JPH082536B2

JPH082536B2 - フィルムの温度処理方法

Info

Publication number: JPH082536B2
Application number: JP1118977A
Authority: JP
Inventors: 秀信新宅; 勇井上; 博三武川; 竜太郎芥川; 佳代子児玉; 和義本田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1989-05-12
Filing date: 1989-05-12
Publication date: 1996-01-17
Anticipated expiration: 2011-01-17
Also published as: JPH02297412A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、長尺フィルムを所要の温度に設定された円
筒状キヤンの周面に接触させて走行させることによりフ
ィルムの加熱または冷却を連続的に行なうフィルムの温
度処理方法に関するものである。

従来の技術広幅長尺の高分子フィルムへ薄膜を形成して、コンデ
ンサや磁気記録テープ、透明導電性シート等の素材とな
る機能性フィルムやまたは装飾用フィルムを作成するに
は、例えば、薄膜ハイドブック（日本学術振興会、薄膜
第131委員会編、３編、42、オーム社刊）に示されてい
るような巻取り式蒸着装置が用いられる。

その概要を第４図において説明する。この第４図は主
要部のみを示し、構造物を収納する真空チャンバ、中間
ローラ等は省略してある。第４図において、広幅長尺の
高分子フィルム１（以後、フィルムと呼ぶ）は、供給ロ
ーラ２から巻出されて、矢印16の方向に回転する円筒状
キャン３に、フリーローラ４、５によって所要巻付け角
度θだけ巻き付けられ、キャン３にて駆動されて走行
し、巻取りローラ６に巻取られる。一方、るつぼ８に収
容された蒸着材料７は、公知の電子ビーム９等により加
熱されて蒸発し、その蒸気の一部はマスク10の開口部を
通ってキャン３に巻き付けられたフィルム１に付着し、
薄膜を形成する。

以上の構成において、フィルム１の長手方向の張力は
図には示してないが、供給ローラ２と巻取りローラ６に
取り付けられたモータにより、公知の電流制御法などに
より所望の値に制御されている。キャン３は公知の例え
ば、熱媒体の循環により温度制御により所要の温度に制
御されている。

この構成で、例えば、Co−Crから成る垂直磁気記録媒
体をポリイミドフィルム１上に形成する場合、媒体を垂
直配向させるためにはフィルム１を加熱する必要があ
る。さらに、フィルム１中の水分などのガスを出させ、
磁気媒体の特性及びフィルム１との付着力を十分なもの
とするためにも、フィルム１を加熱する必要がある。こ
の方法として、加熱されたキャン３の周面に十分巻き付
けて接触して駆動させ走行させる方法が取られている。

また、金属膜からなる磁気記録媒体のような導電性の
薄膜を形成する場合は、蒸着時にフィルム１の受けた熱
を効率よくキャン３に逃すために、フィルム１上に形成
した薄膜に接触したフリーローラ５とキャン３との間に
直流電源15により電位差を設け、薄膜とキャン３との間
に働く静電引力で、フィルム１をキャン３に強く張り付
かせる方法が取られている。

発明が解決しようとする課題以上の従来例において、キャン上で加熱され蒸着膜を
形成されたフィルムがキャンからはなれる際、キャンと
次段のフリーローラとの間でフィルムに長手方向のしわ
が生じ、このしわが残るという問題が生じていた。これ
は、冷却膨張型のフィルムの場合は、キャン上で冷却さ
れることによって長手方向のしわが生じる。

ここで上記のしわの発生について第５図（ａ）、
（ｂ）を用いて説明する。キャン３上で加熱され蒸着膜
を形成されたフィルム１は円筒状のキャン３から離れ、
キャン３に近接して設置されキャン３より低温の次段の
フリーローラ５を経て、図中の矢印16の方向に走行す
る。フィルム１に温度変化による伸縮がない場合には、
第５図（ａ）に示すように、フィルム１が、キャン３か
ら離れてフリーローラ５に沿い走行しても、その幅ｄに
は変化がない。しかし、熱作用により伸びを伴うフィル
ムの場合には、第５図（ｂ）に示すようなしわ13が、フ
ィルム１にキャン３の離れぎわから生じる。これは、キ
ャン３上で加熱され蒸着膜を形成された（膜形成部分を
製膜部18、非製膜部分を以後マージン部17と呼ぶ）フィ
ルム１の幅ｂが前記幅ｄより大となった後、キャン３か
ら離れたことと、次段のフリーローラ５に接触したこと
で急激に冷却され、フィルム１が元の幅ｄに急激に縮む
ために起こるものである。このしわ13が生じたままフィ
ルム１及びその上に形成された蒸着膜を冷却されるの
で、このしわ13がフィルム１上に残ることとなる。

