JPS58122618A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS58122618A JPS58122618A JP57004106A JP410682A JPS58122618A JP S58122618 A JPS58122618 A JP S58122618A JP 57004106 A JP57004106 A JP 57004106A JP 410682 A JP410682 A JP 410682A JP S58122618 A JPS58122618 A JP S58122618A
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は垂直記録方式に適した磁気記録媒体の製造方法
に関する。
に関する。
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直記録
方式がある。この方式においては媒体の膜面に毛直方間
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必委となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優nた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性拐料から成
る基板上に、CoとCrを主成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁f1層(以下この磁性層をいOr垂直磁
化膜と呼ぶ)をスパッタリング法あるいは真空蒸着法に
より形成し1こものである。しかし基板上に直接にGo
−Or垂直磁化嘆を形成し、た垂直記録媒体(以下この
媒体を単層膜媒体と呼ぶ)は、信号全記録再生する際の
効率が低い。こねを改善するために第1図に示すような
構造の媒体(以下この媒体を2層膜媒体と呼ぶ)が開発
さ才1ている。これは高分子材料あるいは非磁性金属等
の非磁性材料力)ら成る基板1とCo −Or垂直磁化
膜3との間に、膜面内に磁化容易軸を有するパーマロイ
薄膜より成る磁性層2を設けたものである1、ただしパ
ーマロイとはFe及びNiを主成分とする合金の総称で
ある。この様な構造を有する2層膜媒体を用い釘ば、単
層膜媒体に比べ記録効率及び再生効率が改善さ牡、特に
第2図に示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号
を記録再生する際の効率改善が顕著である。ただし第2
図の4は強磁性薄膜より成る主磁極、5は励磁巻線6の
巻かnた強磁性コアより成る補助磁極であり、両磁極で
媒体をはさんでいる。
方式がある。この方式においては媒体の膜面に毛直方間
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必委となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優nた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性拐料から成
る基板上に、CoとCrを主成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁f1層(以下この磁性層をいOr垂直磁
化膜と呼ぶ)をスパッタリング法あるいは真空蒸着法に
より形成し1こものである。しかし基板上に直接にGo
−Or垂直磁化嘆を形成し、た垂直記録媒体(以下この
媒体を単層膜媒体と呼ぶ)は、信号全記録再生する際の
効率が低い。こねを改善するために第1図に示すような
構造の媒体(以下この媒体を2層膜媒体と呼ぶ)が開発
さ才1ている。これは高分子材料あるいは非磁性金属等
の非磁性材料力)ら成る基板1とCo −Or垂直磁化
膜3との間に、膜面内に磁化容易軸を有するパーマロイ
薄膜より成る磁性層2を設けたものである1、ただしパ
ーマロイとはFe及びNiを主成分とする合金の総称で
ある。この様な構造を有する2層膜媒体を用い釘ば、単
層膜媒体に比べ記録効率及び再生効率が改善さ牡、特に
第2図に示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号
を記録再生する際の効率改善が顕著である。ただし第2
図の4は強磁性薄膜より成る主磁極、5は励磁巻線6の
巻かnた強磁性コアより成る補助磁極であり、両磁極で
媒体をはさんでいる。
Co −Cr垂直磁化膜を得るためには稠密六方構造の
C軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが
、2層膜媒体の場合にはGo−Cr膜のC軸配向性がパ
ーマロイ膜の配向性に影響さfる。
C軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが
、2層膜媒体の場合にはGo−Cr膜のC軸配向性がパ
ーマロイ膜の配向性に影響さfる。
この原因としてはGo −Cr膜形成時のエピタキシー
効果が考えらn1パーマロイ膜上にC軸配向性の良いG
o −Cr膜を得るためには、パーマロイの(111)
面が膜面に平行になるように結晶を成長させなければな
らない。そのためにはパーマロイ膜形成時に蒸発原子の
基板への入射角を限定する必要があることが実験により
明らかになった。
効果が考えらn1パーマロイ膜上にC軸配向性の良いG
o −Cr膜を得るためには、パーマロイの(111)
面が膜面に平行になるように結晶を成長させなければな
らない。そのためにはパーマロイ膜形成時に蒸発原子の
基板への入射角を限定する必要があることが実験により
明らかになった。
本発明は真空蒸着法において蒸発原子の基板への入射角
を限定することにより、移動しつつある基板上に配向性
の良いパーマロイ膜を形成する方法を提供するものであ
る。以下に本発明の説明を行う。
を限定することにより、移動しつつある基板上に配向性
の良いパーマロイ膜を形成する方法を提供するものであ
る。以下に本発明の説明を行う。
真空蒸着法により基板を円筒状キャンの周側面に沿って
移動させつつ、薄膜の形成を行なうとデーブ状の薄膜が
非常に生産性良く得られる。第3四にこのような真空蒸
着装置の内部構造の概略を示す。基板1は円筒状キャン
7の周側面に清って矢印人の同きに走行する。蒸発源1
1と円筒状キャ/7との間にはマスク10が配置さnて
おり、蒸発原子はスリットSを通って基板1に付着する
。
移動させつつ、薄膜の形成を行なうとデーブ状の薄膜が
非常に生産性良く得られる。第3四にこのような真空蒸
着装置の内部構造の概略を示す。基板1は円筒状キャン
7の周側面に清って矢印人の同きに走行する。蒸発源1
1と円筒状キャ/7との間にはマスク10が配置さnて
おり、蒸発原子はスリットSを通って基板1に付着する
。
8.9はそ扛ぞn基板1の供給ロール及び巻取りロール
である。またのは膜形成初期における蒸発原子の入射角
(膜の法線方向と蒸発原子の基板への平均の入射方向と
のなす鋭角を入射角と呼ぶ)、台は嘆形成後期における
蒸発原子の入射角を示す。
である。またのは膜形成初期における蒸発原子の入射角
(膜の法線方向と蒸発原子の基板への平均の入射方向と
のなす鋭角を入射角と呼ぶ)、台は嘆形成後期における
蒸発原子の入射角を示す。
2層膜媒体においてはGo −Cr膜の(002)面に
関するロソキ/グカーブの半値幅Δ050を18度以下
にしないと、信号を記録再生する際の特性が悪い。第4
図に1例を示す。なお八らは(002)面の配向の分散
を表現していると考えらnlこの値が小さい程配同性が
良い。第4Nの縦軸は2層膜媒体に波長0.5μ〃lの
信号を記録再生した際の出力の相対値を示し、横軸はG
o −Cr膜のΔθ5oを示す。また記録及び再生用ヘ
ッドとしては補助磁極励磁型垂直ヘッドを使用し、2層
膜媒体におけるパーマロイ膜及びCo −Cr膜の厚み
をいずnも0・2μmとした0Δθ50が18度以上に
なると出力が急激に劣化する。この原因はΔ(llso
が18度以下ではGo −Cr膜の残留磁化は膜面に垂
直に向いているが、18度以上になると膜面内を向いて
しまうためだと思われる。
関するロソキ/グカーブの半値幅Δ050を18度以下
にしないと、信号を記録再生する際の特性が悪い。第4
図に1例を示す。なお八らは(002)面の配向の分散
を表現していると考えらnlこの値が小さい程配同性が
良い。第4Nの縦軸は2層膜媒体に波長0.5μ〃lの
信号を記録再生した際の出力の相対値を示し、横軸はG
o −Cr膜のΔθ5oを示す。また記録及び再生用ヘ
ッドとしては補助磁極励磁型垂直ヘッドを使用し、2層
膜媒体におけるパーマロイ膜及びCo −Cr膜の厚み
をいずnも0・2μmとした0Δθ50が18度以上に
なると出力が急激に劣化する。この原因はΔ(llso
が18度以下ではGo −Cr膜の残留磁化は膜面に垂
直に向いているが、18度以上になると膜面内を向いて
しまうためだと思われる。
実験の結果、2層膜媒体においてΔ050が18度以下
のco−Cr垂直磁化膜を得るためには、第3図に示さ
fる様な真空蒸着装置において、ψ1が60度以下の条
件にてパーマロイ膜を形成すればよいことが明らかにな
