JPS59172161A - 薄膜状磁気記録媒体作製装置 - Google Patents
薄膜状磁気記録媒体作製装置Info
- Publication number
- JPS59172161A JPS59172161A JP4630883A JP4630883A JPS59172161A JP S59172161 A JPS59172161 A JP S59172161A JP 4630883 A JP4630883 A JP 4630883A JP 4630883 A JP4630883 A JP 4630883A JP S59172161 A JPS59172161 A JP S59172161A
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- JP
- Japan
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- roller
- tape
- shaped substrate
- substrate
- recording medium
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は真空蒸着法等のペーパーデポジション法により
薄膜状の磁気記録媒体を作製する薄膜状磁気記録媒体作
製装置に関するものである。
薄膜状の磁気記録媒体を作製する薄膜状磁気記録媒体作
製装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、ＶＴＲ等の磁気記録装置は小型軽量化、高密度記
録化が進みより高密度記録をめざした垂直磁気記録法等
の新しい記録方式も検討されている。これに対応して磁
気記録媒体は、薄膜状磁気記録媒体作製装置を用いたペ
ーパーデポジション法（真空蒸着法、スパッタリング法
、イオンブレーティング法等）による薄膜状金属磁性層
を有するものが検討されている。
録化が進みより高密度記録をめざした垂直磁気記録法等
の新しい記録方式も検討されている。これに対応して磁
気記録媒体は、薄膜状磁気記録媒体作製装置を用いたペ
ーパーデポジション法（真空蒸着法、スパッタリング法
、イオンブレーティング法等）による薄膜状金属磁性層
を有するものが検討されている。
以下に従来の薄膜状磁気記録媒体作製装置について説明
する。
する。
第１図は従来の薄膜状磁気記録媒体作製装置の一例を示
す正面図であり、１はテープ状基板案内ドラム（以下キ
ャンローラーと称す）である。２３ べ−２゛ はテープ状基板入側ローラー（以下入側ローラーと称す
）、３はテープ状基板出側ローラー（以下出側ローラー
と称す。）であり、テープ状基板を案内走行させるもの
である。４は蒸発源であり薄膜状金属層の源である。６
はテープ状基板であり、７は遮へい板である。
す正面図であり、１はテープ状基板案内ドラム（以下キ
ャンローラーと称す）である。２３ べ−２゛ はテープ状基板入側ローラー（以下入側ローラーと称す
）、３はテープ状基板出側ローラー（以下出側ローラー
と称す。）であり、テープ状基板を案内走行させるもの
である。４は蒸発源であり薄膜状金属層の源である。６
はテープ状基板であり、７は遮へい板である。
以上の様に構成された従来の薄膜状磁気記録媒体作製装
置について、以下その動作について説明する。入側ロー
ラー２により案内されたテープ状基板６は、キャンロー
ラー１の回転に従いキャンローラー１の円周面に沿って
走行し、出側ローラー３により巻取り側へ案内される。
置について、以下その動作について説明する。入側ロー
ラー２により案内されたテープ状基板６は、キャンロー
ラー１の回転に従いキャンローラー１の円周面に沿って
走行し、出側ローラー３により巻取り側へ案内される。
この時キャンローラーは３５０’（ｊ付近まで任意に温
度設定ができるものである。蒸発源４は電子ビーム蒸発
源で、金属磁性材料インゴットを加熱蒸発させ、遮へい
板７により特定の入射成分のみがテープ状基板６に付着
して薄膜状金属磁性膜を形成する。
度設定ができるものである。蒸発源４は電子ビーム蒸発
源で、金属磁性材料インゴットを加熱蒸発させ、遮へい
板７により特定の入射成分のみがテープ状基板６に付着
して薄膜状金属磁性膜を形成する。
しかしながら上記の様な構成では、ペーパーデポジショ
ン法により薄膜状垂直磁気記録媒体を作製する時、下記
の様な問題点が発生する。高性能な薄膜状垂直磁気記録
媒体を作成する時、垂直方向の保磁力向上のためにテー
プ状基板６の温度を高め（約２００’Ｃ以上）、録再特
性・配向性向上のためにパーマロイＰａ、チタンＴｉ等
の薄膜層を垂直磁化層の下に設ける２層構造が必要とな
る。
ン法により薄膜状垂直磁気記録媒体を作製する時、下記
