JPS61267927A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61267927A JPS61267927A JP10978785A JP10978785A JPS61267927A JP S61267927 A JPS61267927 A JP S61267927A JP 10978785 A JP10978785 A JP 10978785A JP 10978785 A JP10978785 A JP 10978785A JP S61267927 A JPS61267927 A JP S61267927A
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- Japan
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- recording medium
- soft magnetic
- magnetic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、垂直磁気記録媒体、詳しくは、垂直磁気記録
方式に用いられる記録媒体の多層膜構造に関する。
方式に用いられる記録媒体の多層膜構造に関する。
〔従来の技術］
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、最近、垂
直磁気記録方式の研究および開発が盛んである。垂直磁
気記録方式においては、膜面に垂直方向に磁化容易軸を
有する磁気記録媒体（以下、記録媒体とする）が必要で
あり、このため１例えば、第２図に示すようにポリエチ
レンテレフタレー） （ＰＥＴ）あるいはポリイミドフ
ィルム等カラなる高分子フレキシブルフィルム１上にＦ
ｅＮｉパーマロイ等からなる高透磁率磁性膜２を０．５
μｍ程度設け、その上に、膜面に垂直方向の磁化容易軸
を有するＣｏＣｒ等からなる垂直磁化膜３を例えば０．
２μｍ程度設けてなる記録媒体４が用いられている。
直磁気記録方式の研究および開発が盛んである。垂直磁
気記録方式においては、膜面に垂直方向に磁化容易軸を
有する磁気記録媒体（以下、記録媒体とする）が必要で
あり、このため１例えば、第２図に示すようにポリエチ
レンテレフタレー） （ＰＥＴ）あるいはポリイミドフ
ィルム等カラなる高分子フレキシブルフィルム１上にＦ
ｅＮｉパーマロイ等からなる高透磁率磁性膜２を０．５
μｍ程度設け、その上に、膜面に垂直方向の磁化容易軸
を有するＣｏＣｒ等からなる垂直磁化膜３を例えば０．
２μｍ程度設けてなる記録媒体４が用いられている。
このように２つの磁性層を有してなる２層膜の記録媒体
４が記録・再生感度等の点で優れ、今後も有望視されて
いる。上記軟磁性膜２．垂直磁化膜３の膜作成法は、ス
パッタ法、真空蒸着法、あるいはイオンブレーティング
法、さらには塗布やメッキ法等多様であるが、記録密度
という観点からすると、スパッタ法が最も良好な結果を
得ている。
４が記録・再生感度等の点で優れ、今後も有望視されて
いる。上記軟磁性膜２．垂直磁化膜３の膜作成法は、ス
パッタ法、真空蒸着法、あるいはイオンブレーティング
法、さらには塗布やメッキ法等多様であるが、記録密度
という観点からすると、スパッタ法が最も良好な結果を
得ている。
上記記録媒体４に垂直磁界を印加する垂直磁気ヘッドと
しては１例えば、第３図に示すように、ＣｏＺｒＮｂ等
の高透磁率軟磁性膜からなる主磁極５と、フェライト等
の高透磁率磁性ブロック６に巻線７を巻き、上記主磁極
５に上記記録媒体４を挾んで対向させた補助磁極８とか
ら構成されてなる補助磁極励磁型の垂直磁気ヘッド９が
提案されている。記録の際には１巻線７に信号電流ｉを
流すことにより、その電流ｉによって主磁極５が磁化さ
れ、この主磁極５の磁化により生ずる垂直磁界忙よシ上
記記録媒体４が磁化される。すると、上記垂直磁化膜３
には膜面に垂直方向に残留磁化が形成される。また、再
生時には、記録媒体４の磁化部分から生ずる磁界によシ
主磁極５が磁化され、この主磁極５の磁化変化によ多巻
