JPS6113554Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は長尺のプラスチツクフイルム上に金属
蒸着膜を形成させる連続真空蒸着装置に関する。

真空槽内で長尺のプラスチツクフイルム（以
下、単にフイルムとも称す。）を連続的に送り、
槽内の一部、例えばフイルムの下方又は側面に位
置する部分に設けられた蒸発源で蒸発物である金
属を蒸発させ、それをフイルム面上に付着させる
いわゆる連続真空蒸着法（巻取り式連続真空蒸着
法）はよく知られており、このような蒸着フイル
ムは電子部品や包材、装飾、それに織物などに広
く利用され、用いる基材フイルム（被蒸着物）あ
るいは蒸着金属も非常に多くの種類に及んでい
る。特に最近では、Fe，Co，Niあるいはこれら
の合金を主成分とする強磁性金属膜をプラスチツ
クフイルム上に形成した磁気記録媒体の製造に
も、この連続真空蒸着法が利用されており、磁気
記録における高密度記録への要求の高まりととも
に注目を浴びている。

第１図はこの種の金属薄膜磁気記録媒体を斜め
蒸着により形成させる従来の代表的な連続真空蒸
着装置を示す概略図である。この装置は真空槽１
の中において、送出部２に巻回された長尺フイル
ム３を順次解き出して、金属蒸着部４の真上に配
設される冷却ロール５を通過する時に、遮蔽板６
の開動動状態下で強磁性金属膜を斜め蒸着によつ
てフイルム３に蒸着させた後、巻取部７で巻き取
る構造となつている。なお、送出部２および巻取
部７と冷却ロール５間ではフイルム３は中間ロー
ラ８，９によつて案内されている。

しかし、このような装置で製造する磁気記録媒
体では特にポリエステルその他の基材となる長尺
フイルムの厚みが薄い場合（特に10μｍ以下）に
は、形成する磁性層が比較的薄い場合（0.1μｍ
以下）でもカーリングが生じ、このため、その使
用に際して再生ヘツドとの間に良好な接触が得ら
れず、再生出力の低下、SN比の低下、走行の不
安定等の欠点が問題となつている。このカーリン
グ現象は、上記のFe，Co，Niあるいはこれらの
合金を主成分とする強磁性金属膜自体のヤング率
が、基材となる長尺フイルムのヤング率より１〜
２桁以上大きいために生ずるもので、通常強磁性
金属膜側に凹むように湾曲する。

したがつて、従来このカーリングを除去する代
表的な手段としては、熱処理による基材フイルム
の収縮を利用する方法があり、真空槽の中に長尺
フイルムを熱処理するためのヒーターを配置した
装置等を提案されている。しかしながら、このよ
うな装置で強磁性金属膜を長尺フイルムに形成さ
せる場合、Fe，Co，Niあるいはこれらの合金を
主成分とする高融点金属を高いレートで形成させ
るので、基材フイルムには耐熱性が要求されてき
ており、耐熱性が向上するほど熱収縮の割合が小
さくなりカーリング除去が困難になつてくる欠点
がある。また、この点を考慮すると、基材フイル
ムに要求される機械的、熱的特性が非常に制限さ
れかつ特殊な基材フイルムを使用しなければなら
ないのが現状である。

本考案はかかる点に鑑み強磁性金属のような比
較的ヤング率の高い金属を、長尺のプラスチツク
フイルム上に形成する場合に生ずるカーリングを
容易に除く手段を設けた連続真空蒸着装置を提供
するものである。

このような目的を達成するために本考案は、真
空槽内に長尺のプラスチツクフイルムの送出部と
巻取部とを設けるとともに、この送出部と巻取部
との間には蒸着すべき金属を収容する放射蒸発源
を設け、かつ前記放射蒸発源の上方に上記プラス
チツクフイルムの送行と同期して案内回転する冷
却ロールを設け、さらに上記巻取部と金属膜形成
部の間において前記長尺フイルムを幅方向に延伸
する延伸処理機構を設けてなるプラスチツクフイ
ルムの連続真空蒸着装置である。

