JPS5975428A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPS5975428A JPS5975428A JP57186434A JP18643482A JPS5975428A JP S5975428 A JPS5975428 A JP S5975428A JP 57186434 A JP57186434 A JP 57186434A JP 18643482 A JP18643482 A JP 18643482A JP S5975428 A JPS5975428 A JP S5975428A
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- Japan
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- film
- soft magnetic
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- magnetic film
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/667—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers including a soft magnetic layer
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度記録特性の優れた、垂直磁気記録用の媒
体に関する。
体に関する。
従来例の構成とその問題点
垂直磁気記録媒体としては非強磁性基板上にＣｏ −Ｃ
ｒ垂直磁化膜を直接構成したものより２非強磁性基板上
に軟質磁性膜例えば・く−マロイ膜を構成し、その上に
Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を構成したいわゆる２層構造媒
体の方が、記録効率及び再生出力が格段に優れている。
ｒ垂直磁化膜を直接構成したものより２非強磁性基板上
に軟質磁性膜例えば・く−マロイ膜を構成し、その上に
Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を構成したいわゆる２層構造媒
体の方が、記録効率及び再生出力が格段に優れている。
非強磁性基板として高分子材料より成るフィルムを選び
、このフィルム上にＣｏ −Ｃｒ膜を適当な条件で構成
すれば、ｈａｐ結晶Ｃ軸の垂直配向性は極めて良い。し
かるにフィルム上に・く−マロイ等の結晶質薄膜を構成
し、その上にＣｏ −Ｃｒ膜をつけると結晶質薄膜のた
めに、Ｃｏ −Ｃｒ膜のＣ軸の垂直配向性が著しるしく
悪くなる。以上のように垂直磁気記録媒体は本質的に２
層構造にしたいが、軟質磁性膜としてパーマロイ等の結
晶質薄膜を用いると−Ｃｏ−Ｃｒ膜のＣ軸の垂直配向性
が悪くなるという相゛反現象があった。ここで注目すべ
きは高分子材料より成るフィルム等のような、結晶質と
異なる非晶質状態の上にＣｏ −Ｃｒ膜を構成するとＣ
軸の垂直配向性が良いことである。このような観点から
非晶質軟質磁性膜の上にＣｏ −Ｃｒ膜を構成すると、
著しるしくＣ軸の垂直配向性が向上することが報告され
ている。しかしながら、通常の非晶質磁性合金としては
金属−金属系（例えばｃｏ −ｚｒ ）と金属−メタロ
イド系（例えばＣｏ −８ｉ−Ｂ）等があるが、いずれ
も非晶質状態になる組成域は限られておりわずかな組成
ずれて磁気特性が変わるので、スパッタリング法等の技
術により厳密な条件下で作製されなければならない。
、このフィルム上にＣｏ −Ｃｒ膜を適当な条件で構成
すれば、ｈａｐ結晶Ｃ軸の垂直配向性は極めて良い。し
かるにフィルム上に・く−マロイ等の結晶質薄膜を構成
し、その上にＣｏ −Ｃｒ膜をつけると結晶質薄膜のた
めに、Ｃｏ −Ｃｒ膜のＣ軸の垂直配向性が著しるしく
悪くなる。以上のように垂直磁気記録媒体は本質的に２
層構造にしたいが、軟質磁性膜としてパーマロイ等の結
晶質薄膜を用いると−Ｃｏ−Ｃｒ膜のＣ軸の垂直配向性
が悪くなるという相゛反現象があった。ここで注目すべ
きは高分子材料より成るフィルム等のような、結晶質と
異なる非晶質状態の上にＣｏ −Ｃｒ膜を構成するとＣ
