JPH0473215B2 - - Google Patents
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- JPH0473215B2 JPH0473215B2 JP59055746A JP5574684A JPH0473215B2 JP H0473215 B2 JPH0473215 B2 JP H0473215B2 JP 59055746 A JP59055746 A JP 59055746A JP 5574684 A JP5574684 A JP 5574684A JP H0473215 B2 JPH0473215 B2 JP H0473215B2
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録媒体、特に薄膜結晶性定数
を高めた薄膜型磁気記録媒体に関する。
を高めた薄膜型磁気記録媒体に関する。
背景技術とその問題点
近年、磁気記録の高密度化の目的で、磁性薄膜
型の磁気記録媒体、即ち非磁性担体上に無電界メ
ツキ、イオンプレーテイング、スパツタリング、
真空蒸着等の方法により数百Å〜略1μの厚みの
磁性薄膜を形成させた磁気記録媒体についての研
究が盛んである。特に特公昭41−19389号に開示
された斜め蒸着法は、高い抗磁力を有する磁気記
録媒体が得られるので興味が持たれ、種々の改
良、改善がなされている。
型の磁気記録媒体、即ち非磁性担体上に無電界メ
ツキ、イオンプレーテイング、スパツタリング、
真空蒸着等の方法により数百Å〜略1μの厚みの
磁性薄膜を形成させた磁気記録媒体についての研
究が盛んである。特に特公昭41−19389号に開示
された斜め蒸着法は、高い抗磁力を有する磁気記
録媒体が得られるので興味が持たれ、種々の改
良、改善がなされている。
本発明者は、この斜め蒸着法によつて得られた
磁気記録媒体を解析する中で、出力に影響を与え
る特異点を見出すに至つた。
磁気記録媒体を解析する中で、出力に影響を与え
る特異点を見出すに至つた。
発明の目的
本発明は、上述の点に鑑み、出力の周波数特性
に優れた薄膜型の磁気記録媒体を提供するもので
ある。
に優れた薄膜型の磁気記録媒体を提供するもので
ある。
発明の概要
本発明は、非磁性担体上に斜め蒸着法により強
磁性薄膜を形成して成る磁気記録媒体において、
巾方向の角型比(Rs⊥)に対する長手方向(走
行方向)の角型比(Rs)を薄膜結晶性定数
Tcc(=Rs/Rs⊥)としたとき、該薄膜結晶性定数 Tccを、 Tcc≧〔長手方向の角型比Rs〕×1.5+0.2とし
て成る磁気記録媒体である。
磁性薄膜を形成して成る磁気記録媒体において、
巾方向の角型比(Rs⊥)に対する長手方向(走
行方向)の角型比(Rs)を薄膜結晶性定数
Tcc(=Rs/Rs⊥)としたとき、該薄膜結晶性定数 Tccを、 Tcc≧〔長手方向の角型比Rs〕×1.5+0.2とし
て成る磁気記録媒体である。
この発明の磁気記録媒体によれば、出力の周波
数特性が向上する。
数特性が向上する。
なお、針状の磁性粉と高分子結合剤を主体とす
る磁性塗料を非磁性担体上に塗布して磁性層を形
成した従来の所謂塗布型の磁気記録媒体におい
て、その巾方向の角型比に対する長手方向の角型
比を配向度と定義して、電磁変換特性の良否を判
断することが知られている。しかし、塗布型の磁
気記録媒体においては強磁性針状粒子を用い更に
製造工程中に磁気配向を施すものであり、磁性層
自身真空蒸着法によつて得られる磁性薄膜の構造
とは根本的に異なるものであり、同一視すること
はできない。また上記の薄膜結晶性定数Tccにつ
いてはこれまで示唆もされていない。
る磁性塗料を非磁性担体上に塗布して磁性層を形
成した従来の所謂塗布型の磁気記録媒体におい
て、その巾方向の角型比に対する長手方向の角型
比を配向度と定義して、電磁変換特性の良否を判
断することが知られている。しかし、塗布型の磁
気記録媒体においては強磁性針状粒子を用い更に
製造工程中に磁気配向を施すものであり、磁性層
自身真空蒸着法によつて得られる磁性薄膜の構造
とは根本的に異なるものであり、同一視すること
はできない。また上記の薄膜結晶性定数Tccにつ
いてはこれまで示唆もされていない。
これに対して、本発明での上記薄膜結晶性定数
Tccは、強磁性薄膜における柱状結晶構造の差異
に基づくことを基礎にして着目したものであり、
その値が上記一定以上になると出力が大きく向上
することが分つた。
Tccは、強磁性薄膜における柱状結晶構造の差異
に基づくことを基礎にして着目したものであり、
その値が上記一定以上になると出力が大きく向上
することが分つた。
実施例
以下、本発明の実施例を説明する。
第1図は本発明に適用される蒸着装置の概略図
である。この蒸着装置1は、真空雰囲気に保たれ