以下、本考案装置について、強磁性金属膜を斜
め蒸着により形成させる場合を例にとり説明す
る。

第２図は本考案装置の概略図である。真空槽１
の中に送出部２に巻回されたポリエステルフイル
ム（厚み６μｍ）３を中間ローラ８によつて案内
して冷却ロール５を介して金属蒸着部（Co−Ni
合金；比率８：２）４の上部を通し、金属蒸着部
４上の遮蔽板６の開動作状態下でCo−Ni強磁性
金属膜を0.3μｍ厚にフイルム３面に形成する。
さらに、フイルム３は中間ローラ９に案内され
て、この強磁性金属膜が形成されたポリエステル
フイルムを幅方向に延伸処理する延伸処理機構
（テンター）１０を経て中間ローラ１１を介して
最後に巻取部７でフイルム３を巻取る構造となつ
ている。また、真空槽１は冷却ロール５の略中段
を横切る隔離板１２によつて区画され、フイルム
面以外に蒸着が成されないように配慮されてい
る。なお、図中１３は真空系排気口を示す。代表
的な延伸処理機構としては、第３図で示すよう
に、駆動スプロケツト１４によつて回動する１対
の拡開したチエン機構１５の各パンタグラフ１６
に取り付けられたクリツプ１７によつてフイルム
３の側縁を把握し、このクリツプ１７の走行する
ガイドレール１８の相互の開き角に従つてフイル
ム幅方向に順次フイルム３を延伸展開させるもの
で、延伸処理機構の入口のクリツプ間隔ａと延伸
処理機構の出口の開いたあとのクリツプ間隔ｂと
の比を決定すれば、ほぼ所望通りの幅方向の延伸
処理が可能である。本実施例では、延伸処理機構
の出口の延伸完了時のクリツプところでフイルム
にかかる幅方向の荷重が13Kg／cm²となるようにし
た（ただし、延伸される前の強磁性金属が蒸着さ
れたフイルムの幅方向の降伏点荷重は19.5Kg／cm²
であることから、フイルム３の延伸によつて蒸着
膜が損傷することはない。）。このようにして得ら
れた強磁性金属が蒸着されたポリエステルフイル
ムは、カーリングがほとんど無く、平坦でありそ
の使用に際しては再生ヘツドとの間に接触不良が
おこらず、再生出力の低下、SN比の低下、走行
の不安定等が生じなかつた。

このように本装置によれば、従来問題となつて
いたプラスチツクフイルム上に比較的ヤング率の
高い金属を蒸着する場合のカーリング除去が容易
におこなえるものである。

なお、本装置に用いられるフイルム幅方向延伸
処理機構としては、上記機構の他に、第４図およ
び第５図に示すように、フイルム３の蒸着膜を有
さない面にエクスパンダーロール１９を押し当て
る構造が考えられる。このエクスパンダーロール
は中央部が最も太くなる曲率を有し、この曲率は
通常の皺取りに用いるものより曲率半径を大きく
する必要があり、幅方向の荷重コントロールは曲
率半径の大小でおこなえばよい。第５図はエクス
パンダーロール１９のみにつてフイルム３を幅方
向に延伸させる構造であり、第４図はエクスパン
ダーロール１９と、このエクスパンダーロール１
９の外周面に外周面を接触させる形状のニツプロ
ール２０とからなり、両ロール１９，２０間にフ
イルム３を所定圧力で挾んで回転しながらフイル
ム３を幅方向に延伸する構造となつている。

また、第６図では、フイルム３の蒸着膜を有さ
ない面に半円弧断面のガイド２１を押圧させてフ
イルム３を幅方向に延伸させる構造である。ま
た、第６図で示すガイド２１を用いた他の例とし
ては、フイルム３の両側縁をクリツプで掴むとと
もに、このガイド２１を蒸着膜のないフイルム３
面に押し付けて、フイルム３の幅方向の延伸化を
図るようにしてもよい。

さらに、以上のような機械的延伸手段に加え
て、熱ロールの間を通すことによつて、熱収縮に
よる効果を加味すればさらにカールは改善され
る。

以上のように、本考案の連続真空蒸着装置によ
れば、比較的ヤング率の高い金属からなる蒸着膜
をカーリングを生じさせることなく、各種のプラ
スチツクフイルムに蒸着することができるので、
強磁性金属が蒸着されたプラスチツクフイルムは
カーリングがほとんどなく平坦であり、その使用
に際しては再性ヘツドとの間に接触不良がおこら
ず、再性出力の低下、SN比の低下、走行の不安
定等が生じない品質の高い、安定した蒸着フイル
ムを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の巻取り式真空蒸着装置の要部を
示す概略図、第２図は本考案の一実施例による巻
取り式真空蒸着装置の要部を示す概略図、第３図
は同じくフイルム延伸処理機構の平面図、第４図
〜第６図は他のフイルム延伸処理機構の概略斜視
図である。 １……真空槽、２……送出部、３……フイル
ム、４……金属蒸着部、５……冷却ロール、６…
…遮蔽板、７……巻取部、１０……延伸処理機
構、１７……クリツプ、１８……ガイドレール、
１９……エクスパンダーロール、２０……ニツプ
ロール、２１……ガイド。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空槽内に長尺プラスチツクフイルムの送出部
   と巻取部とを設けるとともに、この送出部と巻取
   部との間には蒸着すべき金属の放射蒸発源を設
   け、かつ前記放射蒸発源の上方に上記プラスチツ
   クフイルムを案内して回転する冷却ロールを設け
   てなるプラスチツクフイルムの連続真空蒸着装置
   において、上記冷却ロールと巻取部との間に延伸
   処理機構を設けて、金属蒸着された長尺プラスチ
   ツクフイルムを幅方向に延伸するよう構成したこ
   とを特徴とするプラスチツクフイルムの連続真空
   蒸着装置。