JPS58125235A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS58125235A JPS58125235A JP812682A JP812682A JPS58125235A JP S58125235 A JPS58125235 A JP S58125235A JP 812682 A JP812682 A JP 812682A JP 812682 A JP812682 A JP 812682A JP S58125235 A JPS58125235 A JP S58125235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- permalloy
- recording medium
- magnetic recording
- medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は垂直記録方式に適した磁気記録媒体の製造方法
に関する。
に関する。
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直記録
方式がある。この方式においては媒体の膜面に垂直方向
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従つて信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優れた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性材料から成
る基板上に、ＣｏとＣｒを実成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁性層（以下この磁性層をＣ。
方式がある。この方式においては媒体の膜面に垂直方向
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従つて信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優れた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性材料から成
る基板上に、ＣｏとＣｒを実成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁性層（以下この磁性層をＣ。
−Ｃｒ垂直磁化膜と呼ぶ）をスパッタリング法あるいは
真空蒸着法により形成したものである。しかし基板上に
直接にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成した垂直記録媒体（
以下この媒体を単層膜媒体と呼ぶ）は信号を記録再生す
る際の効率が低い。これを改善するために第１図に示す
ような構造の媒体（以下この媒体）を２層膜媒体と呼ぶ
）が開発されている。これは高分子材料あるいは非磁性
金属等の非磁性材料から成る基板１とＣｏ−Ｃｒ垂直磁
化膜３との間に、膜面内に磁化容易軸を有するパーマロ
イ薄膜より成る磁性層２を設けたものである。ただしパ
ーマロイとはＦｅ及びＮｉ を主成分とする合金の総称
である。この様な構造を有する２層膜媒体を用いれば、
単層膜媒体に比べて記録効率及び再生効率が改善され、
特に第２図に示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより
信号を記録再生する際の効率改善が顕著である。ただし
第２図の４は強磁性薄膜より成る主磁極、６は励磁巻線
６の巻かれた強磁性コアより成る補助磁極であり、両磁
極で媒体をはさんでいる。
真空蒸着法により形成したものである。しかし基板上に
直接にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成した垂直記録媒体（
以下この媒体を単層膜媒体と呼ぶ）は信号を記録再生す
る際の効率が低い。これを改善するために第１図に示す
ような構造の媒体（以下この媒体）を２層膜媒体と呼ぶ
）が開発されている。これは高分子材料あるいは非磁性
金属等の非磁性材料から成る基板１とＣｏ−Ｃｒ垂直磁
化膜３との間に、膜面内に磁化容易軸を有するパーマロ
イ薄膜より成る磁性層２を設けたものである。ただしパ
ーマロイとはＦｅ及びＮｉ を主成分とする合金の総称
である。この様な構造を有する２層膜媒体を用いれば、
単層膜媒体に比べて記録効率及び再生効率が改善され、
特に第２図に示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより
信号を記録再生する際の効率改善が顕著である。ただし
第２図の４は強磁性薄膜より成る主磁極、６は励磁巻線
６の巻かれた強磁性コアより成る補助磁極であり、両磁
極で媒体をはさんでいる。
Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を得るためには稠密六方構造のＣ
軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが、
２層膜媒体の場合にはＣｏ −Ｃｒ膜のＣ軸配向性がパ
ーマロイ膜の配向性に影響される。
軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが、
２層膜媒体の場合にはＣｏ −Ｃｒ膜のＣ軸配向性がパ
ーマロイ膜の配向性に影響される。
この原因としてはＣｏ−Ｃｒ膜形成時のエピタキシーの
効果が考えられ、パーマロイ膜上にＣ軸配向性の良いＣ
ｏ−Ｃｒ膜を得るためには、パーマロイの（１１１）面
が膜面に平行になるように結晶を成長させなければなら
