JPS58122618A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS58122618A JPS58122618A JP57004106A JP410682A JPS58122618A JP S58122618 A JPS58122618 A JP S58122618A JP 57004106 A JP57004106 A JP 57004106A JP 410682 A JP410682 A JP 410682A JP S58122618 A JPS58122618 A JP S58122618A
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Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 3
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000002355 dual-layer Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は垂直記録方式に適した磁気記録媒体の製造方法
に関する。
に関する。
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直記録
方式がある。この方式においては媒体の膜面に毛直方間
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必委となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優ｎた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性拐料から成
る基板上に、ＣｏとＣｒを主成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁ｆ１層（以下この磁性層をいＯｒ垂直磁
化膜と呼ぶ）をスパッタリング法あるいは真空蒸着法に
より形成し１こものである。しかし基板上に直接にＧｏ
−Ｏｒ垂直磁化嘆を形成し、た垂直記録媒体（以下この
媒体を単層膜媒体と呼ぶ）は、信号全記録再生する際の
効率が低い。こねを改善するために第１図に示すような
構造の媒体（以下この媒体を２層膜媒体と呼ぶ）が開発
さ才１ている。これは高分子材料あるいは非磁性金属等
の非磁性材料力）ら成る基板１とＣｏ −Ｏｒ垂直磁化
膜３との間に、膜面内に磁化容易軸を有するパーマロイ
薄膜より成る磁性層２を設けたものである１、ただしパ
ーマロイとはＦｅ及びＮｉを主成分とする合金の総称で
ある。この様な構造を有する２層膜媒体を用い釘ば、単
層膜媒体に比べ記録効率及び再生効率が改善さ牡、特に
第２図に示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号
を記録再生する際の効率改善が顕著である。ただし第２
図の４は強磁性薄膜より成る主磁極、５は励磁巻線６の
巻かｎた強磁性コアより成る補助磁極であり、両磁極で
媒体をはさんでいる。
方式がある。この方式においては媒体の膜面に毛直方間
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必委となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優ｎた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性拐料から成
る基板上に、ＣｏとＣｒを主成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁ｆ１層（以下この磁性層をいＯｒ垂直磁
化膜と呼ぶ）をスパッタリング法あるいは真空蒸着法に
より形成し１こものである。しかし基板上に直接にＧｏ
−Ｏｒ垂直磁化嘆を形成し、た垂直記録媒体（以下この
媒体を単層膜媒体と呼ぶ）は、信号全記録再生する際の
効率が低い。こねを改善するために第１図に示すような
構造の媒体（以下この媒体を２層膜媒体と呼ぶ）が開発
さ才１ている。これは高分子材料あるいは非磁性金属等
の非磁性材料力）ら成る基板１とＣｏ −Ｏｒ垂直磁化
膜３との間に、膜面内に磁化容易軸を有するパーマロイ
薄膜より成る磁性層２を設けたものである１、ただしパ
ーマロイとはＦｅ及びＮｉを主成分とする合金の総称で
ある。この様な構造を有する２層膜媒体を用い釘ば、単
層膜媒体に比べ記録効率及び再生効率が改善さ牡、特に
第２図に示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号
を記録再生する際の効率改善が顕著である。ただし第２
図の４は強磁性薄膜より成る主磁極、５は励磁巻線６の
