JPH0516089B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体の
製造方法に関し、特に、強磁性金属薄膜形成後の
カールを矯正するための処理方法に関する。

従来、高密度記録が可能な磁気記録媒体とし
て、磁性層を強磁性金属薄膜で形成した強磁性金
属薄膜型磁気記録媒体、所謂蒸着テープが注目さ
れている。この強磁性金属薄膜型磁気記録媒体に
おいては、塗布型のテープと比較して磁性層の厚
さを極めて薄くすることができるので長時間記録
が可能となるとともに高城周波数特性が良好なも
のとなることが知られている。

ところで、この種の磁気記録媒体にあつては、
上記強磁性金属薄膜を形成する手段として真空蒸
着法等を用いるため非磁性支持体であるベースフ
イルムに熱的損傷を受け易く、また、このベース
フイルム上に蒸発金属原子が再結晶して薄膜とな
る際に収縮して内部応力が発生し、第１図に示す
ように非磁性支持体１が強磁性金属薄膜２が内側
となるように凹状にカールしてしまうという欠点
を有している。このようなカールが生ずると、こ
の磁気記録媒体と磁気ヘツドの当りが悪くなつ
て、再生出力が低下してしまつたり巻き乱れが生
じたりする。

そこで従来、上述のようなカールを解消するた
めに種々の方法が提案されている。

例えば、上記磁気記録媒体の裏面側、すなわち
磁性層と反対側にバツクコート層を設け、このバ
ツクコート層が反対方向に彎曲しようとする力で
上記カールを解消することが試みられている。

しかしながら、上述のようにバツクコート層に
よりカールを解消するという方法では、カールを
打ち消すような機能を有する特別なフイルムある
いは塗膜を形成しなければならないので製造コス
トの増大や工程の煩雑化を惹起するばかりか、こ
の磁気記録媒体を繰り返し使用しているうちに磁
性層が摩耗したり損傷したりして収縮力のバラン
スが崩れ反対側、すなわちバツクコート層側が内
側となるようにカールしてしまうというような慮
れもある。

また、ニツプロールで圧力を加えて熱ロールに
密着させたり、熱処理装置を用いて上記磁気記録
媒体を張力を与えながら加熱する等して非磁性支
持体を熱収縮させ、上記カールを解消するという
方法も提案されているが、この場合には、 (1) 非磁性支持体は表面からの熱伝導により加熱
されるので、表面付近と中心部とでは温度差が
大きく、短時間に上記非磁性支持体を均一に加
熱することができず、処理するのに長時間を要
する。

(2) 処理時間を短縮するために熱ロールや雰囲気
温度を上げると非磁性支持体の表面が変質した
りして磁性層にまで損傷を与える虞れがある。

(3) 装置が大がかりなものとなつて設備にかかる
費用が多大なものとなる。

等の問題が生じている。

そこで本発明は、上述の従来技術の有する欠点
を解消するために提案されたものであつて、製造
コストを増大することなく、簡単にしかも短時間
でカールの無い平坦な磁気記録媒体を得ることが
可能な磁気記録媒体の製造方法を提供することを
目的とする。

本発明者等は、上記目的を達成せんものと鋭意
研究の結果、遠赤外線の照射によつて上記カール
を簡単に解消することができることを見出し本発
明を完成したものであつて、非磁性支持体上に強
磁性金属薄膜を形成してなる磁気記録媒体に対
し、遠赤外線を照射することにより上記磁気記録
媒体のカールを矯正することを特徴とするもので
ある。

以下、本発明を適用した強磁性金属薄膜型磁気
記録媒体の製造方法をその工程順序に従つて説明
する。

本発明においては、先ず、非磁性支持体上に金
属磁性材料よりなる強磁性金属薄膜を被着形成す
る。

上記非磁性支持体としては、磁気記録媒体を製
造するのに従来より使用されているものであれば
何れも使用でき、例えば、ポリエチレンテレフタ
レート等のポリエステル、ポリプロピレンなどの
ポリオレフイン、セルローストリアセテート、セ
ルロースジアセテート等のセルロース誘導体、ポ
リカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリイミド等
の高分子物質等が挙げられる。

