JPH06111316A - 磁気記録媒体製造用真空蒸着装置 - Google Patents
磁気記録媒体製造用真空蒸着装置Info
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- JPH06111316A JPH06111316A JP25846392A JP25846392A JPH06111316A JP H06111316 A JPH06111316 A JP H06111316A JP 25846392 A JP25846392 A JP 25846392A JP 25846392 A JP25846392 A JP 25846392A JP H06111316 A JPH06111316 A JP H06111316A
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- Japan
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- cooling
- film
- magnetic
- vapor deposition
- vacuum
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Abstract
(57)【要約】
【目的】蒸着型テープにおける磁性層蒸着処理工程での
フィルムの熱変形を防止し、且つ蒸着効率を向上させる
ことを目的とする。 【構成】円柱状に形成した冷却キャン７の周面にフィル
ム６を螺旋状に複数回巻付けて走行させつつ、電子ビー
ム銃９を冷却キャン７の長手方向に走査して加熱気化さ
せた磁性材料をフィルム６に付着させる。
フィルムの熱変形を防止し、且つ蒸着効率を向上させる
ことを目的とする。 【構成】円柱状に形成した冷却キャン７の周面にフィル
ム６を螺旋状に複数回巻付けて走行させつつ、電子ビー
ム銃９を冷却キャン７の長手方向に走査して加熱気化さ
せた磁性材料をフィルム６に付着させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体製造用真
空蒸着装置に関し、特に、蒸着処理工程における非磁性
支持体の熱による変形を抑制し、且つ蒸着効率を向上さ
せる技術に関する。
空蒸着装置に関し、特に、蒸着処理工程における非磁性
支持体の熱による変形を抑制し、且つ蒸着効率を向上さ
せる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で磁性金属を蒸着してバ
インダーを全く含まない金属薄膜の磁性層を有する蒸着
型テープとがある。
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で磁性金属を蒸着してバ
インダーを全く含まない金属薄膜の磁性層を有する蒸着
型テープとがある。
【０００３】ここで、磁気テープでは、テープの磁性層
において実際に記録に使用される部分は、記録波長の１
／４程度と言われ、例えば記録波長が１ＭＨｚであれば
0.25μｍの磁性層厚さがあれば十分であり、蒸着型テー
プは、十分な厚さの磁性層が得られると共に磁性層にバ
インダーを含まないことから磁性材料の密度を高められ
るため、高密度記録に有望であるとされている。
において実際に記録に使用される部分は、記録波長の１
／４程度と言われ、例えば記録波長が１ＭＨｚであれば
0.25μｍの磁性層厚さがあれば十分であり、蒸着型テー
プは、十分な厚さの磁性層が得られると共に磁性層にバ
インダーを含まないことから磁性材料の密度を高められ
るため、高密度記録に有望であるとされている。
【０００４】ところで、この種の蒸着型テープを製造す
るための従来の真空蒸着装置としては、例えば特開平４
−１８３７１号公報等に示されたものがある。このもの
は、真空容器内で、巻出しロールと巻取りロールとでＰ
ＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等からなる高分子
フィルムを連続的に移動させると共に、その移動経路に
円筒状の冷却キャンを設け、前記フィルムを冷却キャン
周面に沿わせて移動させつつ、ルツボ内の強磁性材料を
電子ビーム銃で加熱気化させ、スリットを設けた遮蔽板
によってフィルムの蒸着範囲を規制することで、前記ス
リットを介して蒸気流をフィルムの所定位置に当てて蒸
着して磁性層を形成するよう構成されている。
るための従来の真空蒸着装置としては、例えば特開平４
−１８３７１号公報等に示されたものがある。このもの
は、真空容器内で、巻出しロールと巻取りロールとでＰ
ＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等からなる高分子
フィルムを連続的に移動させると共に、その移動経路に
円筒状の冷却キャンを設け、前記フィルムを冷却キャン
周面に沿わせて移動させつつ、ルツボ内の強磁性材料を
電子ビーム銃で加熱気化させ、スリットを設けた遮蔽板
によってフィルムの蒸着範囲を規制することで、前記ス
リットを介して蒸気流をフィルムの所定位置に当てて蒸
着して磁性層を形成するよう構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、蒸着によっ
てフィルムに磁性層を形成する場合、磁性金属を高温に
加熱気化して蒸気にしてフィルムに付着させるので、高
温雰囲気中にフィルムが曝されることになる。そして、
従来装置では、フィルムを冷却キャンに単に沿わせて移
動させる構成であり、遮蔽板のスッリト上を１度しか通
過せず、蒸着可能な移動領域が短いので、所定の厚さの
磁性層を形成するには、ある程度遅い移動速度で移動さ
せる必要がある。このため、高温雰囲気中に比較的長い
時間、高分子のフィルムが曝されることになり、熱的に
弱いフィルムが熱負けして変形したり、皺が入って品質
が大きく低下する虞れがある。
てフィルムに磁性層を形成する場合、磁性金属を高温に
加熱気化して蒸気にしてフィルムに付着させるので、高
温雰囲気中にフィルムが曝されることになる。そして、
従来装置では、フィルムを冷却キャンに単に沿わせて移
動させる構成であり、遮蔽板のスッリト上を１度しか通
過せず、蒸着可能な移動領域が短いので、所定の厚さの
磁性層を形成するには、ある程度遅い移動速度で移動さ
せる必要がある。このため、高温雰囲気中に比較的長い
時間、高分子のフィルムが曝されることになり、熱的に
弱いフィルムが熱負けして変形したり、皺が入って品質
が大きく低下する虞れがある。
【０００６】本発明は上記の事情に鑑みなされたもの
で、磁性材料の蒸着処理工程における非磁性支持体の熱
変形等を防止することを目的とする。
で、磁性材料の蒸着処理工程における非磁性支持体の熱
変形等を防止することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、真空
ポンプを用いて真空雰囲気が作り出される真空容器内
で、冷却キャンに沿わせて非磁性支持体を連続的に移動
させる一方、冷却キャン下方に配置したルツボに収容さ
れた磁性材料を電子ビーム銃で加熱気化させ、前記冷却
キャンに沿って移動する非磁性支持体に磁性材料を蒸着
するよう構成した磁気記録媒体製造用真空蒸着装置にお
いて、前記冷却キャンを円柱状に形成し、該冷却キャン
周面に前記非磁性支持体を螺旋状に複数回巻付ける構成
とした。
ポンプを用いて真空雰囲気が作り出される真空容器内
で、冷却キャンに沿わせて非磁性支持体を連続的に移動
させる一方、冷却キャン下方に配置したルツボに収容さ
れた磁性材料を電子ビーム銃で加熱気化させ、前記冷却
キャンに沿って移動する非磁性支持体に磁性材料を蒸着
するよう構成した磁気記録媒体製造用真空蒸着装置にお
いて、前記冷却キャンを円柱状に形成し、該冷却キャン
周面に前記非磁性支持体を螺旋状に複数回巻付ける構成
とした。
【０００８】また、前記冷却キャンに、周面に非磁性支
持体の移動を案内するガイド部を設けるようにした。
持体の移動を案内するガイド部を設けるようにした。
【０００９】
【作用】かかる構成において、冷却キャン周面に螺旋状
に非磁性支持体を複数回巻付けて連続的に移動させつ
つ、ルツボの磁性材料面を電子ビーム銃で走査して加熱
気化させて磁性材料を非磁性支持体に蒸着する。このた
め、非磁性支持体は、最初の蒸着処理後、冷却キャンの
周面に沿って移動し、再度蒸着がなされ、ここの蒸着処
理が巻付け回数の数だけ繰り返されることなる。
に非磁性支持体を複数回巻付けて連続的に移動させつ
つ、ルツボの磁性材料面を電子ビーム銃で走査して加熱
気化させて磁性材料を非磁性支持体に蒸着する。このた
め、非磁性支持体は、最初の蒸着処理後、冷却キャンの
周面に沿って移動し、再度蒸着がなされ、ここの蒸着処
理が巻付け回数の数だけ繰り返されることなる。
【００１０】これにより、従来と同様の厚さの磁性層を
形成する場合には、巻付け回数に反比例して１回の蒸着
処理当りの成膜厚さを薄くでき、その分移動速度を速く
できる。そして、蒸着処理後、次の蒸着処理までは冷却
キャン周面に沿って非磁性支持体が移動して冷却される
ので、非磁性支持体の温度上昇を抑制でき、熱による変
形等を防止できる。
形成する場合には、巻付け回数に反比例して１回の蒸着
処理当りの成膜厚さを薄くでき、その分移動速度を速く
