JPH0626018B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0626018B2 JPH0626018B2 JP5536285A JP5536285A JPH0626018B2 JP H0626018 B2 JPH0626018 B2 JP H0626018B2 JP 5536285 A JP5536285 A JP 5536285A JP 5536285 A JP5536285 A JP 5536285A JP H0626018 B2 JPH0626018 B2 JP H0626018B2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法に関し、その目的とするところは強磁性金
属薄膜層形成時に発生するしわを抑制して、しわのない
前記の磁気記録媒体を製造する方法を提供することにあ
る。
体の製造方法に関し、その目的とするところは強磁性金
属薄膜層形成時に発生するしわを抑制して、しわのない
前記の磁気記録媒体を製造する方法を提供することにあ
る。
強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通
常、ポリエステルフイルムなどの基板を真空槽内に配設
した種々のガイドロールを介して円筒状キャンの周側面
に沿って案内走行させ、この基板上に強磁性材を真空蒸
着するなどしてつくられている。
常、ポリエステルフイルムなどの基板を真空槽内に配設
した種々のガイドロールを介して円筒状キャンの周側面
に沿って案内走行させ、この基板上に強磁性材を真空蒸
着するなどしてつくられている。
ところが、この製造方法では、強磁性材蒸発源からの輻
射熱により基板が伸びたり、或いは極めて平滑な基板と
各ロール間の摩擦や強磁性材を溶融するのに使用する電
子銃の二次電子などによる帯電等で基板の走行に支障が
生じたりして、走行中の基板にしわが発生し易く、特に
原反ロール、円筒状キャンおよび巻き取りロール等の各
周側面と、これらの間を移動する基板がこれら原反ロー
ルの直後、円筒状キャンの直前直後、および巻き取りロ
ールの直前で接する各ガイドロールの周側面との距離が
離れすぎていたり、これらのガイドロールに接する基板
の接触角が変化したりすると、基板が振動したり、適度
な張力で基板が走行されなくなるためしわの発生が顕著
になる。このため各ロール間の機械的精度を向上させた
り、又は基板及びガイドロールの表面粗度を適度にし、
さらには基板の裏面に潤滑剤を塗布するなどして、基板
にかかる張力のアンバランスの解消や、基板と各ロール
間の摩擦力およびこれによって発生する帯電などを低減
し、しわの発生を抑制することが試みられているが、未
だ充分にしわの発生を抑制することができず、特にこれ
らの方法では、原反ロール、円筒状キャンおよび巻き取
りロール等の各周側面と、これらの間を移動する基板が
これら原反ロールの直後、円筒状キャンの直前直後、お
よび巻き取りロールの直前で接する各ガイドロールの周
側面との距離の離れすぎや、これらのガイドロールに接
する基板の接触角の変化によって生じるしわを効果的に
抑制することができない。
射熱により基板が伸びたり、或いは極めて平滑な基板と
各ロール間の摩擦や強磁性材を溶融するのに使用する電
子銃の二次電子などによる帯電等で基板の走行に支障が
生じたりして、走行中の基板にしわが発生し易く、特に
原反ロール、円筒状キャンおよび巻き取りロール等の各
周側面と、これらの間を移動する基板がこれら原反ロー
ルの直後、円筒状キャンの直前直後、および巻き取りロ
ールの直前で接する各ガイドロールの周側面との距離が
離れすぎていたり、これらのガイドロールに接する基板
の接触角が変化したりすると、基板が振動したり、適度
な張力で基板が走行されなくなるためしわの発生が顕著
になる。このため各ロール間の機械的精度を向上させた
り、又は基板及びガイドロールの表面粗度を適度にし、
さらには基板の裏面に潤滑剤を塗布するなどして、基板
にかかる張力のアンバランスの解消や、基板と各ロール
間の摩擦力およびこれによって発生する帯電などを低減
し、しわの発生を抑制することが試みられているが、未
だ充分にしわの発生を抑制することができず、特にこれ
らの方法では、原反ロール、円筒状キャンおよび巻き取
りロール等の各周側面と、これらの間を移動する基板が
これら原反ロールの直後、円筒状キャンの直前直後、お
よび巻き取りロールの直前で接する各ガイドロールの周
側面との距離の離れすぎや、これらのガイドロールに接
する基板の接触角の変化によって生じるしわを効果的に
抑制することができない。
この発明はかかる欠点を改善するため、原反ロール、円
筒状キャンおよび巻き取りロールと、これらの間に基板
を走行案内するガイドロールとの関係について種々検討
を行った結果、しわの発生は、原反ロール、円筒状キャ
ンおよび巻き取りロールとこれらの間を移動する基板が
これら原反ロールの直後、円筒状キャンの直前直後、お