このようなしわは、製品の外観を劣化させるばかりで
なく、磁気記録テープの場合には、テープとヘッドが良
好に密着しなくなるので、正常な記録ができなくなると
いう重大な機能上の欠陥を生じさせるとともに、著しい
歩留りの低下を引き起こすものであった。

そこで、本発明は、上記の点に鑑み、キャン上のフィ
ルムにしわを発生させることなく安定に加熱または冷却
できるフィルムの温度処理方法を提供するものである。

課題を解決するための手段本発明は、熱作用により伸びを伴う性質を有する長尺
フィルムと、所要の温度に設定された円筒状キャンの周
面に接触させて走行させる際に、前記フィルムの幅を前
記キャン上のフィルムの幅と略等しく保ちながらキャン
から離すことを特徴とするものである。

作用本発明によれば、所要の温度に設定された円筒状キャ
ンから離れるフィルムの幅を、前記キャン上のフィルム
の幅と略等しく保ちながら、前記キャンから離すこと
で、キャンの離れぎわで生じるフィルムのしわを防止す
ることができる。

即ち、前述のように、しわの発生原因は、キャンから
はなれた後の、急激な温度変化によるフィルムの幅の変
化であり、このしわが生じたまま蒸着膜が冷却されるの
で、フィルムにしわが残るわけである。したがって、フ
ィルム上の蒸着膜が冷却される間、フィルムにしわが生
じないようフィルムに幅方向に張力を生じさせておくこ
とで、このしわを防止することができる。

実施例以下、本発明の第１実施例を第１図（ａ）（ｂ）を用
いて説明する。第１図（ａ）は、本実施例におけるフィ
ルムの湿度処理方法の主要工程部の斜視図、第１図
（ｂ）はそのフリーローラの側面図である。従来例と同
一の構成要素は、同一番号にて説明する。

製膜されたフィルム１（この時幅ｂ）は、所定の温度
に設定されたキャン３の周面に沿い矢印16の方向に駆動
され走行する。フリーローラ５はその両端をアーム21に
て支持され、スプリング22によりキャン３に押圧されて
おり、このフリーローラ５の両端部に部分的に設けられ
た大径部20が、フィルム１の少なくともその幅方向の両
端部に設けられた蒸着膜の形成されないマージン部17を
キャン３に押圧している。

フィルム１は大径部20とキャン３にその両側のマージ
ン部17を挟まれつつキャン３から離れる。この時大径部
20は両端のマージン部17を保持されているため、幅がｂ
から縮もうとしても縮めず、幅方向に張力を持つことに
なる。したがって、この張力によりしわは生じない。

しかし、キャン３からフィルム１が離れてからは、こ
の張力はフィルム１と大径部20との摩擦力だけで保持さ
れているので、この摩擦力を大きくするために、なるだ
けフィルム１との摩擦係数が大きくなるようにしたほう
がよい。これには、大径部20の表面に適度の凹凸を設け
ることも有効である。また、キャン３やフリーローラ５
の心振れや、傷、ゴミ等が幾分ある場合でも、フィルム
１をキャン３とで十分に挟み込むためにも、大径部20に
は、適度に弾性のあるもののほうが好ましい。

本実施例では、第１図（ｂ）に示すように、これらの
条件を満たすポリイミドの粘着テープを、フリーローラ
５の回転方向16と同方向に所定の厚みに段差が生じない
ように、数回巻き付けることで大径部20を構成し、これ
により十分な効果を得た。また図のように巻くと、粘着
テープでなくとも同様効果が得られる。

尚、本実施例では、フリーローラ５に大径部20を設け
た構造となっているが、第２図（ａ）に示すように、大
径部20をキャン３側に設けても同様の効果が得られる。

又、第２図（ｂ）に示すように、キャン３のフリーロ
ーラ５の大径部20に対応する箇所に溝23を設け、この溝
23の底面にテープなどからなる前記大径部20を押圧する
ように構成すると、より確実にフィルム１の幅を保持で
き、より十分な効果が得られる。尚、逆にキャン３に大
径部20、フリーローラ５に溝23を設ける構成にしてもよ
い。

