JPS60201521A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60201521A JPS60201521A JP5574684A JP5574684A JPS60201521A JP S60201521 A JPS60201521 A JP S60201521A JP 5574684 A JP5574684 A JP 5574684A JP 5574684 A JP5574684 A JP 5574684A JP S60201521 A JPS60201521 A JP S60201521A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- tcc
- recording medium
- magnetic recording
- aspect ratio
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録媒体、特に薄膜結晶性定数を高めた
薄膜型磁気記録媒体に関する。
薄膜型磁気記録媒体に関する。
背景技術とその問題点
近年、磁気記録の高密度化の目的で、磁性薄膜型の磁気
記録媒体、即ち非磁性担体上に無電、界メッキ、イオン
ブレーティング、スパッタリング、真空蒸着等の方法に
より数百人〜略１μの厚みの磁怜薄股を形成させた磁気
記録媒体にもいての研究が盛んである。特に特公昭４１
−１９３８９号に開承された斜め蒸着法は、高い抗磁力
を有する磁気記録媒体が得られるので興味が持たれ、種
々の改良、改善がなされている。
記録媒体、即ち非磁性担体上に無電、界メッキ、イオン
ブレーティング、スパッタリング、真空蒸着等の方法に
より数百人〜略１μの厚みの磁怜薄股を形成させた磁気
記録媒体にもいての研究が盛んである。特に特公昭４１
−１９３８９号に開承された斜め蒸着法は、高い抗磁力
を有する磁気記録媒体が得られるので興味が持たれ、種
々の改良、改善がなされている。
本発明者は、この斜め蒸着法によって得られた磁気記録
媒体を解析する中で、出力に影響を与える特異点を見出
すに至った。
媒体を解析する中で、出力に影響を与える特異点を見出
すに至った。
発明の目的
本発明は、上述の点に鑑み、出力の周波数特性に優れた
薄膜型の磁気記録媒体を提供するものである。
薄膜型の磁気記録媒体を提供するものである。
発明の概要
本発明は、非磁性担体上に斜め蒸着法により強磁性薄膜
を形成して成る磁気記録媒体において、中方向の角型比
（Ｒｓ工）に対する長手方向（走行方向）の角型比（Ｒ
５／／）をＳ膜結晶性定数Ｔｃｃを、 Ｔｃｃ≧〔長手方向の角型比Ｒｓ ／／ ） Ｘ １．
５＋０．２として成る磁気記録媒体である。
を形成して成る磁気記録媒体において、中方向の角型比
（Ｒｓ工）に対する長手方向（走行方向）の角型比（Ｒ
５／／）をＳ膜結晶性定数Ｔｃｃを、 Ｔｃｃ≧〔長手方向の角型比Ｒｓ ／／ ） Ｘ １．
５＋０．２として成る磁気記録媒体である。
この発明の磁気記録媒体によれば、出力の周波数特性が
向上する。
向上する。
なお、針状の磁性粉と高分子結合剤を主体とする磁性塗
料を非磁性担体上に塗布して磁性層を形成した従来の所
謂塗布型の磁気記録媒体において、その中方向の角型比
に対する長手方向の角型比を配向度と定義して、電磁変
換特性の良否を判断することが知られている。しかし、
塗布型の磁気記録媒体においては強磁性針状粒子を用い
更に製造工程中に磁気配向を施すものであり、磁性層自
身真空蒸着法によって得られる磁性ｉｌｌ！の構造とは
根本的に異なるものであり、同一視することはできない
。また上記の薄膜結晶性定数Ｔｃｃについてはこれまで
示唆もされていない。
料を非磁性担体上に塗布して磁性層を形成した従来の所
謂塗布型の磁気記録媒体において、その中方向の角型比
に対する長手方向の角型比を配向度と定義して、電磁変
換特性の良否を判断することが知られている。しかし、
塗布型の磁気記録媒体においては強磁性針状粒子を用い
更に製造工程中に磁気配向を施すものであり、磁性層自
身真空蒸着法によって得られる磁性ｉｌｌ！の構造とは
根本的に異なるものであり、同一視することはできない
。また上記の薄膜結晶性定数Ｔｃｃについてはこれまで
示唆もされていない。
これに対して、本発明での上記ｉｌｌ！ｌｌ性定数Ｔｃ
ｃは、強磁性薄膜における柱状結晶構造の差異に基づく
ことを基礎にして着目したものであり、その値が上記−
室以上になると出力が大きく向上実施例 以下、本発明の詳細な説明する。
ｃは、強磁性薄膜における柱状結晶構造の差異に基づく
ことを基礎にして着目したものであり、その値が上記−
室以上になると出力が大きく向上実施例 以下、本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明に適用される蒸着装置の概略図である。
この蒸着装置（１１は、真空雰囲気に保たれた真空チャ
ンバー（２）内に金属キ午ン（３）が設けられ、これを
繞って非磁性担体（４）が供給リール（５）から巻取リ
ール（６）に移送され、金属キャン（３）に対向するＦ
方に適当な距離を置いて金属磁性材料例えばＣｏ。
ンバー（２）内に金属キ午ン（３）が設けられ、これを
繞って非磁性担体（４）が供給リール（５）から巻取リ
ール（６）に移送され、金属キャン（３）に対向するＦ
方に適当な距離を置いて金属磁性材料例えばＣｏ。
ｐｅ、 Ｎｉあるいはそれらの合金等の蒸着源（７）が
