JPH07326052A - 磁気テ−プの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気テ−プ製造時に、基体フィルムのシワの
発生を防止する。 【構成】 供給ロ−ル１から巻取ロ−ル７へと所定のテ
ンションを付与しつつ、フィルム２を回転キャンロ−ル
４に添接して蒸発源５上を走行させ、この走行過程でフ
ィルム２上に磁性膜を形成する磁気テ−プの製造方法で
あり、トルク制御手段１０において、トルクモ−タＭ1
，Ｍ2 の駆動電圧を制御することにより、走行するフ
ィルムのテンションを変化させて、回転キャンロ−ル４
等に添接するフィルムにシワが生じないようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空蒸着法、又はスパ
ッタリング法により、高分子フィルム基体上に磁性膜を
形成する磁気テ−プの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】高分子フィルム基体（以下、単にフィル
ム）に磁性膜を形成するには、例えば、図４に示したよ
うな構成の装置により行われている。供給ロ−ル１に巻
回された厚さ約１０μｍのポリエチレンテレフタレ−ト
（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、アラミド（ＰＡ）等
により形成されるフィルム２が、フリ−ガイドロ−ル３
（以下、単にガイドロ−ルと称す）を経て、回転キャン
ロ−ル４に沿って移動し、回転キャンロ−ル４内の加
熱、又は冷却機構により、所定の磁気特性が得られよう
に加熱、又は冷却され、フィルム表面に真空蒸着、又は
スパッタリング法により磁性膜が形成される。この場
合、符号５は真空蒸着法である場合には蒸発源であり、
スパッタリング法である場合には、タ−ゲットである。
また、符号９はマスクである。

【０００３】そして、成膜が行われたフィルム２は、回
転キャンロ−ル４表面から離れ、ガイドロ−ル３を経
て、巻取ロ−ル７へと巻き取られる。この走行過程で
は、フィルム２は、図６に示すように常に一定のテンシ
ョンが付与されるようになっており、供給ロ−ル１及び
巻取ロ−ル７のトルクを一定にすることにより制御され
る構成となっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した製
造方法は、フィルム走行過程において、常に一定のテン
ションが付与されることから、これが原因となってフィ
ルムにシワが発生し、磁気テ−プそのものに変形を来
し、不都合が生じるものであった。このシワの発生に
は、次のような原因が考えられる。

【０００５】１）フィルムの熱変形；膜特性向上のため
にフィルム温度を高める必要があり、これは回転キャン
ロ−ル４を加熱してフィルム温度を高める方法や、走行
過程でハロゲンランプ、又は、ヒ−ズヒ−タによりフィ
ルムを加熱する方法が取られる。また、フィルム温度を
高める必要がなく、冷却を行う場合でも、蒸発源やスパ
ッタタ−ゲットからの輻射熱によりフィルムは、ある程
度加熱され、温度が上昇する。加熱されたフィルム２は
収縮や膨脹といった熱変形が生じる。フィルム走行方向
には、供給ロ−ル１及び巻取ロ−ル７により一定のテン
ションが付与されているため、走行方向の熱変形は吸収
され、幅方向のシワは発生しない。しかし、幅方向には
テンションが加えられていないため、例えば、フィルム
２が幅方向に膨脹すると、図５に示すようにフィルム２
の一部が回転キャンロ−ル４の表面から離れ、この部分
に空隙９が生じ、走行方向にシワが発生する。尚、図５
は回転キャンロ−ル４と、これに添接されるフィルム２
の断面部分図を示したものである。

【０００６】２）２次電子による帯電；真空蒸着法の場
合、蒸着源５からの２次電子によりフィルム２が帯電
し、回転キャンロ−ル４にフィルム２が吸着する。回転
キャンロ−ル４から分離する際に、分離が幅方向で均一
に行われず、空隙９が生じ、走行方向にシワが発生す
る。

【０００７】３）各ガイドロ−ル３、回転キャンロ−ル
４の平行度のずれ；各ガイドロ−ル３、回転キャンロ−
ル４の回転軸の平行度がずれている場合、フィルム２の
走行方向の位置によるテンションが不均一になり各ガイ
ドロ−ル３及び回転キャンロ−ル４の表面に空隙が生じ
シワが発生する。従来方法では、一定のテンションのも
とで行っており、幅方向の熱変形、フィルム２と回転キ
ャンロ−ル４及び各ガイドロ−ル３の分離不均一、位置
による走行方向のテンションの不均一が生じると、フィ
ルム２が幅方向に移動できず、フィルム２の一部が各ガ
イドロ−ル３、又は回転キャンロ−ル４から離れ、シワ
が発生した。