次に、本発明の第２実施例を第３図を用いて説明す
る。上記第１実施例と同様に、従来例と同一の構成要素
は、同一番号にて説明する。

上記第１実施例と異なるところは、フリーローラ５の
両端部に大径部20の代わりに、フィルム１のマージン部
17を突き刺すピン11を設けたことである。

第３図は本実施例の主要部の斜視図である。製膜され
たフィルム１（この時幅ｂ）は、所定の温度に設定され
たキャン３の周面に沿い矢印16の方向に駆動され走行す
る。そしてフィルム１は、その両端のマージン部17に、
フリーローラ５に設けられている複数のピン11を突き刺
されながらキャン３から離れ、その後フリーローラ５に
沿いながらピン11がフィルム１（この時までフィルムの
幅はｂ）から抜け、フィルムの幅はｄ（ｂより小さい）
となり矢印16の方向に走行する。図に示すようキャン３
には、フリーローラ５のピン11を収容する溝12が、ピン
11に対応する位置に設けられている。

キャン３から離から前から、ピン11をフィルム１の両
側のマージン部17に刺すことにより、フィルム１の幅は
ｂに保持されることとなる。その後、フィルム１がキャ
ン３から離れフリーローラ５に沿い冷却されても、ピン
11がフィルム１から抜けるまで、フィルムの幅はｂのま
まで変化しない。したがって、上述のしわが発生するこ
とはない。

また、フィルム１のマージン部17には、ピン11の刺さ
れた跡19が残るが、ピン11の跡は小さくまたマージン部
自体製品とならない部分で、後に切り取られるので支障
はない。

尚、図中に示すキャン３とフリーローラ５の隙間ε、
ピン11の高さh,フィルム１の厚さｔは、本実施例の場合
ε＝0.5mm、ｈ＝2mm、ｔ＝10μｍとした。しかし、フィ
ルム１が、キャン３からはなれる前あるいは遅くともフ
リーローラ５に接触する前に、ピン11がフィルム１に刺
されば、この値にこだわる必要がないのは、いうまでも
ない。

発明の効果本発明によれば、所要の温度に設定された円筒状キャ
ンからはなれるフィルムの幅を、前記キャン上のフィル
ムの幅と略等しく保ちながら、前記キャンから離すこと
で、キャンの離れぎわで生じるフィルムのしわの発生を
防止することができる。

従って、長尺にわたってしわの生じない安定なフィル
ムの温度処理を連続的に行なうことが可能となり、著し
い歩留りの向上を実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の第１実施例におけるフィルムの
湿度処理方法の主要工程部の斜視図、第１図（ｂ）は同
工程部におけるフリーローラの側面図、第２図（ａ）
（ｂ）は各々同実施例の変形例における主要工程部の正
面図、第３図は本発明の第２実施例におけるフィルム湿
度処理方法の主要工程部の斜視図、第４図は従来例にお
ける真空蒸着装置の内部構造を示す概略構成図、第５図
（ａ）（ｂ）は従来例におけるしわ発生の説明図であ
る。１……フィルム、３……キャン、５……フリーローラ、
11……ピン、20……大径部、21……レバー、22……スプ
リング、23……溝。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者芥川竜太郎大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者児玉佳代子大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者本田和義大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (56)参考文献特開昭61−261479（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−121922（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】熱作用により伸びを伴う性質を有する長尺
フィルムを、所要の温度に設定された円筒状キャンの周
面に接触させて走行させる際に、前記フィルムをその幅
が前記キャン上のフィルムの幅と略等しくなるように保
ちながらキャンから離すことを特徴とするフィルムの温
度処理方法。
【請求項２】少なくともフィルムの幅方向の両端部をロ
ーラにて前記キャンに押圧してフィルムの幅を保つこと
を特徴とする請求項１記載のフィルムの温度処理方法。
【請求項３】ローラに巻回した耐熱性の高分子フィルム
によりフィルムの幅方向の両端部を押圧することを特徴
とする請求項２記載のフィルムの温度処理方法。
【請求項４】キャンあるいはローラのいずれか一方に設
けた溝部と、他方に設けた突条部によりフィルムの幅方
向の両端部を押圧することを特徴とする請求項２記載の
フィルムの温度処理方法。
【請求項５】少なくともフィルムの幅方向の両端部に、
ローラに設けた複数のピンを刺してフィルムの幅を保つ
ことを特徴とする請求項１記載のフィルムの温度処理方
法。