微小突起を形成しない
点を除いて実施例の各ロールと同一６１４　Ｗの各１コ
ールを用いて実施例と同一方法でスパッタリングを行っ
たところ、フィルムの搬送が困ｆ、ｌｌで、表面粗さＲ
ａ３ＯＡのフィルムではスリップ瘍、しわ等のトラブル
が生じ、磁気特性垂直方向の保磁力１−Ｉ　Ｃｌも低下
した。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、搬送する基体フィ
ルムの両端面が、回転ロールの両端部に設けた微小突起
により張力を加えられた状態で１殻送されるので、しわ
の発生や磁気特性の劣化を生ずるようなことなく、磁気
特性の良好な高密度記録媒体を連続的に製造することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は基体フィルム上にスパッタにより磁性層を形成
する状況を承り図、第２図は回転ロールと基体フィルム
の接触状態を示す平面図、第３図はその■−■線に沿う
断面図である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体フィルムを回転ロールによって搬送させなが
   ら蒸着あるいはスパッタによりその表面に磁性層を連続
   的に形成する磁気記録媒体の製造方法において、前記回
   転ロールの両端部近傍の周面に微小突起を形成するとと
   もに前記フィルムの幅方向の両端部近傍をこの微小突起
   上に位置させて搬送することを特徴とする磁気記録媒体
   の製造方法。
2. （２）回転ロールの両端部近傍の周面に設けた微小突起
   が回転ロールの平滑面よりも高いことを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体の製造方法。