JPH027229A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、磁性層とされる磁性薄膜を斜方蒸着により非
磁性支持体上に形成する磁気記録媒体の製造方法に関す
る。

Ｂ８発明の概要 本発明は、非磁性支持体上に斜方蒸着により磁性薄膜を
形成する磁気記録媒体の製造方法において、蒸発源近傍
に熱反射板を配し、前記熱反射板により最低入射角を規
定することにより、均一な磁性膜を形成し得るとともに
均一な抗磁力を有する磁気記録媒体の製造方法を提供し
ようとするものである。

Ｃ０従来の技術 従来より磁気記録媒体としては、非磁性支持体上に酸化
物磁性粉末或いは合金磁性粉末等の粉末磁性材料を塩化
ビニル−酢酸ビニル系共重合体。

ポリエステル樹脂、ボリウレクン樹脂等の有機バインダ
ー中に分散せしめた磁性塗料を塗布・乾燥することによ
り作製される塗布型の磁気記録媒体が広く使用されてい
る。

これに対して、高密度磁気記録への要求の高まりととも
に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ−０等の金
属磁性材料を、メツキや真空薄膜形成手段（真空蒸着法
やスパンタリング法、イオンブレーティング法等）によ
ってポリテステルフィルムやポリイミドフィルム等の非
磁性支持体上に直接被着した、いわゆる金属磁性薄膜型
の磁気記録媒体が提案され注目を集めている。この金属
磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁力や角形比等に優れ、
短波長での電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性層
の厚みを極めて薄くすることが可能であるため記録減磁
や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性層中に非
磁性材であるそのバインダーを混入する必要がないため
磁性材料の充填密度を高めることができること等、数々
の利点を有している。

さらに、この種の磁気記録媒体の電”磁変換特性を向上
させ、より大きな出力を得ることができるようにするた
めに、該磁気記録媒体の磁性層を形成する場合、磁性材
料を斜めに蒸着する所謂斜方蒸着が提案され実用化され
ている。

Ｄ９発明が解決しようとする課題 ところで、上述のような斜方蒸着を行うことにより磁気
記録媒体を製造する場合、非磁性支持体が走行する冷却
キャンの下方に設けられた収納部に磁性材料を充填し、
この磁性材料を加熱手段を介して加熱蒸発させ、該蒸発
した磁性材料を上記非磁性支持体上に被着形成させる訳
であるが、前記斜方蒸着を行うために、上記キャン近傍
に上記シャッタを設げこのシャッタにより上記蒸発した
磁性材料の入射角を規制している。

しかしながら、上記シャックにより上記磁性材料の非磁
性支持体に対する最低入射角を規制して、斜方蒸着を行
う磁気記録媒体の製造方法では、該製造された磁気記録
媒体の磁性層の膜厚が均一に形成されないばかりか、抗
磁力も不均一であり、信頼性の高い電磁変換特性を有す
る磁気記録媒体を製造するこ七ができない。

そこで、本発明は、上記従来の実情に鑑みて提案された
ものであり、磁気記録媒に被着形成される磁性層の膜厚
及び抗磁力を均一となし電磁変換特性に優れた磁気記録
媒体を製造することができるようにすることを目的とす
るものである。

８１課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために、非磁性支持体上に
斜方蒸着により磁性薄膜を形成する磁気記録媒体の製造
方法において、蒸発源近傍に熱反射板を配し、前記熱反
射板により最低入射角を規定することを特徴とするもの
である。

本発明により製造される磁気記録媒体は、磁性薄膜が斜
方蒸着により形成されてなるものであり、該磁性薄膜を
構成する磁性材料は一般的に用いられるものであれば良
いが、好ましくは金属磁性材料を用いるのが良い。ここ
で、金属磁性薄膜を構成する金属磁性材料としては、通
常この種の媒体で使用されるものがいずれも使用可能で
ある。例示すればＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の磁性金属や、Ｆ
ｅ−Ｃｏ、Ｃｏ−Ｎｉ　　Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ　　Ｆｅ−
Ｃｏ−Ｃｒ、　　Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、　　Ｆｅ−Ｃｏ−
ＮｉＣｒ等である。

