JPH0386913A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH0386913A JPH0386913A JP1223558A JP22355889A JPH0386913A JP H0386913 A JPH0386913 A JP H0386913A JP 1223558 A JP1223558 A JP 1223558A JP 22355889 A JP22355889 A JP 22355889A JP H0386913 A JPH0386913 A JP H0386913A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度記録特性及び耐久性の優れた磁気記録媒
体及びその製造方法に関すん 従来の技術 短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直磁気
記録方式があん この方式においては垂直磁気異方性を
有する垂直磁気記録媒体が必要となん このような媒体
に信号を記録すると磁化は媒体の膜面に垂直な方向を向
く。従って信号が短波長になるほど、媒体内反磁界が減
少し 高い再生出力が得られも 現在一般的に用いられている垂直磁気異方性膜は 高分
子フィルム等の非磁性基板上に直接にあルイハＴｉ、
Ｇａ、 ＳＬ、ＣｏＱ、 ＳｉＯ２、高分子等の非（性
下地層を介して、ＣＯ基の垂直磁気異方性を有する合金
磁性層をスパッタ法や真空蒸着法により形成したもので
あも 特にＣＯとＣｒを含有する膜（友Ｃｒの量が３０
重量％以下の範囲では結晶系戟 稠密六方構造であり、
そのＣ軸を膜面に対して垂直：向に配向させることが可
能であるの玄 容易に垂直磁気異方性膜を実現出来も 発明が解決しようとする課題 従来の垂直磁気記録媒体は優れた短波長記録再生特性を
有しているバ 既に市販されているメタル塗布型テープ
（ＭＰテープ）や蒸着テープ（ＭＥテープ）に対して、
出力及びＳ／Ｎが充分高いとは言い難かった また 従
来の垂直磁気記録媒体は耐久性においても満足できるも
のではなかっｔラ したがって、高密度磁気記録媒体
として、ＭＰテープやＭＥテープを出力及びＳ／Ｎにお
いて大幅に上回り、かつ耐久性の優れた媒体の開発が要
望されていも 課題を解決するための手段 本発明は上記要望を実現したものであって、高分子基板
上に直接あるいは非磁性下地層を介して少なくともＣｏ
とＣｒを含有し 磁化容易軸が膜面の法線に対して傾斜
している第１の磁性層が形成され その上に少なくとも
Ｃｏと酸素を含有し 磁化容易軸が膜面の法線に対して
第１の磁性層と同方向に傾斜している第２の磁性層が形
成されていることを特徴とすも 作用 本発明の構成の媒体（よ 磁化容易軸が膜面の法線方向
に対して傾斜しているので磁気ヘッドとしてリングヘッ
ドを用いる場合に 記録され易し℃また磁化容易軸が膜
面内ではないので減磁作用が弱く、高い記録磁化が残も
その結電 高い再生出力が得られも まｆ：、、第１
の磁性層としてＣｏとＯｒを含有する膜を用いると、そ
の高い飽和磁化及び高い結晶磁気異方性により出力が増
加すも さらに 第２の磁性層としてＣＯと酸素を含有
する膜を用いると、耐久性が向上すも まｔ−第２の磁
性層が単なる非磁性層としての保護層ではないの玄 こ
の層にも信号が記録され出力に寄与すも実施例 次に 本発明の一実施例を第１図に基づいて説明すも 第１図は本発明の磁気記録媒体の構成の一例を示す。
１は高分子基Ｋ ２はＣｏとＣｒを含有し 磁化容易軸
が膜面の法線に対して傾斜している第１の磁性層であも
３はＣＯと酸素を含有し 磁化容易軸が膜面の法線に
対して第１の磁性層と同方向に傾斜している第２の磁性
層であも ４は膜面の法！Ｌ ５は第１の磁性層の磁化
容易軸の傾斜方随φ１はその法線４に対する角度であも
６は第２の磁性層の磁化容易軸の傾斜方随 φ２はそ