できる。そして、蒸着処理後、次の蒸着処理までは冷却
キャン周面に沿って非磁性支持体が移動して冷却される
ので、非磁性支持体の温度上昇を抑制でき、熱による変
形等を防止できる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。本実施例の装置全体を示す図１にお
いて、真空容器１内は、真空ポンプとしてのターボポン
プ２とロータリポンプ３とで真空状態とする。前記真空
容器１内には、巻出しロール４と巻取りロール５とが設
けられ、巻出しロール４から巻出されて巻取りロール５
に巻取られる間で、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）、ポリイミド或いはアラミド等で製造される非磁性
支持体としての高分子のフィルム６は、内部に冷却水が
流れる円柱状の冷却キャン７に図２に示すように、螺旋
状に複数回、例えば５回巻付けられて冷却キャン７の周
面に沿って走行するようになっている。
しながら説明する。本実施例の装置全体を示す図１にお
いて、真空容器１内は、真空ポンプとしてのターボポン
プ２とロータリポンプ３とで真空状態とする。前記真空
容器１内には、巻出しロール４と巻取りロール５とが設
けられ、巻出しロール４から巻出されて巻取りロール５
に巻取られる間で、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）、ポリイミド或いはアラミド等で製造される非磁性
支持体としての高分子のフィルム６は、内部に冷却水が
流れる円柱状の冷却キャン７に図２に示すように、螺旋
状に複数回、例えば５回巻付けられて冷却キャン７の周
面に沿って走行するようになっている。
【００１２】冷却キャン７の斜め下方にはＭｇＯ製のル
ツボ８が置かれ、この中に例えばＣｏ８０％−Ｎｉ２０
％の組成の磁性材料である蒸着物質が入れられている。
そして、ルツボ８中の蒸着物質に対して斜め上方の電子
ビーム銃９から電子ビームを照射し、これにより、蒸着
物質を加熱気化させるようになっている。更に、ルツボ
８と冷却キャン７との間にフィルム６への蒸着物質の蒸
着範囲を規制するためのスリット10Ａを有する遮蔽板10
を配置してある。
ツボ８が置かれ、この中に例えばＣｏ８０％−Ｎｉ２０
％の組成の磁性材料である蒸着物質が入れられている。
そして、ルツボ８中の蒸着物質に対して斜め上方の電子
ビーム銃９から電子ビームを照射し、これにより、蒸着
物質を加熱気化させるようになっている。更に、ルツボ
８と冷却キャン７との間にフィルム６への蒸着物質の蒸
着範囲を規制するためのスリット10Ａを有する遮蔽板10
を配置してある。
【００１３】更に、本実施例の冷却キャン７について詳
述すると、冷却キャン７には、図２に示すように、フィ
ルム６をキャン周面に沿って案内するためのガイド部７
Ａが、螺旋状に形成されている。また、ルツボ８は、冷
却キャン７の長手方向に沿って冷却キャン７と略同等の
長さに形成され、電子ビーム銃９はルツボ８の図２中矢
印で示す長手方向に走査することにより磁性材料を均一
に加熱気化して、冷却キャン７の長手方向の全領域に蒸
気が飛散するようなっている。
述すると、冷却キャン７には、図２に示すように、フィ
ルム６をキャン周面に沿って案内するためのガイド部７
Ａが、螺旋状に形成されている。また、ルツボ８は、冷
却キャン７の長手方向に沿って冷却キャン７と略同等の
長さに形成され、電子ビーム銃９はルツボ８の図２中矢
印で示す長手方向に走査することにより磁性材料を均一
に加熱気化して、冷却キャン７の長手方向の全領域に蒸
気が飛散するようなっている。
【００１４】次に本実施例の真空蒸着装置の動作を説明
する。まず、真空容器１内を、ターボポンプ２とロータ
リポンプ３とで真空雰囲気にした後、巻出しロール４に
フィルム６のロールをセットした後、フィルム６を冷却
キャン７にそのガイド部７Ａに沿って５回巻付けた後、
巻取りロール６に巻き付け、フィルム６を走行させる。
そして、電子ビーム銃９を走査してルツボ８内の磁性材
料を加熱気化させると、フィルム６が遮蔽板10のスリッ
ト10Ａ部分を通過する時にその蒸気が付着して磁性層が
形成される。そして、この場合、巻取りロール５に巻取
られるまでに５回の蒸着処理が行なわれるので、１回当
りの蒸着による成膜厚さは従来に比べて１／５でよいこ
とになる。蒸着により形成される膜の厚さは蒸気に曝さ
れている時間が大きく左右することから、このことは、
従来と同じ成膜厚さに蒸着するとすればフィルム６の走
行速度を５倍の速さに速くできることを意味する。しか
も、蒸着雰囲気に曝されるのが断続的となり、１回の蒸
着処理が終わると次の蒸着処理までの間は、冷却キャン
７の周面に沿って走行するので次の蒸着処理までの間に
フィルム６が冷却されるので、フィルム６の温度上昇を
抑制できフィルム６の熱変形を抑制できる。
する。まず、真空容器１内を、ターボポンプ２とロータ
リポンプ３とで真空雰囲気にした後、巻出しロール４に
フィルム６のロールをセットした後、フィルム６を冷却
キャン７にそのガイド部７Ａに沿って５回巻付けた後、
巻取りロール６に巻き付け、フィルム６を走行させる。
そして、電子ビーム銃９を走査してルツボ８内の磁性材
料を加熱気化させると、フィルム６が遮蔽板10のスリッ
ト10Ａ部分を通過する時にその蒸気が付着して磁性層が
形成される。そして、この場合、巻取りロール５に巻取
られるまでに５回の蒸着処理が行なわれるので、１回当
りの蒸着による成膜厚さは従来に比べて１／５でよいこ
とになる。蒸着により形成される膜の厚さは蒸気に曝さ
れている時間が大きく左右することから、このことは、
従来と同じ成膜厚さに蒸着するとすればフィルム６の走
行速度を５倍の速さに速くできることを意味する。しか
も、蒸着雰囲気に曝されるのが断続的となり、１回の蒸
着処理が終わると次の蒸着処理までの間は、冷却キャン
７の周面に沿って走行するので次の蒸着処理までの間に
フィルム６が冷却されるので、フィルム６の温度上昇を
抑制できフィルム６の熱変形を抑制できる。
【００１５】ここで、フィルム幅１０ｃｍのフィルムを
用い、電子ビーム銃の出力を１００Ｋｗとし、冷却キャ
ン７の温度を２０℃に制御して、Ｃｏ−Ｎｉ合金を１５
００Åの厚さ付着させる場合のフィルム走行速度を、本
実施例のように冷却キャンに５回巻付けて走行させた場
合と、従来の冷却キャンに巻付けないで走行させた場合
とで測定した。
用い、電子ビーム銃の出力を１００Ｋｗとし、冷却キャ
ン７の温度を２０℃に制御して、Ｃｏ−Ｎｉ合金を１５
００Åの厚さ付着させる場合のフィルム走行速度を、本
実施例のように冷却キャンに５回巻付けて走行させた場
合と、従来の冷却キャンに巻付けないで走行させた場合
とで測定した。
【００１６】本実施例の５回巻付けた場合は、フィルム
の走行速度は５０ｍ／分であるのに対し、従来の巻付け
ない場合は、フィルムの走行速度は１０ｍ／分にする必
要があった。そして、従来の冷却キャンにフィルムを巻
付けない場合には、１０００ｍ走行する間に１〜２度の
皺が入った。このように、冷却キャン７の周面にフィル
ムを螺旋状に複数回巻付けることで、同一厚さの磁性層
を蒸着するのにフィルム６の走行速度を巻付け回数分従
来に比べて速くできるので、フィルムの蒸着処理時間を
短縮できる。また、蒸着処理が断続的に行なわれ、蒸着
処理と蒸着処理との間は、冷却キャン７によってフィル
ム６が冷却されるので、フィルム６の温度上昇が抑制で
き、フィルム６の熱変形を抑制でき、皺等による品質の
低下を防止できる。従って、特に、薄いフィルムの蒸着
処理に有効である。そして、冷却キャン７の周面には、
フィルム６の走行を案内するガイド部７Ａが設けられて
いるので、フィルム６の走行が安定する。
の走行速度は５０ｍ／分であるのに対し、従来の巻付け
ない場合は、フィルムの走行速度は１０ｍ／分にする必
要があった。そして、従来の冷却キャンにフィルムを巻
付けない場合には、１０００ｍ走行する間に１〜２度の
皺が入った。このように、冷却キャン７の周面にフィル
ムを螺旋状に複数回巻付けることで、同一厚さの磁性層
を蒸着するのにフィルム６の走行速度を巻付け回数分従
来に比べて速くできるので、フィルムの蒸着処理時間を
短縮できる。また、蒸着処理が断続的に行なわれ、蒸着
処理と蒸着処理との間は、冷却キャン７によってフィル
ム６が冷却されるので、フィルム６の温度上昇が抑制で
き、フィルム６の熱変形を抑制でき、皺等による品質の
低下を防止できる。従って、特に、薄いフィルムの蒸着
処理に有効である。そして、冷却キャン７の周面には、
フィルム６の走行を案内するガイド部７Ａが設けられて
いるので、フィルム６の走行が安定する。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、蒸
着処理が断続的に行なわれその間は冷却キャンによって
非磁性支持体を冷却できるので、非磁性支持体の温度上
昇を抑制でき、非磁性支持体の熱変形を防止でき、皺等
による品質の低下を防止できる。このため、特に薄い非
磁性支持体に磁性層を蒸着する場合に有効である。ま
た、非磁性支持体の走行速度を速くできるので、磁性層
の蒸着処理作業の効率を向上できる。
着処理が断続的に行なわれその間は冷却キャンによって
非磁性支持体を冷却できるので、非磁性支持体の温度上
昇を抑制でき、非磁性支持体の熱変形を防止でき、皺等
による品質の低下を防止できる。このため、特に薄い非
磁性支持体に磁性層を蒸着する場合に有効である。ま
た、非磁性支持体の走行速度を速くできるので、磁性層
の蒸着処理作業の効率を向上できる。
【００１８】また、冷却キャンに非磁性支持体の走行を
案内するガイド部を設けてあるので、非磁性支持体が冷
却キャン周面を走行する際の安定性がよい。
案内するガイド部を設けてあるので、非磁性支持体が冷
却キャン周面を走行する際の安定性がよい。
【図１】本発明に係わる真空蒸着装置の一実施例を示す
構成図
構成図
【図２】同上実施例の冷却キャンの使用状態の側面図
１ 真空容器 ２ ターボポンプ ３ ロータリポンプ ４ 巻出しロール ５ 巻取りロール ６ フィルム ７ 冷却キャン ７Ａ ガイド部 ８ ルツボ ９ 電子ビーム銃 10 遮蔽板 10Ａ スリット
Claims (2)
- 【請求項１】真空ポンプを用いて真空雰囲気が作り出さ
れる真空容器内で、冷却キャンに沿わせて非磁性支持体
を連続的に移動させる一方、冷却キャン下方に配置した
ルツボに収容された磁性材料を電子ビーム銃で加熱気化
させ、前記冷却キャンに沿って移動する非磁性支持体に
磁性材料を蒸着するよう構成した磁気記録媒体製造用真
空蒸着装置において、 前記冷却キャンを円柱状に形成し、該冷却キャン周面に
前記非磁性支持体を螺旋状に複数回巻付ける構成とした
ことを特徴とする磁気記録媒体製造用真空蒸着装置。 - 【請求項２】前記冷却キャンが、周面に非磁性支持体の
移動を案内するガイド部を有することを特徴とする請求
項１記載の磁気記録媒体製造用真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25846392A JPH06111316A (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 磁気記録媒体製造用真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25846392A JPH06111316A (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 磁気記録媒体製造用真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06111316A true JPH06111316A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17320579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25846392A Pending JPH06111316A (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 磁気記録媒体製造用真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06111316A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010520599A (ja) * | 2007-03-08 | 2010-06-10 | コリア アドバンスト インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジ− | 超電導テープ線材の連続製造装置 |
| JP2013161570A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Nitto Denko Corp | 有機ｅｌデバイスの製造方法及び製造装置 |
-
1992
- 1992-09-28 JP JP25846392A patent/JPH06111316A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010520599A (ja) * | 2007-03-08 | 2010-06-10 | コリア アドバンスト インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジ− | 超電導テープ線材の連続製造装置 |
| JP2013161570A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Nitto Denko Corp | 有機ｅｌデバイスの製造方法及び製造装置 |
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