非磁性支持体の材料としても通常使用されるものが使用
でき、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ン−２，６−ナックレート等のポリエステル樹脂や芳香
族ポリアミドフィルム、ポリイミド樹脂フィルム等が挙
げられる。

そして本発明においては、前記磁性材料の蒸発源近傍に
熱反射板を配する必要があり、さらにこの反射板は、上
記蒸発源から蒸発する磁性材料が非磁性支持体に被着す
る角度の最低入射角度を規定し得る位置に配されている
ことが必要である。

したがって、上記反射板は、少なくとも上記蒸発源とこ
の蒸発源から蒸発した磁性材料が被着する非磁性支持支
持体との間に配されることが必要である。

また、上記反射板によって規定される最低入射角度は、
製造されるべき磁気記録媒体の磁性層の傾斜によって適
宜設定すれば良いが、余りに大きな角度とすると磁性材
料が斜めに被着形成されず、逆に余り小さな角度に設定
すると非磁性支持体に磁性材料が被着されない。したが
って、これらの両者を充足し得るように、上記最低入射
角度は少なくとも２０度位に設定することが望ましい。

なお、ここに言う最低入射角度は、非磁性支持体面の法
線方向に対する上記蒸発した磁性材料の入射方向の角度
をいう。

また、本発明では、上記熱反射板の使用に加えて、さら
に冷却キャンの近傍に該冷却キャンの周面を覆うシャッ
タを用い、より確実に上記磁性材料の最低入射角度を規
定するようにしても良い。

Ｆ０作用 上述のような構成からなる本発明の磁気記録媒体の製造
方法によれば、加熱手段により加熱蒸発した磁性材料は
本発明を構成する熱反射板により最低入射角度が規定さ
れ、磁気記録媒体に被着形成された磁性層の膜厚が均一
となるとともに、抗磁力も均一となる。

Ｇ、実施例 以下、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法の実施
例を具体的に説明する。

先ず、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法に使用され
る製造装置の一例について説明する。

この製造装置は、第１図に示すように、内部が真空状態
となされた真空室１内に、テープ状の非磁性支持体２が
、図中反時計回り方向に定速回転する送りロール３から
図中時計回り方向に定速回転するようにされた巻取りロ
ール４に順次走行するようにされている。

そして、上記送りロール３から巻取りロール４側に走行
する中途部には、上記非磁性支持体２を図中下方に引き
出すように設けられるとともに上記各ロール３．４の径
よりも大径となされた冷却キャン５が図中時計回り方向
に定速回転するように設けられている。なお、上記送り
ロール３２巻取りロール４及び６却キャン５は、それぞ
れ非磁性支持体２の幅と略同じ長さからなる□円筒状を
なすものであり、また、上記冷却キャン５には、内部に
図示しない冷却装置が設けられ、上記非磁性支持体２の
温度上昇による変形等を抑制し得るようになされている
。

したがって、上記非磁性支持体２は、送りロール３から
順次送り出され、さらに上記冷却キャン５の周面を通過
し巻取りロール４に巻取られて行くようにされている。

なお、上記送りロール３と上記冷却キャン５との間及び
該冷却キャン５と上記巻取りロール４との間にはそれぞ
れガイドロール６．７が配設され、上記送りロール３か
ら冷却キャン４及び該冷却キャン５から巻取りロール４
に亘って走行する非磁性支持体２に所定のテンションを
かけ、該非磁性支持体２が円滑に走行するようになされ
ている。

また、上記真空室ｌ内には、上記冷却キャン５の下方に
収納容器８が設けられ、この収納容器８内に金属磁性材
料９が充填されている。この収納容器８は、上記冷却キ
ャン５の長手方向と幅と略同−の幅からなるものであり
、さらに、該収納容器８の一側壁８ａの上端には、熱反
射板１０が配設されている。この熱反射ｉ１０は、上記
冷却キャン５の幅と略同じ長さを有する長方形状をなす
とともに、やや上記収納容器８の内方に０１の角度をも
って傾斜して配設されている。この熱反射Ｆｊ、ｌｏの
傾斜角度θ１は、後述する加熱手段により蒸発した上記
金属磁性材料９が上記冷却キャン５を通過する際に所定
の入射角度θ２で被着するように設定されている。