の法線４に対する角度であも 第１の磁性層の成分の例
として４ｇ Ｃｏ−Ｃｒ、 Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｉ、
あるいはこれらにＣｕ、 ＡＩ等が微量に含まれた合金
などがあも 第２の磁性層の成分の例としてはＣｏ−Ｑ
、 Ｃｏ−Ｎｉ−α あるいはこれらに微量の不純物を
含む部分酸化膜がある。
体及びその製造方法に関すん 従来の技術 短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直磁気
記録方式があん この方式においては垂直磁気異方性を
有する垂直磁気記録媒体が必要となん このような媒体
に信号を記録すると磁化は媒体の膜面に垂直な方向を向
く。従って信号が短波長になるほど、媒体内反磁界が減
少し 高い再生出力が得られも 現在一般的に用いられている垂直磁気異方性膜は 高分
子フィルム等の非磁性基板上に直接にあルイハＴｉ、
Ｇａ、 ＳＬ、ＣｏＱ、 ＳｉＯ２、高分子等の非（性
下地層を介して、ＣＯ基の垂直磁気異方性を有する合金
磁性層をスパッタ法や真空蒸着法により形成したもので
あも 特にＣＯとＣｒを含有する膜（友Ｃｒの量が３０
重量％以下の範囲では結晶系戟 稠密六方構造であり、
そのＣ軸を膜面に対して垂直：向に配向させることが可
能であるの玄 容易に垂直磁気異方性膜を実現出来も 発明が解決しようとする課題 従来の垂直磁気記録媒体は優れた短波長記録再生特性を
有しているバ 既に市販されているメタル塗布型テープ
（ＭＰテープ）や蒸着テープ（ＭＥテープ）に対して、
出力及びＳ／Ｎが充分高いとは言い難かった また 従
来の垂直磁気記録媒体は耐久性においても満足できるも
のではなかっｔラ したがって、高密度磁気記録媒体
として、ＭＰテープやＭＥテープを出力及びＳ／Ｎにお
いて大幅に上回り、かつ耐久性の優れた媒体の開発が要
望されていも 課題を解決するための手段 本発明は上記要望を実現したものであって、高分子基板
上に直接あるいは非磁性下地層を介して少なくともＣｏ
とＣｒを含有し 磁化容易軸が膜面の法線に対して傾斜
している第１の磁性層が形成され その上に少なくとも
Ｃｏと酸素を含有し 磁化容易軸が膜面の法線に対して
第１の磁性層と同方向に傾斜している第２の磁性層が形
成されていることを特徴とすも 作用 本発明の構成の媒体（よ 磁化容易軸が膜面の法線方向
に対して傾斜しているので磁気ヘッドとしてリングヘッ
ドを用いる場合に 記録され易し℃また磁化容易軸が膜
面内ではないので減磁作用が弱く、高い記録磁化が残も
その結電 高い再生出力が得られも まｆ：、、第１
の磁性層としてＣｏとＯｒを含有する膜を用いると、そ
の高い飽和磁化及び高い結晶磁気異方性により出力が増
加すも さらに 第２の磁性層としてＣＯと酸素を含有
する膜を用いると、耐久性が向上すも まｔ−第２の磁
性層が単なる非磁性層としての保護層ではないの玄 こ
の層にも信号が記録され出力に寄与すも実施例 次に 本発明の一実施例を第１図に基づいて説明すも 第１図は本発明の磁気記録媒体の構成の一例を示す。
１は高分子基Ｋ ２はＣｏとＣｒを含有し 磁化容易軸
が膜面の法線に対して傾斜している第１の磁性層であも
３はＣＯと酸素を含有し 磁化容易軸が膜面の法線に
対して第１の磁性層と同方向に傾斜している第２の磁性
層であも ４は膜面の法！Ｌ ５は第１の磁性層の磁化
容易軸の傾斜方随φ１はその法線４に対する角度であも
６は第２の磁性層の磁化容易軸の傾斜方随 φ２はそ
の法線４に対する角度であも 第１の磁性層の成分の例
として４ｇ Ｃｏ−Ｃｒ、 Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｉ、
あるいはこれらにＣｕ、 ＡＩ等が微量に含まれた合金
などがあも 第２の磁性層の成分の例としてはＣｏ−Ｑ
、 Ｃｏ−Ｎｉ−α あるいはこれらに微量の不純物を
含む部分酸化膜がある。
