JPH0341899B2 - - Google Patents
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- JPH0341899B2 JPH0341899B2 JP21692384A JP21692384A JPH0341899B2 JP H0341899 B2 JPH0341899 B2 JP H0341899B2 JP 21692384 A JP21692384 A JP 21692384A JP 21692384 A JP21692384 A JP 21692384A JP H0341899 B2 JPH0341899 B2 JP H0341899B2
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 86
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 23
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 15
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 14
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 11
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 6
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910001566 austenite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- 229910020632 Co Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020637 Co-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002441 CoNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020678 Co—Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020707 Co—Pt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020711 Co—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020710 Co—Sm Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020514 Co—Y Inorganic materials 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017060 Fe Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002544 Fe-Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017082 Fe-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017133 Fe—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018657 Mn—Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018054 Ni-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018481 Ni—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018605 Ni—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- LZBCVRCTAYKYHR-UHFFFAOYSA-N acetic acid;chloroethene Chemical compound ClC=C.CC(O)=O LZBCVRCTAYKYHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N chromium iron Chemical compound [Cr].[Fe] UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 229920006163 vinyl copolymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は移動する高分子成形物などのテープ状
非磁性基体に磁性薄膜を真空蒸着法により形成せ
しめて磁気記録媒体を製造する方法に関する。さ
らに磁気特性および電磁変換特性の改良された磁
気記録媒体の製造方法に関する。 〔従来技術〕 従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上
にγ−Fe2O3、Coをドープしたγ−Fe2O3、
Fe3O4、CoをドープしたFe3O4、γ−Fe2O3と
Fe3O4のベルトライド化合物、Coをドープしたベ
ルトライド化合物、CrO2等の酸化物磁性粉末あ
るいはFe、Co、Ni等を主成分とする合金磁性粉
末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、スチレン−ブタジエン共重合体、エポキ
シ樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中
に分散せしめ、塗布、乾燥させる塗布型のものが
広く使用されてきている。 近年高密度磁気記録への要求の高まりと共に、
真空蒸着、スパツタリング、イオンプレーテング
等の方法により形成される強磁性金属薄膜はバイ
ンダーを使用しない、いわゆる金属薄膜型の磁気
記録媒体として注目を浴びており実用化への努力
がなされてきている。 従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和
磁化の小さい金属酸化物を磁性材料として使用し
ていると共に、磁性層中の磁性材料の体積含有率
が30〜50％にすぎないため高出力高密度記録媒体
としては限界になつてきている。さらにその製造
工程も複雑で溶剤回収あるいは公害防止のための
大きな付帯設備を必要とするという欠点を有して
いる。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物磁性材
料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機
バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で
極めて薄い薄膜として形成できるという利点を有
する。高密度磁気記録化につれて記録再生磁気ヘ
ツドのギヤツプ長も1.0μｍを切る時代になつてい
るが、それに伴つて磁気記録層への記録深さも浅
くなる傾向があり、磁性膜の厚み全部が磁気信号
の記録に利用され得る金属薄膜型磁気記録媒体は
高出力高密度記録媒体として極めてすぐれてい
る。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜の形成
を真空蒸着により行なう方法は膜の形成速度の速
いこと、製造工程が簡単であることあるいは排液
処理を必要としないドライプロセスであること等
の利点を有する。中でも特に磁性金属の蒸発ビー
ムを非磁性基体表面に斜めに入射させて蒸着する
斜方入射真空蒸着法は工程および装置機構が比較
的簡単であると同時に良好な磁気特性を有する膜
が得られるため実用化上ずぐれている。 テープ状非磁性基体に蒸着により磁性薄膜を形
成せしめて磁気テープを製造する際には、特開昭
54−19200号、特開昭53−87706号に示されている
ように移動するテープ状非磁性基体に電子ビーム
の照射加熱により蒸発せしめられた磁性材料の蒸
気流を差し向け蒸着する方法が用いられる。この
ようにして製造される蒸着型磁気記録媒体は従来
の塗布型磁気記録媒体に比し高出力が得られるこ
とから８mmVTR用磁気テープあるいはデイジタ
ルオーデオ用磁気テープとして極めて有望であ
る。蒸着型の磁気記録媒体においてはノイズを低
下させＳ／Ｎさらに改良するために磁性材料の蒸
着の際に酸素等の酸化性ガスを導入する方法が取
られているが、これによると磁気特性、特に
（dB／dH）naxが低下するためにこの改良が望まれて いた。さらに従来の電子ビーム加熱法による蒸着
型磁気記録媒体ではビデオ信号等の特に高周波信
号の記録再生波のエンベロープが充分でなくこの
改良も望まれていた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記の欠点を改良した蒸着法
による金属薄膜型磁気記録媒体、すなわち磁気特
性、特に（dB／dH）naxの改良された金属薄膜型磁気 記録媒体の製造方法を提供することにある。さら
に本発明の目的は電磁変換特性、特に再生信号の
エンベロープのすぐれた蒸着法による金属薄膜型
磁気記録媒体の製造方法を提供することにある。 〔発明の構成〕 本発明は真空雰囲気内にて連続して移動するテ