配置され、この蒸着源（７）から蒸発した金属磁性粒子
がシャッター（８）によって非磁性担体（４）上に所定
の入射角をもって斜め蒸着されるように構成されている
。（９）はチャンバー（２）内に導入する酸素ガス（０
２）の供給源である。
配置され、この蒸着源（７）から蒸発した金属磁性粒子
がシャッター（８）によって非磁性担体（４）上に所定
の入射角をもって斜め蒸着されるように構成されている
。（９）はチャンバー（２）内に導入する酸素ガス（０
２）の供給源である。
実施例１
上記蒸着装置（１１を使用し、２００℃に加熱された酸
素ガス（０２）を８０ｃｃ／ ａｋｉｎ流しつつ、Ｉ
Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの圧力）で、１０μ厚のポリエチ
レンテレフタレート（ＰＥＴ）よりなる非磁性担体（４
）上にＣｏ−Ｎｉ合金（Ｇｏが８０原子％、 Ｎｉが２
０原子％）を順次斜め蒸着した。蒸着時の入射角は４０
°〜９０゛、蒸着源（７）の加熱手段は電子ビーム方式
である。このようにして作製された蒸着テープを実施例
１とした。
素ガス（０２）を８０ｃｃ／ ａｋｉｎ流しつつ、Ｉ
Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの圧力）で、１０μ厚のポリエチ
レンテレフタレート（ＰＥＴ）よりなる非磁性担体（４
）上にＣｏ−Ｎｉ合金（Ｇｏが８０原子％、 Ｎｉが２
０原子％）を順次斜め蒸着した。蒸着時の入射角は４０
°〜９０゛、蒸着源（７）の加熱手段は電子ビーム方式
である。このようにして作製された蒸着テープを実施例
１とした。
このテープの特性は以下の通りである。
Ｇｏ−Ｎｉ蒸着膜厚 ： １２００人
磁気特性
抗磁力（Ｈｃ ） ： ８５００ｅ
長手方向
飽和磁束密度（Ｂｍ） ： ６９００Ｇ残留磁束密度（
Ｂｒ） ： ４９００Ｇ中方向 飽和磁束密度（Ｂｍ） ： ６９００Ｇ残留磁束密度（
Ｂｒ） ； ３４５０ＧＴ ｃｃ＝ １．４２＞ ４９
００／ ６９００Ｘ １．５＋ ０．２ ＝ １．２６
５比較例１ 加熱せずに酸素ガスを１００ ｃｃ／ ｍｉｎ流し、ま
た入射角を３０°〜７０°として、他は実施例１と同じ
条件で作製した蒸着テープを比較例１とした。このテー
プの特性は以下の通りである。
Ｂｒ） ： ４９００Ｇ中方向 飽和磁束密度（Ｂｍ） ： ６９００Ｇ残留磁束密度（
Ｂｒ） ； ３４５０ＧＴ ｃｃ＝ １．４２＞ ４９
００／ ６９００Ｘ １．５＋ ０．２ ＝ １．２６
５比較例１ 加熱せずに酸素ガスを１００ ｃｃ／ ｍｉｎ流し、ま
た入射角を３０°〜７０°として、他は実施例１と同じ
条件で作製した蒸着テープを比較例１とした。このテー
プの特性は以下の通りである。
Ｃｏ−Ｎｉ蒸着膜厚 ： １２００人
磁気特性
抗磁力（Ｈｃ） ： ８６００ｅ
長手方向
飽和磁束密度（Ｂｍ） ： ６７００Ｇ残留磁束密度（
Ｂｒ） ： ４５５０Ｇｌ】方向 飽和磁束密度（Ｂｍ） ： Ｅｉ’７ｏｏに残留磁束密
度（Ｂｒ） ： ４０００ＧＴｃｃ＝ １．１３＜ ４
５５０／６７００ｘ １．５＋０．２ ＝ １．２２上
記各例のテープの電磁変換特性を測定した結果を第２図
に示す。この測定はギヤツブ長０．２μｍ、トラック中
２０μｍのフェライトヘッドを用い、テープ相対速度を
３．５ ｍ／ ｓｅｃとして相対出力を測定した。
Ｂｒ） ： ４５５０Ｇｌ】方向 飽和磁束密度（Ｂｍ） ： Ｅｉ’７ｏｏに残留磁束密
度（Ｂｒ） ： ４０００ＧＴｃｃ＝ １．１３＜ ４
５５０／６７００ｘ １．５＋０．２ ＝ １．２２上
記各例のテープの電磁変換特性を測定した結果を第２図
に示す。この測定はギヤツブ長０．２μｍ、トラック中
２０μｍのフェライトヘッドを用い、テープ相対速度を
３．５ ｍ／ ｓｅｃとして相対出力を測定した。
同図において曲線（１）は実施例１のテープ、曲線ＣＩ
＋）は比較例１のテープである。
＋）は比較例１のテープである。
両側のテープの出力の周波数特性をみると、長波長側で
は比較例１のテープの出力が実施例１のテープより若干
高いが、短波長側になるに伴い実流側１のテープの出力
が比較例１のテープよりも高くなり、６ ＭＨｚでの出
力の差は４．８ｄＢとなった。
は比較例１のテープの出力が実施例１のテープより若干
高いが、短波長側になるに伴い実流側１のテープの出力
が比較例１のテープよりも高くなり、６ ＭＨｚでの出
力の差は４．８ｄＢとなった。
即ち実施例１のテープの周波数特性が比較例１のテープ
のそれより優れている。実施例１のテープと比較例１の
テープとでは長手方向の抗磁力Ｈｃ及び残留磁束密度Ｂ
ｒ共にほぼ同等であるが、このような出力の周波数特性
の違いは薄膜結晶性定数Ｔｃｃに着目して初めて理解さ
れるものであることが判明した。またＴｃｃ≧〔長手方
向の角型比〕Ｘ １．５＋０．２であるという式は、出
力の周波数特性で６ ＭＨｚの出力と２ ＭＨｚの出力
の差が１０ｄＢ以下の条件を満たず時に得られるもので
ある。これ以上である時には例えば高密度記録ビデオ用
テープとしては不適当であることが明らかになったから
である。
のそれより優れている。実施例１のテープと比較例１の
テープとでは長手方向の抗磁力Ｈｃ及び残留磁束密度Ｂ
ｒ共にほぼ同等であるが、このような出力の周波数特性
の違いは薄膜結晶性定数Ｔｃｃに着目して初めて理解さ
れるものであることが判明した。またＴｃｃ≧〔長手方
向の角型比〕Ｘ １．５＋０．２であるという式は、出