【０００８】本発明は、上述のような問題点を考慮し、
磁気テ−プ製造時に、フィルム基体上のシワの発生を防
止し、シワのない磁気テ−プを作製することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、フィルム基体を、所定のテンションを
付与しつつ、供給側から巻取側へと連続的に走行させ、
真空蒸着法又はスパッタリング法により前記フィルム基
体上に連続的に磁性膜を形成する磁気テ−プの製造方法
において、走行時の前記所定のテンションを、所定のテ
ンション範囲で変化させるようにしたことを特徴とする
磁気テ−プの製造方法を提供する。

【００１０】

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
き説明する。まず、本発明は、次の事実に照らして成さ
れたものである。即ち、フィルムとガイドロ−ル表面、
又は、フィルムと回転キャンロ−ル表面の幅方向への摩
擦力は、これが小さければ、幅方向の熱変形、フィルム
と回転キャンロ−ルの分離不均一、位置による走行方向
のテンションの不均一が生じても、フィルムが幅方向に
移動し、図５に示したようなシワは発生しない。そし
て、この場合、幅方向への摩擦力は、テンションに比例
し、低テンション程、フィルムの幅方向への移動は容易
となる。しかし、テンションが低すぎると、幅方向にシ
ワが発生したり、フィルムがガイドロ−ル上をすべり、
フィルム表面にキズが発生する。しかも、走行安定性や
巻取状態の均一性を考慮すると、一般的にテンションの
時間的変化が少ない方が望ましい。本発明は、このよう
な事実に照らし、走行性や巻取状態に支障が生じない範
囲で、テンションを時間的に変化させ、テンションが一
時的に低くなる際に、フィルムの幅方向の移動を容易に
し、フィルムのシワを取り除くようにするものである。

【００１１】図１は、本磁気テ−プ製造法を実施するた
めの製造装置の概略構成図で、前記従来例で示した装置
と同一構成要素には、同一符号を付して詳細な説明は省
略する。供給及び巻取ロ−ル１，７には、これに直結さ
れるトルクモ−タＭ1 及びＭ2を介してトルク制御手段
１０が接続されている。このトルク制御手段１０におい
て、トルクモ−タＭ1 及びＭ2 の駆動力は、矢印で示さ
れるように付与され、しかも、フィルム２の回転キャン
ロ−ル４に対する静止摩擦力よりも弱めに設定されてい
る。したがって、供給ロ−ル１及び回転キャンロ−ル４
間と、巻取ロ−ル７及び回転キャンロ−ル４間とには、
夫々所定のテンションが付与されることになる。

【００１２】そして、このトルク制御手段１０では、次
のような制御が行われる。即ち、図２に示すように、フ
ィルムテンションがテンションバイアスＶ_ｂを中心にＴ
時間周期で、振幅Ｖ₀ の範囲で変化するようにトルクモ
−タＭ1 ，Ｍ2 の電圧の制御が行われる。

【００１３】このような制御の基に、フィルム２は、供
給ロ−ル１からガイドロ−ラ３を介して、回転キャンロ
−ル４に添接され、ガイドロ−ラ３を経て巻取ロ−ル７
へと巻回されるようになっており、その走行過程におい
て、トルク制御手段１０で各トルクモ−タＭ1 ，Ｍ2 を
前記したように制御し、走行中のフィルム２のテンショ
ンを周期的に変化させ、蒸発源５からフィルム表面に磁
性材料を蒸発して磁性層を連続的に形成しているもので
ある。

【００１４】次に、この方法の効果を検証するために、
複数のフィルムを用い、後述するパラメ−タを変化させ
て磁性層を形成した場合において、シワ或いは巻き取り
むらの生じかたにつき表１を参照して説明する。フィル
ムは、同表に示した仕様のポリイミドフィルム、アライ
ドフィルム及びポリエチレンテレフタレ−トフィルム
（ＰＥＴフィルム）を用い、各フィルム上にはＣｏＣｒ
磁性膜を0.2 μｍ形成した。そして、成膜時のポリイミ
ドフィルム及びアライドフィルムの温度を２００℃と
し、ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの温度を１０
０℃とした。また、各フィルム走行速度を４ｃｍ／分と
し、各ガイドロ−ラ３及び回転キャンロ−ル４の表面を
硬質のＣｒメッキをし、それらの表面粗さを夫々1.6 Ｓ
（最大高さが1.5 μｍ以下），0.4 Ｓ（最大高さが0.4
μｍ以下）としたもので行った。

