JPS59148126A - 垂直記録用磁気記録媒体 - Google Patents
垂直記録用磁気記録媒体Info
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- JPS59148126A JPS59148126A JP58023217A JP2321783A JPS59148126A JP S59148126 A JPS59148126 A JP S59148126A JP 58023217 A JP58023217 A JP 58023217A JP 2321783 A JP2321783 A JP 2321783A JP S59148126 A JPS59148126 A JP S59148126A
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Links
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- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/667—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers including a soft magnetic layer
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度記録特性の優れた垂直記録用磁気記録媒
体に関する。
体に関する。
従来例の構成とその問題点
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直記録
方式がある。この方式においては、媒体の膜面に垂直方
向が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要となる。単層
膜媒体と呼ばれる垂直記録媒体は高分子材料あるいは非
強磁性金属等の非強磁性材料から成る基板上に、ｃｏと
Ｃｒｆ主成分とし膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する
磁性層２ ページ （以下この磁性ｐ ｆ Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜と呼ぶ）
をスパックリング法あるいは真空蒸着法により形成した
ものである。単層膜媒体に対し、基板とＣｏ−Ｃｒ垂直
磁化膜との間にパーマロイ膜を設けた、二層膜媒体と呼
ばれる垂直記録媒体によれば、記録効率及び再生出力が
向上する。特にトラン２デユーサーとして公知の補助磁
極励磁型垂直ヘッドを用いる場合には、二層膜媒体は単
層膜媒体に比べ、記録効率及び再生出力ともに約２０
ｄＢ 向上する。
方式がある。この方式においては、媒体の膜面に垂直方
向が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要となる。単層
膜媒体と呼ばれる垂直記録媒体は高分子材料あるいは非
強磁性金属等の非強磁性材料から成る基板上に、ｃｏと
Ｃｒｆ主成分とし膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する
磁性層２ ページ （以下この磁性ｐ ｆ Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜と呼ぶ）
をスパックリング法あるいは真空蒸着法により形成した
ものである。単層膜媒体に対し、基板とＣｏ−Ｃｒ垂直
磁化膜との間にパーマロイ膜を設けた、二層膜媒体と呼
ばれる垂直記録媒体によれば、記録効率及び再生出力が
向上する。特にトラン２デユーサーとして公知の補助磁
極励磁型垂直ヘッドを用いる場合には、二層膜媒体は単
層膜媒体に比べ、記録効率及び再生出力ともに約２０
ｄＢ 向上する。
二層膜媒体は従来スパッタリング法により作製されてい
た。しかし、スパッタリング法における膜の堆積速度は
高々数１０八／沙程度であり、生産性が非常に悪い。ス
パッタリング法に対し、真空蒸着法によれば１０００人
／秒以上の膜堆積速度が容易に得られ、量産性が優れて
いる。そこで本発明者らは真空蒸着法にて、非強磁性体