た真空チヤンバー2内に金属キヤン3が設けら
れ、これを繞つて非磁性担体4が供給リール5か
ら巻取リール6に移送され、金属キヤン3に対向
する下方に適当な距離を置いて金属磁性材料例え
ばCo,Fe,Niあるいはそれらの合金等の蒸着源
7が配置され、この蒸着源7から蒸発した金属磁
性粒子がシヤツター8によつて非磁性担体4上に
所定の入射角をもつて斜め蒸着されるように構成
されている。9はチヤンバー2内に導入する酸素
ガス(O2)の供給源である。
である。この蒸着装置1は、真空雰囲気に保たれ
た真空チヤンバー2内に金属キヤン3が設けら
れ、これを繞つて非磁性担体4が供給リール5か
ら巻取リール6に移送され、金属キヤン3に対向
する下方に適当な距離を置いて金属磁性材料例え
ばCo,Fe,Niあるいはそれらの合金等の蒸着源
7が配置され、この蒸着源7から蒸発した金属磁
性粒子がシヤツター8によつて非磁性担体4上に
所定の入射角をもつて斜め蒸着されるように構成
されている。9はチヤンバー2内に導入する酸素
ガス(O2)の供給源である。
実施例 1
上記蒸着装置1を使用し、200℃に加熱された
酸素ガス(O2)を80c.c./min流しつつ、1×
10-4Torrの圧力下で、10μ厚のポリエチレンテレ
フタレート(PET)よりなる非磁性担体4上に
Co−Ni合金(Coが80原子%,Niが20原子%)を
順次斜め蒸着した。蒸着時の入射角は40゜〜90゜、
蒸着源7の加熱手段は電子ビーム方式である。こ
のようにして作製された蒸着テープを実施例1と
した。このテープの特性は以下の通りである。
酸素ガス(O2)を80c.c./min流しつつ、1×
10-4Torrの圧力下で、10μ厚のポリエチレンテレ
フタレート(PET)よりなる非磁性担体4上に
Co−Ni合金(Coが80原子%,Niが20原子%)を
順次斜め蒸着した。蒸着時の入射角は40゜〜90゜、
蒸着源7の加熱手段は電子ビーム方式である。こ
のようにして作製された蒸着テープを実施例1と
した。このテープの特性は以下の通りである。
Co−Ni蒸着膜厚:1200Å
磁気特性
抗磁力(Hc):850 Oe
長手方向
飽和磁束密度(Bm):6900G
残留磁束密度(Br):4900G
巾方向
飽和磁束密度(Bm):6900G
残留磁束密度(Br):3450G
Tcc=1.42>4900/6900×1.5+0.2=1.265
比較例 1
加熱せずに酸素ガスを100c.c./min流し、また
入射角を30゜〜70゜として、他は実施例1と同じ条
件で作製した蒸着テープを比較例1とした。この
テープの特性は以下の通りである。
入射角を30゜〜70゜として、他は実施例1と同じ条
件で作製した蒸着テープを比較例1とした。この
テープの特性は以下の通りである。
Co−Ni蒸着膜厚:1200Å
磁気特性
抗磁力(Hc):850 Oe
長手方向
飽和磁束密度(Bm):6700G
残留磁束密度(Br):4550G
巾方向
飽和磁束密度(Bm):6700G
残留磁束密度(Br):4000G
Tcc=1.13>4550/6700×1.5+0.2=1.22
上記各例のテープの電磁変換特性を測定した結
果を第2図に示す。この測定はギヤツプ長0.2μ
m、トラツク巾20μmのフエライトヘツドを用
い、テープ相対速度を3.5m/secとして相対出力
を測定した。
果を第2図に示す。この測定はギヤツプ長0.2μ
m、トラツク巾20μmのフエライトヘツドを用
い、テープ相対速度を3.5m/secとして相対出力
を測定した。
同図において曲線()は実施例1のテープ、
曲線()は比較例1のテープである。
曲線()は比較例1のテープである。
両例のテープの出力の周波数特性をみると、長
波長側では比較例1のテープの出力が実施例1の
テープより若干高いが、短波長側になるに伴い実
施例1のテープの出力が比較例1のテープよりも
高くなり、6MHzでの出力の差は4.8dBとなつた。
即ち実施例1のテープの周波数特性が比較例1の
テープのそれより優れている。実施例1のテープ
と比較例1のテープとでは長手方向の抗磁力Hc
及び残留磁束密度Br共にほぼ同等であるが、こ
のような出力の周波数特性の違いは薄膜結晶性定
数Tccに着目して初めて理解されるものであるこ
とが判明した。またTcc≧〔長手方向の角型比〕×
1.5+0.2であるという式は、出力の周波数特性で
6MHzの出力と2MHzの出力の差が10dB以下の条
件を満たす時に得られるものである。これ以上で
ある時には例えば高密度記録ビデオ用テープとし
ては不適当であることが明らかになつたからであ
る。
波長側では比較例1のテープの出力が実施例1の
テープより若干高いが、短波長側になるに伴い実
施例1のテープの出力が比較例1のテープよりも
高くなり、6MHzでの出力の差は4.8dBとなつた。
即ち実施例1のテープの周波数特性が比較例1の