上記金属磁性材料としては、強磁性薄膜を形成
しうるものであれば何れでも使用でき、例えば、
鉄Fe、コバルトCo、ニツケルNi等の金属、ある
いはCo−Ni合金、Fe−Co合金、Fe−Ni合金、
Co−Ni−Fe−Ｂ合金等の合金が挙げられる。

また、上記強磁性薄膜の被着手段としては、真
空蒸着法やイオンプレーテイング法、スパツタ法
等が挙げられる。

上記真空蒸着法は、10^-4〜10^-8Torrの真空下
で金属磁性材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビ
ーム加熱等により蒸発させ、非磁性支持体上に蒸
発金属（金属磁性材料）を沈着させるというもの
であり、斜方蒸着と垂直蒸着に大別される。上記
斜方蒸着は高い抗磁力を得るために非磁性支持体
に対して強磁性材料を斜めに蒸着するものであつ
て、より高い抗磁力を得るために上記斜方蒸着を
酸素雰囲気中で行なうものも含まれる。上記垂直
蒸着は蒸着効率を向上し高い抗磁力を得るため
に、非磁性支持体上にビスマスBi、タリウムTl、
アンチモンSb、ガリウムGa、ゲルマニウムGe等
の下地金属層を形成後、この下地層上に金属磁性
材料を垂直に蒸着するものである。

上記イオンプレーテイング法は、10^-4〜
10^-3Torrの不活性ガス、通常はアルゴンガスを
主成分とする雰囲気中でDCグロー放電、RFグロ
ー放電を起こし、放電中で金属を蒸発させるとい
うものである。

上記スパツタ法、10^-3〜10^-1Torrのアルゴン
を主成分とする雰囲気中でグロー放電を起し、生
じたアルゴンイオンでターゲツト表面の原子をた
たき出すというものであり、グロー放電を起こす
方法により直流２極、３極スパツタ法及び高周波
スパツタ法、また、マグネトロン放電を利用した
マグネトロンスパツタ法等がある。

さらに、上記磁気記録媒体の強磁性金属薄膜被
着形成面と反対側の面に所謂バツクコート層を設
け潤滑性や帯電性等の改善を図つてもよい。

次に、このようにして得られる磁気記録媒体に
対して遠赤外線ヒータを用いて波長が５〜1000μ
ｍの遠赤外線を照射する。

上記遠赤外線を照射すると、上記磁気記録媒体
の非磁性支持体やバツクコート層を構成する有機
分子の振動スペクトルに応じた振動数の赤外線が
吸収され、上記有機分子の分子振動が活発になり
上記非磁性支持体やバツクコート層が発熱し熱収
縮してカールが解消される。一般に、上記非磁性
支持体等を構成する有機分子は、３〜100μｍの
波長範囲に振動スペクトルを有しており、遠赤外
線の波長域と合致するためこの遠赤外線をよく吸
収する。これに対して、例えば、従来から熱源と
して使用されていた赤外線ランプや石英管等から
放射される波長2μｍ以下の近赤外線は、そのエ
ネルギーは大きいが有機分子の振動スペクトルと
波長域が一致しないためほとんど吸収されない。
したがつて、遠赤外線を用いれば、エネルギーは
小さくても利用効率が極めて高くなり、また輻射
による加熱であるので上記非磁性支持体の内部ま
でエネルギーが速やかに吸収され極めて短時間に
均一な加熱が進行する。

特に、上記遠赤外線を、上記非磁性支持体の磁
性層が形成される側と反対側、すなわちバツクコ
ート層が形成される場合にはバツクコート層側か
ら照射してやれば、蒸着金属からなる磁性層との
境界面で上記磁性層が照射エネルギーを反射して
エネルギーの利用効率はさらに高まる。

また、上記遠赤外線を用いれば、非磁性支持体
の熱収縮に必要な温度上昇が容易なものであるの
で、不必要に外部温度を上げ極部的に上記磁気記
録媒体を加熱してこの磁気記録媒体を損傷するこ
ともない。

ところで、上記磁気記録媒体のカールを解消す
るのに必要な遠赤外線の照射量は、使用する非磁
性支持体の厚さや種類によつて異なるので、製造
する磁気記録媒体の種類に応じて適宜変更すれば
よい。この場合、上記遠赤外線ヒータに対する磁
気記録媒体の走行スピード等を変えることにより
コントロールすればよい。したがつて、上記遠赤
外線ヒータの出力をある程度高めておけば、処理
速度を速めることが可能である。