よび巻き取りロールの直前で接する各ガイドロールとの
距離、およびこれらのガイドロールに接する基板の接触
角に大きく影響され、これらのガイドロールの周側面と
原反ロール、円筒状キャンおよび巻き取りロールの周側
面との距離を３０mm以内にするとともに、これらのガイ
ドロールに接する基板の接触角を３０度〜２４０度の範
囲内にして走行させるようにすると、基板が振動したり
することもなく適度な張力で円滑に走行されて、しわの
発生が効果的に抑制され、巻き取りロールに取り込まれ
るしわを完全に防止することができることを見いだした
結果なされたもので、真空槽内で、基板を原反ロールか
らガイドロールを介して円筒状キャンの周側面に沿って
移動させ、さらにガイドロールを介して巻き取りロール
に巻き取る間に、強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流
を差し向けて強磁性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体
の製造方法において、原反ロール、円筒状キャンおよび
巻き取りロールの各周側面と、これらの間を移動する基
板がこれら原反ロールの直後、円筒状キャンの直前直
後、および巻き取りロールの直前で接する各ガイドロー
ルの周側面との距離を３０mm以内にするとともに、これ
らのガイドロールに接する基板の接触角を３０度〜２４
０度の範囲内にして走行させるようにしたことを特徴と
するものである。
筒状キャンおよび巻き取りロールと、これらの間に基板
を走行案内するガイドロールとの関係について種々検討
を行った結果、しわの発生は、原反ロール、円筒状キャ
ンおよび巻き取りロールとこれらの間を移動する基板が
これら原反ロールの直後、円筒状キャンの直前直後、お
よび巻き取りロールの直前で接する各ガイドロールとの
距離、およびこれらのガイドロールに接する基板の接触
角に大きく影響され、これらのガイドロールの周側面と
原反ロール、円筒状キャンおよび巻き取りロールの周側
面との距離を３０mm以内にするとともに、これらのガイ
ドロールに接する基板の接触角を３０度〜２４０度の範
囲内にして走行させるようにすると、基板が振動したり
することもなく適度な張力で円滑に走行されて、しわの
発生が効果的に抑制され、巻き取りロールに取り込まれ
るしわを完全に防止することができることを見いだした
結果なされたもので、真空槽内で、基板を原反ロールか
らガイドロールを介して円筒状キャンの周側面に沿って
移動させ、さらにガイドロールを介して巻き取りロール
に巻き取る間に、強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流
を差し向けて強磁性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体
の製造方法において、原反ロール、円筒状キャンおよび
巻き取りロールの各周側面と、これらの間を移動する基
板がこれら原反ロールの直後、円筒状キャンの直前直
後、および巻き取りロールの直前で接する各ガイドロー
ルの周側面との距離を３０mm以内にするとともに、これ
らのガイドロールに接する基板の接触角を３０度〜２４
０度の範囲内にして走行させるようにしたことを特徴と
するものである。
以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。
第１図は真空蒸着装置の断面図を示したものであり、１
は真空槽でこの真空槽１の内部は排気系２によって真空
に保持される。３は真空槽１の中央部に配設された円筒
状キャンであり、ポリエステルフイルム等の基板４は原
反ロール５より、ガイドロール６、テンションロール７
およびガイドロール８を介してこの円筒状キャン３の周
側面に沿って移動し、ガイドロール９、テンションロー
ル１０およびガイドロール１１を介して巻き取りロール
１２に巻き取られる。この間円筒状キャン３の周側面に
沿って移動する基板４に対向して真空槽１の下部に配設
された強磁性材蒸発源１３で強磁性材１４が加熱蒸発さ
れ、この蒸気流が基板４に差し向けられて蒸着が行われ
る。
は真空槽でこの真空槽１の内部は排気系２によって真空
に保持される。３は真空槽１の中央部に配設された円筒
状キャンであり、ポリエステルフイルム等の基板４は原
反ロール５より、ガイドロール６、テンションロール７
およびガイドロール８を介してこの円筒状キャン３の周
側面に沿って移動し、ガイドロール９、テンションロー
ル１０およびガイドロール１１を介して巻き取りロール
１２に巻き取られる。この間円筒状キャン３の周側面に
沿って移動する基板４に対向して真空槽１の下部に配設
された強磁性材蒸発源１３で強磁性材１４が加熱蒸発さ
れ、この蒸気流が基板４に差し向けられて蒸着が行われ
る。
ここで、原反ロール５の周側面とこの原反ロールから基
板４が巻き出されて直後に接するガイドロール６の周側
面との距離、円筒状キャン３の周側面とこの円筒状キャ
ン３の周側面に沿って移動する基板４がその直前および