ープ状非磁性基体に、電子ビームの走査加熱によ
り蒸発せしめられた磁性材料の蒸気を差し向け該
非磁性基体上に蒸着磁性薄膜を形成せしめて磁気
記録媒体を製造する方法において、該非磁性基体
の移動速度をυ（ｍ／分）、該非磁性支持体幅方向
と略平行な磁性材料蒸発源上の電子ビームの走査
幅をω（ｍ）とした時、電子ビームの走査周波数
2ωυ（Hz）以上とすることを特徴とする磁気記録
媒体の製法に関する。 第１図は、本発明による磁気記録媒体製造方法
を実施するための装置の一例を示している。適当
な真空排気系を備えてなる真空槽（図示せず）内
に配設されたシリンダー状冷却キヤン１１に沿つ
てテープ状非磁性基体１２が搬送される。冷却キ
ヤン１１の下方には磁性金属材料１３を加熱蒸発
させるためのルツボ１４が配置されており、磁性
金属材料１３は電子銃１５からの電子ビーム１６
の照射により加熱される。加熱蒸発された磁性金
属材料の蒸気流は冷却キヤン１１の表面に沿つて
移動するテープ状非磁性基体１２の表面に達し蒸
着磁性薄膜が形成される。本発明においてテープ
状非磁性基体の移動速度とは、テープ状非磁性基
体表面への磁性金属材料の蒸着が行なわれる領域
における上記テープ状基体の移動する速度を指
す。第１図においてテープ状非磁性基体１２の表
面が磁性金属材料の蒸気流にさらされる領域にお
けるテープ状非磁性基体１２の移動速度υ〔ｍ／
分〕が本発明におけるテープ状非磁性基体の移動
速度である。電子ビーム１６はテープ状非磁性基
体１２の幅方向と略平行にルツボ１４の磁性金属
材料１３を走査照射されるが、その際の電子ビー
ム走査のテープ状非磁性基体１２幅方向に沿つて
の走査長を本発明における走査幅ω（ｍ）と定義
する。本発明者等はテープ状非磁性基体の移動速
度と電子ビーム走査幅について種々検討の結果、
テープ状非磁性基体の移動速度をυ（ｍ／分）、上
記電子ビーム走査幅をω（ｍ）とした時、電子ビ
ームの走査周波数を2ωυ（Hz）以上、特に好まし
くは4ωυ（Hz）以上として製造された磁気記録媒
体は磁気特性がすぐれると共に電磁変換特性にす
ぐれた蒸着法による金属薄膜型磁気記録媒体であ
ることを見出したものである。 本発明の方法によつて磁気記録媒体を製造する
場合、磁性薄膜を形成させるための強磁性金属と
してはFe、Co、Ni等の金属あるいはFe−Co、
Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−Rh、Fe
−Cu、Fe−Si、Co−Cu、Co−Au、Co−Ｙ、Co
−La、Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、
Co−Si、Co−Mn、Co−Ｐ、Ni−Cu、Mn−Bi、
Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、
Fe−Ｐ、Ni−Ｐ、Co−Ni−Ｐ、Co−Ni−Ｂ、
Co−Ni−Ag、Co−Ni−Cr、Fe−Co−Cr、Fe
−Co−Ni−Cr、Co−Ni−Zn、Co−Ni−Ｗ、Fe
−Co−Ni−Ｐ等のような強磁性合金が用いられ
る。磁性膜の厚さは、磁気記録媒体として充分な
出力を与え得る厚さおよび高密度記録の充分行な
える薄さを必要とすることから一般には0.02μｍ
から5.0μｍ、好ましくは0.05μｍから2.0μｍであ
る。蒸着中にO2、CO2、N2、NH3、スチレン等
のガスを導入して磁性薄膜中にＯ、Ｎ、Ｃ等の元
素を含有させるようにしてもよい。 テープ状非磁性基体としてはポリエチレンテレ
フタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化
ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネート、
ポリエチレンナフタレート、ポリフエニレンサル
フアイドのようなプラスチツクベース、あるいは
Al、Al合金、Ti、Ti合金、ステンレス鋼のよう
な金属帯が用いられる。 ルツボ１４から蒸着された磁性材料１３を補給
するために線状、粒状、帯状、棒状の磁性材料を
ルツボ１４に上、下あるいは横から連続的あるい
は断続的に供給するような機構を設けてもよい。 さらに磁性材料の蒸気流をテープ状基板面に斜
めに入射させる斜方入射真空蒸着法による場合に
は入射角を30°〜90°の範囲にするのが好ましい。 さらに本発明においてテープ状非磁性基体上に
有機あるいは無機物よりなる下地層を設けても良
いし、磁性薄膜を多層化したり、各磁性膜間に有
機あるいは無機物よりなる中間層を設けてもよ
い。また磁性膜上に有機あるいは無機物よりなる
保護層を設けてもよい。 〔実施例〕 次に実施例をもつて本発明を具体的に説明する