ない。ところで真空蒸着法によりパーマロイ膜を形成す
る場合には、上記の要求を満たすために膜の析出速度を
限定する必要があることが実験により明らかになった。
効果が考えられ、パーマロイ膜上にＣ軸配向性の良いＣ
ｏ−Ｃｒ膜を得るためには、パーマロイの（１１１）面
が膜面に平行になるように結晶を成長させなければなら
ない。ところで真空蒸着法によりパーマロイ膜を形成す
る場合には、上記の要求を満たすために膜の析出速度を
限定する必要があることが実験により明らかになった。
本発明は膜の析出速度を限定することにより、電子ビー
ム蒸発源を用いた真空蒸着法で配向性の良いパーマロイ
膜を形成し得ること見出したことにもとづいてなされた
ものである。以下に図面を用い本発明の説明を行う。
ム蒸発源を用いた真空蒸着法で配向性の良いパーマロイ
膜を形成し得ること見出したことにもとづいてなされた
ものである。以下に図面を用い本発明の説明を行う。
第３図に電子ビーム蒸発源を用いた真空、Ａ着装量の内
部を示す。図に示すように基板ホルダー７に保持されて
いる基板１に、電子ビーム蒸発源８から飛んでくる原子
が付着し、パーマロイ薄膜を形成する。ただし電子ビー
ム蒸発源８はパーマロイのインゴット１ｏを入れる水冷
銅ハース９及びパーマロイのインゴット１ｏを加熱し蒸
発させるだめの電子銃１１からなっている。１２は電子
銃１１から放射される電子ビームである。このような装
置により実験を行なった結果、パーマロイ膜の析出速度
を０．１μｍ／ｆｅ以上５μｍ／秒以下にすることによ
り特性の優れた２層膜媒体が得られることが明らかにな
った。以下にこのことを説明する。
部を示す。図に示すように基板ホルダー７に保持されて
いる基板１に、電子ビーム蒸発源８から飛んでくる原子
が付着し、パーマロイ薄膜を形成する。ただし電子ビー
ム蒸発源８はパーマロイのインゴット１ｏを入れる水冷
銅ハース９及びパーマロイのインゴット１ｏを加熱し蒸
発させるだめの電子銃１１からなっている。１２は電子
銃１１から放射される電子ビームである。このような装
置により実験を行なった結果、パーマロイ膜の析出速度
を０．１μｍ／ｆｅ以上５μｍ／秒以下にすることによ
り特性の優れた２層膜媒体が得られることが明らかにな
った。以下にこのことを説明する。
２層膜媒体においてはＣｏ−Ｃｒ膜の（００２）面に関
するロッキングカーブの半値幅Δθ５ｏを１ｄ以下にし
ないでと、信号を記録再生する際の特性が悪い。第４図
に１例を示す。なおΔθ５゜は（００２）面の配向の分
散を表現していると考えられ、この値が小さい程配向性
が良い。第４図の縦軸は２層膜媒体に波長０．５１ｔｍ
の信号を記録再生した際の出力相対値を示し、横軸はＣ
ｏ−Ｃｒ膜のΔθ６゜を７ＦＴ ｏまた記録及び再生用
ヘッドとしては補助磁極励磁型垂直ヘッドを使用し、２
層膜媒体におけるパーマロイ膜及びＣｏ−Ｃｒ膜の厚み
をいずれも０．２μｍとした。Δθ６゜が１８度以上に
なると出力が急激に劣化する。この原因はΔθ５゜が１
８度以下ではＣｏ−Ｃｒ膜の残留磁化は膜面に垂直方向
を向いているが、１８度以上になると膜面内を向いてし
まうためではないかと思われる。
するロッキングカーブの半値幅Δθ５ｏを１ｄ以下にし
ないでと、信号を記録再生する際の特性が悪い。第４図
に１例を示す。なおΔθ５゜は（００２）面の配向の分
散を表現していると考えられ、この値が小さい程配向性
が良い。第４図の縦軸は２層膜媒体に波長０．５１ｔｍ
の信号を記録再生した際の出力相対値を示し、横軸はＣ
ｏ−Ｃｒ膜のΔθ６゜を７ＦＴ ｏまた記録及び再生用
ヘッドとしては補助磁極励磁型垂直ヘッドを使用し、２
層膜媒体におけるパーマロイ膜及びＣｏ−Ｃｒ膜の厚み
をいずれも０．２μｍとした。Δθ６゜が１８度以上に
なると出力が急激に劣化する。この原因はΔθ５゜が１
８度以下ではＣｏ−Ｃｒ膜の残留磁化は膜面に垂直方向
を向いているが、１８度以上になると膜面内を向いてし
まうためではないかと思われる。
実験の結果、２層膜媒体においてΔθ６゜が１８度以下
のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を得るためには、電子ビーム蒸
発源を用いた真空蒸着装置において、膜の析出速度が０
．１μｍ／秒以上６μｍル以下なる条件にてパーマロイ
膜を形成すれば良いことが明らかになった。なお蒸発源
として抵抗加熱蒸発源を用いてパーマロイ膜を形成した
場合には、膜の析出速度を０．１μｍ４ｊ以上にするこ
とは非常に困難であり、配向性の良いパーマロイ膜は得
られなかった。第５図は電子ビーム蒸発源を用いた貞″
と蒸着装置によりパーマロイ膜を形成した場合の、パー
マロイ膜形成時の基板ホルダ一温度Ｔｓｕｂをパラメー
タとした、Ｃｏ−Ｃｒ膜の（００２）而に関するΔθ５
ｏとパーマロイ膜析出速度との関係を示す。第５図の曲
線１３．１４及び１６はそれぞれＴｓｕｂが２５０″Ｃ
、３００°Ｃ及び２０″Ｇ（７）場合の関係を示す。Ｔ
ｓｕｂが２６０°Ｃの時に最も小さいΔθ６゜の値が得
られた。第５図よりＴｓｕｂが２５０″Ｃの場合に、パ
ーマロイ膜の析出速度を０．１μｍＡ↓以上６μｍ／秒
以下にすることにより４０６８１８度以下の値を有する
Ｃｏ−Ｃｒ膜が得られることがわかる。
のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を得るためには、電子ビーム蒸
発源を用いた真空蒸着装置において、膜の析出速度が０
．１μｍ／秒以上６μｍル以下なる条件にてパーマロイ
膜を形成すれば良いことが明らかになった。なお蒸発源
として抵抗加熱蒸発源を用いてパーマロイ膜を形成した
場合には、膜の析出速度を０．１μｍ４ｊ以上にするこ
とは非常に困難であり、配向性の良いパーマロイ膜は得