の様な問題点が発生する。高性能な薄膜状垂直磁気記録
媒体を作成する時、垂直方向の保磁力向上のためにテー
プ状基板６の温度を高め（約２００’Ｃ以上）、録再特
性・配向性向上のためにパーマロイＰａ、チタンＴｉ等
の薄膜層を垂直磁化層の下に設ける２層構造が必要とな
る。
また、薄膜作成時にテープ状基板表面は非常に高温とな
るため、キャンローラー１とテープ状基板６が完全に接
触していないと蒸着部で波状シワ８が発生する（第２図
参照）ばかりか、熱集中が発生してテープ状基板６に穴
があく。そこでテープ状基板６にバイアスをかけ、キヤ
カーラー１と密着させる必要がある。第２図は波状シワ
８の発生を示した立体図である。電子ビーム蒸発源４で
加熱蒸発した金属磁性材料は、遮へい板７にて特定な入
射成分を除いて遮へいされ、特定な入射成分のみがキャ
ンローラー１の円周面にめ−で走行するテープ状基板６
に付着する。この時、付着温度が高いためにテープ状基
板６は急激に加熱され波状シワ８が発生する。第３図は
テープ状基板６にバイアスをかけ、キャンローラー１と
テープ状基板６ べ−２゛ ６とを密着させた時の状態を示す立体図である。
るため、キャンローラー１とテープ状基板６が完全に接
触していないと蒸着部で波状シワ８が発生する（第２図
参照）ばかりか、熱集中が発生してテープ状基板６に穴
があく。そこでテープ状基板６にバイアスをかけ、キヤ
カーラー１と密着させる必要がある。第２図は波状シワ
８の発生を示した立体図である。電子ビーム蒸発源４で
加熱蒸発した金属磁性材料は、遮へい板７にて特定な入
射成分を除いて遮へいされ、特定な入射成分のみがキャ
ンローラー１の円周面にめ−で走行するテープ状基板６
に付着する。この時、付着温度が高いためにテープ状基
板６は急激に加熱され波状シワ８が発生する。第３図は
テープ状基板６にバイアスをかけ、キャンローラー１と
テープ状基板６ べ−２゛ ６とを密着させた時の状態を示す立体図である。
図中番号１〜７は第１図の番号と同じであり、９は不均
一に発生するシワ（以上カメノコ状シワと称す）である
。前述の様に金属磁性層とテープ状基板６との間にパー
マロイＰａ、チタンＴｉ等の薄膜層を設ける２層構造の
薄膜状垂直磁気記録媒体を作成する時、特にパーマロイ
ＰＩＬ、チタンＴｉ等の薄膜上に金属磁性層を作成する
時、キャンローラー１とテープ状基板６を密着させるた
めにテープ状基板６にバイアスをかける。この場合、バ
イアスによる密着力により前述の波シワは発生しなか、
テープ状基板６がキャンローラー１と接触する時に、キ
ャンローラー１が高温のため（前述の様に保磁力の高い
垂直磁気記録媒体作成にはテープ状基板６の温度を高め
る必要があり、キャンローラ一温度は通常２００℃以上
に保たれている）テープ状基板６が急激に加熱され変形
をおこす。
一に発生するシワ（以上カメノコ状シワと称す）である
。前述の様に金属磁性層とテープ状基板６との間にパー
マロイＰａ、チタンＴｉ等の薄膜層を設ける２層構造の
薄膜状垂直磁気記録媒体を作成する時、特にパーマロイ
ＰＩＬ、チタンＴｉ等の薄膜上に金属磁性層を作成する
時、キャンローラー１とテープ状基板６を密着させるた
めにテープ状基板６にバイアスをかける。この場合、バ
イアスによる密着力により前述の波シワは発生しなか、
テープ状基板６がキャンローラー１と接触する時に、キ
ャンローラー１が高温のため（前述の様に保磁力の高い
垂直磁気記録媒体作成にはテープ状基板６の温度を高め
る必要があり、キャンローラ一温度は通常２００℃以上
に保たれている）テープ状基板６が急激に加熱され変形
をおこす。
変形が修正されない状態でバイアスによりキャンローラ
ー１に密着するためテープ状基板６にはカメノコ状シワ
が発生する。
ー１に密着するためテープ状基板６にはカメノコ状シワ
が発生する。
６ページ
第４図は別の従来例における薄膜状磁気記録媒体作製装
置の立体図である。図中番号は第１図と同様であり、２
′はキャンローラー１に押圧される様構成された入側ロ
ーラー、１０は走行方向に発生するシワ（以下折しシワ
と称す）である。以上の様に構成された従来の薄膜状記
録媒体記録媒体作成装置について、以下その動作を説明
する。
置の立体図である。図中番号は第１図と同様であり、２
′はキャンローラー１に押圧される様構成された入側ロ
ーラー、１０は走行方向に発生するシワ（以下折しシワ
と称す）である。以上の様に構成された従来の薄膜状記
録媒体記録媒体作成装置について、以下その動作を説明
する。
入側ローラー２′、出側ローラー３によって案内される
テープ状基板６は、キャンローラー１の回転に伴ないキ
ャンローラー円周面に沿って走行する。この時テープ状
基板６は、キャンローラー１に押圧される入側ローラー
２′によシ抑圧され、シワの発生を防いでいる。
