JPS63102028A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS63102028A JPS63102028A JP24780286A JP24780286A JPS63102028A JP S63102028 A JPS63102028 A JP S63102028A JP 24780286 A JP24780286 A JP 24780286A JP 24780286 A JP24780286 A JP 24780286A JP S63102028 A JPS63102028 A JP S63102028A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜が垂直
磁化可能なＣｏ−Ｃｒ−Ｍｅ膜から成る磁気記録層を有
する磁気記録媒体の製造方法に関する。
磁化可能なＣｏ−Ｃｒ−Ｍｅ膜から成る磁気記録層を有
する磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
次の世代の高密度化を担う磁気記録技術として新しい垂
直磁気記録方式が注［１されている〔外国論文誌：アイ
イーイーイー トランザクションズ オン マグネティ
クス（ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳＯＮ
ＭＡＧＮＥＴＩＣ５）Ｖｏｌ、ＭＡＧ−１３，Ｎｏ、５
゜Ｐ、Ｐ、１２７２〜１２７７（１９７７））。
直磁気記録方式が注［１されている〔外国論文誌：アイ
イーイーイー トランザクションズ オン マグネティ
クス（ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳＯＮ
ＭＡＧＮＥＴＩＣ５）Ｖｏｌ、ＭＡＧ−１３，Ｎｏ、５
゜Ｐ、Ｐ、１２７２〜１２７７（１９７７））。
２ペ−
垂直記録では、媒体面に垂直な反平行磁化転移を形成さ
せるので、磁化転移が極めて狭いものとなり、極めて高
い密度の記録が可能となるが、この方式の実現には、垂
直異方性を有する媒体の使用が不可欠で、耐久性を羅保
し、かつ信号出力対雑音比（以下Ｃ／Ｎと記す）の大き
な媒体の量産技術の確立が重要である〔応用磁気士ミナ
“垂直磁気記録方式″（６０年１２月）〕。
せるので、磁化転移が極めて狭いものとなり、極めて高
い密度の記録が可能となるが、この方式の実現には、垂
直異方性を有する媒体の使用が不可欠で、耐久性を羅保
し、かつ信号出力対雑音比（以下Ｃ／Ｎと記す）の大き
な媒体の量産技術の確立が重要である〔応用磁気士ミナ
“垂直磁気記録方式″（６０年１２月）〕。
これまでの基礎作りには、スパッタリング法〔日本応用
磁気学会、第３９回ωＦ究会貴旧、Ｐ。
磁気学会、第３９回ωＦ究会貴旧、Ｐ。
３１（１９８５））、電子ビーム蒸着法〔電子通信学会
論文誌、 Ｊ ６６−Ｃ，Ｎｏ１． Ｐ、５５（１９
８３））共にＧ ｏ −Ｃｒ膜が利用さｎできているが
、伍気特性を改良するために、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｍｅ ［
Ｍｅは他の元素〕の五元素が捉案さ１１ている。〔特開
昭５９−６１０１２号、！４′Ｉ開昭５９−６５４１６
号公報等〕。
論文誌、 Ｊ ６６−Ｃ，Ｎｏ１． Ｐ、５５（１９
８３））共にＧ ｏ −Ｃｒ膜が利用さｎできているが
、伍気特性を改良するために、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｍｅ ［
Ｍｅは他の元素〕の五元素が捉案さ１１ている。〔特開
昭５９−６１０１２号、！４′Ｉ開昭５９−６５４１６
号公報等〕。
ＭｅはＭｎ、Ｚｒ、Ｃｕ、Ｎｂ、Ｖ、Ｔｃ等が検討され
、その改善が確認されているのは、スパッタリング法で
あり、周知のＣ０−０ｒ膜に対比して改良程度３へ−７ は幅があるが、磁気特性中心で、磁気記録再生でＣ／Ｎ
を確認するとこまで進んでいるのは少ない。
、その改善が確認されているのは、スパッタリング法で
あり、周知のＣ０−０ｒ膜に対比して改良程度３へ−７ は幅があるが、磁気特性中心で、磁気記録再生でＣ／Ｎ
を確認するとこまで進んでいるのは少ない。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、スパッタリング法は、成膜速度が小さく
、磁気ディスクについては、特別な要求があれば、生産
技術として位置づけることができても、磁気テープを対