線７に電圧が誘起されて取シ出される。
しては１例えば、第３図に示すように、ＣｏＺｒＮｂ等
の高透磁率軟磁性膜からなる主磁極５と、フェライト等
の高透磁率磁性ブロック６に巻線７を巻き、上記主磁極
５に上記記録媒体４を挾んで対向させた補助磁極８とか
ら構成されてなる補助磁極励磁型の垂直磁気ヘッド９が
提案されている。記録の際には１巻線７に信号電流ｉを
流すことにより、その電流ｉによって主磁極５が磁化さ
れ、この主磁極５の磁化により生ずる垂直磁界忙よシ上
記記録媒体４が磁化される。すると、上記垂直磁化膜３
には膜面に垂直方向に残留磁化が形成される。また、再
生時には、記録媒体４の磁化部分から生ずる磁界によシ
主磁極５が磁化され、この主磁極５の磁化変化によ多巻
線７に電圧が誘起されて取シ出される。
ところで、この記録・再生時において、上記記録媒体４
の高透磁率軟磁性膜２は補助磁極８からの磁束を主磁極
５に集中させるように磁路を形成する作用をなす。これ
は主磁極５を補助磁極８に極めて接近させたことと等価
である。また、上記記録媒体４に残留磁化が形成された
状態では、高透磁率軟磁性膜２の存在によって第４図に
示すような馬蹄形の磁化モードが形成されるので、Ｃｏ
Ｃｒ単層膜の記録媒体に較べて自己減磁作用が少なくな
シ、この記録媒体４を用いることにより垂直磁気記録ヘ
ッド９における記録・再生の感度を約１０倍向上させる
ことができ、さらに記録の保存性を高めることができる
。
の高透磁率軟磁性膜２は補助磁極８からの磁束を主磁極
５に集中させるように磁路を形成する作用をなす。これ
は主磁極５を補助磁極８に極めて接近させたことと等価
である。また、上記記録媒体４に残留磁化が形成された
状態では、高透磁率軟磁性膜２の存在によって第４図に
示すような馬蹄形の磁化モードが形成されるので、Ｃｏ
Ｃｒ単層膜の記録媒体に較べて自己減磁作用が少なくな
シ、この記録媒体４を用いることにより垂直磁気記録ヘ
ッド９における記録・再生の感度を約１０倍向上させる
ことができ、さらに記録の保存性を高めることができる
。
以上のことから、膜面内に磁化容易軸を有する高透磁率
軟磁性膜２と膜面に垂直に磁化容易軸を有する垂直磁化
膜３とを設けてなる記録媒体を用いることは必要不可欠
である。
軟磁性膜２と膜面に垂直に磁化容易軸を有する垂直磁化
膜３とを設けてなる記録媒体を用いることは必要不可欠
である。
しかし、上記垂直磁化膜３を得るためには、稠密六方構
造のＣ軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であ
るが、上記２層膜の記録媒体４の場合には、垂直磁化膜
３であるＣｏＣｒ膜のＣ軸配向性が、その下地の高透磁
率軟磁性膜２であるパーマロイ膜の配向性に大きく影響
されてしまう−。この原因としては、ＣｏＣｒ膜形成時
のエピタキシーの効果が考えられる。そして、パーマロ
イ膜に近い部分はどその影響が大きいので、 ＣｏＣｒ
膜を薄くすればするほど、Ｃ軸配向性の劣化したＣｏＣ
ｒ膜を得ることになる。例えば、ポリイミドフィルム上
にＣｏ ；８０重量’ ｒ Ｃｒ ＃ ２０重量％のｃ
ｏｃｒを直接膜形成してＣｏＣｒ単層膜とした場合とＦ
ｅＮｔ ／＜−マロイ膜を０．５μｍ下地膜とし、その
上に上記と同様のＣｏＣｒ膜を設けて２層膜とした場合
とでＣｏＣｒ膜のＣ軸配向性を調べてみると、このＣｏ
Ｃｒ膜の膜厚によるが、同膜厚を０．２μｍとした場合
、Ｘ線回折線のロッキングカーブの半値幅（ΔθＳＯ）
は前者でΔθ５ｏ中５〜８°、後者でへ〇５ｏ中１２〜
１ｆとなり、後者の方が極端にＣ軸配向性が劣化するこ
とが明らかであった。勿論、作成条件によってこのＸ線
回折線のロッキングカーブの半値幅は若干変化するが、
傾向は劣らず、従って、Δθ５ｏ＜ｌｏｏであることが
望ましい。
造のＣ軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であ
るが、上記２層膜の記録媒体４の場合には、垂直磁化膜
３であるＣｏＣｒ膜のＣ軸配向性が、その下地の高透磁
率軟磁性膜２であるパーマロイ膜の配向性に大きく影響
