JPS6391822A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は記録、再生時における磁気ヘッドとの接触（ヘ
ッドタッチ）が改良された薄膜型垂直磁気記録媒体、特
にフロッピー又はディスク状陽気記録媒体に関する。

［従来の技術と問題点］ 近年、記録媒体の膜面に対して垂直な方向に磁化容易軸
を有する磁気記録媒体を用いる垂直磁化記録方式が提案
されている。この垂直磁化記録方式では、記録密度が高
まるほど記録媒体中の反磁界が減少するため、優れた再
生出力が１１られ本質的に高密度記録に適した方式とい
える。

かかる垂直磁化記録方式の磁気記録を行なうには、記録
媒体の膜面に対して垂直な方向にｔｌ化容易軸を有する
金属薄膜型磁気記録媒体を必要とする。このような金属
薄膜型磁気記録媒体としては、高分子材料或いは非磁性
金属等の非磁性材料から成る支持体上に、Ｃｏ−Ｃｒ合
金等を蒸着、スパッタリング、イオンブレーティング等
（以下、本発明では眞空薄膜成形法という）で形成した
ものが知られている。

また、垂直磁化記録再生「、Ｘの記録再生効率の改善を
図るため、前記のＣｏ−Ｃｒ合金摸より成る垂直磁気記
録苦の下に下地層として軟磁性材料より成る高透磁率層
、例えば、パーマロイ（Ｎｉ　　−Ｆｅ系合金）膜を設
けた、いわゆる二層膜型の垂直磁気記録媒体が知られて
いる。

さらに、前記の如き金ｒｉＡ薄股型垂直【ｎ気記録媒体
としては一般に支持体の両面に磁性層を設けた円Ｍ２（
ディスク）型のもの、又は、片面のみに磁性層を設置し
、他面にカールバランスのためのコーティングを浦こし
たものが１７ｉ１発されている。

しかし、このような従来の磁気記録媒体は配置１再生時
ｖａ気ヘッドとのへラドタッチにしばしば問題があり電
磁変換特性低下の一因となっている。

［発明が解決すべき問題点］ 本発明は上記問題点に鑑みなされたものである。

？ｌなわら、本発明の目的は、第１にヘッドタッチにす
ぐれる垂直磁気記録媒体を提供するにあり、第２に電磁
ｖ！ｌ換特竹の劣化の少ない垂直磁気記録媒体を提供す
るにある。

Ｅ問題点を解決するための手段〕 本発明名らは、この原因を知るため、磁性層形成時にお
ける種々の要因を変えてヘッドタッチの優れたものや劣
るものを種々作成し、Ｍ究を蛋ねたＭ果、非磁性可撓性
支持体の片面に少なくとも磁性膜を、他面に少なくとも
−ルバランスＩ９を有する垂直磁気記録媒体媒体におい
て、該カールバランス膜等を除去して支持体片面が露出
した状態としディスク状に打抜いたときのカールｍ／γ
イスク直径が０．１以下であることを特徴とする垂直磁
気記録媒体が良好なヘッドタッチ特性を有づ゛ることを
見出し本発明を達成した。

すなわち、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート等
の非磁性筒！た性支持体の片面に種々の条件で磁性膜を
、他面にカールバランス膜として非′磁性膜あるいは磁
性膜を設けてなる垂直磁気記録媒体において、上記カー
ルバランス膜等をエツゾング等の方法により除去して支
持体片面を露出させたときのカールｆｆｉ／ディスク直
径が０．１以下である場合、良好なヘッドタッチが得ら
れる。

なお、上記のへラドタッチ度合は次のようにして評価し
た。

透明な光学研磨したダミーヘッドをサンプルに押しつけ
光を照射し、サンプルと該ヘッドとのすき間で生じる干
渉縞を測定し、−木繊上の干渉縞が生じていない面積を
ヘッドの全面積で割った値でヘッドタッチ度合を定義し
た。干渉縞が全く生じていない場合（１００％）はヘッ
ドタッグ度が最も良く、９体にｒ＆衝縞が生じた場合（
０％）で最もとも悪く、約８０％以上がヘッドタッヂ度
良好と評価した。

本発明の垂直磁気記録媒体によりヘッドタッチが良化ザ
る理由は下記によるものと考えられる。

外観上のカールは片面に磁性膜等を設けたことによる歪
みと、他面にカールバランス膜を設けたことによるそれ
とのマクロ的なバランスにより生じている。従って、片
面のみに磁性膜等が存在するときのカールが大であって
も、他面にほず同じ大きさで逆向きのカールを生じさせ
ることにより、外観上のカールバランスをとりつる。

