JPH0214424A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、真空蒸着法により非磁性支持体上に磁性膜が
成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法に関する。

Ｂ２発明の概要 本発明は、非磁性支持体上に真空蒸着法により磁性薄膜
を成膜するに際し、前記非磁性支持体の幅方向の中心と
蒸発源の幅方向での中心とが互いに異なるように対向し
て配置することにより、該非磁性支持体上に成膜される
磁性膜の膜厚を均一にし得る磁気記録媒体の製造方法を
提供しようとするものである。

Ｃ０従来の技術 従来より磁気記録媒体としては、非磁性支（，１体上に
酸化物磁性扮宋或いは合金磁性粉末等の粉末磁性材料を
塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体。

ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダ
ー中に分散せしめた磁性塗料を塗布・乾燥することによ
り作製される塗布型の磁気記録媒体が広く使用されてい
る。

これに対しで、高密度磁気記録への要求の高まりととも
に、Ｇｏ−Ｎｔ金合金Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｇｏ−０等の金
屈磁性材料を、メツキや真空薄膜形成手段（真空蒸着法
やスパッタリング法、イオンブレーティング法等）によ
っ”でポリエステルフィルムやボリイ之トフィルム等の
非磁性支持体上に直接被着した、いわゆる金属磁性薄膜
型の磁気記録媒体が提案され注目を集めている。この金
属磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁力や角形比等に優れ
、短波長での電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性
層の厚みを極めて薄くすることが可能であるため記録減
磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性層中に
非磁性材であるバインダーを混入する必要がないため磁
性材料の充填密度を高めることができること等、数々の
利点を有している。

Ｄ６発明が解決しようとする課題 ところで、上述のような薄膜形成手段の内、真空蒸着法
により非磁性支持体上に磁性材料を被着形成する磁気記
録媒体の製造方法では、送りロールに巻回されたテープ
状の非磁性支持体を大径となされたキャンに引き出し、
該キャンの周面を走行させる際に磁性薄膜を被着形成す
るようにしている。

しかしながら、上記従来の磁気記録媒体の製造方法では
、上記非磁性支持体に被着させる磁性材料が収納される
収納容器が、上記非磁性支持体の幅と略同じ長さからな
るために、この収納容器内に磁性材料を補充すると、補
充された磁性材料付近の温度が下がり該磁性材料の温度
分布が不均一となるために、磁性層となる磁性薄膜が均
一に被着されない場合がある。

すなわち、従来の磁気記録媒体の製造方法では、この製
造方法に使用される磁性材料の収納容器が非磁性支持体
の幅と略同じ幅であるために均一な膜厚を有する磁気記
録媒体を製造することができず、歩留まりを向上するこ
とができない。

そこで本発明は、上記従来の技術が有する課題を解決す
るために提案されたものであって、非磁性支持体上に被
着形成される磁性膜の膜厚を均一にするとともに歩留ま
りを向上し得るようにすることを目的とするものである
。

Ｅ９課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために、非磁性支持体上に
真空蒸着法により磁性薄膜を成膜するに際し、前記非磁
性支持体の幅方向の中心と蒸発源の幅方向での中心とが
互いに異なるように対向して配置するようになしたこと
を特徴とするものである。

本発明により製造される磁気記録媒体の磁性材料は、通
常この種の磁気記録媒体の使用されるものであれば何れ
の材料でも良いが、好ましくは、金属磁性材料を使用し
た方が良い。ここで、磁性薄膜を構成する金属材料とし
ては、通常この種の媒体で使用されるものがいずれも使
用可能である。

例示すれば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の磁性金属や、Ｉ？５
−Ｃｏ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ。

Ｃｏ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−ＣｒＦｅ
−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等である。

非磁性支持体の材料としても通常使用されるものが使用
でき、例えばポリエチレンテレフタレートポリエチレン
−２，６−ナフタレート等のポリエステル樹脂や芳香族
ポリアミドフィルム、ポリイミド樹脂フィルム等が挙げ
られる。

そして本発明においては、真空蒸着法により前記磁性材
料を上記非磁性支持体上に被着形成するものである。こ
の真空蒸着法は、真空となされた装置内に、蒸発源とし
ての前記磁性材料を所定の収納容器内に充填し、この充
填された磁性材料を加４Ｑ手段により加熱蒸発させて、
非磁性支持体に被着形成するようにすれば良いが、上記
蒸発源は、非磁性支持体の幅方向の中心１と蒸発源の幅
方向での中心が、互いに異なるように対向して配設する
ことが必要である。