また、上記冷却キャン５の側方には電子ビーム銃等によ
って構成されてなる加熱手段１１が設けられている。こ
の加熱手段１１は、上記収納容器８内に充填された金属
磁性材料９を加熱蒸発させるものであり、この加熱手段
１０によって蒸発した金属磁性材料８は、上記冷却キャ
ン５の周面を定速走行する非磁性支持体２上に磁性層と
して被着形成されるようになされている。

また、上記冷却キャン５と上記金属磁性材料９の収納容
器８との間であって該冷却キャン５の近傍には、冷却キ
ャン５の周面と対向するように湾曲形成されたシャッタ
１２が配設されている。このシャッタ１２は、上記金属
磁性材料９が上記非磁性支持体２に夕」して所定角度範
囲で斜めに茎着されるように該支持体２の所定範囲を覆
うものである。

したがって、本装置によれば、上記収納容器８内に充填
された金属磁性材料９は、上記加熱手段１１により加熱
され蒸発する。そして、この蒸発した該金属磁性材料９
の一部は、前記熱反射板１０により前記冷却キャン５を
通過する非磁性支持体２に被着する最低入射角度θ２が
規定され、これによって規定された金属磁性材料９は該
熱反射板１０に被着することとなる。

一方、蒸発した他の金属磁性材料９は上記非磁性支持体
２に対して斜めに被着され磁性層となる。

この際、上記冷却キャン５と上記金属磁性材料９の収納
容器８との間には、前記シャッタ１２が配設されている
ので、上記熱反射板１０により最低入射角度θ２が規定
された該金属磁性材料９は、さらにこのシャッタ】２に
よっても該最低入射角度θ２が規定される。

また、本装置を構成する上記熱反射板１０は、上記金属
磁性材料９が充填された収納容器８の一側壁８ａに連設
して配されていることから、該熱放射板１０に被着形成
された金属磁性材料９は剥がれて再度該収納容器８内に
脱落し再利用することができる。したがって、本装置に
よれば、非磁性支持体２の単位面積当たりに必要な該金
属磁性材料９の量を抑えることができ蒸着効率を向上さ
せることができる。

そして、本発明者等は、上記構成からなる製造装置を用
いて磁気記録媒体を製造する（実施例１）とともに、上
記装置を構成するシャッタ】２を取り外して磁気記録媒
体を製造り、　（実施例２）、さらに上記装置を構成す
る熱反射板１０を取り外して磁気記録媒体を製造して（
比較例）、それぞれの磁気記録媒体の抗磁力Ｈ（ｃ）及
び膜厚を測定した。なお、これらの抗磁力（Ｈｃ）び膜
厚は、蒸着開始時及び１０００ｍ製造後の時点の二点を
それぞれ測定した。

以下、上記測定結果を第１表に記載する。

（以Ｔ、余白） 第１表 上記第１表からも明らかなように、実施例１及び２の結
果の如く熱反射板１０を使用して磁気記録媒体を製造し
た場合には、その磁気記録媒体の抗磁力（Ｈｃ）及び膜
厚は、いずれも均一になされているが、一方、比較例の
如く熱反射板１０を使用しないで製造された磁気記録媒
体では、上記抗磁力（Ｈｃ）及び膜厚はいずれも、不均
一であることが分かる。

このように、蒸発源である金属磁性材料９の収納容器８
に熱反射板１０を配して磁気記録媒体を製造することに
より、均一な抗磁力（Ｈｃ）を有する磁気記録媒体を製
造することができるとともに、さらに均一の膜厚とする
ことができる。

Ｈ，発明の効果 上記実施例の説明からも明らかなように、本発明め磁気
記録媒体の製造方法によれば、蒸発源の近傍に熱反射板
が配されていることから、抗磁力が均一となされ電磁変
換特性に優れた磁気記録媒体を製造することができると
ともに、均一な膜厚となされた磁性層を持つ磁気記録媒
体を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は磁気記録媒体の製造装置の一例を示す模式図、
第２図は第１図の要部を拡大して示す模式図である。 ２・・・支持体 ８・・・収納容器 １０・・・熱反射板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性支持体上に斜方蒸着により磁性薄膜を形成する磁
   気記録媒体の製造方法において、蒸発源近傍に熱反射板
   を配し、前記熱反射板により最低入射角を規定すること
   を特徴とする磁気記録媒体の製造方法。