った。このことを以下に説明する。第6図は第3図に示
される真空蒸着装置によジバーマロイ膜を形成する際に
、背を10度一定として、ψ1を変化させた場合のΔ0
50を示す。
のco−Cr垂直磁化膜を得るためには、第3図に示さ
fる様な真空蒸着装置において、ψ1が60度以下の条
件にてパーマロイ膜を形成すればよいことが明らかにな
った。このことを以下に説明する。第6図は第3図に示
される真空蒸着装置によジバーマロイ膜を形成する際に
、背を10度一定として、ψ1を変化させた場合のΔ0
50を示す。
この図から明らかなようにψ1を犬きくするとΔθ5゜
も大きくなり、ψ1が60度以上になるとΔθ5oは1
8#以上になってしまう。従って91は60度以下にす
る必要がある。一方ψ1を10朋一定として、戦を変化
させた場合のΔ050は第6図に示される様に殆ど変化
がない○ 不発明によれば、以上に説明したように真空蒸着装置に
より移動しつつある基板上に連続的に・ζ−マロイ膜を
形成する際に、ψ1を60度以下(てすることG’nよ
り、特性の優れlこ2層膜媒体が容易(て得られる。
も大きくなり、ψ1が60度以上になるとΔθ5oは1
8#以上になってしまう。従って91は60度以下にす
る必要がある。一方ψ1を10朋一定として、戦を変化
させた場合のΔ050は第6図に示される様に殆ど変化
がない○ 不発明によれば、以上に説明したように真空蒸着装置に
より移動しつつある基板上に連続的に・ζ−マロイ膜を
形成する際に、ψ1を60度以下(てすることG’nよ
り、特性の優れlこ2層膜媒体が容易(て得られる。
第1図は2層膜記録媒体の構成を示す断面図、第2図は
補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い記録再生する様子を示
す断面図、第3図は真空蒸着装置の要部を示す図、第4
図は上記記′録媒体に信号を記録し再生した場合の出力
のΔθ50依存性を示す図、第6py、第6図はそfl
−t’ n Co −Cr膜の配向性とパーマロイ膜を
形成する際の蒸発原子の入射角との関係を示す図である
。 1・・・・・・基板、7・・・・・・キャン、10・・
・・・・マスク、1・・・・・・蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名区
区 区 〜 の 鞍 綜 論
補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い記録再生する様子を示
す断面図、第3図は真空蒸着装置の要部を示す図、第4
図は上記記′録媒体に信号を記録し再生した場合の出力
のΔθ50依存性を示す図、第6py、第6図はそfl
−t’ n Co −Cr膜の配向性とパーマロイ膜を
形成する際の蒸発原子の入射角との関係を示す図である
。 1・・・・・・基板、7・・・・・・キャン、10・・
・・・・マスク、1・・・・・・蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名区
区 区 〜 の 鞍 綜 論
Claims (1)
- 移動中の基板上に真空蒸着法によりパーマロイ薄膜を形
成し、さらに上記パーマロイ薄膜上に膜面に垂直方向に
磁化容易軸を有するCOとCrf主成分とする磁性層を
形成して磁気記録媒体を製造するに当り、上記パーマロ
イ薄膜の形成初期における蒸発物質の入射角を60度以
下にすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57004106A JPS58122618A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57004106A JPS58122618A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58122618A true JPS58122618A (ja) | 1983-07-21 |
Family
ID=11575533
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57004106A Pending JPS58122618A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58122618A (ja) |
-
1982
- 1982-01-14 JP JP57004106A patent/JPS58122618A/ja active Pending
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