が本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例 １ 第１図に示す装置を用いて12μｍ厚のポリエチ
レンテレフタレートフイルム上に強磁性薄膜を形
成し磁気記録媒体を作成した。蒸発源としてはル
ツボにCoNi合金Ni18重量％）をチヤージし加速
電圧30kVの電子ビームをポリエチレンテレフタ
レートフイルムの幅方向と平行に走査させて蒸着
を実施した。蒸着の際磁性材料の蒸発流近傍に酸
素ガスを導入し、真空度が2.0×10-4Torrとなる
ようにして厚み0.12μｍの磁性薄膜を蒸着形成し
た。電子ビームの走査幅を0.5ｍとし、ポリエチ
レンテレフタレートフイルムの移動速度および電
子ビーム走査周波数を変化させた磁気テープ原反
を作製した。こうして得た磁気テープの磁気特性
Ｂ−Ｈ曲線での（dB／dH）nax値およびテープとヘツ ド相対速度が3.75ｍ／秒なるVTRで5MHzの信号
を記録し再生した時のエンベロープ特性を測定し
たところ下表のようであつた。
非磁性基体に磁性薄膜を真空蒸着法により形成せ
しめて磁気記録媒体を製造する方法に関する。さ
らに磁気特性および電磁変換特性の改良された磁
気記録媒体の製造方法に関する。 〔従来技術〕 従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上
にγ−Fe2O3、Coをドープしたγ−Fe2O3、
Fe3O4、CoをドープしたFe3O4、γ−Fe2O3と
Fe3O4のベルトライド化合物、Coをドープしたベ
ルトライド化合物、CrO2等の酸化物磁性粉末あ
るいはFe、Co、Ni等を主成分とする合金磁性粉
末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、スチレン−ブタジエン共重合体、エポキ
シ樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中
に分散せしめ、塗布、乾燥させる塗布型のものが
広く使用されてきている。 近年高密度磁気記録への要求の高まりと共に、
真空蒸着、スパツタリング、イオンプレーテング
等の方法により形成される強磁性金属薄膜はバイ
ンダーを使用しない、いわゆる金属薄膜型の磁気
記録媒体として注目を浴びており実用化への努力
がなされてきている。 従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和
磁化の小さい金属酸化物を磁性材料として使用し
ていると共に、磁性層中の磁性材料の体積含有率
が30〜50％にすぎないため高出力高密度記録媒体
としては限界になつてきている。さらにその製造
工程も複雑で溶剤回収あるいは公害防止のための
大きな付帯設備を必要とするという欠点を有して
いる。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物磁性材
料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機
バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で
極めて薄い薄膜として形成できるという利点を有
する。高密度磁気記録化につれて記録再生磁気ヘ
ツドのギヤツプ長も1.0μｍを切る時代になつてい
るが、それに伴つて磁気記録層への記録深さも浅
くなる傾向があり、磁性膜の厚み全部が磁気信号
の記録に利用され得る金属薄膜型磁気記録媒体は
高出力高密度記録媒体として極めてすぐれてい
る。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜の形成
を真空蒸着により行なう方法は膜の形成速度の速
いこと、製造工程が簡単であることあるいは排液
処理を必要としないドライプロセスであること等
の利点を有する。中でも特に磁性金属の蒸発ビー
ムを非磁性基体表面に斜めに入射させて蒸着する
斜方入射真空蒸着法は工程および装置機構が比較
的簡単であると同時に良好な磁気特性を有する膜
が得られるため実用化上ずぐれている。 テープ状非磁性基体に蒸着により磁性薄膜を形
成せしめて磁気テープを製造する際には、特開昭
54−19200号、特開昭53−87706号に示されている
ように移動するテープ状非磁性基体に電子ビーム
の照射加熱により蒸発せしめられた磁性材料の蒸
気流を差し向け蒸着する方法が用いられる。この
ようにして製造される蒸着型磁気記録媒体は従来
の塗布型磁気記録媒体に比し高出力が得られるこ
とから８mmVTR用磁気テープあるいはデイジタ
ルオーデオ用磁気テープとして極めて有望であ
る。蒸着型の磁気記録媒体においてはノイズを低
下させＳ／Ｎさらに改良するために磁性材料の蒸