巻かｎた強磁性コアより成る補助磁極であり、両磁極で
媒体をはさんでいる。
Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を得るためには稠密六方構造の
Ｃ軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが
、２層膜媒体の場合にはＧｏ−Ｃｒ膜のＣ軸配向性がパ
ーマロイ膜の配向性に影響さｆる。
Ｃ軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが
、２層膜媒体の場合にはＧｏ−Ｃｒ膜のＣ軸配向性がパ
ーマロイ膜の配向性に影響さｆる。
この原因としてはＧｏ −Ｃｒ膜形成時のエピタキシー
効果が考えらｎ１パーマロイ膜上にＣ軸配向性の良いＧ
ｏ −Ｃｒ膜を得るためには、パーマロイの（１１１）
面が膜面に平行になるように結晶を成長させなければな
らない。そのためにはパーマロイ膜形成時に蒸発原子の
基板への入射角を限定する必要があることが実験により
明らかになった。
効果が考えらｎ１パーマロイ膜上にＣ軸配向性の良いＧ
ｏ −Ｃｒ膜を得るためには、パーマロイの（１１１）
面が膜面に平行になるように結晶を成長させなければな
らない。そのためにはパーマロイ膜形成時に蒸発原子の
基板への入射角を限定する必要があることが実験により
明らかになった。
本発明は真空蒸着法において蒸発原子の基板への入射角
を限定することにより、移動しつつある基板上に配向性
の良いパーマロイ膜を形成する方法を提供するものであ
る。以下に本発明の説明を行う。
を限定することにより、移動しつつある基板上に配向性
の良いパーマロイ膜を形成する方法を提供するものであ
る。以下に本発明の説明を行う。
真空蒸着法により基板を円筒状キャンの周側面に沿って
移動させつつ、薄膜の形成を行なうとデーブ状の薄膜が
非常に生産性良く得られる。第３四にこのような真空蒸
着装置の内部構造の概略を示す。基板１は円筒状キャン
７の周側面に清って矢印人の同きに走行する。蒸発源１
１と円筒状キャ／７との間にはマスク１０が配置さｎて
おり、蒸発原子はスリットＳを通って基板１に付着する
。
移動させつつ、薄膜の形成を行なうとデーブ状の薄膜が
非常に生産性良く得られる。第３四にこのような真空蒸
着装置の内部構造の概略を示す。基板１は円筒状キャン
７の周側面に清って矢印人の同きに走行する。蒸発源１
１と円筒状キャ／７との間にはマスク１０が配置さｎて
おり、蒸発原子はスリットＳを通って基板１に付着する
。
８．９はそ扛ぞｎ基板１の供給ロール及び巻取りロール
である。またのは膜形成初期における蒸発原子の入射角
（膜の法線方向と蒸発原子の基板への平均の入射方向と
のなす鋭角を入射角と呼ぶ）、台は嘆形成後期における
蒸発原子の入射角を示す。
である。またのは膜形成初期における蒸発原子の入射角
（膜の法線方向と蒸発原子の基板への平均の入射方向と
のなす鋭角を入射角と呼ぶ）、台は嘆形成後期における
蒸発原子の入射角を示す。
２層膜媒体においてはＧｏ −Ｃｒ膜の（００２）面に
関するロソキ／グカーブの半値幅Δ０５０を１８度以下
にしないと、信号を記録再生する際の特性が悪い。第４
図に１例を示す。なお八らは（００２）面の配向の分散
を表現していると考えらｎｌこの値が小さい程配同性が
良い。第４Ｎの縦軸は２層膜媒体に波長０．５μ〃ｌの
信号を記録再生した際の出力の相対値を示し、横軸はＧ
ｏ −Ｃｒ膜のΔθ５ｏを示す。また記録及び再生用ヘ
ッドとしては補助磁極励磁型垂直ヘッドを使用し、２層
膜媒体におけるパーマロイ膜及びＣｏ −Ｃｒ膜の厚み
をいずｎも０・２μｍとした０Δθ５０が１８度以上に
なると出力が急激に劣化する。この原因はΔ（ｌｌｓｏ
が１８度以下ではＧｏ −Ｃｒ膜の残留磁化は膜面に垂
直に向いているが、１８度以上になると膜面内を向いて
しまうためだと思われる。
関するロソキ／グカーブの半値幅Δ０５０を１８度以下
にしないと、信号を記録再生する際の特性が悪い。第４
図に１例を示す。なお八らは（００２）面の配向の分散
を表現していると考えらｎｌこの値が小さい程配同性が
良い。第４Ｎの縦軸は２層膜媒体に波長０．５μ〃ｌの
信号を記録再生した際の出力の相対値を示し、横軸はＧ
ｏ −Ｃｒ膜のΔθ５ｏを示す。また記録及び再生用ヘ
ッドとしては補助磁極励磁型垂直ヘッドを使用し、２層
膜媒体におけるパーマロイ膜及びＣｏ −Ｃｒ膜の厚み
をいずｎも０・２μｍとした０Δθ５０が１８度以上に
なると出力が急激に劣化する。この原因はΔ（ｌｌｓｏ
が１８度以下ではＧｏ −Ｃｒ膜の残留磁化は膜面に垂
直に向いているが、１８度以上になると膜面内を向いて
しまうためだと思われる。
実験の結果、２層膜媒体においてΔ０５０が１８度以下
のｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を得るためには、第３図に示さ