されてしまう−。この原因としては、ＣｏＣｒ膜形成時
のエピタキシーの効果が考えられる。そして、パーマロ
イ膜に近い部分はどその影響が大きいので、 ＣｏＣｒ
膜を薄くすればするほど、Ｃ軸配向性の劣化したＣｏＣ
ｒ膜を得ることになる。例えば、ポリイミドフィルム上
にＣｏ ；８０重量’ ｒ Ｃｒ ＃ ２０重量％のｃ
ｏｃｒを直接膜形成してＣｏＣｒ単層膜とした場合とＦ
ｅＮｔ ／＜−マロイ膜を０．５μｍ下地膜とし、その
上に上記と同様のＣｏＣｒ膜を設けて２層膜とした場合
とでＣｏＣｒ膜のＣ軸配向性を調べてみると、このＣｏ
Ｃｒ膜の膜厚によるが、同膜厚を０．２μｍとした場合
、Ｘ線回折線のロッキングカーブの半値幅（ΔθＳＯ）
は前者でΔθ５ｏ中５〜８°、後者でへ〇５ｏ中１２〜
１ｆとなり、後者の方が極端にＣ軸配向性が劣化するこ
とが明らかであった。勿論、作成条件によってこのＸ線
回折線のロッキングカーブの半値幅は若干変化するが、
傾向は劣らず、従って、Δθ５ｏ＜ｌｏｏであることが
望ましい。
そこで、 ＣｏＣｒの垂直磁化膜３のＣ軸配向性を向上
させる方法が既に種り提案されておシ１例えば、特開昭
５８−１４３１８号公報では、Ｔｉ等の非磁性層あるい
は５ｔ０２１ ＴｌＯ２等の非磁性非晶質層を、ＣｏＣ
ｒの垂直磁化膜３とＦｅＮｉパーマロイの高透磁率軟磁
性膜２との間に５０〜１５００Ａの膜厚で設けることに
よりＣｏＣｒ垂直磁化膜３のＣ軸配向性が向上すると開
示している。しかしながら、垂直磁化膜３と高透磁率軟
磁性膜２との間に非磁性層を設けることは、それだけ、
前述した２層膜垂直記録媒体としての機能が低下し、特
性劣化をもたらすことは明白である。
させる方法が既に種り提案されておシ１例えば、特開昭
５８−１４３１８号公報では、Ｔｉ等の非磁性層あるい
は５ｔ０２１ ＴｌＯ２等の非磁性非晶質層を、ＣｏＣ
ｒの垂直磁化膜３とＦｅＮｉパーマロイの高透磁率軟磁
性膜２との間に５０〜１５００Ａの膜厚で設けることに
よりＣｏＣｒ垂直磁化膜３のＣ軸配向性が向上すると開
示している。しかしながら、垂直磁化膜３と高透磁率軟
磁性膜２との間に非磁性層を設けることは、それだけ、
前述した２層膜垂直記録媒体としての機能が低下し、特
性劣化をもたらすことは明白である。
また、特開昭５７−２０８６３１号公報では、ＣｏＣｒ
膜を形成するための下地膜として、上記ＦｅＮｉパーマ
ロイ膜の代シに非晶質の高透磁率軟磁性膜１例えば、Ｃ
ｏＺｒＭｏ 、 ＣｏＦｅ５ｉＢ等を用いることによっ
て、 ＦｅＮｉパーマロイ膜の場合に較べてＣｏＣｒ膜
のＣ軸配向性が非常に良くなると開示している。しかし
、高分子フィルム上に裏打層として直接非晶質の高透磁
率軟磁性膜を形成し、この上にｑｏｃｒ膜を形成した２
層膜構造の記録媒体を用いた場合には、再生の際に大き
なノイズが発生し、一定周波数（例えば。
膜を形成するための下地膜として、上記ＦｅＮｉパーマ
ロイ膜の代シに非晶質の高透磁率軟磁性膜１例えば、Ｃ
ｏＺｒＭｏ 、 ＣｏＦｅ５ｉＢ等を用いることによっ
て、 ＦｅＮｉパーマロイ膜の場合に較べてＣｏＣｒ膜
のＣ軸配向性が非常に良くなると開示している。しかし
、高分子フィルム上に裏打層として直接非晶質の高透磁
率軟磁性膜を形成し、この上にｑｏｃｒ膜を形成した２
層膜構造の記録媒体を用いた場合には、再生の際に大き
なノイズが発生し、一定周波数（例えば。
Ｉ ＭＨｚの搬送波信号）を用いてその再生特性を調べ
たときｃ／Ｎ（Ｃ；キャリア、Ｎ；ノイズ）が劣化し、
再生出力レベルと同程度のスパイク状のノイズをも発生
することが知られている。
たときｃ／Ｎ（Ｃ；キャリア、Ｎ；ノイズ）が劣化し、
再生出力レベルと同程度のスパイク状のノイズをも発生
することが知られている。
そこで１本発明は、上記両公知例の問題点に着目し、２
層膜構造の長所である磁気相互作用を損わすに、しかも
垂直磁化膜のＣｏＣｒの配向性を高め、かつ再生時にノ
イズの発生しない垂直磁気記録媒体を提供することを目
的とする。
層膜構造の長所である磁気相互作用を損わすに、しかも
垂直磁化膜のＣｏＣｒの配向性を高め、かつ再生時にノ