着の際に酸素等の酸化性ガスを導入する方法が取
られているが、これによると磁気特性、特に
（dB／dH）naxが低下するためにこの改良が望まれて いた。さらに従来の電子ビーム加熱法による蒸着
型磁気記録媒体ではビデオ信号等の特に高周波信
号の記録再生波のエンベロープが充分でなくこの
改良も望まれていた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記の欠点を改良した蒸着法
による金属薄膜型磁気記録媒体、すなわち磁気特
性、特に（dB／dH）naxの改良された金属薄膜型磁気 記録媒体の製造方法を提供することにある。さら
に本発明の目的は電磁変換特性、特に再生信号の
エンベロープのすぐれた蒸着法による金属薄膜型
磁気記録媒体の製造方法を提供することにある。 〔発明の構成〕 本発明は真空雰囲気内にて連続して移動するテ
ープ状非磁性基体に、電子ビームの走査加熱によ
り蒸発せしめられた磁性材料の蒸気を差し向け該
非磁性基体上に蒸着磁性薄膜を形成せしめて磁気
記録媒体を製造する方法において、該非磁性基体
の移動速度をυ（ｍ／分）、該非磁性支持体幅方向
と略平行な磁性材料蒸発源上の電子ビームの走査
幅をω（ｍ）とした時、電子ビームの走査周波数
2ωυ（Hz）以上とすることを特徴とする磁気記録
媒体の製法に関する。 第１図は、本発明による磁気記録媒体製造方法
を実施するための装置の一例を示している。適当
な真空排気系を備えてなる真空槽（図示せず）内
に配設されたシリンダー状冷却キヤン１１に沿つ
てテープ状非磁性基体１２が搬送される。冷却キ
ヤン１１の下方には磁性金属材料１３を加熱蒸発
させるためのルツボ１４が配置されており、磁性
金属材料１３は電子銃１５からの電子ビーム１６
の照射により加熱される。加熱蒸発された磁性金
属材料の蒸気流は冷却キヤン１１の表面に沿つて
移動するテープ状非磁性基体１２の表面に達し蒸
着磁性薄膜が形成される。本発明においてテープ
状非磁性基体の移動速度とは、テープ状非磁性基
体表面への磁性金属材料の蒸着が行なわれる領域
における上記テープ状基体の移動する速度を指
す。第１図においてテープ状非磁性基体１２の表
面が磁性金属材料の蒸気流にさらされる領域にお
けるテープ状非磁性基体１２の移動速度υ〔ｍ／
分〕が本発明におけるテープ状非磁性基体の移動
速度である。電子ビーム１６はテープ状非磁性基
体１２の幅方向と略平行にルツボ１４の磁性金属
材料１３を走査照射されるが、その際の電子ビー
ム走査のテープ状非磁性基体１２幅方向に沿つて
の走査長を本発明における走査幅ω（ｍ）と定義
する。本発明者等はテープ状非磁性基体の移動速
度と電子ビーム走査幅について種々検討の結果、
テープ状非磁性基体の移動速度をυ（ｍ／分）、上
記電子ビーム走査幅をω（ｍ）とした時、電子ビ
ームの走査周波数を2ωυ（Hz）以上、特に好まし
くは4ωυ（Hz）以上として製造された磁気記録媒
体は磁気特性がすぐれると共に電磁変換特性にす
ぐれた蒸着法による金属薄膜型磁気記録媒体であ
ることを見出したものである。 本発明の方法によつて磁気記録媒体を製造する
場合、磁性薄膜を形成させるための強磁性金属と
してはFe、Co、Ni等の金属あるいはFe−Co、
Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−Rh、Fe
−Cu、Fe−Si、Co−Cu、Co−Au、Co−Ｙ、Co
−La、Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、
Co−Si、Co−Mn、Co−Ｐ、Ni−Cu、Mn−Bi、
Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、
Fe−Ｐ、Ni−Ｐ、Co−Ni−Ｐ、Co−Ni−Ｂ、
Co−Ni−Ag、Co−Ni−Cr、Fe−Co−Cr、Fe
−Co−Ni−Cr、Co−Ni−Zn、Co−Ni−Ｗ、Fe
−Co−Ni−Ｐ等のような強磁性合金が用いられ
る。磁性膜の厚さは、磁気記録媒体として充分な
出力を与え得る厚さおよび高密度記録の充分行な
える薄さを必要とすることから一般には0.02μｍ
から5.0μｍ、好ましくは0.05μｍから2.0μｍであ
る。蒸着中にO2、CO2、N2、NH3、スチレン等
のガスを導入して磁性薄膜中にＯ、Ｎ、Ｃ等の元
素を含有させるようにしてもよい。 テープ状非磁性基体としてはポリエチレンテレ
フタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化
ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネート、
ポリエチレンナフタレート、ポリフエニレンサル