力の周波数特性で６ ＭＨｚの出力と２ ＭＨｚの出力
の差が１０ｄＢ以下の条件を満たず時に得られるもので
ある。これ以上である時には例えば高密度記録ビデオ用
テープとしては不適当であることが明らかになったから
である。
このようにＴｃｃの値と出力の変化を示す第２図から明
らかなように、Ｔｃｃが本発明の規定値より少ないと充
分な出力が得られない。
らかなように、Ｔｃｃが本発明の規定値より少ないと充
分な出力が得られない。
発明の効果
本発明によれば、斜め蒸着法によって得る強磁性ｓｎ＊
の薄膜結晶性定数Ｔｃｃを、Ｔｃｃ≧〔長手方向の角型
比） Ｘ １．５＋０．２とすることにより、出力の周
波数特性を向上することができる。従って本磁気記録媒
体は高密度記録用に適用して好適ならしめるものである
。
の薄膜結晶性定数Ｔｃｃを、Ｔｃｃ≧〔長手方向の角型
比） Ｘ １．５＋０．２とすることにより、出力の周
波数特性を向上することができる。従って本磁気記録媒
体は高密度記録用に適用して好適ならしめるものである
。
第１図は本発明に適用される蒸着装置、第２図は本発明
の説明に供する出力の周波数特性図である。 （１）は蒸着装置、（４）は非磁性担体、（７）は蒸着
源である。 第１図 第２図
の説明に供する出力の周波数特性図である。 （１）は蒸着装置、（４）は非磁性担体、（７）は蒸着
源である。 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 非磁性担体上に斜め蒸着法により強磁性薄膜を形成して
成る磁気記録媒体において、中方向の角型比（Ｒｓ工）
に対する長手方向の角型比（Ｒｓ、、）該薄膜結晶性定
数Ｔｃｃを Ｔｃｃ≧〔長手方向の角型比Ｒｓ ｕ ） Ｘ １．５
＋０．２としたことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5574684A JPS60201521A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5574684A JPS60201521A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60201521A true JPS60201521A (ja) | 1985-10-12 |
| JPH0473215B2 JPH0473215B2 (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=13007418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5574684A Granted JPS60201521A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60201521A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5427869A (en) * | 1992-08-14 | 1995-06-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium and method for producing the same |
| US5554440A (en) * | 1992-09-09 | 1996-09-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium and method for producing the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5677931A (en) * | 1979-11-28 | 1981-06-26 | Tdk Corp | Magnetic recording medium and its producton |
-
1984
- 1984-03-23 JP JP5574684A patent/JPS60201521A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5677931A (en) * | 1979-11-28 | 1981-06-26 | Tdk Corp | Magnetic recording medium and its producton |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5427869A (en) * | 1992-08-14 | 1995-06-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium and method for producing the same |
| US5554440A (en) * | 1992-09-09 | 1996-09-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium and method for producing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0473215B2 (ja) | 1992-11-20 |
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