JPS6154043A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録
媒体の製造方法に関し、さらに詳しくは、耐食性に優れ
た前記の磁気記録媒体の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

強磁性金属″ａ膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通
常、ポリエステルフィルムなどの基体を真空槽内に取り
つけた円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、この基
体に強磁性材を真空蒸着する。

などしてつくられており、高密度記録に適した特性を有
するが、反面空気中に静置しておくと、腐食されて飽和
磁束密度などの磁気特性が劣化するなどの難点がある。

このため、従来から強磁性金属薄膜層上に種々の保護膜
層を設けることによって耐食性を改善することが行われ
ており。たとえば、有機高分子化合物などからなる保護
膜層を強磁性金属薄膜層上に設けたりすることが行われ
ている。（特開昭５８−１０２３３０号） ところが、このように強磁性金属薄膜層上に保護膜層を
設ける方法では、強磁性金属薄膜層形成後、さらにこの
上に保護膜層を設けなければならない面倒がある上、こ
の保護膜層の介在によって電磁変換特性が劣化するのを
免れることができず、また、強磁性金属薄膜層に対する
保護膜層の接着性も充分に良好でないため耐食性の改善
も充分に満足できるものではない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

・そこで、この発明者らは、かかる欠点を改善するため
種々検討を行った結果、円筒状キャンを加熱したりして
、円筒状キャンに沿って移動する基体を加熱しながら比
較的高温下で真空蒸着を行うと、粒子径が大きく比表面
積が小さい強磁性材粒子からなる強磁性金属薄膜層が形
成されて、耐食性が改善されることを見いだしたが、同
時に、この方法ではポリエステルフィルムなどのプラス
チック製基体を円筒状キャンの加熱によって直接加熱し
ているため、このプラスチック製基体の耐熱温度以下の
範囲でしか加熱することができず、その結果、充分に粒
子径が大きくて比表面積が小さい強磁性材粒子からなる
強磁性金属薄膜層を形成することができず、いまひとつ
耐食性を充分に改善することができないことも判明した
。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明はかかる問題点を解消するため種々検討を行っ
た結果なされたもので、真空雰囲気内で基体に強磁性材
蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し向けて強磁性金属薄
膜層を形成するにあたり、基体に差し向けられる強磁性
材の蒸気流およびこの蒸気流により基体上に析出される
強磁性材の生成粒子に、波長が０．２μｍ〜１０μｍの
範囲で基体に吸収されない波長の光を照射することによ
って、基体を加熱することなく、強磁性材の蒸気流およ
びこの蒸気流により基体上に析出される強磁性材の生成
粒子のみを加熱し、粒子径が大きく比表面積が小さい強
磁性材粒子からなる強磁性金属薄膜層を形成して、電磁
変換特性をそれほど低下させることなく、耐食性を充分
に改善したものである。

この発明において使用する、波長が０．２μｍ〜１０μ
ｍの光は、強磁性材の蒸気流やこの蒸気流によって基体
上に析出された島状の黒い強磁性材の生成粒子には吸収
されるが、プラスチック製基体には吸収されない光で、
このような光を強磁性材の蒸気流およびこの蒸気流によ
り基体上に析出される島状の黒い強磁性材の生成粒子に
照射しながら真空蒸着を行、ているため、この光により
プラスチック製基体は加熱されることなく、強磁性材の
蒸気流および蒸気流により基体上に析出される島状の黒
い強磁性材の生成粒子のみが加熱される。従って、プラ
スチック製基体の耐熱温度以上の高温下で、基体が熱変
形することもなく、真空蒸着が良好に行われ、強磁性材
粒子の運動エネルギーが極めて大きくなるため、粒子径
が大きく、比表面積が小さい強磁性材粒子からなる強磁
性金属’ｆ！ｌ　Ｎｉｌ　Ｍが形成され、電磁変換特性
をそれほど劣化させることな（耐食性が充分に改善され
る。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図はこの発明で使用する真空蒸着装置の１例の断面
図を示したものであり、１は真空槽で、この真空槽１の
内部は排気系２により所定の真空に保持される。３は真
空槽１の中央部に配設された円筒状キャンであり、ポリ
エステルフィルム等のプラスチック製基体４は、原反ロ
ール５からこの円筒状キャン３の周側面に沿って移動さ
れ、巻き取りロール６に巻き取られる。この間真空槽１
内の円筒状キャン３の周側面に沿って移動する基体４に
対向して真空槽１の下部に配設された強磁性材蒸発源７
で強磁性材８が加熱蒸発され、この強磁性材８の蒸気流
Ａが基体４に差し向けられると同時に、真空槽１の側壁
に設けられた光透過用窓９を介して、真空槽１の近傍に
配設された光源１０から波長０．２μｍ−１０μｍの光
が蒸気流Ａおよび基体４上に析出された島状で黒い強磁
性材の生成粒子に向かって照射され、真空蒸着が行われ
る。

ここで、蒸気流Ａおよび基体４上に析出された島状で黒
い強磁性材の生成粒子に向かって照射される波長が０．
２μｍ−１０μｍの光は、ポリエステルフィルム等のプ
ラスチック製基体４には吸収されず、蒸気流人および基
体４上に析出された島状の黒い強磁性材の生成粒子にの
み吸収されるため、この光によって基体４は全く加熱さ
れず、蒸気流Ａおよび基体４上に析出された島状の黒い
強磁性材の生成粒子のみが加熱されて真空蒸着が行われ
る。その結果、ポリエステルフィルム等の耐熱温度の低
いプラスチック製基体４を使用してもこれらは加熱され
ないため熱変形等が生じることもなく、このプラスチッ
ク製基体４の耐熱温度以上の比較的高温での真空蒸着が
行われ、粒子径が大きく、比表面積の小さい強磁性材粒
子からなる強磁性金属薄膜層が形成されて、耐食性に優
れた磁気記録媒体が得られる。

このように、ポリエステルフィルム等のプラスチック製
基体４には吸収されず、蒸気流Ａおよび基体４上に析出
された島状の黒い強磁性材の生成粒子のみに吸収される
波長が０．２μｍ〜１０μｍの光を照射する光源１０と
しては、赤外および紫外などの各種レーザー、Ｈｇラン
プ、Ｘｅランプ等が好ましく使用され、必要に応じて分
光器あるいは光学レンズ等を用いて照射される。この際
、基体４の幅に比べ光のスポット径が小さい場合は、適
度な速度で走査することにより、強磁性材の蒸気流Ａお
よび基体４上に析出された島状の黒い強磁性材の生成粒
子に、常に均一に光が照射される。このような光源１０
のパワー密度は１００Ｗ／ｃＡ〜１０００Ｗ／ｃ！１の
範囲内で、照射時間は２秒〜３０秒の範囲内であること
が好ましく、光源のパワー密度が１００Ｗ／ｃｄより小
さかったり、照射時間が２秒より短いと蒸気流Ａおよび
基体４上に析出された島状の黒い強磁性材の生成粒子を
充分に加熱して所期の効果を得ることができず、光源の
パワー密度が１００ＯＷ／ｃｄより大きかったり、照射
時間３０秒より長いと熱伝導により基体４がダメージを
受けやすくなる。

なお、図中１１は強磁性材蒸発源７からの蒸気流Ａの入
射角を調整するための防着板である。

基体としては、ポリエステルフィルムの他、耐熱性がそ
れほど良好でないポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、
ポリアミド、ポリイミド等一般に使用されているプラス
チック製の基体がいずれも使用される。

また、強磁性金属薄膜層の形成材料としては、Ｃ０１Ｎ
ｉ、Ｆｅ等の金属、ｃｏ　−Ｎ　ｉ　ｓ　Ｃｏ−Ｃｒ等
の合金あるいはこれらの金属および合金の酸化物、およ
びＣｏ　　Ｐ　ＳＣｏ　−Ｎ　ｉＰなど、一般に真空蒸
着に使用される強磁性材がいずれも好適に使用される。

また、磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルム、
ポリイミドフィルムなどのプラスチックフィルムを基体
とする磁気テープ、プラスチックフィルム、アルミニウ
ム板およびガラス板等からなる円盤やドラムを基体とす
る磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッドと摺接す
る構造の種々の形態を包含する。

〔実施例〕

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 第１図に示す真空蒸着装置を使用し、厚さが１０８ｍの
ポリエステルフィルム４を、原反ロール５より円筒状キ
ャン３の周側面に沿って移動させ、巻き取りロール６に
巻き取るようにセットするとともに、強磁性材蒸発源７
にコバルト８をセットした。次いで、排気系２で真空槽
１内を約１×１０°５トールに真空排気して、ポリエス
テルフィルム４を０　、５　ｍ　／ｌｓ　ｉ　ｎの速度
で走行させ、強磁性材蒸発源７内のコバルト８を加熱蒸
発するとともに、光源Ｎｄガラスレーザー１０から波長
１．０６μｍの光をパワー密度３００　Ｗ／ｃｎｌで照
射しながら真空蒸着を行い、コバルトからなる厚さが１
２００人で、飽和磁束密度が８５００ガウスの強磁性金
属Ｖ＃成膜を形成した。しかる後、所定の幅に裁断して
、磁気テープをつくった。

実施例２ 実施例１において、Ｎｄガラスレーザーに代えて、ルビ
ーレーザーで波長が０．６９４３μｍの光をパワー密度
８００　Ｗ／ｅｌｆで照射した以外は実施例１と同様に
して真空蒸着を行い、厚さが１３００人で、飽和磁束密
度が８０００ガウスのコバルトからなる強磁性金属薄膜
層を形成し、磁気テープをつくった。

比較例１ 実施例１において、Ｎｄガラスレーザーでの光の照射を
省いた以外は、実施例１と同様にして真空蒸着を行い、
厚さが１５００人で、飽和磁束密度が７５００ガウスの
コバルトからなる強磁性金泥薄ＢｒＡＭを形成し、磁気
テープをつくった。

各実施例および比較例で得られた磁気テープについて、
耐食性を試験した。耐食性試験は、６０℃、９０％ＲＨ
の雰囲気中に得られた磁気テープを１週間放置して放置
後の飽和磁束密度を測定し、初期の飽和磁束密度からの
劣化率を算出して行った。

下表はその結果である。

表 〔発明の効果〕 上表から明らかなように、この発明で得られた磁気テー
プ（実施例１および２）は、比較例１で得られた磁気テ
ープに比し、飽和磁束密度の劣化率が小さく、このこと
からこの発明の製造方法によれば、耐食性が一段と向上
された磁気記録媒体が得られることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の１例を示す概略断面図である。 １・・・真空槽、３・・・円筒状キャン、４・・・プラ
スチック製基体（基体）、７・・・強磁性材蒸発源、８
・・・強磁性材、９・・・光透過用窓、１０・・・光源
、Ａ・・・蒸気流

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、真空雰囲気内で基体に強磁性材蒸発源から強磁性材
   の蒸気流を差し向けて強磁性金属薄膜層を形成するにあ
   たり、基体に差し向けられる強磁性材の蒸気流およびこ
   の蒸気流により基体上に析出される強磁性材の生成粒子
   に、波長が０．２μｍ〜１０μｍの範囲で基体に吸収さ
   れない波長の光を照射しながら強磁性金属薄膜層を形成
   することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法