フアイドのようなプラスチツクベース、あるいは
Al、Al合金、Ti、Ti合金、ステンレス鋼のよう
な金属帯が用いられる。 ルツボ１４から蒸着された磁性材料１３を補給
するために線状、粒状、帯状、棒状の磁性材料を
ルツボ１４に上、下あるいは横から連続的あるい
は断続的に供給するような機構を設けてもよい。 さらに磁性材料の蒸気流をテープ状基板面に斜
めに入射させる斜方入射真空蒸着法による場合に
は入射角を30°〜90°の範囲にするのが好ましい。 さらに本発明においてテープ状非磁性基体上に
有機あるいは無機物よりなる下地層を設けても良
いし、磁性薄膜を多層化したり、各磁性膜間に有
機あるいは無機物よりなる中間層を設けてもよ
い。また磁性膜上に有機あるいは無機物よりなる
保護層を設けてもよい。 〔実施例〕 次に実施例をもつて本発明を具体的に説明する
が本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例 １ 第１図に示す装置を用いて12μｍ厚のポリエチ
レンテレフタレートフイルム上に強磁性薄膜を形
成し磁気記録媒体を作成した。蒸発源としてはル
ツボにCoNi合金Ni18重量％）をチヤージし加速
電圧30kVの電子ビームをポリエチレンテレフタ
レートフイルムの幅方向と平行に走査させて蒸着
を実施した。蒸着の際磁性材料の蒸発流近傍に酸
素ガスを導入し、真空度が2.0×10-4Torrとなる
ようにして厚み0.12μｍの磁性薄膜を蒸着形成し
た。電子ビームの走査幅を0.5ｍとし、ポリエチ
レンテレフタレートフイルムの移動速度および電
子ビーム走査周波数を変化させた磁気テープ原反
を作製した。こうして得た磁気テープの磁気特性
Ｂ−Ｈ曲線での（dB／dH）nax値およびテープとヘツ ド相対速度が3.75ｍ／秒なるVTRで5MHzの信号
を記録し再生した時のエンベロープ特性を測定し
たところ下表のようであつた。
【表】
【表】
このように電子ビームの走査幅ω（ｍ）でポリ
エチレンテレフタレートフイルムの移動速度υ
（ｍ／分）とした時、電子ビームの走査周波数を
2ωυ（Hz）以上〔走査幅0.5ｍで移動速度50ｍ／分
の時は50Hz以上；走査幅0.5ｍで移動速度100ｍ／
分の時は100Hz以上〕にて製造された磁気テープ
は（dB／dH）nax値が向上し、すぐれたエンベロープ 特性を示すことが確かめられた。 実施例 ２ 実施例１と同様にして12.5μｍ厚のポリイミド
フイルム上にCo−Cr（Cr：5wt％）より成る強磁
性薄膜を蒸着形成せしめ磁気記録媒体を作製し
た。真空度1.5×10-5TorrにてCo−Crを蒸着せし
め膜厚0.2μｍとなるよう磁性薄膜を形成した。電
子ビームの走査幅、ポリイミドフイルムの移動速
度に対して電子ビーム走査周波数を変化させて磁
気テープサンプルを作製し、これについて実施例
１と同様にして（dB／dH）nax値およびエンベロープ 特性を測定したところ下表のようであつた。
エチレンテレフタレートフイルムの移動速度υ
（ｍ／分）とした時、電子ビームの走査周波数を
2ωυ（Hz）以上〔走査幅0.5ｍで移動速度50ｍ／分
の時は50Hz以上；走査幅0.5ｍで移動速度100ｍ／
分の時は100Hz以上〕にて製造された磁気テープ
は（dB／dH）nax値が向上し、すぐれたエンベロープ 特性を示すことが確かめられた。 実施例 ２ 実施例１と同様にして12.5μｍ厚のポリイミド
フイルム上にCo−Cr（Cr：5wt％）より成る強磁
性薄膜を蒸着形成せしめ磁気記録媒体を作製し
た。真空度1.5×10-5TorrにてCo−Crを蒸着せし
め膜厚0.2μｍとなるよう磁性薄膜を形成した。電
子ビームの走査幅、ポリイミドフイルムの移動速
度に対して電子ビーム走査周波数を変化させて磁
気テープサンプルを作製し、これについて実施例
１と同様にして（dB／dH）nax値およびエンベロープ 特性を測定したところ下表のようであつた。
【表】
このように電子ビームの走査幅ω（ｍ）でポリ
イミドフイルムの移動速度υ（ｍ／分）とした時、
電子ビームの走査周波数を2ωυ（Hz）以上〔走査
幅0.4ｍで移動速度80ｍ／分の時は64Hz以上；走
査幅0.8ｍで移動速度80ｍ／分の時は128Hz以上〕
にて製造された磁気テープは（dB／dH）nax値が向上 し、すぐれたエンベロープ特性を示すことが確か
められた。 〔発明の効果〕 本発明の蒸着法による磁気記録媒体の製造方法
によれば磁気特性および電磁変換特性の改良され
た磁気記録媒体を得ることができる。高密度記録
に際しては記録波長が小さくなると自己減磁損失
が増すため（dB／dH）nax値の大なることが必要とな るが、本発明の方法によるとこの目的に合つた磁
気記録媒体を製造することができる。さらにすぐ