しかしながら、そのＩＱ合、ミクロ的にはバランスは良
り７ではなく、局所的な歪みが存在しヘッドタッチが不
良となる。

一方、支持体片面のみに磁性膜が存在し、他面は何も塗
設されていない場合にカールの少ないサンプルは歪みが
小さくヘッドタッチが安定となる。

従って、本発明は、非磁性支持体の両面をＣＯを主成分
とする磁性層を有する金属薄膜型ｇ！百電磁気記録媒体
おいて、磁気記録媒体の本文中で定義するカールが１１
以下であることを特徴とする金属薄膜型磁気記録媒体で
ある。

以下１本発明を：ｉｍに説明する。

本発明はフィルム状支持体の少くとも片面にスパッタリ
ング、Ｍ着、イオンブレーライング等のｒ４′ｆＩ！薄
膜形成法で形成された磁性膜を他面にカールバランス膜
を有する垂直磁気記録媒体であって、特にディスク状（
又は）Ｏツピー）磁気記録媒体として適している。

本発明に使用されるフィルム状支持体としては、ポリエ
チレンテレフタレート（Ｐ［Ｔ］、ポリイミド、ポリア
ミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルサル
ホン、ポリサルホン等の高分子材料に対して適用できる
が、ＰＥＴ等の９０〜２００℃近辺でＡリボマーを析出
したり、或いはガス放出伍の多くなる材料に対して特に
ｆＩ著な効榮を有する。

また、支持体はあらかじめ、直空中で保持したリ、熱処
理したり、或いはグｏ　−１／ｌ電処理等の前Ｉ１１埋
を行ない、支１１体の表面及び内部からの不純物ガスの
放出を誠少させることが望ましい。

本発明における磁性層はＣＯを主成分とする垂直磁化膜
単層からなっていてもよく、また１磨に垂直磁化膜層、
下層にパーマロイ合金等の軟磁性膜を右する重層構造と
なっていてもよい。

垂直磁化膜層しては、磁化容易軸が支持体表面に対して
ほぼ垂直の方向に向いていることが必要であり、垂直磁
化膜の材料として知られているｃｏ　−Ｎｉ　、（：、
ｏ　−Ｎｉ　−Ｃｒ　、Ｃｏ−Ｃｒ。

Ｃｏ　−Ｆｅ　−Ｃｒ　、　Ｃｏ　−Ｃｒ　−Ｔａ　、
　Ｇｏ　−Ｃｒ　−Ｔｉ　、Ｇｏ　−Ｃｒ−Ｗ、Ｇｏ　
−Ｃｒ　−Ｍｏ　。

Ｆｅ−Ｎ、Ｆｅ−０ｒ等のＣＯを主成分とする金属薄膜
が用いられる。

膜ｉとしては、０．０３〜５ミクロン程度に選ばれるが
、０，０５〜１ミクロンｇ／１度が特に望ましい。

また軟磁性膜のｔｌｌｔｉとしは、Ｎｉ　−Ｆｅ　、　
Ｎｉ−）−ｅ　−ＭＯ、Ｎｉ　−Ｆｅ　−ＭＯ−ＣＵ　
＠イわゆるパーツ０イ合金アモルファス合金が使用され
る。

膜厚としては、フィルム状支持体からのオリゴマーの析
出や不純物ガス放出を抑止できることが必要であり、０
．０３〜５ミクロン程度に得らばれる。良好な垂直磁化
記録再生特性を得るためには、０．１〜１ミクロン程度
が特に望ましい。

膜形成手段としては、蒸着、スパッタリング等が用いら
れるが複数個の円筒状キャンの周囲に配置された複数個
の高速スパッター源を有するいわゆるｙ１続スパッタリ
ング法が望ましい。

スパッター源としては、各種の高速スパッター源が使用
できる。

円筒状キャンの温度としては、パーマロイｇｌＷの（！
！磁性膜形成時は硬磁性膜の面内での磁気異方性が生じ
るのを防ぐため３０℃以上が望ましい。−方、キャン１
［を余り高くすると支持体からのガス放出や、オリゴマ
ーの析出等が生ずるため９０℃以下が望ましい。

磁気異方性と膜表面の凹凸を特に少なくするためには、
４５〜７５℃が特に望ましい、一方、ＣＯ−Ｃｒ等の膜
の形成時には、所望の）ｌｃ　　（Ｉ直）を得るために
円筒状キャンの温度を９０’Ｃ以上に加熱することが望
ましく、またＨｅ　　（垂直）の！！ｆｉ！７磁化膜を
得るためには、１２０℃以上が特に望ましい。