次に 第１図に示す構造を有する媒体の製造法の１例を
、第２図に基づいて説明すも 膜面の法線に対して磁化
容易軸が傾斜している薄膜媒体は真空蒸着法により作製
可能であも 真空蒸着法においては高分子基板を円筒状
キャンの周面に沿って走行させつつ薄膜の形成を行うと
テープ状の磁気記録媒体が非常に生産性よく得られも第
２図はこのような真空蒸着装置の内部構造の概略図であ
ん 高分子基板ｌが円筒状キャン７の周面に沿って走行
する。蒸発源８と円筒状キャン７との間には遮へい板９
が配置されており、この遮へい板の開口部を通って蒸発
原子ＩＯは基板ｌに付着す＆ Ｃｏ等の高融点金属を
高いレートで蒸発させるための蒸発源としては電子ビー
ム蒸発源が適している。 １１、１２は基板１を巻くた
めのボビンであも θ璽、θ２は蒸着開始部あるいは蒸
着終了部における蒸発原子の基板ｌへの入射角であも
基板１が矢印Ａの方向に走行するときに（よθ１が蒸着
開始部の入射角、θ２が蒸着終了部の入射角であり、走
行方向が逆の時に１戴 θ１が蒸着紹了部の入射魚 θ
２が蒸着開始部の入射角になん第２図に示す装置で第１
図に示す構造の媒体を作製する手順は以下のようであも
ま歌 高分子基板１を矢印Ａの方向に走行させＣＯと
Ｃｒを含有する第１の磁性層を形威すも 蒸発源８の中
には蒸発物質としてＣＯとＣｒを含有する合金を入れて
おく。
、第２図に基づいて説明すも 膜面の法線に対して磁化
容易軸が傾斜している薄膜媒体は真空蒸着法により作製
可能であも 真空蒸着法においては高分子基板を円筒状
キャンの周面に沿って走行させつつ薄膜の形成を行うと
テープ状の磁気記録媒体が非常に生産性よく得られも第
２図はこのような真空蒸着装置の内部構造の概略図であ
ん 高分子基板ｌが円筒状キャン７の周面に沿って走行
する。蒸発源８と円筒状キャン７との間には遮へい板９
が配置されており、この遮へい板の開口部を通って蒸発
原子ＩＯは基板ｌに付着す＆ Ｃｏ等の高融点金属を
高いレートで蒸発させるための蒸発源としては電子ビー
ム蒸発源が適している。 １１、１２は基板１を巻くた
めのボビンであも θ璽、θ２は蒸着開始部あるいは蒸
着終了部における蒸発原子の基板ｌへの入射角であも
基板１が矢印Ａの方向に走行するときに（よθ１が蒸着
開始部の入射角、θ２が蒸着終了部の入射角であり、走
行方向が逆の時に１戴 θ１が蒸着紹了部の入射魚 θ
２が蒸着開始部の入射角になん第２図に示す装置で第１
図に示す構造の媒体を作製する手順は以下のようであも
ま歌 高分子基板１を矢印Ａの方向に走行させＣＯと
Ｃｒを含有する第１の磁性層を形威すも 蒸発源８の中
には蒸発物質としてＣＯとＣｒを含有する合金を入れて
おく。
蒸発原子の基板への入射角は膜の成長にともなってθ１
から０２に変化すも 本方法で底膜する際には 蒸発原
子の基板への入射角を１０°以上７０’以下とすること
により、磁化容易軸が膜面の法線に対して傾斜しており
、かつ高出力を有する媒体が得られる。
から０２に変化すも 本方法で底膜する際には 蒸発原
子の基板への入射角を１０°以上７０’以下とすること
により、磁化容易軸が膜面の法線に対して傾斜しており
、かつ高出力を有する媒体が得られる。
次に 蒸発源８中の蒸発物質をＣＯを含有する材料に変
更し 第１の磁性層が形成された高分子基板１を矢印Ａ
の反対方向に走行させて、酸素雰囲気中で第２の磁性層
を蒸着すも 酸素雰囲気中で蒸着した第２の磁性層は酸
素と反応し部分酸化膜になん 第２の磁性層の磁化容易
軸を法線に対して傾斜させるために（よ 蒸着の際の蒸
発原子の基板への入射角を１０°以上７０＠以下にす、
る・必要があも 以上の如く作製した本発明の媒体の１３０ｋＦＲＰＩ
（１インチ当り１３００００回の磁化反転のある記録状
態〉における再生出力及びノイズを従来の媒体と比較し
て表に示す。ただし 磁気ヘッドとしてはＭｎ−Ｚｎフ
ェライトから成るギャップ長０．１５μｍのリングヘッ
ドを用い１． 本発明の媒体における第１の磁性層の
膜厚は０．１５μへ 第２の磁性層の膜厚は０．０５μ
ｍとしｔ４ また 第２図におけるθ１、θ２はそれ
ぞれ５０”及び３０１としｔも （以下余白） 表か欠 本発明の媒体が従来の媒体に比べて、極めて高
い再生出力を有しており、ノイズも低いことがわかん
従って、本発明の媒体を用いることにより高いＳ／Ｎが
得られる。
更し 第１の磁性層が形成された高分子基板１を矢印Ａ
の反対方向に走行させて、酸素雰囲気中で第２の磁性層
を蒸着すも 酸素雰囲気中で蒸着した第２の磁性層は酸
素と反応し部分酸化膜になん 第２の磁性層の磁化容易
軸を法線に対して傾斜させるために（よ 蒸着の際の蒸
発原子の基板への入射角を１０°以上７０＠以下にす、
る・必要があも 以上の如く作製した本発明の媒体の１３０ｋＦＲＰＩ
（１インチ当り１３００００回の磁化反転のある記録状
態〉における再生出力及びノイズを従来の媒体と比較し
て表に示す。ただし 磁気ヘッドとしてはＭｎ−Ｚｎフ
ェライトから成るギャップ長０．１５μｍのリングヘッ
ドを用い１． 本発明の媒体における第１の磁性層の
膜厚は０．１５μへ 第２の磁性層の膜厚は０．０５μ
ｍとしｔ４ また 第２図におけるθ１、θ２はそれ
ぞれ５０”及び３０１としｔも （以下余白） 表か欠 本発明の媒体が従来の媒体に比べて、極めて高
い再生出力を有しており、ノイズも低いことがわかん
従って、本発明の媒体を用いることにより高いＳ／Ｎが
得られる。
また 本発明の媒体は媒体表面がＣｏを含有する部分酸
化膜になっているの玄 従来のＣｏ−Ｃｒ垂直磁気記録
媒体に比べて優れた耐久性を有していもな抵 本発明の
媒体（よ 第１及び第２の磁性層を蒸着した後に 酸素
を含む雰囲気で加熱処理することにより、耐久性が更に
大幅に改善さｈＭＰテープと同等のレベルに達すん 加
熱処理の際の温度は２５０℃以上が望１いも また こ
の加熱処理は大気中で行なえばよいので生産性が優れて
いも 第２の磁性層の膜厚としてｉｔ Ｏ，０２μｍ以上０
．１μｍ以下が望ましｌ、％ ０．０２μｍ未満であ
ると、耐久性が劣化してしまう。まｒ＝０．１μｍを越
える膜厚の場合に（よ 再生出力が低下すも この理由
として（よ 第１の磁性層と磁気ヘッドとの間隔が広く
なりすぎるためだと考えられる。
化膜になっているの玄 従来のＣｏ−Ｃｒ垂直磁気記録
媒体に比べて優れた耐久性を有していもな抵 本発明の
媒体（よ 第１及び第２の磁性層を蒸着した後に 酸素
を含む雰囲気で加熱処理することにより、耐久性が更に
大幅に改善さｈＭＰテープと同等のレベルに達すん 加
熱処理の際の温度は２５０℃以上が望１いも また こ
の加熱処理は大気中で行なえばよいので生産性が優れて
いも 第２の磁性層の膜厚としてｉｔ Ｏ，０２μｍ以上０
．１μｍ以下が望ましｌ、％ ０．０２μｍ未満であ
ると、耐久性が劣化してしまう。まｒ＝０．１μｍを越
える膜厚の場合に（よ 再生出力が低下すも この理由
として（よ 第１の磁性層と磁気ヘッドとの間隔が広く
なりすぎるためだと考えられる。
第１及び第２の磁性層の磁化容易軸の傾斜角、φ１及び
φ２（ヨ いずれも２０°から７０°の範囲内にある
場合に高い再生出力が得られモ２０°未溝の場合には従
来の垂直磁気記録媒体と同等の再生出力になってしまＬ
＼ ７０°を越えると、従来の面内磁気記録媒体と同等
の特性になってしまう。また第１の磁性層と第２の磁性
層の磁化容易軸の傾斜の方向が膜面の法線に対して反対
方向である場合に（上 同方向の場合に比べて数ｄＢ以
上出力が低下してしまう。
φ２（ヨ いずれも２０°から７０°の範囲内にある
場合に高い再生出力が得られモ２０°未溝の場合には従
来の垂直磁気記録媒体と同等の再生出力になってしまＬ
＼ ７０°を越えると、従来の面内磁気記録媒体と同等
の特性になってしまう。また第１の磁性層と第２の磁性
層の磁化容易軸の傾斜の方向が膜面の法線に対して反対