から成る基板上にパーマロイ膜を堆積し、その上にＣｏ
−Ｃｘ膜を堆積することにより二層膜媒体を作製する
ことを試みた。しかし、単純にこのような構造の二３
ページ 層膜媒体を形成しだのでは、特性の良い媒体が得られな
かった。すなわち、高分子材料から成る基板やアルミニ
ウム基板上に直接Ｃｏ−Ｃｒ膜を蒸着すると、Δθ６゜
はＣｏ−Ｃｒが約７°であり磁化容易軸が膜面の垂直方
向を向いているのに対し、間にパーマロイ蒸着膜を介す
るとΔθ５゜は２ｄＯ以上になり、Ｃｏ−Ｃｒ膜の磁化
容易軸は膜面内を向いてしまい垂直磁化膜にならない。
た。しかし、スパッタリング法における膜の堆積速度は
高々数１０八／沙程度であり、生産性が非常に悪い。ス
パッタリング法に対し、真空蒸着法によれば１０００人
／秒以上の膜堆積速度が容易に得られ、量産性が優れて
いる。そこで本発明者らは真空蒸着法にて、非強磁性体
から成る基板上にパーマロイ膜を堆積し、その上にＣｏ
−Ｃｘ膜を堆積することにより二層膜媒体を作製する
ことを試みた。しかし、単純にこのような構造の二３
ページ 層膜媒体を形成しだのでは、特性の良い媒体が得られな
かった。すなわち、高分子材料から成る基板やアルミニ
ウム基板上に直接Ｃｏ−Ｃｒ膜を蒸着すると、Δθ６゜
はＣｏ−Ｃｒが約７°であり磁化容易軸が膜面の垂直方
向を向いているのに対し、間にパーマロイ蒸着膜を介す
るとΔθ５゜は２ｄＯ以上になり、Ｃｏ−Ｃｒ膜の磁化
容易軸は膜面内を向いてしまい垂直磁化膜にならない。
なお、Δθ５ｏはＣｏ−Ｃｒ膜のｈａｐ構造（００２）
面に関するロッキング曲線の半値幅であり、Ｃ軸の分散
を表現している。Δθ６゜が小さい程、Ｃ軸の膜面垂直
方向への配向性が良く、垂直異方性磁界が大きい。従っ
て、単にパーマロイ膜とＣｏ−Ｃｒ膜全全真空蒸着法よ
り形成したのでは、二層膜媒体が得られない。
面に関するロッキング曲線の半値幅であり、Ｃ軸の分散
を表現している。Δθ６゜が小さい程、Ｃ軸の膜面垂直
方向への配向性が良く、垂直異方性磁界が大きい。従っ
て、単にパーマロイ膜とＣｏ−Ｃｒ膜全全真空蒸着法よ
り形成したのでは、二層膜媒体が得られない。
以上述べたように、従来パーマロイ膜とＣｏ −Ｃｒ垂
直磁化膜とから成る二層膜媒体はスパッタリング法によ
ってのみ得られており、その生産性は非常に悪かった。
直磁化膜とから成る二層膜媒体はスパッタリング法によ
ってのみ得られており、その生産性は非常に悪かった。
発明の目的
本発明は量産性に適した構造の垂直記録用磁気記録媒体
を提供することを目的とする。
を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は非強磁性体から成る基板上にパーマロイ膜が形
成され、その上に非晶質軟磁性膜を介してＣｏ−Ｃｒ垂
直磁化膜が形成されていることを特徴とする垂直記録用
磁気記録媒体であり、これにより非常に生産性良く二層
膜媒体を得ることができる。
成され、その上に非晶質軟磁性膜を介してＣｏ−Ｃｒ垂
直磁化膜が形成されていることを特徴とする垂直記録用
磁気記録媒体であり、これにより非常に生産性良く二層
膜媒体を得ることができる。
実施例の説明
第１図は本発明の二層膜媒体の基本構成を示す。
図において、１は高分子材料等の非強磁性基板であり、
その上にパーマロイ膜２が形成され、さらにその上に非
晶質軟磁性膜３を介してＣｏ−Ｃｒ膜４が形成されてい
る。生産性を高めるためには、パーマロイ膜２及びＣｏ
−Ｃｒ膜４をともに真空蒸着法により形成することが必
要であるが、既に述べたように、パーマロイ蒸着膜上に
Ｃｏ−Ｃｒ膜は配向性が悪く垂直磁化膜にならない。こ
れに対し、第１図に示すようにパーマロイ蒸着膜とＣｏ
−Ｃｒ蒸着膜との間に非晶質軟磁性膜を形成すること
に６ベーＳノ より、Ｇｏ−Ｃｒ蒸着膜の配向性はΔθ６ｏが７°程度
と良なり、Ｃｏ−Ｃｒ膜が垂直磁化膜になることが実験
の結果間らかになった。満足な記録再生特性を得るため
には、パーマロイ膜及びＣｏ −Ｃｒ膜ともに少なくと
も１０００八程度の膜厚が必要であるが、非晶質軟磁性
膜は２０〜３０への膜厚があればその効果が見られる。
その上にパーマロイ膜２が形成され、さらにその上に非
晶質軟磁性膜３を介してＣｏ−Ｃｒ膜４が形成されてい