直後に接するガイドロール８および９の周側面との距
離、および巻き取りロール１２の周側面とこの巻き取り
ロール１２に巻き取られる基板４がその直前で接するガ
イドロール１１の周側面との距離は３０mm以下の範囲内
に近接され、また各ガイドロール６、８、９、１１が基
板４と接する接触角θ１、θ２、θ３、θ４はいずれも
３０度〜２４０度の範囲内となるように配設されてい
る。
板４が巻き出されて直後に接するガイドロール６の周側
面との距離、円筒状キャン３の周側面とこの円筒状キャ
ン３の周側面に沿って移動する基板４がその直前および
直後に接するガイドロール８および９の周側面との距
離、および巻き取りロール１２の周側面とこの巻き取り
ロール１２に巻き取られる基板４がその直前で接するガ
イドロール１１の周側面との距離は３０mm以下の範囲内
に近接され、また各ガイドロール６、８、９、１１が基
板４と接する接触角θ１、θ２、θ３、θ４はいずれも
３０度〜２４０度の範囲内となるように配設されてい
る。
従って、原反ロール５とガイドロール６、円筒状キャン
３とガイドロール８および９、および巻き取りロール１
２とガイドロール１１等の距離が離れすぎて、この間で
基板４が振動したりすることもなく、また基板４の各ガ
イドロール６、８、９、１１に接する接触角も大きすぎ
たり、小さすぎたりして基板４にかかる張力が強すぎた
り、弱すぎたりせず、適度な張力で円滑に走行されるた
め、基板４のしわの発生が効果的に抑制され、巻き取り
ロール１２に取り込まれるしわを完全に防止することが
できる。このように、原反ロール５の周側面とガイドロ
ール６の周側面間の距離、円筒状キャン３の周側面とガ
イドロール８および９の周側面間の距離、および巻き取
りロール１２の周側面とガイドロール１１の周側面間の
距離は、３０mm以下であることが好ましく、これより離
れすぎるとこれら原反ロール５とガイドロール６間、円
筒状キャン３とガイドロール８および９間、および巻き
取りロール１２とガイドロール１１間で基板４が振動
し、しわが発生するおそれがある。またガイドロール６
と８の周側面間の距離およびガイドロール９と１１の周
側面間の距離は、この間での基板４が振動したりしない
ように３０cm以下にするのが好ましい。さらに基板４の
各ガイドロール６、８、９、１１に接する接触角は、３
０度より小さくなると基板にかかる張力が弱くなりすぎ
てしわが発生するおそれがあり、２４０度より大きくな
ると基板４にかかる張力が強くなりすぎて基板４上に形
成された強磁性金属薄膜層に亀裂がはいるおそれがある
ため、３０度〜２４０度の範囲内にするのが好ましく、
９０度〜１８０度の範囲内にするのがより好ましい。
３とガイドロール８および９、および巻き取りロール１
２とガイドロール１１等の距離が離れすぎて、この間で
基板４が振動したりすることもなく、また基板４の各ガ
イドロール６、８、９、１１に接する接触角も大きすぎ
たり、小さすぎたりして基板４にかかる張力が強すぎた
り、弱すぎたりせず、適度な張力で円滑に走行されるた
め、基板４のしわの発生が効果的に抑制され、巻き取り
ロール１２に取り込まれるしわを完全に防止することが
できる。このように、原反ロール５の周側面とガイドロ
ール６の周側面間の距離、円筒状キャン３の周側面とガ
イドロール８および９の周側面間の距離、および巻き取
りロール１２の周側面とガイドロール１１の周側面間の
距離は、３０mm以下であることが好ましく、これより離
れすぎるとこれら原反ロール５とガイドロール６間、円
筒状キャン３とガイドロール８および９間、および巻き
取りロール１２とガイドロール１１間で基板４が振動
し、しわが発生するおそれがある。またガイドロール６
と８の周側面間の距離およびガイドロール９と１１の周
側面間の距離は、この間での基板４が振動したりしない
ように３０cm以下にするのが好ましい。さらに基板４の
各ガイドロール６、８、９、１１に接する接触角は、３
０度より小さくなると基板にかかる張力が弱くなりすぎ
てしわが発生するおそれがあり、２４０度より大きくな
ると基板４にかかる張力が強くなりすぎて基板４上に形
成された強磁性金属薄膜層に亀裂がはいるおそれがある
ため、３０度〜２４０度の範囲内にするのが好ましく、
９０度〜１８０度の範囲内にするのがより好ましい。
強磁性金属薄膜層を形成する基板としては、ポリエステ
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフイルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用され、強磁性金属薄膜層の形成
は、コバルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これ
らの合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｐなど一般に使用される強磁性材を真空蒸着すること
によって形成される。
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフイルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用され、強磁性金属薄膜層の形成
は、コバルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これ
らの合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｐなど一般に使用される強磁性材を真空蒸着すること
によって形成される。
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例１ 第１図に示す真空蒸着装置を使用し、厚さが１０μのポ
リエステルフイルム４（表面粗度 0.002ｓ、ヤング率５
００kg／mm２）を原反ロール５よりガイドロール６、テ
ンションロール７、ガイドロール８を介して円筒状キャ
ン３の周側面に沿って移動させ、ガイドロール９、テン
ションロール１０、ガイドロール１１を介して巻き取り
ロール１２に巻き取るようにセットするとともに強磁性
材蒸発源１３にコバルト１４をセットした。次いで、排
気系２で真空槽１内を５×１０-5トールにまで真空排気
し、原反ロール５、巻き取りロール１２、ガイドロール
８および９を左右上下に平行移動して、各ガイドロール
６、８、９、１１に接するポリエステルフイルム４の接
触角を３０度〜２４０度の範囲内に保持しながら、原反
ロール５の周側面とガイドロール６の周側面との間の距
離、および巻き取りロール１２の周側面とガイドロール
１１の周側面との間の距離を下記第１表に示すように種
々に変え、同時に円筒状キャン３の周側面とガイドロー
ル８および９の周側面との間の距離を下記第１表に示す
ように種々に変えて、ポリエステルフイルム４の走行速
度５ｍ／分で、コバルト１４を加熱蒸発させ、ポリエス
テルフイルム４上に厚さが１０００Åのコバルトからな
る強磁性金属薄膜層を形成した。しかる後、これを所定
の巾に裁断して磁気テープをつくった。
リエステルフイルム４（表面粗度 0.002ｓ、ヤング率５
００kg／mm２）を原反ロール５よりガイドロール６、テ
ンションロール７、ガイドロール８を介して円筒状キャ
ン３の周側面に沿って移動させ、ガイドロール９、テン
ションロール１０、ガイドロール１１を介して巻き取り
ロール１２に巻き取るようにセットするとともに強磁性
材蒸発源１３にコバルト１４をセットした。次いで、排
気系２で真空槽１内を５×１０-5トールにまで真空排気
し、原反ロール５、巻き取りロール１２、ガイドロール
８および９を左右上下に平行移動して、各ガイドロール
６、８、９、１１に接するポリエステルフイルム４の接
触角を３０度〜２４０度の範囲内に保持しながら、原反
ロール５の周側面とガイドロール６の周側面との間の距
離、および巻き取りロール１２の周側面とガイドロール
１１の周側面との間の距離を下記第１表に示すように種
々に変え、同時に円筒状キャン３の周側面とガイドロー
ル８および９の周側面との間の距離を下記第１表に示す
ように種々に変えて、ポリエステルフイルム４の走行速
度５ｍ／分で、コバルト１４を加熱蒸発させ、ポリエス
テルフイルム４上に厚さが１０００Åのコバルトからな
る強磁性金属薄膜層を形成した。しかる後、これを所定
の巾に裁断して磁気テープをつくった。
実施例２ 実施例１において、原反ロール５の周側面とガイドロー
ル６の周側面との間の距離、円筒状キャン３の周側面と
ガイドロール８および９の周側面との間の距離、および
巻き取りロール１２の周側面とガイドロール１１の周側
面との間の距離を３０mm以内に保持しながら、原反ロー
ル５、巻き取りロール１２、ガイドロール８および９を
左右上下に平行移動して、下記第２表に示すようにガイ
ドロール６および１１の接触角を種々に変え、同時にガ
イドロール８および９の接触角を下記第２表に示すよう
に種々に変えた以外は実施例１と同様にして磁気テープ
をつくった。
ル６の周側面との間の距離、円筒状キャン３の周側面と
ガイドロール８および９の周側面との間の距離、および
巻き取りロール１２の周側面とガイドロール１１の周側
面との間の距離を３０mm以内に保持しながら、原反ロー
ル５、巻き取りロール１２、ガイドロール８および９を
左右上下に平行移動して、下記第２表に示すようにガイ
ドロール６および１１の接触角を種々に変え、同時にガ
イドロール８および９の接触角を下記第２表に示すよう
に種々に変えた以外は実施例１と同様にして磁気テープ
をつくった。
〔発明の効果〕 上記第１表および第２表から明らかなように、原反ロー
ル５の周側面とガイドロール６の周側面との間の距離、
円筒状キャン３の周側面とガイドロール８および９の周
側面との間の距離、および巻き取りロール１２の周側面
とガイドロール１１の周側面との間の距離を３０mm以内
とし、かつ各ガイドロール６、８、９、１１に接するポ
リエステルフイルム４の接触角を３０度〜２４０度の範
囲内にした場合はしわの発生が認められず、このことか
らこの発明の製造方法によれば、しわの発生が効果的に
抑制され、しわのない磁気記録媒体が得られるのがわか
る。
ル５の周側面とガイドロール６の周側面との間の距離、
円筒状キャン３の周側面とガイドロール８および９の周
側面との間の距離、および巻き取りロール１２の周側面
とガイドロール１１の周側面との間の距離を３０mm以内
とし、かつ各ガイドロール６、８、９、１１に接するポ
リエステルフイルム４の接触角を３０度〜２４０度の範
囲内にした場合はしわの発生が認められず、このことか
らこの発明の製造方法によれば、しわの発生が効果的に
抑制され、しわのない磁気記録媒体が得られるのがわか
る。
第１図は、この発明の製造方法を実施するために使用す
る真空蒸着装置の１例を示す概略断面図である。 １……真空槽、３……円筒状キャン、４……基板、５…
…原反ロール、６、８、９、１１……ガイドロール、１
２……巻き取りロール、１３……強磁性材蒸発源、１４
……強磁性材、θ１，θ２，θ３，θ４……接触角
る真空蒸着装置の１例を示す概略断面図である。 １……真空槽、３……円筒状キャン、４……基板、５…
…原反ロール、６、８、９、１１……ガイドロール、１
２……巻き取りロール、１３……強磁性材蒸発源、１４
……強磁性材、θ１，θ２，θ３，θ４……接触角
Claims (1)
- 【請求項１】真空槽内で、基板を原反ロールからガイド
ロールを介して円筒状キャンの周側面に沿って移動さ
せ、さらにガイドロールを介して巻き取りロールに巻き
取る間に、強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し
向けて強磁性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体の製造
方法において、原反ロール、円筒状キャンおよび巻き取
りロールの各周側面と、これらの間を移動する基板がこ
れら原反ロールの直後、円筒状キャンの直前直後、およ
び巻き取りロールの直前で接する各ガイドロールの周側
面との距離を３０mm以内にするとともに、これらのガイ
ドロールに接する基板の接触角を３０度〜２４０度の範
囲内にして走行させるようにしたことを特徴とする磁気
記録媒体の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5536285A JPH0626018B2 (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5536285A JPH0626018B2 (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61214134A JPS61214134A (ja) | 1986-09-24 |
| JPH0626018B2 true JPH0626018B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=12996375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5536285A Expired - Lifetime JPH0626018B2 (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626018B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03292629A (ja) * | 1990-04-11 | 1991-12-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造装置 |
| JPH03292628A (ja) * | 1990-04-11 | 1991-12-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造装置 |
| JPH05109066A (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造装置 |
| JP4068727B2 (ja) * | 1998-08-05 | 2008-03-26 | Ｔｄｋ株式会社 | 塗布装置および塗布方法 |
| JP6172063B2 (ja) * | 2014-06-16 | 2017-08-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 長尺樹脂フィルムの表面処理装置 |
-
1985
- 1985-03-19 JP JP5536285A patent/JPH0626018B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61214134A (ja) | 1986-09-24 |
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