軸の垂直配向性が良いことである。このような観点から
非晶質軟質磁性膜の上にＣｏ −Ｃｒ膜を構成すると、
著しるしくＣ軸の垂直配向性が向上することが報告され
ている。しかしながら、通常の非晶質磁性合金としては
金属−金属系（例えばｃｏ −ｚｒ ）と金属−メタロ
イド系（例えばＣｏ −８ｉ−Ｂ）等があるが、いずれ
も非晶質状態になる組成域は限られておりわずかな組成
ずれて磁気特性が変わるので、スパッタリング法等の技
術により厳密な条件下で作製されなければならない。
スパッタリング法においては膜形成速度が数人／秒程度
であり、生産性が非常に低い。垂直８気記録媒体を量産
するためには、数１０００人／秒程度の膜形成速度が要
求され、これをスパッタリング法で達成することは困難
である。スパッタリング法に対し、真空蒸着法によれば
数１０００人／秒の膜形成速度は容易に達成されるが、
上記の通常の非晶質磁性合金膜を真空蒸着法で作製する
ことは困難である。一方、Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜は真
空蒸着法により数１０００人／秒の膜形成速度で作製さ
れることが知られている。従って、真空蒸着法で数１０
００人／秒の膜形成速度で形成され得る非晶質軟磁性膜
を見い出すことが出来れば、Ｃｏ −Ｃｒ膜のＣ軸の垂
直配向性の非常に優れた２層構造媒体を、真空蒸着法に
より高速で作製することが可能であるが、このような非
晶質軟磁性膜はこれまで見い出されていなかった。
であり、生産性が非常に低い。垂直８気記録媒体を量産
するためには、数１０００人／秒程度の膜形成速度が要
求され、これをスパッタリング法で達成することは困難
である。スパッタリング法に対し、真空蒸着法によれば
数１０００人／秒の膜形成速度は容易に達成されるが、
上記の通常の非晶質磁性合金膜を真空蒸着法で作製する
ことは困難である。一方、Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜は真
空蒸着法により数１０００人／秒の膜形成速度で作製さ
れることが知られている。従って、真空蒸着法で数１０
００人／秒の膜形成速度で形成され得る非晶質軟磁性膜
を見い出すことが出来れば、Ｃｏ −Ｃｒ膜のＣ軸の垂
直配向性の非常に優れた２層構造媒体を、真空蒸着法に
より高速で作製することが可能であるが、このような非
晶質軟磁性膜はこれまで見い出されていなかった。
発明の目的
本発明は真空蒸着法により高速で作製することの可能な
２層構造の垂直磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。
２層構造の垂直磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。
発明の構成
本発明は非強磁性基板上に軟質磁性膜を、さらに上記軟
質磁性膜上にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜をもつ垂直磁気記
録用の２層構造媒体において、上記軟質磁性膜として３
ｄ鉄属遷移金属と上記遷移金属と全く固溶しないか、あ
るいは固溶限の極めて小さいｌｂ族または鉛の少なくと
も１つの組合せからなる軟質磁性膜を用いることを特徴
とするもので、上記のような軟質磁性膜を用いることに
より。
質磁性膜上にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜をもつ垂直磁気記
録用の２層構造媒体において、上記軟質磁性膜として３
ｄ鉄属遷移金属と上記遷移金属と全く固溶しないか、あ
るいは固溶限の極めて小さいｌｂ族または鉛の少なくと
も１つの組合せからなる軟質磁性膜を用いることを特徴
とするもので、上記のような軟質磁性膜を用いることに
より。
その上に形成されたＣｏ −Ｃｒ膜のＣ軸の垂直配向性
は非常に良くなり、記録再生特性の優れた２層構造媒体
が得られるのである。
は非常に良くなり、記録再生特性の優れた２層構造媒体
が得られるのである。
実施例の説明
下の表を用いて本発明を説明する。
＝にの表には各種下地上にｃｏ −ｃｒ膜を真空蒸着法
により形成した場合の−Ｃｏ −ｃｒ膜のＣ軸の垂直配
向性を示している。ただし、Ｃ軸の垂直配向性はｈａｐ
結晶（００２）面に関するロッキング曲線の半値幅Δθ