テープのそれより優れている。実施例1のテープ
と比較例1のテープとでは長手方向の抗磁力Hc
及び残留磁束密度Br共にほぼ同等であるが、こ
のような出力の周波数特性の違いは薄膜結晶性定
数Tccに着目して初めて理解されるものであるこ
とが判明した。またTcc≧〔長手方向の角型比〕×
1.5+0.2であるという式は、出力の周波数特性で
6MHzの出力と2MHzの出力の差が10dB以下の条
件を満たす時に得られるものである。これ以上で
ある時には例えば高密度記録ビデオ用テープとし
ては不適当であることが明らかになつたからであ
る。
このようにTccの値と出力の変化を示す第2図
から明らかなように、Tccが本発明の規定値より
少ないと充分な出力が得られない。
から明らかなように、Tccが本発明の規定値より
少ないと充分な出力が得られない。
発明の効果
本発明によれば、斜め蒸着法によつて得る強磁
性薄膜の薄膜結晶性定数Tccを、Tcc≧〔長手方
向の角型比〕×1.5+0.2とすることにより、出力
の周波数特性を向上することができる。従つて本
磁気記録媒体は高密度記録用に適用して好適なら
しめるものである。
性薄膜の薄膜結晶性定数Tccを、Tcc≧〔長手方
向の角型比〕×1.5+0.2とすることにより、出力
の周波数特性を向上することができる。従つて本
磁気記録媒体は高密度記録用に適用して好適なら
しめるものである。
第1図は本発明に適用される蒸着装置、第2図
は本発明の説明に供する出力の周波数特性図であ
る。 1は蒸着装置、4は非磁性担体、7は蒸着源で
ある。
は本発明の説明に供する出力の周波数特性図であ
る。 1は蒸着装置、4は非磁性担体、7は蒸着源で
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 非磁性担体上に斜め蒸着法により強磁性薄膜
を形成して成る磁気記録媒体において、巾方向の
角型比(Rs⊥)に対する長手方向の角型比
(Rs)を薄膜結晶性定数Tcc(=Rs/Rs⊥)とした とき、該薄膜結晶性定数Tccを Tcc≧〔長手方向の角型比Rs〕×1.5+0.2とし
たことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5574684A JPS60201521A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5574684A JPS60201521A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60201521A JPS60201521A (ja) | 1985-10-12 |
JPH0473215B2 true JPH0473215B2 (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=13007418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5574684A Granted JPS60201521A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60201521A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06111272A (ja) * | 1992-08-14 | 1994-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
JP2988188B2 (ja) * | 1992-09-09 | 1999-12-06 | 松下電器産業株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5677931A (en) * | 1979-11-28 | 1981-06-26 | Tdk Corp | Magnetic recording medium and its producton |
-
1984
- 1984-03-23 JP JP5574684A patent/JPS60201521A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5677931A (en) * | 1979-11-28 | 1981-06-26 | Tdk Corp | Magnetic recording medium and its producton |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60201521A (ja) | 1985-10-12 |
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