なお、上記真空蒸着法は、非磁性支持体上に斜めに蒸着
させる所謂斜方蒸着に限らず、垂直に蒸着する垂直蒸着
による場合でも良い。

Ｆ０作用 上述のような構成からなる本発明の磁気記録媒体の製造
方法によれば、非磁性支持体の幅方向の中心と蒸発源の
幅方向での中心とが互いに異なるように対向して配置す
るようになされているので、新たに補充された蒸発源と
既に充填され加熱されている蒸発源との温度差が蒸発す
る蒸発源の量に影響を及ぼすことがない。したがって、
非磁性支持体上に被着形成される磁性薄膜は均一となさ
れる。

Ｇ、実施例 以下、本発明を通用した磁気記録媒体の製造方法の実施
例を具体的に説明する。

先ず、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法に使用さ机
る製造装置の一例について説明する。

この製造装置は、第４図に示すように、内部が真空状態
となされた真空室１内に、テープ状の非磁性支持体２が
、図中反時計回り方向に定速回転する送りロール３から
図中反時計回り方向に定速回転するようにされた巻取り
ロール４に順次走行するようにされている。

そして、上記送りロール３から巻取りロール４側に走行
する中途部には、上記非磁性支持体２を図中下方に引き
出すように配設されるとともに上記各ロール３，４の径
よりも大径となされた冷却キャン５が図中時計回り方向
に定速回転するように設けられている。なお、上記送り
ロール３．壱取りロール４及び冷却キャン５は、それぞ
れ非磁性支持体２の幅と略同じ長さからなる円筒状をな
すものであり、また、上記冷却キ十７５には、内部に図
示しない冷却装置が設けられ、上記非磁性支持体２の温
度上昇による変形等を抑制し得るようになされている。

したがって、」：記非磁性支持体２は、送りロール３か
ら順次図中矢印入方向に送り出され、さらに上記冷却キ
ャン５の周面を通過して巻取りロール４に巻取られて行
くようにされている。なお、上記送りロール３と上記冷
却キャン５との間及び該冷却キャン５と上記巻取リロー
ル４との間にはそれぞれガイドロール６．７が配設され
、上記送りロール３から冷却キャン４及び該冷却キャン
５から巻取りロール４に亘って走行する非磁性支持体２
に所定のテンションをかけ、該非磁性支持体２が円滑に
走行するようになされている。

また、上記真空室ｌ内には、上記冷却キャン５の下方に
収納容器８が設けられ、この収納容器８内には蒸発源で
ある金属磁性材料９が充填されている。また、上記冷却
キャン５の側方には加熱手段である電子ビーム銃１０が
配設されている。この電子ビーム銃１０は、上記収納容
器８内に充填された金属磁性材料９を加熱蒸発させるも
のであり、この電子ビーム銃１０によって蒸発した金属
磁性材料９は、上記冷却キャン５の周面を定速走ｊ〒す
る非磁性支持体２上に磁性層として被着形成されるよう
になされている。

また、上記冷却キャン５と上記金属磁性材料９の収納容
器８との間であって該冷却キャン５の近傍には、冷却キ
ャン５の周面と対向するように湾曲形成されたシャッタ
１１が配設されている。このシャッタ１１は、上記金属
磁性材料９が上記非磁性支持体２に対して所定角度範囲
で斜めに蒸着されるように該支持体２の所定範囲を覆う
ものである。

そして、本装置における上記金属磁性材料９が充填され
た収納容器８は、第１図に示すように、直方体状となさ
れており、この収納装置８の長手方向の幅１２は、上記
冷却キャン５の側面を走行する非磁性支持体２の幅ｚＬ
よりも幅広に形成され、該非磁性支持体２の幅方向の中
心と上記金屈磁性膜９が充填された収納容器８の長さ方
向との中心とが互いに異なるようになされている。なお
、上記収納容器８内に充填された金属磁性材料１〕は、
前述のように、前記電子ビーム銃ＩＯにより照射されて
加熱され蒸発するようになされているが、この電子ビー
ム銃１０による電子ビームは、上記非磁性支持体２の幅
１１と略同じ幅！３で照射するように設定されている。

また、上記収納容器８には、磁性材料補充管１２が配設
され、上記収納容器８円から蒸発する金属磁性材料９を
本装置の外部から補充するようになされている。

したがって、本装置によれば、磁性材料補充管１２によ
り金属磁性材料９が補充されても、該全圧磁性材料９の
補充位置から電子ビームが照射される位置までｆｆ２−
＋１３の幅を有し徐々に熱せられるので、電子ビームの
照射幅１３において蒸発する金属磁性材料９の蒸発量は
一定になされ、上記冷却キャン５の周面を走行する非磁
性支持体２上には均一な金属磁性膜が被着形成される。

なお、上記実施例では、斜方蒸着により非磁性支持体２
上に金属磁性膜を被着させる磁気記録媒体の製造方法に
本発明を通用したものについて説明したが、本発明は、
上記実施例に限定されることなく垂直に金属磁性膜を被
着させる垂直蒸着によるものであっても良い。

また、本発明は、さらに第２図に示すように、収納容器
８に充填された金属磁性材料９を蒸発させるための電子
ビームとは別個に、金属磁性材料９の補充位置に電子ビ
ームを照射する方法を付加して構成したものであっても
良い。

すなわち、本装置内に面記電子ビーム銃１０とは別個に
補助ビーム銃１３を設け、この補助ビーム銃１３により
、上記金属磁性材料９の補充位置に電子ビームを照射し
収納容器８内に補充された金属磁性材料９に余熱を与え
るように構成されたものであっても良い。この方法を採
用することによって、磁性材料補充管１２によって補充
された金属磁性材料９はさらに効率良く熱せられる。

したがって、この余熱が与えられた金属磁性材料９は、
電子ビーム銃１０により電子ビームを照射することによ
って、金属磁性材料９が新たに補充された位置側であっ
ても、十分熱せられ蒸発量は一定になされるとともに非
磁性支持体２上には一層均一な金属磁性薄膜を被着形成
させることができる。

そして、本発明者等は、上記金属磁性材料９に余熱を与
えて製造した磁気記録媒体と、上記余熱を与えないで製
造した磁気記録媒体の膜厚の分布状態をそれぞれ測定し
たところ、第３図Ａ及び第３図Ｂに示す結果を得ること
ができた。なお、この第３図Ａは、余熱を与えないで製
造した磁気記録媒体の膜厚の分布を示すものであり、ま
た第３図Ｂは、余熱を与えて製造した磁気記録媒体の膜
厚の分布を示すものである。

この第３図Ａ及び第３図Ｂから明らかなように、補充ビ
ーム銃１３により余熱を与えないで金属磁性材料９を蒸
発させた場合の該磁気記録媒体の膜厚は、やや金属磁性
材料９の補充位置側が薄く形成されるのに対し、余熱を
与えた後に蒸発させた場合では、薄く形成される幅は極
めて短（磁気記録媒体の略全体に亘って均一な膜が形成
されていることがわかる。

このように、本発明では、非磁性支持体の幅方向の中心
と金属磁性材料からなる蒸発源の幅方向での中心とが互
いに異なるように対向して配置するようになされている
ので、補充された蒸発源による温度の低下が、磁性材料
の蒸発量に大きく影響することを防止することができる
。したがって、従来の製造方法によって製造される磁気
記録媒体に比しより均一な膜厚を有する磁気記録媒体を
製造することができる。

さらに、本発明の構成に加え、補充された蒸発源の近傍
に余熱を与える手段を付加することにより、より一層均
−な膜厚を有する磁気記録媒体を製造する、二とができ
る。

Ｈ，発明の効果 上記実施例の説明からも明らかなように、本発明の磁気
記録媒体の製造方法によれば、製造される磁気記録媒体
の膜厚を均一になすことができ、歩留まりを向上するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は磁気記録媒体の製造装置の一例を概略的に示す
要部拡大斜視図、第２図は他の例を概略的に示す要部拡
大斜視図、第３図Ａは余熱を与えないで製造された磁気
記録媒体の膜厚分布を示す特性図、第３図Ｂは余熱を与
えて製造された磁気記録媒体の膜厚分布を示す特性図、
第４図は非磁性支持体上に磁性膜を被着させる方法を示
す模式％式％ ・電子ビーム銃 特 許 出 願 人 ソニー株式会社 代叩人

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性支持体上に真空蒸着法により磁性薄膜を成膜する
   に際し、上記非磁性支持体の幅方向の中心と蒸発源の幅
   方向での中心とが互いに異なるように対向して配置する
   ようになしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
   。