象とした時は、その遅い成膜速度が問題となる。一方、
電子ビーム蒸着や、イオンプレーテインク法は、磁気特
性がスパッタリング法に対比して劣り、高温に耐える基
板を必要とするなど改善が空寸れていた。本発明は上記
した事情に鑑みなされたもので、蒸着の高速化を生かし
て、特性向上を図った磁気記録媒体の製造方法を提供す
るものである。
、磁気ディスクについては、特別な要求があれば、生産
技術として位置づけることができても、磁気テープを対
象とした時は、その遅い成膜速度が問題となる。一方、
電子ビーム蒸着や、イオンプレーテインク法は、磁気特
性がスパッタリング法に対比して劣り、高温に耐える基
板を必要とするなど改善が空寸れていた。本発明は上記
した事情に鑑みなされたもので、蒸着の高速化を生かし
て、特性向上を図った磁気記録媒体の製造方法を提供す
るものである。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するため、本発明の磁気記録媒体
の製造方法は、高分子フィルム上にＣｏ−Ｃｒ−Ｍθ垂
直磁化膜を形成する際、Ｃｏ −Ｃｒを垂直蒸着し、Ｍ
ｅを斜方蒸着するようにしたものである。
の製造方法は、高分子フィルム上にＣｏ−Ｃｒ−Ｍθ垂
直磁化膜を形成する際、Ｃｏ −Ｃｒを垂直蒸着し、Ｍ
ｅを斜方蒸着するようにしたものである。
作用
本発明の磁気記録媒体の製法は上記した構成により、Ｍ
ｅの斜方蒸着により、垂直に伸びるＣｏ−Ｃｒが微粒子
化するため、ノイズが改良されＣ／Ｎの向上がはかれる
ことになる。
ｅの斜方蒸着により、垂直に伸びるＣｏ−Ｃｒが微粒子
化するため、ノイズが改良されＣ／Ｎの向上がはかれる
ことになる。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の磁気記録媒体の製造
方法について説明する。
方法について説明する。
図は本発明の磁気記録媒体の製造方法を実施するのに用
いた蒸着装置の一例の要部構成図である。
いた蒸着装置の一例の要部構成図である。
図で、１は高分子フィルノ・、２は円筒キャン、３は送
り出し軸、４は巻取り軸、５はＧ ｏ −Ｃｒ蒸発源、
６はＭｅ蒸発源、７は垂直蒸気流、８は斜方蒸着蒸気流
、９，１０は蒸気流の入射角制限マスク、１１は防着板
である。
り出し軸、４は巻取り軸、５はＧ ｏ −Ｃｒ蒸発源、
６はＭｅ蒸発源、７は垂直蒸気流、８は斜方蒸着蒸気流
、９，１０は蒸気流の入射角制限マスク、１１は防着板
である。
円筒キャンを直径１ｍとし、キャン直下４０ｃｒｎにＧ
ｏ −Ｃｒ蒸発源、Ｍｅ 蒸発源は位置を変えられる
ように構成して、Ｇ ｏ −Ｃｒ蒸着域での斜め入射角
を変えられるようにしたものを用いた。ＣＯ〜Ｃｒ蒸発
源はＭｇＯルツボを用いた電子ビーム加熱５、一 式、Ｍｅ蒸発源は水冷銅−・−スを用いた電子ビーム加
熱式とした。
ｏ −Ｃｒ蒸発源、Ｍｅ 蒸発源は位置を変えられる
ように構成して、Ｇ ｏ −Ｃｒ蒸着域での斜め入射角
を変えられるようにしたものを用いた。ＣＯ〜Ｃｒ蒸発
源はＭｇＯルツボを用いた電子ビーム加熱５、一 式、Ｍｅ蒸発源は水冷銅−・−スを用いた電子ビーム加
熱式とした。
厚み１５μｍのホリエチレンテレフタレートフィルムを
用い、円筒キャン温度は５０℃一定とし、Ｃｏ−Ｃｒ−
Ｍｅ膜０．１５μｍを蒸着して、ｏ、１５μｍのギャッ
プ長のリングヘッドで波長として０．５μｍを記録再生
し、Ｃ／Ｎを比較した。比較例は全てスパッタリング法
で得た膜で、厚みはやはり０．１５μｍとした。テープ
の仕様とＣ／Ｎは次表に示した通りである。
用い、円筒キャン温度は５０℃一定とし、Ｃｏ−Ｃｒ−
Ｍｅ膜０．１５μｍを蒸着して、ｏ、１５μｍのギャッ
プ長のリングヘッドで波長として０．５μｍを記録再生
し、Ｃ／Ｎを比較した。比較例は全てスパッタリング法
で得た膜で、厚みはやはり０．１５μｍとした。テープ
の仕様とＣ／Ｎは次表に示した通りである。
（以 下金 白）
６メ、−／
他に傳ｉ分子フィルムとしてポリエーテルサルフ才ン、
ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレート、セルロ
ースディアセテート、ポリイミド等を用い、Ｍｅ元素に
ライてＴｉ 、 Ｔａ 、 Ｍｏ 、ＴｃＭｎ、Ｐ
ｒ、Ｃｕ、Ｃａ 等にツイテはぼ同様のＣ／Ｎの良好な
媒体をスパッタリングの１０倍強の冒速で得られること
を確かめた。
ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレート、セルロ
ースディアセテート、ポリイミド等を用い、Ｍｅ元素に
ライてＴｉ 、 Ｔａ 、 Ｍｏ 、ＴｃＭｎ、Ｐ
ｒ、Ｃｕ、Ｃａ 等にツイテはぼ同様のＣ／Ｎの良好な
媒体をスパッタリングの１０倍強の冒速で得られること
を確かめた。
発明の効果
以上のように本発明によれば、Ｃ／Ｎの良好な垂直磁気
記録用の媒体を高速で製造できるといったすぐｇた効果
がある。
記録用の媒体を高速で製造できるといったすぐｇた効果
がある。
図は本発明の実施のために用いた蒸着装置の一例の要部
構成図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・円筒キャ
ン、５・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ蒸発源、６・・・・・Ｍ
θ蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名７−
−−輛分子ブイ）レム ２−−一円輛矢マン δ−−−Ｃｏ−Ｃｒ駿涜 ６−−−Ｍｅ魚発ル徹
構成図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・円筒キャ
ン、５・・・・・・Ｃｏ−Ｃｒ蒸発源、６・・・・・Ｍ
θ蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名７−
−−輛分子ブイ）レム ２−−一円輛矢マン δ−−−Ｃｏ−Ｃｒ駿涜 ６−−−Ｍｅ魚発ル徹
Claims (1)
- 高分子フィルム上にＣｏ−Ｃｒ−Ｍｅ垂直磁化膜を形成
する際にＣｏ−Ｃｒを垂直蒸着し、Ｍｅを斜方蒸着する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24780286A JPS63102028A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24780286A JPS63102028A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63102028A true JPS63102028A (ja) | 1988-05-06 |
Family
ID=17168870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24780286A Pending JPS63102028A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63102028A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0488377A2 (en) * | 1990-11-30 | 1992-06-03 | Sony Corporation | Magnetic recording medium and method of magnetically recording analog or, preferably, digital picture signals |
| US5906880A (en) * | 1990-11-30 | 1999-05-25 | Sony Corporation | Magnetic recording medium |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP24780286A patent/JPS63102028A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0488377A2 (en) * | 1990-11-30 | 1992-06-03 | Sony Corporation | Magnetic recording medium and method of magnetically recording analog or, preferably, digital picture signals |
| US5906880A (en) * | 1990-11-30 | 1999-05-25 | Sony Corporation | Magnetic recording medium |
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