テープ状基板６は、キャンローラー１の回転に伴ないキ
ャンローラー円周面に沿って走行する。この時テープ状
基板６は、キャンローラー１に押圧される入側ローラー
２′によシ抑圧され、シワの発生を防いでいる。
しかしながらこの構成でも、キャンローラー１の温度を
高めテープ状基板６にバイアスをかけキャンローラー１
との密着性を向上させる必要がある垂直磁気記録媒体作
製において、テープ状基板６がキャンローラー１と接触
する時、急激な加熱のため変形が発生し変形が発生し変
形が修正する前に入側ローラー２′にて押圧されるため
、テー７ ベーぴ プ状基板６に折シワ１ｏが発生する。
高めテープ状基板６にバイアスをかけキャンローラー１
との密着性を向上させる必要がある垂直磁気記録媒体作
製において、テープ状基板６がキャンローラー１と接触
する時、急激な加熱のため変形が発生し変形が発生し変
形が修正する前に入側ローラー２′にて押圧されるため
、テー７ ベーぴ プ状基板６に折シワ１ｏが発生する。
以上の様に従来の構成では、テープ状基板温度を高める
ためキャンローラー１の温度を高温（２００°Ｃ以上）
に保ち、テープ状基板６とキャンローラー１との密着性
を高めるためテープ状基板６にバイアスをかける必要が
ある薄膜状垂直磁気記録媒体の作成において、テープ状
基板６にしわが発生し、磁気記録媒体としては使用でき
ないという欠点を有していた。
ためキャンローラー１の温度を高温（２００°Ｃ以上）
に保ち、テープ状基板６とキャンローラー１との密着性
を高めるためテープ状基板６にバイアスをかける必要が
ある薄膜状垂直磁気記録媒体の作成において、テープ状
基板６にしわが発生し、磁気記録媒体としては使用でき
ないという欠点を有していた。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するもので、テープ状基
板温度を高めるためキャンローラーの温度を高温に保ち
、テープ状基板とキャンローラーとの密着性を高めるた
めテープ状基板にバイアス下 をかけるといった条件の元でも、シワのない良好な薄膜
状磁気記録媒体を得ることのできる薄膜状磁気記録媒体
作製装置を提供することにある。
板温度を高めるためキャンローラーの温度を高温に保ち
、テープ状基板とキャンローラーとの密着性を高めるた
めテープ状基板にバイアス下 をかけるといった条件の元でも、シワのない良好な薄膜
状磁気記録媒体を得ることのできる薄膜状磁気記録媒体
作製装置を提供することにある。
発明の構成
本発明はテープ状基板を案内するローラーとテープ状基
板をキャンローラーに押圧するローラー特開昭５９−１
７２１６１（３） の１個以上の入側ローラーを備えた薄膜状磁気記録媒体
作製装置であり、ローラー間をテープ状基板が走行する
時高温に保たれたキャンローラーからの放射熱によりテ
ープ状基板温度が高められ、キャンローラーとの接触時
に生じる急激な温度変化を少なくしてテープ状基板の変
形が小さい状態でキャンローラーに押圧することにより
、シワのない良好な薄膜状磁気記録媒体を得ることので
きるものである。
板をキャンローラーに押圧するローラー特開昭５９−１
７２１６１（３） の１個以上の入側ローラーを備えた薄膜状磁気記録媒体
作製装置であり、ローラー間をテープ状基板が走行する
時高温に保たれたキャンローラーからの放射熱によりテ
ープ状基板温度が高められ、キャンローラーとの接触時
に生じる急激な温度変化を少なくしてテープ状基板の変
形が小さい状態でキャンローラーに押圧することにより
、シワのない良好な薄膜状磁気記録媒体を得ることので
きるものである。
実施例の説明
第６図〜第８図に本発明の実施例を示す。第５図は本発
明の実施例を示す正面図、第６図は本発明の実施例を示
す立体図であり、第７，８図は入側ローラー付近の拡大
図である。第５〜８図において１１はテープ状基板案内
ドラム（以下キャンローラーと称す）、１２はテープ状
基板入側ローラー（以下入側ローラーと称す）、１３は
テープ状基板出側ローラー（以下出側ローラーと称す）
、１４は蒸発源、１６はテープ状基板、１７は遮へい板
、１８はテープ状基板抑圧ローラー（以下弁９ベーご 圧ローラーと称す）である。
明の実施例を示す正面図、第６図は本発明の実施例を示
す立体図であり、第７，８図は入側ローラー付近の拡大
図である。第５〜８図において１１はテープ状基板案内
ドラム（以下キャンローラーと称す）、１２はテープ状
基板入側ローラー（以下入側ローラーと称す）、１３は
テープ状基板出側ローラー（以下出側ローラーと称す）
、１４は蒸発源、１６はテープ状基板、１７は遮へい板
、１８はテープ状基板抑圧ローラー（以下弁９ベーご 圧ローラーと称す）である。
以上の様に構成されたこの実施例の薄膜状磁気記録媒体