る。生産性を高めるためには、パーマロイ膜２及びＣｏ
−Ｃｒ膜４をともに真空蒸着法により形成することが必
要であるが、既に述べたように、パーマロイ蒸着膜上に
Ｃｏ−Ｃｒ膜は配向性が悪く垂直磁化膜にならない。こ
れに対し、第１図に示すようにパーマロイ蒸着膜とＣｏ
−Ｃｒ蒸着膜との間に非晶質軟磁性膜を形成すること
に６ベーＳノ より、Ｇｏ−Ｃｒ蒸着膜の配向性はΔθ６ｏが７°程度
と良なり、Ｃｏ−Ｃｒ膜が垂直磁化膜になることが実験
の結果間らかになった。満足な記録再生特性を得るため
には、パーマロイ膜及びＣｏ −Ｃｒ膜ともに少なくと
も１０００八程度の膜厚が必要であるが、非晶質軟磁性
膜は２０〜３０への膜厚があればその効果が見られる。
したがって非晶質軟磁性膜はスパッタリング法により形
成しても、生産性は悪くならない。
成しても、生産性は悪くならない。
さらに具体的な例をあげて説明する。
第２図に示すような装置で二層膜媒体を作製した。高分
子材料から成る基板５は円筒状キャン６゜７及び８の周
側面に沿って走行する。走行方向は図中の矢印で示しで
ある。基板６の表面には、まず円筒状キャン６の周側面
で蒸発源１２ＶＣよりパーマロイ膜が蒸着される。次に
円筒状キャン７の周側面でスパッタリング法によりＣｏ
−Ｔｉ非晶質軟磁性膜が形成される。なお１３はＧｏ−
Ｔｉのターゲットである。最後に円筒状キャン８の周側
面で蒸発源１４によりＣｏ−０ｒ膜が蒸着され、本発６
ページ 明の二層膜媒体が得られる。９，１ｏはそれぞれ基板５
の供給ロール及び巻き取シロールである。
子材料から成る基板５は円筒状キャン６゜７及び８の周
側面に沿って走行する。走行方向は図中の矢印で示しで
ある。基板６の表面には、まず円筒状キャン６の周側面
で蒸発源１２ＶＣよりパーマロイ膜が蒸着される。次に
円筒状キャン７の周側面でスパッタリング法によりＣｏ
−Ｔｉ非晶質軟磁性膜が形成される。なお１３はＧｏ−
Ｔｉのターゲットである。最後に円筒状キャン８の周側
面で蒸発源１４によりＣｏ−０ｒ膜が蒸着され、本発６
ページ 明の二層膜媒体が得られる。９，１ｏはそれぞれ基板５
の供給ロール及び巻き取シロールである。
１１はフリーローラ、１５は真空容器、１６は排 ５気
系である。
系である。
円筒状キャンの直径はいずれも１ｍであり、基板の走行
速度は１０°ｍ／％ とじた。まだ、パーマロイ膜−
、Ｃｏ−Ｔｉ非晶質軟磁性膜及びＣｏ −Ｃｒ膜の堆積
速度はそれぞれ１μｍ４１） ｌ ６０人／秒及び１μ
ｍ〆秒し、膜厚はそれぞれ１０００人、２０人及び１０
００人とした。またパーマロイ膜及びＧｏ −Ｃｒ膜を
蒸着する真空槽１７及び１９の真空度は３Ｘ１０ Ｔ
ｏｒｒ 、 Ｃｏ−Ｔｉ非晶質軟磁性膜ヲスパッタ形成
する真空槽１８の真空度は７ Ｘ １０−３Ｔｏｒｒと
した。
速度は１０°ｍ／％ とじた。まだ、パーマロイ膜−
、Ｃｏ−Ｔｉ非晶質軟磁性膜及びＣｏ −Ｃｒ膜の堆積
速度はそれぞれ１μｍ４１） ｌ ６０人／秒及び１μ
ｍ〆秒し、膜厚はそれぞれ１０００人、２０人及び１０
００人とした。またパーマロイ膜及びＧｏ −Ｃｒ膜を
蒸着する真空槽１７及び１９の真空度は３Ｘ１０ Ｔ
ｏｒｒ 、 Ｃｏ−Ｔｉ非晶質軟磁性膜ヲスパッタ形成
する真空槽１８の真空度は７ Ｘ １０−３Ｔｏｒｒと
した。
得られた二層膜媒体におけるＣｏ −Ｃｒ膜のΔθ５゜
は８°であり、垂直磁化膜になっていた。なお同じ装置
にて、Ｇｏ−Ｔｉ非晶質軟磁性膜を形成せずに、パーマ
ロイ膜上にＣｏ−Ｃｒ膜を直接蒸着すると、Ｃｏ −Ｃ
ｒ膜のΔθ５ｏは２７°であり、垂直磁化膜になってい
なかった。また非晶質軟磁性膜とじて７、、。
は８°であり、垂直磁化膜になっていた。なお同じ装置
にて、Ｇｏ−Ｔｉ非晶質軟磁性膜を形成せずに、パーマ
ロイ膜上にＣｏ−Ｃｒ膜を直接蒸着すると、Ｃｏ −Ｃ
ｒ膜のΔθ５ｏは２７°であり、垂直磁化膜になってい
なかった。また非晶質軟磁性膜とじて７、、。
Ｃｏ−Ｔｉではなく、Ｃｏ −Ｚｒ −Ｍｏ ｆ：用い
ても同様の結果が得られた。
ても同様の結果が得られた。
以上のように本発明によれば、１００ ｔｎ／分 とい
う速い基板走行速度においても二層膜媒体が得られるが
、従来のスパッタリング法で同程度の二層膜媒体を作製
するためには、基板走行速度′！ｆ−１ｍ／分以下にし
なければならない。
う速い基板走行速度においても二層膜媒体が得られるが
、従来のスパッタリング法で同程度の二層膜媒体を作製
するためには、基板走行速度′！ｆ−１ｍ／分以下にし
なければならない。
発明の効果
本発明によれば、生産性の非常に優れた、垂直磁気記録
用の二層膜媒体を提供できる。
用の二層膜媒体を提供できる。
第１図は本発明の二層膜媒体の基本構成を示す図、第２
図は本発明の媒体を作製するだめの製造装置の一例を示
す図である。 ２・・・・・・パーマロイ膜、３・・・・・・非晶質軟
磁性膜、４・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ膜、６，７．８・・・
・・円筒状キャン、１２・・・・・パーマロイ膜用蒸発
源、１３・・・・・・非晶質軟磁性膜用ターゲット、１
４・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ膜用蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名特開
昭５９−１４８１２６（３）
図は本発明の媒体を作製するだめの製造装置の一例を示
す図である。 ２・・・・・・パーマロイ膜、３・・・・・・非晶質軟
磁性膜、４・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ膜、６，７．８・・・
・・円筒状キャン、１２・・・・・パーマロイ膜用蒸発
源、１３・・・・・・非晶質軟磁性膜用ターゲット、１
４・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ膜用蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名特開
昭５９−１４８１２６（３）
Claims (1)
- 非強磁性体から成る基板上にパーマロイ膜が形成され、
その上に非晶質軟磁性膜を介してＣｏ −Ｃｒ垂直磁化
膜が形成されていることを特徴とする垂直記録用磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58023217A JPS59148126A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 垂直記録用磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58023217A JPS59148126A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 垂直記録用磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148126A true JPS59148126A (ja) | 1984-08-24 |
Family
ID=12104487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58023217A Pending JPS59148126A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 垂直記録用磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148126A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6057524A (ja) * | 1983-09-08 | 1985-04-03 | Seiko Epson Corp | 垂直磁気記録媒体 |
-
1983
- 1983-02-14 JP JP58023217A patent/JPS59148126A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6057524A (ja) * | 1983-09-08 | 1985-04-03 | Seiko Epson Corp | 垂直磁気記録媒体 |
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