JPS58122618A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体の製造方法

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Publication number
JPS58122618A
JPS58122618A JP57004106A JP410682A JPS58122618A JP S58122618 A JPS58122618 A JP S58122618A JP 57004106 A JP57004106 A JP 57004106A JP 410682 A JP410682 A JP 410682A JP S58122618 A JPS58122618 A JP S58122618A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
permalloy
medium
recording medium
recording
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57004106A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryuji Sugita
龍二 杉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP57004106A priority Critical patent/JPS58122618A/ja
Publication of JPS58122618A publication Critical patent/JPS58122618A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
    • G11B5/66Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は垂直記録方式に適した磁気記録媒体の製造方法
に関する。
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直記録
方式がある。この方式においては媒体の膜面に毛直方間
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必委となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優nた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性拐料から成
る基板上に、CoとCrを主成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁f1層(以下この磁性層をいOr垂直磁
化膜と呼ぶ)をスパッタリング法あるいは真空蒸着法に
より形成し1こものである。しかし基板上に直接にGo
−Or垂直磁化嘆を形成し、た垂直記録媒体(以下この
媒体を単層膜媒体と呼ぶ)は、信号全記録再生する際の
効率が低い。こねを改善するために第1図に示すような
構造の媒体(以下この媒体を2層膜媒体と呼ぶ)が開発
さ才1ている。これは高分子材料あるいは非磁性金属等
の非磁性材料力)ら成る基板1とCo −Or垂直磁化
膜3との間に、膜面内に磁化容易軸を有するパーマロイ
薄膜より成る磁性層2を設けたものである1、ただしパ
ーマロイとはFe及びNiを主成分とする合金の総称で
ある。この様な構造を有する2層膜媒体を用い釘ば、単
層膜媒体に比べ記録効率及び再生効率が改善さ牡、特に
第2図に示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号
を記録再生する際の効率改善が顕著である。ただし第2
図の4は強磁性薄膜より成る主磁極、5は励磁巻線6の
巻かnた強磁性コアより成る補助磁極であり、両磁極で
媒体をはさんでいる。
Co −Cr垂直磁化膜を得るためには稠密六方構造の
C軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが
、2層膜媒体の場合にはGo−Cr膜のC軸配向性がパ
ーマロイ膜の配向性に影響さfる。
この原因としてはGo −Cr膜形成時のエピタキシー
効果が考えらn1パーマロイ膜上にC軸配向性の良いG
o −Cr膜を得るためには、パーマロイの(111)
面が膜面に平行になるように結晶を成長させなければな
らない。そのためにはパーマロイ膜形成時に蒸発原子の
基板への入射角を限定する必要があることが実験により
明らかになった。
本発明は真空蒸着法において蒸発原子の基板への入射角
を限定することにより、移動しつつある基板上に配向性
の良いパーマロイ膜を形成する方法を提供するものであ
る。以下に本発明の説明を行う。
真空蒸着法により基板を円筒状キャンの周側面に沿って
移動させつつ、薄膜の形成を行なうとデーブ状の薄膜が
非常に生産性良く得られる。第3四にこのような真空蒸
着装置の内部構造の概略を示す。基板1は円筒状キャン
7の周側面に清って矢印人の同きに走行する。蒸発源1
1と円筒状キャ/7との間にはマスク10が配置さnて
おり、蒸発原子はスリットSを通って基板1に付着する
8.9はそ扛ぞn基板1の供給ロール及び巻取りロール
である。またのは膜形成初期における蒸発原子の入射角
(膜の法線方向と蒸発原子の基板への平均の入射方向と
のなす鋭角を入射角と呼ぶ)、台は嘆形成後期における
蒸発原子の入射角を示す。
2層膜媒体においてはGo −Cr膜の(002)面に
関するロソキ/グカーブの半値幅Δ050を18度以下
にしないと、信号を記録再生する際の特性が悪い。第4
図に1例を示す。なお八らは(002)面の配向の分散
を表現していると考えらnlこの値が小さい程配同性が
良い。第4Nの縦軸は2層膜媒体に波長0.5μ〃lの
信号を記録再生した際の出力の相対値を示し、横軸はG
o −Cr膜のΔθ5oを示す。また記録及び再生用ヘ
ッドとしては補助磁極励磁型垂直ヘッドを使用し、2層
膜媒体におけるパーマロイ膜及びCo −Cr膜の厚み
をいずnも0・2μmとした0Δθ50が18度以上に
なると出力が急激に劣化する。この原因はΔ(llso
が18度以下ではGo −Cr膜の残留磁化は膜面に垂
直に向いているが、18度以上になると膜面内を向いて
しまうためだと思われる。
実験の結果、2層膜媒体においてΔ050が18度以下
のco−Cr垂直磁化膜を得るためには、第3図に示さ
fる様な真空蒸着装置において、ψ1が60度以下の条
件にてパーマロイ膜を形成すればよいことが明らかにな
った。このことを以下に説明する。第6図は第3図に示
される真空蒸着装置によジバーマロイ膜を形成する際に
、背を10度一定として、ψ1を変化させた場合のΔ0
50を示す。
この図から明らかなようにψ1を犬きくするとΔθ5゜
も大きくなり、ψ1が60度以上になるとΔθ5oは1
8#以上になってしまう。従って91は60度以下にす
る必要がある。一方ψ1を10朋一定として、戦を変化
させた場合のΔ050は第6図に示される様に殆ど変化
がない○ 不発明によれば、以上に説明したように真空蒸着装置に
より移動しつつある基板上に連続的に・ζ−マロイ膜を
形成する際に、ψ1を60度以下(てすることG’nよ
り、特性の優れlこ2層膜媒体が容易(て得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は2層膜記録媒体の構成を示す断面図、第2図は
補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い記録再生する様子を示
す断面図、第3図は真空蒸着装置の要部を示す図、第4
図は上記記′録媒体に信号を記録し再生した場合の出力
のΔθ50依存性を示す図、第6py、第6図はそfl
−t’ n Co −Cr膜の配向性とパーマロイ膜を
形成する際の蒸発原子の入射角との関係を示す図である
。 1・・・・・・基板、7・・・・・・キャン、10・・
・・・・マスク、1・・・・・・蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名区 
          区 区 〜               の 鞍          綜 論

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 移動中の基板上に真空蒸着法によりパーマロイ薄膜を形
    成し、さらに上記パーマロイ薄膜上に膜面に垂直方向に
    磁化容易軸を有するCOとCrf主成分とする磁性層を
    形成して磁気記録媒体を製造するに当り、上記パーマロ
    イ薄膜の形成初期における蒸発物質の入射角を60度以
    下にすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
JP57004106A 1982-01-14 1982-01-14 磁気記録媒体の製造方法 Pending JPS58122618A (ja)

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JPS58122618A true JPS58122618A (ja) 1983-07-21

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ID=11575533

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JP57004106A Pending JPS58122618A (ja) 1982-01-14 1982-01-14 磁気記録媒体の製造方法

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