作製装置について、以下その動作を説明する。
作製装置について、以下その動作を説明する。
入側ローラー１２及び出側ローラー１３に案内されるテ
ープ状基板１６は、キャンローラー１１の回転に伴ない
キャンローラー１１円周面上に沿って走行する。この時
キャンローラー１１はテープ状基板１６の温度を高める
ため２００’Ｃ以上の高温に保たれており、テープ状基
板１６にはキャンローラー１１との密着性を高めるため
にバイアスがかけられている。蒸発源１４は電子ビーム
蒸発源で、金属磁性材料インゴットを加熱蒸発させ、遮
へい板１７により特定の入射成分のみがテープ状基板１
６に付着して薄膜状金属磁性膜を形成する。第６図〜第
７図において、入側ローラー１２で案内されたテープ状
基板１６は、入側ローラー １２と抑圧ローラー１８
との間を走行中に高温に保たれたキャンローラー１１の
放射熱により加熱される（キャンローラ一温度２３０°
Ｃの場合約１０ページ １２０°Ｃ付近まで加熱されるもこの予備加熱にょシテ
ープ状基板１６がキャンローラー１１と接触する時に発
生する、急激な温度変化が原因のテープ状基板変形が少
なくなり、この状態で抑圧ローラー１８によりテープ状
基板１６をキャンローラー１１に押圧するとしわの発生
を防止できることが実験の結果間らかになった。この時
、抑圧ローラー１８のキャンローラー１１に対する押圧
点１９は、抑圧ローラー１８の抑圧が解除された時テー
プ状基板１６がキャンローラー１１に巻き回わされる点
２０よりも入側ローラー２よりでなければ効果が少ない
。また、加熱されにくいテープ状基板を用いたり、抑圧
ローラー１８と入側ローラー１２との間隙が十分にとれ
ない場合は、第８図に示す様に、複数個の入側ローラー
１２１Ｌを設はキャンローラー１１の周囲にテープ状基
板１６を並走させることで、テープ状基板１６を十分加
熱することができる。
ープ状基板１６は、キャンローラー１１の回転に伴ない
キャンローラー１１円周面上に沿って走行する。この時
キャンローラー１１はテープ状基板１６の温度を高める
ため２００’Ｃ以上の高温に保たれており、テープ状基
板１６にはキャンローラー１１との密着性を高めるため
にバイアスがかけられている。蒸発源１４は電子ビーム
蒸発源で、金属磁性材料インゴットを加熱蒸発させ、遮
へい板１７により特定の入射成分のみがテープ状基板１
６に付着して薄膜状金属磁性膜を形成する。第６図〜第
７図において、入側ローラー１２で案内されたテープ状
基板１６は、入側ローラー １２と抑圧ローラー１８
との間を走行中に高温に保たれたキャンローラー１１の
放射熱により加熱される（キャンローラ一温度２３０°
Ｃの場合約１０ページ １２０°Ｃ付近まで加熱されるもこの予備加熱にょシテ
ープ状基板１６がキャンローラー１１と接触する時に発
生する、急激な温度変化が原因のテープ状基板変形が少
なくなり、この状態で抑圧ローラー１８によりテープ状
基板１６をキャンローラー１１に押圧するとしわの発生
を防止できることが実験の結果間らかになった。この時
、抑圧ローラー１８のキャンローラー１１に対する押圧
点１９は、抑圧ローラー１８の抑圧が解除された時テー
プ状基板１６がキャンローラー１１に巻き回わされる点
２０よりも入側ローラー２よりでなければ効果が少ない
。また、加熱されにくいテープ状基板を用いたり、抑圧
ローラー１８と入側ローラー１２との間隙が十分にとれ
ない場合は、第８図に示す様に、複数個の入側ローラー
１２１Ｌを設はキャンローラー１１の周囲にテープ状基
板１６を並走させることで、テープ状基板１６を十分加
熱することができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、キャンローラー１１ペー
ジ のまわりにテープ状基板を並走させる入側ローラーを１
個以上設け、またキャンローラーに対する押圧点が、抑
圧解除の時テープ基板のキャンローラーに巻き回わされ
る点よりも入側ローラーよりになる様な抑圧ローラーを
設けることにより、テープ状基板の温度を高めるために
キャンローラーを一定温度以上に保ち、かつテープ状基
板とキャンローラーを密着させるためにテープ状基板に
バイアスをかけるといった条件下でもテープ状基板にシ
ワを発生させることなく走行させることが可能となり、
しわのない良好な薄膜状磁気記録媒体を得ることができ
る。
ジ のまわりにテープ状基板を並走させる入側ローラーを１
個以上設け、またキャンローラーに対する押圧点が、抑
圧解除の時テープ基板のキャンローラーに巻き回わされ
る点よりも入側ローラーよりになる様な抑圧ローラーを
設けることにより、テープ状基板の温度を高めるために
キャンローラーを一定温度以上に保ち、かつテープ状基
板とキャンローラーを密着させるためにテープ状基板に