イズの発生しない垂直磁気記録媒体を提供することを目
的とする。
Ｃ問題点を解決するだめの手段および作用〕この垂直磁
気記録媒体は、基体上に設けた、膜面内に磁化容易軸を
有する結晶質の高透磁率軟磁性膜と、膜面に垂直に磁化
容易軸を有する垂直磁化膜との間に、非晶質の高透磁率
軟磁性膜を形成してなり、同非晶質の高透磁率軟磁性膜
を垂直磁化膜の下地膜として作用させるようにしたもの
である。
気記録媒体は、基体上に設けた、膜面内に磁化容易軸を
有する結晶質の高透磁率軟磁性膜と、膜面に垂直に磁化
容易軸を有する垂直磁化膜との間に、非晶質の高透磁率
軟磁性膜を形成してなり、同非晶質の高透磁率軟磁性膜
を垂直磁化膜の下地膜として作用させるようにしたもの
である。
第１図は本発明の一実施例を示す垂直磁気記録媒体の断
面図である。基体である２５３℃厚のポリイミドフィル
ム１１上に、裏打ち層として通常用いられている結晶質
の高透磁率軟磁性膜であるＦｅＮｉパーマロイ膜１２が
０．４μｍ厚で設けられている。
面図である。基体である２５３℃厚のポリイミドフィル
ム１１上に、裏打ち層として通常用いられている結晶質
の高透磁率軟磁性膜であるＦｅＮｉパーマロイ膜１２が
０．４μｍ厚で設けられている。
このＦｅＮｉパーマロイ膜１２の組成は、Ｆｅ ； １
３〜１４ ％ ＋ Ｎｉ； ７７ ％ 、 Ｃｕ ；
４〜５ ％ ＋ Ｍｏ ； ４〜５チ（いずれも重量係
、以下同様）とされている。
３〜１４ ％ ＋ Ｎｉ； ７７ ％ 、 Ｃｕ ；
４〜５ ％ ＋ Ｍｏ ； ４〜５チ（いずれも重量係
、以下同様）とされている。
このパーマロイ膜１２の上に非晶質の高透磁率軟磁性膜
であるＣ０ＺｒＭｏ膜１０が０．１μｍ厚で設けられて
いる。このＣｏＺｒＭｏ膜１０の組膜上０ Ｃｏ ；
８０９１ｉ ＊Ｚｒ ｓ １０憾ｐ Ｍｏ ； １０幅
とされている。そして。
であるＣ０ＺｒＭｏ膜１０が０．１μｍ厚で設けられて
いる。このＣｏＺｒＭｏ膜１０の組膜上０ Ｃｏ ；
８０９１ｉ ＊Ｚｒ ｓ １０憾ｐ Ｍｏ ； １０幅
とされている。そして。
さらに、このＣｏＺｒＭｏ膜ｌＯの上に、垂直磁化膜で
ある、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有したＣｏＣｒ膜
１３が０．２μｍの膜厚で設けられている。このＣｏＣ
ｒ膜１３の組成はＣｏ ； ８２．５ ’Ｉｒ 、 Ｃ
ｒ ； １７．５ ’Ａとされている。この実施例では
上記の各膜１２ 、１０゜１３の膜形成はいずれもスパ
ッタ法によって行われ、スパッタ装置として１例えば４
インチ径の３タ一ゲツト方式のＲＦ（高周波）スパッタ
装置が使用される。そして、ＣｏＣｒ膜１３およびＦｅ
Ｎｉパーマロイ膜１２の膜形成には強磁性マグネトロン
カソードを使用し、ＣｏＺｒＭｏ Ｍ １０の形成には
非磁性マグネトロンカソードを使用する。このスパッタ
法による膜作成条件は下記の表に示すように設定される
。
ある、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有したＣｏＣｒ膜
１３が０．２μｍの膜厚で設けられている。このＣｏＣ
ｒ膜１３の組成はＣｏ ； ８２．５ ’Ｉｒ 、 Ｃ
ｒ ； １７．５ ’Ａとされている。この実施例では
上記の各膜１２ 、１０゜１３の膜形成はいずれもスパ
ッタ法によって行われ、スパッタ装置として１例えば４
インチ径の３タ一ゲツト方式のＲＦ（高周波）スパッタ
装置が使用される。そして、ＣｏＣｒ膜１３およびＦｅ
Ｎｉパーマロイ膜１２の膜形成には強磁性マグネトロン
カソードを使用し、ＣｏＺｒＭｏ Ｍ １０の形成には
非磁性マグネトロンカソードを使用する。このスパッタ
法による膜作成条件は下記の表に示すように設定される
。
まず、基体であるポリイミドフィルム１１ヲ３ｏＯ℃の
温度にて２時間加熱したのち、続いて２００℃に迄下げ
、このあと、バックグラウンド圧力が２×１Ｏ−７Ｔｏ
ｒｒ以下になるまで排気し、続いて上記基体の温度を水
冷する。そして、このあと、上記３つの膜１２ 、１０
、１３をこの順で上記表に示す条件の下にて連続して
形成する。
