JPH04157154A - 連続真空蒸着装置の蒸着膜厚制御装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置の蒸着膜厚制御装置Info
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- JPH04157154A JPH04157154A JP28113590A JP28113590A JPH04157154A JP H04157154 A JPH04157154 A JP H04157154A JP 28113590 A JP28113590 A JP 28113590A JP 28113590 A JP28113590 A JP 28113590A JP H04157154 A JPH04157154 A JP H04157154A
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- evaporation
- film thickness
- deposited
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- vapor
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 6
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 14
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はフィルム、紙等の連続真空蒸着装置の蒸着膜厚
制御装置に関する。
制御装置に関する。
従来、連続真空蒸着装置は第２図に示す様に。
被蒸着材１２を巻き戻す巻出装置１．被蒸着材１２を搬
送する送出ロール２〜４．被蒸着材１２を巻き取る巻取
装置５．Ｎ等の蒸着材料６を格納するルツボ７、ルツボ
を加熱する加熱装置８゜被蒸着材への蒸着を開始、停止
させるシャッタ９、蒸着膜厚検出器１０．真空チャンバ
１１および送出ロール３を駆動する電動機１３で構成さ
れている。
送する送出ロール２〜４．被蒸着材１２を巻き取る巻取
装置５．Ｎ等の蒸着材料６を格納するルツボ７、ルツボ
を加熱する加熱装置８゜被蒸着材への蒸着を開始、停止
させるシャッタ９、蒸着膜厚検出器１０．真空チャンバ
１１および送出ロール３を駆動する電動機１３で構成さ
れている。
この様な構成の連続真空蒸着装置において。
蒸着膜厚の幅方向分布（以下単に分布と称する）を均一
にする方法としては、従来、蒸着処理を実施する前にあ
らかじめルツボの温度分布が均一になる様にルツボ周辺
に断熱材を設置する方法がとられている。
にする方法としては、従来、蒸着処理を実施する前にあ
らかじめルツボの温度分布が均一になる様にルツボ周辺
に断熱材を設置する方法がとられている。
ところが、前記方法では、蒸着処理中に生じるルツボ温
度分布の変化及びルツボ内に付着する酸化物の影響によ
る蒸着材料の蒸発量分布の変化に起因する蒸着膜厚分布
の変化には対応できない課題があった。
度分布の変化及びルツボ内に付着する酸化物の影響によ
る蒸着材料の蒸発量分布の変化に起因する蒸着膜厚分布
の変化には対応できない課題があった。
本発明は上記の課題に鑑みなされたものであり、蒸着膜
厚分布を均一に保ち被蒸着材の品質向上を図ることので
きる連続真空蒸着装置の蒸着膜厚制御装置を提供するこ
とを目的とする。
厚分布を均一に保ち被蒸着材の品質向上を図ることので
きる連続真空蒸着装置の蒸着膜厚制御装置を提供するこ
とを目的とする。
すなわち１本発明に係わる連続真空蒸着装置の膜厚制御
装置は、フィルム、靴等シート状の被蒸着材を巻きかけ
る駆動ロール、このロール直下に設けられＭ等の蒸着材
料を格納するルツボ、ルツボ内の蒸着材料を加熱する加
熱装置で構成される連続真空蒸着装置において、蒸着直
後の被蒸着材幅方向に設ける複数の蒸着膜厚検出器と、
ルツボとロールの間の幅方向に設ける複数のシャッタと
、上記検出器の信号に基づいて、上記シャッタの開度を
個々に変更する制御手段とを備えたことを要旨とするも
のである。
装置は、フィルム、靴等シート状の被蒸着材を巻きかけ
る駆動ロール、このロール直下に設けられＭ等の蒸着材
料を格納するルツボ、ルツボ内の蒸着材料を加熱する加
熱装置で構成される連続真空蒸着装置において、蒸着直
後の被蒸着材幅方向に設ける複数の蒸着膜厚検出器と、
ルツボとロールの間の幅方向に設ける複数のシャッタと
、上記検出器の信号に基づいて、上記シャッタの開度を
個々に変更する制御手段とを備えたことを要旨とするも
のである。
上記手段により、蒸着直後の蒸着材料表面の蒸着膜厚分
布に応じてシャッタ開度を定めることができ、膜厚分布
を均一にすることができる。
布に応じてシャッタ開度を定めることができ、膜厚分布
を均一にすることができる。
し実施例〕
以下９本発明を図面に示す実施例に基いて具体的に説明
する。
する。
第１図に同実施例における蒸着膜厚制御装置の構成を示
す。なお、蒸着装置全体の構成については第２図と同様
であるため、ここではその説明を省略する。
す。なお、蒸着装置全体の構成については第２図と同様
であるため、ここではその説明を省略する。
第１図に示すように、蒸着膜厚制御装置は被蒸着材幅方
向に複数設置した蒸着膜厚検出器１０゜シャッタ９．各
シャッタ９の開度を変更する電動機１６．膜厚偏差演算
器１４．シャッタ開度演算器１５で構成される。膜厚偏
差演算器１４は設定膜厚と膜厚検出器１０による検出膜
厚との偏差ΔＴを算出する。シャッタ開度演算器１５は
偏差△Ｔに基づいてＰ１制御（比例積分制御）を実施し
、シャッタ位置指令値ｒを計算し、これを電動機１６に
与える。電動機１６は位置指令値ｒに基いてシャッタ９
の開度を変更する。
向に複数設置した蒸着膜厚検出器１０゜シャッタ９．各
シャッタ９の開度を変更する電動機１６．膜厚偏差演算
器１４．シャッタ開度演算器１５で構成される。膜厚偏
差演算器１４は設定膜厚と膜厚検出器１０による検出膜
厚との偏差ΔＴを算出する。シャッタ開度演算器１５は
偏差△Ｔに基づいてＰ１制御（比例積分制御）を実施し
、シャッタ位置指令値ｒを計算し、これを電動機１６に
与える。電動機１６は位置指令値ｒに基いてシャッタ９
の開度を変更する。
なお、上記においては便宜上３ケ所の膜厚を検出し、３
個のシャッタ開度を制御する場合について説明されてい
るが、３ケ所以外の場合も同様である。よって１本実施
例によれば、蒸着直後のフィルム１２の蒸着膜厚を膜厚
検出器１０により検出し、演算器１４．１５をへて電動
機１６を駆動し、シャッタ９を所定開度とするので、つ
まり、検出膜厚が設定膜厚に比べ薄い場合はシャッタ９
の開度を太きくシ、又、厚い場合にはシャッタ９の開度
を小さくする。
個のシャッタ開度を制御する場合について説明されてい
るが、３ケ所以外の場合も同様である。よって１本実施
例によれば、蒸着直後のフィルム１２の蒸着膜厚を膜厚
検出器１０により検出し、演算器１４．１５をへて電動
機１６を駆動し、シャッタ９を所定開度とするので、つ
まり、検出膜厚が設定膜厚に比べ薄い場合はシャッタ９
の開度を太きくシ、又、厚い場合にはシャッタ９の開度
を小さくする。
よって、フィルム１２の蒸着膜厚をその幅方向において
均一にすることができる。
均一にすることができる。
以上の様に本発明によれば、蒸着材料の幅方向の蒸着膜
厚分布が変化しても、各シャッタの開度を変更すること
で蒸着膜厚分布を一定に保つことかできる。その結果、
被蒸着材の品質向上を図ることができるものである。
厚分布が変化しても、各シャッタの開度を変更すること
で蒸着膜厚分布を一定に保つことかできる。その結果、
被蒸着材の品質向上を図ることができるものである。
第１図は１本発明の第１実施例に係る蒸着膜厚制御装置
の構成図、第２図は従来の連続真空蒸着装置の構成図で
ある。 ■・・・巻出装置、２〜４・・・送出ロール、５・・・
巻取装置、６・・・蒸着材料、７・・ルツボ、８・・・
加熱装置、９・・・シャッタ、１０・・・蒸着膜厚検出
器。 １１・・真空チャンバ、１２・・・被蒸着材、１３・・
・電動機、１４・・・膜厚偏差演算器、１５・・シャッ
タ開度演算器、１６・・・シャッタ開度変更用電動機。
の構成図、第２図は従来の連続真空蒸着装置の構成図で
ある。 ■・・・巻出装置、２〜４・・・送出ロール、５・・・
巻取装置、６・・・蒸着材料、７・・ルツボ、８・・・
加熱装置、９・・・シャッタ、１０・・・蒸着膜厚検出
器。 １１・・真空チャンバ、１２・・・被蒸着材、１３・・
・電動機、１４・・・膜厚偏差演算器、１５・・シャッ
タ開度演算器、１６・・・シャッタ開度変更用電動機。
Claims (1)
- フィルム，紙等シート状の被蒸着材を巻きかけるロー
ル，このロール直下に設けられＡｌ等の蒸着材料を格納
するルツボ，ルツボ内の蒸着材料を加熱する加熱装置で
構成される連続真空蒸着装置において，蒸着直後の被蒸
着材幅方向に設ける複数の蒸着膜厚検出器と，ルツボと
ロールの間の幅方向に設ける複数のシャッタと，上記検
出器の信号に基づいて，上記シャッタの開度を個々に変
更する制御手段とを備えたことを特徴とする連続真空蒸
着装置の蒸着膜厚制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28113590A JPH04157154A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 連続真空蒸着装置の蒸着膜厚制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28113590A JPH04157154A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 連続真空蒸着装置の蒸着膜厚制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04157154A true JPH04157154A (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=17634856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28113590A Pending JPH04157154A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 連続真空蒸着装置の蒸着膜厚制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04157154A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003166055A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Ulvac Japan Ltd | 薄膜の成膜装置及び成膜方法 |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP28113590A patent/JPH04157154A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003166055A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Ulvac Japan Ltd | 薄膜の成膜装置及び成膜方法 |
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