本発明においては、さらに下地層や保護層を設けること
ができる。

本発明において、前記したようにカールｍ／ディスク直
径が以下であるような条件の磁気記録媒体を（りるには
神々の要因が存在する。

すなわら、これらの要因として支持体として用いるベー
スの種類、ベースの熱的機械特性、ベースの厚さ、磁性
層作成時に支持体にかかるテンション、支持体の温度、
眞空薄際形成法の種類及び操作条件、磁性層の材料、磁
性層の層構成等がある。初ＩＩ眞空度、アルゴンガス圧
、残留ガス圧と分圧、成膜速度等がありこれ等の条件を
調整することにより上述の値の少ないサンプルを作成す
ることが可能である。

垂直ｒａ磁気記録媒体しては木発圓によって上述の諸条
件を選び、片面のみ財性校等を右する場合のカールが少
ない条件を選ぶことが必要である。

更に両面に磁性膜等を設けた時は外観上のカールバラン
スがとれたものが好ましいことは言うまでもない。

なお、本発明におけるカールｆｆｉ／ディスク直径は、
第１図に示す如く、−面に垂直磁化膜、他面にカールバ
ランス膜を有する約１〜２ｒｓ、好ましくは２σの径で
ディスク状（中心孔なし）に打抜かれた磁気記録媒体の
カールバランス膜をエツチング等により除去し、垂直磁
化膜が上になるようにその一端Ａを平板上に固定した時
の他端がカールした高さくカールｍ）をそのディスクの
直径で割った値である。

以下、本発明を実施例によって説明する。

［大　浦　例］ 第２図は本発明の垂直磁気記録媒体を作成するのに用い
られるスパッター装置の一例を示す概略図である。第３
図に図示される両面連続スパッター装置を用いて垂直磁
化媒体を作成した。５０ミクロン厚のＯ−ル状のポリイ
ミドフィルム４１を送出＠４２にセットし、中間ローラ
及び円筒状キャン４３、４４を経てテンション０．２〜
２　ＫＢ　／　ｍｍ　２の範囲で巻取軸４５に巻取られ
るようにした。直空槽は送出す４６、スパッター室４１
、巻取室４８の３つに大別し、各室は隔壁４９．５０で
仕切り、各室はそれぞれ排気系５１．５２及び５３．５
４により排気した。スパッター室にはＣｏ−Ｃｒターゲ
ット（Ｃｏ８２−Ｃｒ１８重母％）有するＤＣプレーナ
マグネトロン方式のスパッターカソード５５．５６を設
けた。かかるスパッター装置のスパッター室内４１を５
　ｘ　１０’〜Ｉ　Ｘ　１０”７ｔｏｒｒ間の圧力まで
直空排気した後、ガス導入系５９よりΔｒガスを導入し
、０．６Ｘ　１０’〜３　Ｘ　１ｏ−２ｔｏｒｒの範囲
で維持した。送出軸４２より２０ａｍ／１ｎの搬送速度
で送出されたポリイミドフィルム４１上に、キャン温度
１１０〜１７０℃の範囲でキャン４３の位置でスパッタ
ーカソード５Ｇにより片面の面（′ｏ面）に約３．００
０人のＣｏ−Ｃｒ膜を形成した。続いてキャン温度１１
０〜１７０℃の範囲キャン４４の位置でスパッターカソ
ード５８によりもう一方の面〈１面）に約３．０００人
のｃｏ−Ｃｒ膜を形成し巻取＠４５で巻取った。

このように、種々の条（１下で作成した磁性膜を３．５
インチフロッピーディスク状にカットし前述した方法で
ヘッドタッチを測定した。更に片面の磁性膜をエツチン
グで除去し１ｏｍｍφにカットしてカールを測定した。

第２図に示すようにカール吊／サンプル直径が０．１以
下のもののへラドタッチは、８０％以上となる。この場
合の電磁変換特性の劣化の度合は実用上支障にないもの
であった。

［発明の効果］ 本発明の垂直磁気記録媒体は、支持体片面に磁性膜を設
けたときのカール阜／ディスク直径が０．１以下である
ことによりヘッドタッチの低下が著しく少ない、かつ電
磁変換特性の劣化の少ないものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はカール吊／ディスク直径の測定の概要を示す図
、 第２図は実施例においてカール吊／ディスク直径とへラ
ドタッチ度合を示すグラフ、 第３図は本発明の垂直磁気記録媒体を製造する装置を示
す図、である。 代　理　人　　弁理士（８１０７）佐々木　清　隆（ほ
か３名） 第　　１　　回 第　　２　　図 カーＩ＋−日ヅテースク直牛４

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性可撓性支持体の片面に少なくとも垂直磁化膜を、
   他面に少なくともカールバランス膜を有する垂直磁気記
   録媒体において、該カールバランス膜等を除去して支持
   体片面が露出した状態としディスク状に打抜いたときの
   カール量／ディスク直径が０．１以下であることを特徴
   とする垂直磁気記録媒体。