温度にて２時間加熱したのち、続いて２００℃に迄下げ
、このあと、バックグラウンド圧力が２×１Ｏ−７Ｔｏ
ｒｒ以下になるまで排気し、続いて上記基体の温度を水
冷する。そして、このあと、上記３つの膜１２ 、１０
、１３をこの順で上記表に示す条件の下にて連続して
形成する。
上記の膜形成によって得られた第１図に示す構造の垂直
磁気記録媒体１４においでは、上記と同様な膜作成条件
で膜形成して得られる、ＣｏＺｒＭｏ膜１０を有膜上０
従来の構造の垂直磁気記録媒体に較べて、ＣｏＣｒ膜１
２のＣ軸配向性が良好になる。すなわち、両者の垂直磁
気記録媒体についてそのＣｏＣｒ膜のＣ軸配向性を調べ
、これをＸ線回折線のロッキングカーブの半値幅〔Δθ
５０）で表わすと。
磁気記録媒体１４においでは、上記と同様な膜作成条件
で膜形成して得られる、ＣｏＺｒＭｏ膜１０を有膜上０
従来の構造の垂直磁気記録媒体に較べて、ＣｏＣｒ膜１
２のＣ軸配向性が良好になる。すなわち、両者の垂直磁
気記録媒体についてそのＣｏＣｒ膜のＣ軸配向性を調べ
、これをＸ線回折線のロッキングカーブの半値幅〔Δθ
５０）で表わすと。
従来構造の垂直磁気記録媒体の場合にはΔθ５ｏ中１ｆ
となるのに対し、上記実施例の垂直磁気記録媒体１４の
場合には、第５図に示すようにΔθｓｏ ＝ ７．８°
となり、著しく配向性が向上していることがわかる。
となるのに対し、上記実施例の垂直磁気記録媒体１４の
場合には、第５図に示すようにΔθｓｏ ＝ ７．８°
となり、著しく配向性が向上していることがわかる。
さらに、上記垂直磁気記録媒体１４に、例えば、Ｉ Ｍ
Ｈｚの信号を記録し、その再生信号を観測すると、その
再生信号波形は第６図に示すようになる。
Ｈｚの信号を記録し、その再生信号を観測すると、その
再生信号波形は第６図に示すようになる。
従って、この波形図からノイズを発生しないことがわか
る。
る。
以上述べたように、本発明によれば、Ｃ軸配向性の非常
に優れたＣｏＣｒを主体とする垂直磁化膜を有し、しか
もノイズのない特性の良い垂直磁気記録媒体を得ること
ができる。
に優れたＣｏＣｒを主体とする垂直磁化膜を有し、しか
もノイズのない特性の良い垂直磁気記録媒体を得ること
ができる。
第１図は、本発明の一実施例を示す垂直磁気記録媒体の
一部を拡大した断面図、 第２図は、従来の垂直磁気記録媒体の一例の−部を拡大
した断面図、 第３図は、垂直磁気記録ヘッドによって記録される２層
膜構造の垂直磁気記録媒体の記録作用を説明するための
断面図、 第４図は、記録保持された垂直磁気記録媒体の磁気モー
ドを説明するだめの断面図。 第５図は、上記第１図に示す垂直磁気記録媒体における
垂直磁化膜のＣ軸配向性を表わすＸ線回折線のロッキン
グカーブ、 第６図は、上記第１図に示す垂直磁気記録媒体の再生信
号の一例の出力波形図である。 １０・・・・ＣｏＺｒＭｏ膜（非晶質の高透磁率軟磁性
膜）１１・・・・ポリイミドフィルム（基体）１２・・
・・ＦｅＮｉパーマロイ膜 （結晶質の高透磁率軟磁性膜） １３・・会・ＣｏＣｒ膜（垂直磁化膜）ルｌ 区 ち２区
一部を拡大した断面図、 第２図は、従来の垂直磁気記録媒体の一例の−部を拡大
した断面図、 第３図は、垂直磁気記録ヘッドによって記録される２層
膜構造の垂直磁気記録媒体の記録作用を説明するための
断面図、 第４図は、記録保持された垂直磁気記録媒体の磁気モー
ドを説明するだめの断面図。 第５図は、上記第１図に示す垂直磁気記録媒体における
垂直磁化膜のＣ軸配向性を表わすＸ線回折線のロッキン
グカーブ、 第６図は、上記第１図に示す垂直磁気記録媒体の再生信
号の一例の出力波形図である。 １０・・・・ＣｏＺｒＭｏ膜（非晶質の高透磁率軟磁性
膜）１１・・・・ポリイミドフィルム（基体）１２・・
・・ＦｅＮｉパーマロイ膜 （結晶質の高透磁率軟磁性膜） １３・・会・ＣｏＣｒ膜（垂直磁化膜）ルｌ 区 ち２区
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 膜面に垂直に磁化容易軸を有するＣｏＣｒを主体とした
磁性体からなる垂直磁化膜と、膜面内に磁化容易軸を有