ｆる様な真空蒸着装置において、ψ１が６０度以下の条
件にてパーマロイ膜を形成すればよいことが明らかにな
った。このことを以下に説明する。第６図は第３図に示
される真空蒸着装置によジバーマロイ膜を形成する際に
、背を１０度一定として、ψ１を変化させた場合のΔ０
５０を示す。
のｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を得るためには、第３図に示さ
ｆる様な真空蒸着装置において、ψ１が６０度以下の条
件にてパーマロイ膜を形成すればよいことが明らかにな
った。このことを以下に説明する。第６図は第３図に示
される真空蒸着装置によジバーマロイ膜を形成する際に
、背を１０度一定として、ψ１を変化させた場合のΔ０
５０を示す。
この図から明らかなようにψ１を犬きくするとΔθ５゜
も大きくなり、ψ１が６０度以上になるとΔθ５ｏは１
８＃以上になってしまう。従って９１は６０度以下にす
る必要がある。一方ψ１を１０朋一定として、戦を変化
させた場合のΔ０５０は第６図に示される様に殆ど変化
がない○ 不発明によれば、以上に説明したように真空蒸着装置に
より移動しつつある基板上に連続的に・ζ−マロイ膜を
形成する際に、ψ１を６０度以下（てすることＧ’ｎよ
り、特性の優れｌこ２層膜媒体が容易（て得られる。
も大きくなり、ψ１が６０度以上になるとΔθ５ｏは１
８＃以上になってしまう。従って９１は６０度以下にす
る必要がある。一方ψ１を１０朋一定として、戦を変化
させた場合のΔ０５０は第６図に示される様に殆ど変化
がない○ 不発明によれば、以上に説明したように真空蒸着装置に
より移動しつつある基板上に連続的に・ζ−マロイ膜を
形成する際に、ψ１を６０度以下（てすることＧ’ｎよ
り、特性の優れｌこ２層膜媒体が容易（て得られる。
第１図は２層膜記録媒体の構成を示す断面図、第２図は
補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い記録再生する様子を示
す断面図、第３図は真空蒸着装置の要部を示す図、第４
図は上記記′録媒体に信号を記録し再生した場合の出力
のΔθ５０依存性を示す図、第６ｐｙ、第６図はそｆｌ
−ｔ’ ｎ Ｃｏ −Ｃｒ膜の配向性とパーマロイ膜を
形成する際の蒸発原子の入射角との関係を示す図である
。 １・・・・・・基板、７・・・・・・キャン、１０・・
・・・・マスク、１・・・・・・蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名区
区 区 〜 の 鞍 綜 論
補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い記録再生する様子を示
す断面図、第３図は真空蒸着装置の要部を示す図、第４
図は上記記′録媒体に信号を記録し再生した場合の出力
のΔθ５０依存性を示す図、第６ｐｙ、第６図はそｆｌ
−ｔ’ ｎ Ｃｏ −Ｃｒ膜の配向性とパーマロイ膜を
形成する際の蒸発原子の入射角との関係を示す図である
。 １・・・・・・基板、７・・・・・・キャン、１０・・
・・・・マスク、１・・・・・・蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名区
区 区 〜 の 鞍 綜 論
Claims (1)
- 移動中の基板上に真空蒸着法によりパーマロイ薄膜を形
成し、さらに上記パーマロイ薄膜上に膜面に垂直方向に
磁化容易軸を有するＣＯとＣｒｆ主成分とする磁性層を
形成して磁気記録媒体を製造するに当り、上記パーマロ
イ薄膜の形成初期における蒸発物質の入射角を６０度以
下にすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57004106A JPS58122618A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57004106A JPS58122618A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58122618A true JPS58122618A (ja) | 1983-07-21 |
Family
ID=11575533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57004106A Pending JPS58122618A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58122618A (ja) |
-
1982
- 1982-01-14 JP JP57004106A patent/JPS58122618A/ja active Pending
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