５ｏで評価しており、Δθ５０が小さい程Ｃ軸の分散が
小さく、配向性が良い。なお−同表中のパーマロイ膜、
Ｆｅ−Ａｇ非晶質膜、Ｆｅ−Ｃｕ準安定相結晶質膜は真
空蒸着法により、Ｃｏ −Ｚｒ−Ｍｏ 非晶質膜はスパ
ッタリング法により高分子材料より成るフィルム上に形
成したものである。
により形成した場合の−Ｃｏ −ｃｒ膜のＣ軸の垂直配
向性を示している。ただし、Ｃ軸の垂直配向性はｈａｐ
結晶（００２）面に関するロッキング曲線の半値幅Δθ
５ｏで評価しており、Δθ５０が小さい程Ｃ軸の分散が
小さく、配向性が良い。なお−同表中のパーマロイ膜、
Ｆｅ−Ａｇ非晶質膜、Ｆｅ−Ｃｕ準安定相結晶質膜は真
空蒸着法により、Ｃｏ −Ｚｒ−Ｍｏ 非晶質膜はスパ
ッタリング法により高分子材料より成るフィルム上に形
成したものである。
また、同表中には下地膜の保磁力Ｈａも記入しであるが
、いずれの下地膜も数Ｏｓ 以下であり、２層構造媒体
における軟質磁性膜として機能する。
、いずれの下地膜も数Ｏｓ 以下であり、２層構造媒体
における軟質磁性膜として機能する。
同表から、高分子材料より成るフィルム上に直接Ｃｏ
−Ｃｒ膜を蒸着すると−Δθ５ｏ は６° となって
おりＣ軸の垂直配向性が良いが、パーマロイ蒸着膜を介
してＣｏ −Ｃｒ膜を蒸着すると、Δθ５ｏは２３゜に
広がってしまい、Ｃ軸の垂直配向性が大幅に低下してい
ることがわかる。Ｃ軸の垂直配向性の劣化の結果、記録
再生特性が悪くなる。軟質磁性膜としてパーマロイ蒸着
膜のかわりに−Ｃｏ−Ｚｒ−Ｍｏ非晶質スパッタ膜を用
いると、Ｃｏ −Ｃｒ膜のΔθ５ｏば６° であり、Ｃ
軸の垂直配向性が良い。
−Ｃｒ膜を蒸着すると−Δθ５ｏ は６° となって
おりＣ軸の垂直配向性が良いが、パーマロイ蒸着膜を介
してＣｏ −Ｃｒ膜を蒸着すると、Δθ５ｏは２３゜に
広がってしまい、Ｃ軸の垂直配向性が大幅に低下してい
ることがわかる。Ｃ軸の垂直配向性の劣化の結果、記録
再生特性が悪くなる。軟質磁性膜としてパーマロイ蒸着
膜のかわりに−Ｃｏ−Ｚｒ−Ｍｏ非晶質スパッタ膜を用
いると、Ｃｏ −Ｃｒ膜のΔθ５ｏば６° であり、Ｃ
軸の垂直配向性が良い。
しかし、前述したようにＣｏ −Ｚｒ−ＭＯ非晶質スパ
ッタ膜の膜形成速度は非常に遅く、生産性が悪い。以上
に対し軟質磁性膜として、３ｄ鉄属遷移金属のＦｅとＩ
ｂ族のＡｇあるいはＣｕとの合金であるＦｅ−Ａｇ非晶
質蒸着膜、あるいはＦｅ −Ｃｕ準安定相結晶質蒸着膜
を用いると、Ｃｏ −ｃｒ膜のΔθ５ｏ ばそれぞれ
６°及び８° となっており、Ｃ軸の垂直配向性が優れ
ている。また、Ｆｅ −Ａｇ非晶質蒸着膜、Ｆｅ−Ｃｕ
準安定相結晶質蒸着膜ともに数１０００人／秒程度の高
堆積速度で膜を形成できるので生産性も優れている。同
表ではＦｅ −Ａｇ及びＦｅ−Ｃｕの例を述べたが、こ
れら以外に３ｄ鉄属遷移金属とその遷移金属と全く固溶
しないか、あるいは固溶限の極めて小さいＩｂ族または
鉛の少なくとも１つの組合せからなる軟質磁性膜を用い
ても同様の結果が得られることが実験で確かめられてい
る。
ッタ膜の膜形成速度は非常に遅く、生産性が悪い。以上
に対し軟質磁性膜として、３ｄ鉄属遷移金属のＦｅとＩ
ｂ族のＡｇあるいはＣｕとの合金であるＦｅ−Ａｇ非晶
質蒸着膜、あるいはＦｅ −Ｃｕ準安定相結晶質蒸着膜
を用いると、Ｃｏ −ｃｒ膜のΔθ５ｏ ばそれぞれ
６°及び８° となっており、Ｃ軸の垂直配向性が優れ
ている。また、Ｆｅ −Ａｇ非晶質蒸着膜、Ｆｅ−Ｃｕ
準安定相結晶質蒸着膜ともに数１０００人／秒程度の高
堆積速度で膜を形成できるので生産性も優れている。同
表ではＦｅ −Ａｇ及びＦｅ−Ｃｕの例を述べたが、こ
れら以外に３ｄ鉄属遷移金属とその遷移金属と全く固溶
しないか、あるいは固溶限の極めて小さいＩｂ族または
鉛の少なくとも１つの組合せからなる軟質磁性膜を用い
ても同様の結果が得られることが実験で確かめられてい
る。
次により具体的な実施例の説明を行う。
非強磁性基板としてポリイミドフィルムを用い、その上
に膜厚１０００人のＦｅ＝Ａｇ非晶質膜を真空蒸着法に
より６０００人／秒の堆積速度で構成し、さらにその上
に膜厚１ｏｏＯ人のＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を真空蒸着