するＦｅＮｉを主体とした結晶質の高透磁率軟磁性膜と
を基体上に設けた複合磁気記録媒体において、 上記垂直磁化膜と上記結晶質高透磁率軟磁性膜との間に
、非晶質の高透磁率軟磁性膜を設けてなることを特徴と
する垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10978785A JPS61267927A (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10978785A JPS61267927A (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61267927A true JPS61267927A (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=14519208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10978785A Pending JPS61267927A (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61267927A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0406726A2 (en) * | 1989-07-03 | 1991-01-09 | Digital Equipment Corporation Japan | Magnetic recording medium and method of manufacture therefor |
| US5242761A (en) * | 1990-07-03 | 1993-09-07 | Digital Equipment Corporation Japan | Magnetic recording medium comprising NiFe and CoZr alloy crystalline magnetic alloy layers and a Co-Cr vertically magnetizable layer |
| EP0809238A2 (en) * | 1996-05-20 | 1997-11-26 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic recording system using the same |
| US6403240B1 (en) | 1996-05-20 | 2002-06-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic recording system using the same |
| US6846583B2 (en) | 2000-11-09 | 2005-01-25 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
-
1985
- 1985-05-22 JP JP10978785A patent/JPS61267927A/ja active Pending
Cited By (8)
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| US6596420B2 (en) | 1996-05-20 | 2003-07-22 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic recording system using the same |
| US7056604B2 (en) | 1996-05-20 | 2006-06-06 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic recording system using the same |
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