られなかった。第５図は電子ビーム蒸発源を用いた貞″
と蒸着装置によりパーマロイ膜を形成した場合の、パー
マロイ膜形成時の基板ホルダ一温度Ｔｓｕｂをパラメー
タとした、Ｃｏ−Ｃｒ膜の（００２）而に関するΔθ５
ｏとパーマロイ膜析出速度との関係を示す。第５図の曲
線１３．１４及び１６はそれぞれＴｓｕｂが２５０″Ｃ
、３００°Ｃ及び２０″Ｇ（７）場合の関係を示す。Ｔ
ｓｕｂが２６０°Ｃの時に最も小さいΔθ６゜の値が得
られた。第５図よりＴｓｕｂが２５０″Ｃの場合に、パ
ーマロイ膜の析出速度を０．１μｍＡ↓以上６μｍ／秒
以下にすることにより４０６８１８度以下の値を有する
Ｃｏ−Ｃｒ膜が得られることがわかる。
Ｔｓｕｂが２５０″Ｃ以外の場合には、Δθ６ｏが１８
度以下になるようなパーマロイ膜の析出速度の範囲は２
５０’Ｃの場合よりも狭くなる。従って２層膜媒体にお
いて、Δθゎが１８度以下のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を得
るだめには、パーマロイ膜蒸着時の析出速度を０．１１
１ｍ／秒以上５μｍ４Ｊ’以下にすることが必要である
。
度以下になるようなパーマロイ膜の析出速度の範囲は２
５０’Ｃの場合よりも狭くなる。従って２層膜媒体にお
いて、Δθゎが１８度以下のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を得
るだめには、パーマロイ膜蒸着時の析出速度を０．１１
１ｍ／秒以上５μｍ４Ｊ’以下にすることが必要である
。
以上に説明したように、本発明によれば垂直異方性が大
てパ特性の優れた磁気記録膜媒体が容易に得られる。
てパ特性の優れた磁気記録膜媒体が容易に得られる。
第１図は磁気記録媒体の一つである２層膜媒体を示す断
面図、第２図は補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い−Ｆ記
２層膜媒体に磁気記録再生を行う様子を示す図、第３図
は電子ビーム蒸発源を用いた真空蒸着装置の内部を示す
図、第４図、第６図は出力のΔθ 依存性を示し、第５
図はΔθ５ｏとパ０ 一マロイ膜の析出速度との関係を示す。 １・・・・・・基板、２・・・・・・パーマロイ薄膜よ
りなる磁性層、３・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜、
８・・・・・・電子ビーム蒸発源、１１・・・・・・電
子銃、１２・ｅ・・・・電子ビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １２図 第 ３ｆｆｉＩ 第４図 １Ｆ５図
面図、第２図は補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い−Ｆ記
２層膜媒体に磁気記録再生を行う様子を示す図、第３図
は電子ビーム蒸発源を用いた真空蒸着装置の内部を示す
図、第４図、第６図は出力のΔθ 依存性を示し、第５
図はΔθ５ｏとパ０ 一マロイ膜の析出速度との関係を示す。 １・・・・・・基板、２・・・・・・パーマロイ薄膜よ
りなる磁性層、３・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜、
８・・・・・・電子ビーム蒸発源、１１・・・・・・電
子銃、１２・ｅ・・・・電子ビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １２図 第 ３ｆｆｉＩ 第４図 １Ｆ５図
Claims (1)
- 基板上にパーマロイ薄膜を形成し、さらに上記薄膜上に
膜面に垂直方向に磁化容易軸を有しＣＯとＣｒ を主成
分とする磁性層を形成して磁気記録媒体を製造するに際
し、上記パーマロイ薄膜を電子ビーム蒸発源を用いた真
空蒸着法により、膜の析出速度が０．１μｍ／秒以上５
μｍ／秒以下になるようにして形成することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP812682A JPS58125235A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP812682A JPS58125235A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58125235A true JPS58125235A (ja) | 1983-07-26 |
Family
ID=11684592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP812682A Pending JPS58125235A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58125235A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4722869A (en) * | 1985-07-03 | 1988-02-02 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium |
-
1982
- 1982-01-20 JP JP812682A patent/JPS58125235A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4722869A (en) * | 1985-07-03 | 1988-02-02 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium |
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