方向である場合に（上 同方向の場合に比べて数ｄＢ以
上出力が低下してしまう。
発明の効果
本発明によれば 再生出力が高く耐久性の優れた磁気記
録媒体を提供できも
録媒体を提供できも
第１図は本発明の一実施例における磁気記録媒体の構造
の概略を示す断面は 第２図は本発明の媒体を作製する
ための真空蒸着装置内部の概略を示す図であも
の概略を示す断面は 第２図は本発明の媒体を作製する
ための真空蒸着装置内部の概略を示す図であも
Claims (6)
- （１）高分子基板上に直接あるいは非磁性下地層を介し
て少なくともＣｏとＣｒを含有し、磁化容易軸が膜面の
法線に対して傾斜している第１の磁性層が形成され、そ
の上に少なくともＣｏと酸素を含有し、磁化容易軸が膜
面の法線に対して第１の磁性層と同方向に傾斜している
第２の磁性層が形成されていることを特徴とする磁気記
録媒体。 - （２）第２の磁性層の膜厚が０．０２μｍ以上０．１μ
ｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気記録
媒体。 - （３）高分子基板上に直接あるいは非磁性下地層を介し
て少なくともＣｏとＣｒを含有する第１の磁性層を形成
し、その上に少なくともＣｏと酸素を含有する第２の磁
性層を形成する際に、いずれの磁性層も真空蒸着法によ
り蒸発原子の基板への入射角を基板法線方向に対して１
０°以上７０°以下として形成することを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。 - （４）第２の磁性層の膜厚が０．０２μｍ以上０．１μ
ｍ以下であることを特徴とする請求項３記載の磁気記録
媒体の製造方法。 - （５）真空蒸着法により磁性層を形成した後に酸素を含
む雰囲気で加熱することを特徴とする請求項３あるいは
４記載の磁気記録媒体の製造方法。 - （６）加熱温度が２５０℃以上であることを特徴とする
請求項５記載の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1223558A JPH0386913A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| EP90116439A EP0415335B1 (en) | 1989-08-30 | 1990-08-28 | Magnetic recording medium |
| KR1019900013318A KR940001015B1 (ko) | 1989-08-30 | 1990-08-28 | 자기기록매체 |
| DE69013819T DE69013819T2 (de) | 1989-08-30 | 1990-08-28 | Magnetisches Aufzeichnungsmedium. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1223558A JPH0386913A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0386913A true JPH0386913A (ja) | 1991-04-11 |
Family
ID=16800043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1223558A Pending JPH0386913A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0386913A (ja) |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP1223558A patent/JPH0386913A/ja active Pending
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