上述のように遠赤外線を照射することによつて
カールの無い平坦な磁気記録媒体が製造される。

なお、上記真空蒸着の如き強磁性金属薄膜被着
工程と遠赤外線照射工程は一連の連続システムと
してもよい。

以上述べたように、本発明においては、遠赤外
線ヒータという簡単な装置を用いることで、短時
間の処理により極めて平坦な磁気記録媒体を得る
ことが可能である。

次に、本発明の実施例について説明する。な
お、本発明がこの実施例に限定されるものでない
ことは言うまでもない。

実施例 非磁性支持体として幅250mm、厚さ9μｍのポリ
エチレンテレフタレートフイルルムを用い、この
フイルム上に第２図に示すような蒸着装置を用い
てコバルトCoを加熱蒸発させ、蒸着層の厚さが
1000Åとなるように蒸着を行なつた。

上記蒸着装置は、所定の真空度、例えば約１×
10^-3μｍ以下にした真空槽１１に、蒸着物質を蒸
着させる非磁性支持体、すなわち上記フイルム１
２が、ローラ１３から案内ローラ１４を介して巻
取りローラ１５に巻取られるように配置されてい
る。そして、上記真空槽１１の下部に設けられる
加熱手段１７中に上記コバルト１８を入れ、加熱
して蒸発させて上記フイルム１２の表面に所定範
囲の入射角θ、例えば50゜ないし90゜で蒸着させ、
強磁性金属薄膜２０を被着形成した。なお、この
とき所定の入射角を確保するために、遮蔽部１９
を設けて、フイルム１２表面の不要部分に蒸発粒
子が直接入射しないようにした。

さらに、上記フイルム１２の強磁性金属薄膜２
０が形成される面と反対側の面に、カーボンブラ
ツク100重量、ポリウレタン樹脂（日本ポリウレ
タン社製、Ｎ−2304）50重量部をボールミルにて
40時間混練し、硬化剤コロネートＬ−50（日本ポ
リウレタン社製）を上記ポリウレタン樹脂に対し
て20重量％添加したバツクコート塗料を塗布して
膜厚2μｍのバツクコート層２１を形成した。

得られた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体に対し
て第３図に示すような遠赤外線ヒータ２２を用い
上記バツクコート層２１側から遠赤外線を照射し
た。なお、上記遠赤外線ヒータ２２は出力1KW、
ヒータ面温度350℃、ヒータ面の大きさ300mm×
400mmのものを用い、上記磁気記録媒体との距離
ｄが50mmとなるようにこの磁気記録媒体に対して
水平に配置した。

磁気記録媒体の走行スピードと得られる磁気記
録媒体のカール量の関係を第４図に示す。なお、
上記カール量は、得られた磁気記録媒体から10mm
×15mmの試料を切り取り、第５図に示すように短
辺側における弧の高さｈで示す量であり、金属薄
膜２０側に凹状にカールしている場合をプラス
＋、バツクコート層２１側に凹状にカールしてい
る場合をマイナス−で表わした。

また、第６図に磁気記録媒体の走行スピードと
非磁性支持体の熱収縮率の関係を示す。

上記第４図から、本実施例においては、磁気記
録媒体を１分間当り約30ｍとすればカールを解消
することができることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図は強磁性金属薄膜型磁気記録媒体のカー
ル状態を示す断面図である。第２図は本発明の実
施例における強磁性金属薄膜被着工程を示す概略
図、第３図は遠赤外線照射工程を示す概略図であ
る。第４図は遠赤外線照射工程における磁気記録
媒体の走行スピードと得られる磁気記録媒体のカ
ール量の関係を示すグラフであり、第５図はカー
ル量を説明する断面図である。第６図は遠赤外線
照射工程における磁気記録媒体の走行スピードと
非磁性支持体の熱収縮率の関係を示すグラフであ
る。 １２……非磁性支持体、２０……強磁性金属薄
膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を形成して
   なる磁気記録媒体に対し、遠赤外線を照射するこ
   とにより上記磁気記録媒体のカールを矯正するこ
   とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。