れたVTR再生画像を得るにはエンベロープのす
ぐれることが必要であるが、本発明によればエン
ベロープの改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
製造することができるものである。
イミドフイルムの移動速度υ（ｍ／分）とした時、
電子ビームの走査周波数を2ωυ（Hz）以上〔走査
幅0.4ｍで移動速度80ｍ／分の時は64Hz以上；走
査幅0.8ｍで移動速度80ｍ／分の時は128Hz以上〕
にて製造された磁気テープは（dB／dH）nax値が向上 し、すぐれたエンベロープ特性を示すことが確か
められた。 〔発明の効果〕 本発明の蒸着法による磁気記録媒体の製造方法
によれば磁気特性および電磁変換特性の改良され
た磁気記録媒体を得ることができる。高密度記録
に際しては記録波長が小さくなると自己減磁損失
が増すため（dB／dH）nax値の大なることが必要とな るが、本発明の方法によるとこの目的に合つた磁
気記録媒体を製造することができる。さらにすぐ
れたVTR再生画像を得るにはエンベロープのす
ぐれることが必要であるが、本発明によればエン
ベロープの改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
製造することができるものである。
第１図は本発明による磁気記録媒体を製造する
方法を実施するための装置例を示している。 １１：シリンダー状冷却キヤン、１２：テープ
状非磁性基体、１３：磁性金属材料、１４：蒸発
源ルツボ、１５：電子銃、１６：電子ビーム。
方法を実施するための装置例を示している。 １１：シリンダー状冷却キヤン、１２：テープ
状非磁性基体、１３：磁性金属材料、１４：蒸発
源ルツボ、１５：電子銃、１６：電子ビーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空雰囲気において連続して移動するテープ
状非磁性基体上に、電子ビームの走査加熱により
蒸発せしめられた磁性材料の蒸気流を差し向け該
非磁性基体上に蒸着磁性薄膜を形成せしめて磁気
記録媒体を製造する方法において、該非磁性基体
の移動速度をυ〔ｍ／分〕、該非磁性支持体幅方向
と略平行な磁性材料蒸発源上の電子ビーム走査幅
をω〔ｍ〕としたとき、電子ビームの走査周波数
を2ωυ〔Hz〕以上とすることを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21692384A JPS6194240A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US06/788,177 US4604293A (en) | 1984-10-16 | 1985-10-16 | Process for producing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21692384A JPS6194240A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6194240A JPS6194240A (ja) | 1986-05-13 |
| JPH0341899B2 true JPH0341899B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=16696042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21692384A Granted JPS6194240A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6194240A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270576A (ja) * | 1985-09-21 | 1987-04-01 | Kawasaki Steel Corp | 大量蒸気流発生用蒸発源装置 |
| DE102011082385A1 (de) | 2010-09-09 | 2012-04-26 | Denso Corporation | Abgassteuervorrichtung für einen Motor |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP21692384A patent/JPS6194240A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6194240A (ja) | 1986-05-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |