JPH03178034A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、いわゆる蒸着テープの如き金属薄膜型の磁気
記録媒体の製造方法に関するものである。

〔発明の概要］ 本発明は、金Ｂ薄膜型の磁気記録媒体に対し、熱ロール
を接触させて平坦化した後、金属磁性薄膜表面のラッピ
ング処理を行うことで、ドロップアウトの解消を図り、
さらにこのラッピング処理の後に表面処理剤を塗布する
ようにすることで、当該表面処理剤１例えば潤滑剤の潤
滑効果を確保しようとするものである。

〔従来の技術〕

蒸着テープの製造工程は、その大部分がいわゆるクリー
ンルーム内で行われているが、雰囲気中に全く粉塵が含
まれていないわけではなく、したがって製造工程中に空
気中の浮遊粉塵や蒸着機内の粉塵等が非磁性支持体や磁
性面（金属磁性薄膜表面）に付着することがある。そし
て、これら付着物はテープ化したときにドロップアウト
の原因となることが知られており、特に高密度磁気記録
媒体ではその膨響が顕著に現れることから、その除去が
重要視されてきている。

そこで従来、例えばＣｏＮｉ合金等の磁性を有する粉塵
の除去を目的として、蒸着テープに近接した位置にマグ
ネット等を配設することが行われている。

しかしながら、かかる方法では除去される粉塵は磁性を
有するものに限られ、十分な効果が期待できない。

あるいは、特定の粗さをもったラッピングテープを全１
！４磁性薄膜表面に当てて付着物や突起等を除去する方
法も知られでいるが、通常蒸着テープは幅方向に湾曲変
形（いわゆるカッピング）しており、前記ラッピングテ
ープを金属磁性薄膜表面に均一に接触させることができ
ず、やはり十分な効果が得られていないのが実情である
。また、特に厚さの薄い蒸着テープでは、巻回した特に
裏面等からの形状転写を受は易く、単にラッピングテー
プによる処理を施しても結局表面が荒れてしまい、この
点からも効果が不足している。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上のように、蒸着テープの如き金属ｆ３１Ｑ型の磁気
記録媒体においては、金属磁性薄膜表面の付着物、突起
の除去が大きな課題となっており、これら付着物や突起
を確実に除去しドロップアウトを解消し得る技術の出現
が待たれている。

本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案されたもので
あって、金属磁性薄膜表面の付着物や突起等を確実に除
去することができ、ドロップアウトの大幅な減少を実現
することが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供するこ
とを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上述の目的を達成するために、本発明は、非磁性支持体
上に金属磁性薄膜を真空蒸着法により成膜した後、熱ロ
ールと接触走行させて平坦化し、次いで前記金属磁性薄
膜表面をラッピング処理し、しかる後に該金属磁性薄膜
上に表面処理剤を塗布することを特徴とするものである
。

本発明においては、各工程の順序が重要で、蒸着工程→
熱ロール工程→ラッピング工程→表面処理剤塗布工程の
順とすることが必要である。

例えば、ラッピング工程が熱ロール工程よりも先に１テ
われると、蒸着テープ原反のカッピングにより、金属磁
性薄膜表面の付着物や突起を十分に除去することができ
ない、また、ラッピング工程が表面処理剤塗布工程より
も後に行われると、このラッピング工程によって表面処
理剤が剥がれてしまい、潤滑効果が不足したり、鯖の問
題が発生する等の不都合が生ずる。

なお、蒸着テープの前記金属磁性薄膜とは反対側の面に
バックコート層を設ける場合には、バックコート層形成
工程は金属磁性薄膜の藩着工程後。

または熱ロール工程後に行うことが望ましいが、これに
限られるものではなく、表面処理剤塗布工程の前であれ
ばどの段階で行っても良い。

上記熱ロール工程は、カッピングの矯正を行い特に幅方
向の形状を平坦なものとすると同時に、いわゆるアイロ
ン効果によって表面の突起や転写を補正するものである
。ここで、熱ロールは、金属磁性薄膜側（表面）、バッ
ク側（裏面）のいずれに接触させても良く、その効果は
熱ロール表面温度や磁気記録媒体の巻き付は角等によっ
て調整することが可能である。熱ロールの表面温度は、
使用する非磁性支持体の材質等に応じて適宜設定すれば
良いが、通常は１００〜２５０℃の範囲とされる。

一方、ラッピング工程は、前記金属磁性Ｗｌ膜の表面に
ラフピングテープを接触走行させることにより行われる
。ここで、ラフピングテープとしては、通常＃　２００
０以上のものが使用される。ただし、全厚７μｍ以下の
蒸着テープでは、非磁性支持体の強度不足するためラッ
ピング工程においてあまり張力を大きくすると金属磁性
薄膜にクラック等が発生するため、張力を１．４　ｋｇ
／１０ｃｍ以下程度とする必要があり、安定した研磨効
果を得るためにはこれに応じてラフピングテープの表面
粗さも最適範囲に設定する必要がある０本発明者等の実
験によれば、ラッピングの際の張力を１．４　ｋｇ／　
１０ｃｍ以下とした場合には、ラフピングテープの表面
粗さは中心線平均粗さＲａで０．５〜１．１μｍとする
ことで、所定の研磨効果を得ることができることがわか
った。

〔作用〕

熱ロール工程の後に金属磁性薄膜のラッピング工程を行
うことで、ラッピングチーブの金属磁性ｉ３１　ｎＱに
対する当たりが均一なものとなり、付着物や突起が確実
に除去される。

また、前記熱ロール工程を設けることで、いわゆるアイ
ロン効果によって裏面からの形状転写等が補正されて平
滑化が達成され、この点からもドロップアウトが解消さ
れる。

一方、表面処理剤塗布工程は前記ラッピング工程の後に
配されているので、塗布された表面処理剤が不用意に剥
離されることがない。

〔実施例〕

以下、本発明を通用した具体的な実施例について説明す
る。

第１図は、熱ロール工程及びラッピング工程を行うため
の装置を模式的↓こ示す図面であり、蒸着テープ原反に
対して熱ロール工程、ラッピング工程がこの順に施され
るように、蒸着テープ原反（１）の供給側に近い位置に
熱ロール（２）が、次いでラッピングテープ（３）が周
面に沿って走行されるラッピングロール（４）が配置さ
れている。

熱ロール（２）の近傍には、蒸着テープ原反（１）を所
定の巻き付は角度で抱き込むように、ニップロール（５
）　、　（６）が設けられており、蒸着テープ原反（１
）の巻き付は開始位置及び巻き終わり位置で蒸着テープ
原反（１）を熱ロール（２）に対して押さえ付けるよう
になっている。

また、熱ロール（２）とラフピングロール（４）の間並
びにラフピングロール（４）の下流側〔蒸着テープ原反
（１）の供給側とは反対側〕には、ガイドロール（７）
　、　（８）が配され、前記ラッピングロール（４）に
巻回されるラフピングテープ（３〉　と蒸着テープ原反
（１）とが所定のテンシランをもって接触するようにさ
れている。

本例では、非磁性支持体上に金属磁性ＩＩ　Ｉｌｌを真
空蒸着法により成膜した蒸着テープ原反（１）は、先ず
熱ロール（２）と接触走行され、カッピングの矯正や平
滑化が行われる。なお、ここでは熱ロール（２）は蒸着
テープ原反（１）の裏面側に接触させている。また、熱
ロール（２）の表面塩度は１５０°Ｃ２巻き付は角は１
２０′である。

次いで、の着テープ原反（１）はラフピングロール（４
）に巻回走行されるラフピングテープ（３）によってラ
ッピング処理され、金属磁性薄膜表面の付着物や突起が
除去される０本例では、蒸着テープ原反（１）の走行方
向とラフピングテープ（３）の走行方向が互いに逆方向
となるように設定されている。使用したラッピングテー
プ（３〉　の表面粗さは、＃　３０００〜＃　４０００
である。

以上に準じた装置構成により、例えば熱ロール（２）と
ラッピングロール（４〉の配置を入れ換えたりすること
で、蒸着テープ原反（１）に対して種々の工程順序で表
面処理を行い、このときのドロップアウトの発生状況を
評価した。各実施例、比較例では、金属磁性′ｙ４膜は
Ｃ０５ｏＮｉっ。（数値は＆Ｉｌ戒を原子％で表す、）
合金を酸素中蒸着することで成膜した。また、各実施例
、比較例における工程順序は下記の通りである。

ス１ 蒸着工程→熱ロール工程→ラッピング工程→潤滑剤塗布
工程→裁断工程 実施嵐童 蒸着工程→熱ロール工程→ラッピング工程→潤滑剤塗布
工程→裁断工程→ラッピング工程止較班土 蒸着工程→潤滑剤塗布工程→裁断工程 止較班１ 蒸着工程→潤滑剤塗布工程→裁断工程→ラッピング工程 止較班工 蒸着工程→ラッピング工程→熱ロール工程→潤滑剤塗布
工程→裁断工程 得られたサンプルテープにおけるドロップアウトの発生
状況を第１表に示す。

（以下余白） 第１表 この表からも、熱ロール工程の後にランピング工程を行
うことでドロップアウトを大幅に減少し得ることがわか
る。なお、熱ロール工程を行うことで再生率の改善も見
られ、当該熱ロール工程による平滑化がこの点でも有効
であることが併セて確認された。

次に、蒸着テープの全Ｐｉを７μｍ以下とし、う・ンビ
ング工程の際のテンションを１．４　ｋｇ／１０ｃｍと
して、用いるラッピングテープの表面粗さの最適範囲に
ついて検討した。使用した蒸着テープの非磁性支持体の
厚さは５μｍ、バックコート層の厚さは０．８μｍ、金
属磁性薄膜の厚さは０．１７μｍである。

使用したラッピングテープの表面粗さ（中心線平均粗さ
Ｒａ：単位μｍ）と得られた蒸着テープにおけるドロッ
プアウトの発生状況を第２表に示す、なお、この第２表
中、Ｏ印はドロップアウトが少なかったものを、Δ印は
ドロップアウトがやや多かったものを、×印はドロップ
アウトが多かったものをそれぞれ示す。

（以下余白） 第２表 この第２表より、厚さの薄い蒸着テープに対し”４ｋｇ
／１０ｃｍ程度のテンションを印加してラッピング工程
を行う場合には、使用するラッピングテープの表面粗さ
に最適範囲があり、ラッピングテープの表面粗さＲａを
０．５〜１．ｌｌ１ｍとすることでドロップアウトの少
ない蒸着テープを作成できることがわかった。

〔発明の効果〕 以上の説明からも明らかなように、本発明においては、
金属磁性薄膜が蒸着形成された蒸着テープ原反に対する
表面処理を熱ロール工程、ラッピング工程２表面処理剤
塗布工程の順で行っているので、安定した研磨効果を得
ることができ、ドロップアウトを大幅に減少することが
可能である。

また、本発明によれば、表面処理剤の効果も十分確保す
ることができ、この点でも非常に有利である。

【図面の簡単な説明】

第１図は熱ロール工程及びう うための装置の模式図である。 ｌ・・・蒸着テープ原反 ２・・・熱ロール ３・・・ラッピングテープ ４・・・ラフピングロール

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 非磁性支持体上に金属磁性薄膜を真空蒸着法により成膜
   した後、熱ロールと接触走行させて平坦化し、 次いで前記金属磁性薄膜表面をラッピング処理し、しか
   る後に該金属磁性薄膜上に表面処理剤を塗布することを
   特徴とする磁気記録媒体の製造方法。