法により７０００人／秒の堆積速度で構成して２層構造
の垂直磁気記録媒体を作製した。この媒体に公知の補助
磁極励磁型垂直ヘッドで１０ｏＫＦＲＰＩ の信号の
記録再生を行なうと、従来のＣＯ含有酸化鉄塗布型媒体
に比べて２９ｄＢ高い再生出力が得られた。また、軟質
磁性膜としてＦｅ−Ａｇ非晶質膜のかわりにパーマロイ
蒸着膜を用いた２層構造の垂直磁気記録媒体に対しても
、１１ｄＢ高い再生出力が得られた。
に膜厚１０００人のＦｅ＝Ａｇ非晶質膜を真空蒸着法に
より６０００人／秒の堆積速度で構成し、さらにその上
に膜厚１ｏｏＯ人のＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を真空蒸着
法により７０００人／秒の堆積速度で構成して２層構造
の垂直磁気記録媒体を作製した。この媒体に公知の補助
磁極励磁型垂直ヘッドで１０ｏＫＦＲＰＩ の信号の
記録再生を行なうと、従来のＣＯ含有酸化鉄塗布型媒体
に比べて２９ｄＢ高い再生出力が得られた。また、軟質
磁性膜としてＦｅ−Ａｇ非晶質膜のかわりにパーマロイ
蒸着膜を用いた２層構造の垂直磁気記録媒体に対しても
、１１ｄＢ高い再生出力が得られた。
発明の効果
本発明によれば、量産性及び記録再生特性の非常に優れ
た２層構造の垂直磁気記録媒体を提供できる。
た２層構造の垂直磁気記録媒体を提供できる。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名＝１
９
９
Claims (3)
- （１）非強磁性基板上に軟質磁性膜を有し、かつその軟
質磁性膜上にＣｏ−０ｒ垂直磁化膜を有する実質的に２
層構造の媒体であって、上記軟質磁性膜として３ｄ鉄属
遷移金属とその遷移金属と全く固溶しないか、あるいは
固溶限の極めて小さいＩｂ族および鉛の少なくとも１種
との組合せからなる軟質磁性膜を用いることを特徴とす
る垂直磁気記録媒体。 - （２）軟質磁性膜が実質的に非晶質であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記録媒体。 - （３）軟質磁性膜が実質的に準安定相の結晶質であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１頂記載Ｑ垂直磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57186434A JPS5975428A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57186434A JPS5975428A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5975428A true JPS5975428A (ja) | 1984-04-28 |
Family
ID=16188368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57186434A Pending JPS5975428A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5975428A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117725A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Akai Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP57186434A patent/JPS5975428A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117725A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Akai Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JPH0322649B2 (ja) * | 1984-11-14 | 1991-03-27 | Akai Electric |
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