【００１５】そして、トルクモ−タＭ1 ，Ｍ2 の電圧を
制御して、テンションの最大値（Ｖｂ＋１／２Ｖ₀ ）が
常に１ｋｇになるようにフィルムテンションの振幅（Ｖ
₀ ）、テンションバイアス（Ｖ_ｂ）、及び周期（Ｔ）を
夫々変化させて比較を行った。

【００１６】この結果、同表に示すように、振幅
（Ｖ₀ ）を０ｋｇ、即ち、テンションを変化させない場
合には、いずれのフィルムにおいてもシワが発生してい
る（従来の方法）。そして、振幅を0.2 ｋｇの範囲で変
化させても同様にいずれのフィルムにもシワが発生して
いる。これは振幅を微小範囲で変化させても効果のない
ことを示している。

【００１７】更に、振幅を0.4 ｋｇにすると、シワの生
じないものが現われ、更に、振幅を大きくしていくと、
その効果が顕著に現われている。そして、振幅を0.8 ｋ
ｇと1 ｋｇにした場合について着目してみると、周期を
あまり短くしてしまうとその効果が現われいないことが
分かる。また、振幅を1 ｋｇにした場合についてみる
と、振幅を大きくした場合にテンション周期をあまり長
くしてしまうと、巻きむらが生じてしまうことが分か
る。

【００１８】以上の検証結果からも、少なくとも、フィ
ルムのテンションを所定の振幅範囲で、所定の周期で、
変化するようにすれば、回転キャンロ−ル４及び各ロ−
ラ３において発生するシワの発生を防止できると共に、
巻取ロ−ルへの巻取むらをなくすことが確認できる。ま
た、本実施例の方法によれば、単にテンションを周期的
に変化するだけで良く、フィルムを積極的に振動させる
必要もなく、そのための新たな構成が不要で、装置の構
成も簡略化できる。

【００１９】また、上述した製造方法は、前述した製造
装置に限らず、例えば、図３に示すような装置にも適用
できる。この装置は、前述の回転キャンロ−ル４が設け
らた箇所に加熱手段１３を設け、フィルム２の走行を駆
動ロ−ラ１５で行わせる構成のものである。供給ロ−ラ
１及び巻取ロ−ラ７の駆動力は、駆動ロ−ラ１５表面に
対するフィルム２の静止摩擦力より小に設定されてお
り、供給ロ−ラ１から駆動ロ−ラ１５に至るテンション
は、トルクモ−タＭ2 を制御し、巻取ロ−ラ７から駆動
ロ−ラ１５に至るテンションはトルクモ−タＭ1 を制御
することにより行われ、その制御は図１で説明したと同
様にトルク制御手段１０で行われるようになっている。
この装置においては、駆動ロ−ラ１５及び各ロ−ラ３に
発生するシワを未然に防止できる。尚、上述の説明で
は、テンションを周期的に変化させるようにしたが、シ
ワの発生を防止できる周期の組み合わせでも良い。

【００２０】

【表１】

【００２１】

【発明の効果】本発明の磁気テ−プの製造方法によれ
ば、所定のテンションを、所定のテンション範囲で変化
させたため、走行途中の回転キャンロ−ル及びガイドロ
−ラ等に添接するフィルム基体にシワを発生させること
なく、巻取ロ−ルへの巻取むらをなくすことができる。
また、この方法を採用する装置側の構成も簡略化でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法を適用するための磁気テ−プ
製造装置の概略構成図である。

【図２】本発明の実施例におけるフィルムテンションの
制御方法を説明するための図である。

【図３】本発明の方法を適用するための他の磁気テ−プ
製造装置の概略構成図である。

【図４】従来の磁気テ−プ製造方法が適用される磁気テ
−プ製造装置の概略構成図である。

【図５】フィルムのシワの生じ方を説明するための図で
ある。

【図６】従来方法によるフィルムテンションの制御方法
を説明するための図である。

【符号の説明】

１ 供給ロ−ル ２ フィルム ４ 回転キャンロ−ル ５ 蒸発源、スパッタ源 ７ 巻取ロ−ル １０ トルク制御手段 Ｍ1 ，Ｍ2 トルクモ−タ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルム基体を、所定のテンションを付与
   しつつ、供給側から巻取側へと連続的に走行させ、真空
   蒸着法又はスパッタリング法により前記フィルム基体上
   に連続的に磁性膜を形成する磁気テ−プの製造方法にお
   いて、 走行時の前記所定のテンションを、所定のテンション範
   囲で変化させるようにしたことを特徴とする磁気テ−プ
   の製造方法。