バイアスをかけるといった条件下でもテープ状基板にシ
ワを発生させることなく走行させることが可能となり、
しわのない良好な薄膜状磁気記録媒体を得ることができ
る。
第１図は従来例における薄膜状磁気記録媒体作製装置の
正面図、第２図、第３図、第４図は間装のは斜視図、第
６図は本発明の一実施例における薄膜状磁気記録媒体作
製装置の正面図、第６図は同斜視図、第７図は同装置の
局部拡大図、第８図は本発明の他の実施例における薄膜
状磁気記録媒体作製装置の局部拡大図である。 １１・・・・・・キャンローラー、１２ 、１２１＆
、１２ｂ。 １２０・・・・・・入側ローラー、１３・・・・・・出
側ローラー、１４・・・・・・電子ビーム蒸着源、１６
・・・・・・テープ状基板、１７・・・・・・遮へい板
、１８・・・・・・押圧ローラー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図 Ｃ Ｍ４ 図 第５図 第６図
正面図、第２図、第３図、第４図は間装のは斜視図、第
６図は本発明の一実施例における薄膜状磁気記録媒体作
製装置の正面図、第６図は同斜視図、第７図は同装置の
局部拡大図、第８図は本発明の他の実施例における薄膜
状磁気記録媒体作製装置の局部拡大図である。 １１・・・・・・キャンローラー、１２ 、１２１＆
、１２ｂ。 １２０・・・・・・入側ローラー、１３・・・・・・出
側ローラー、１４・・・・・・電子ビーム蒸着源、１６
・・・・・・テープ状基板、１７・・・・・・遮へい板
、１８・・・・・・押圧ローラー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図 Ｃ Ｍ４ 図 第５図 第６図
Claims (2)
- （１）表面が高温状態となる円筒状テープ案内ドラムと
このドラムの外周面を、この案内ドラムの回転に伴ない
走行するテープ状基板の表面に、金属磁性薄膜を形成す
るだめの金属蒸発源と。 前記テープ状基板を円筒状テープ案内ドラムと並走する
走行系を形成する１個以上のテープ状基板入側ローラー
と、前記テープ状基板と前記円筒状テープ案内ドラムが
接する近傍に前記円筒状テープ案内ドラムに対してテー
プ状基板を押圧する抑圧ローラーとを備えたことを特徴
とする薄膜状磁気記録媒体作製装置。 - （２）円筒状テープ案内ドラムに対する押圧点が、押圧
を解除した時テープ状基板と前記円筒状テープ案内ドラ
ムとが接する点よりテープ状基板入側ローラー側になる
ように設置した押圧ローラーを備えたことを特徴とする
特許請求の範囲２ ページ 第１項記載の薄膜状磁気記録媒体作製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4630883A JPS59172161A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 薄膜状磁気記録媒体作製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4630883A JPS59172161A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 薄膜状磁気記録媒体作製装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59172161A true JPS59172161A (ja) | 1984-09-28 |
Family
ID=12743556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4630883A Pending JPS59172161A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 薄膜状磁気記録媒体作製装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59172161A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61187127A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1983
- 1983-03-18 JP JP4630883A patent/JPS59172161A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61187127A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
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