JPS6194240A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6194240A JPS6194240A JP21692384A JP21692384A JPS6194240A JP S6194240 A JPS6194240 A JP S6194240A JP 21692384 A JP21692384 A JP 21692384A JP 21692384 A JP21692384 A JP 21692384A JP S6194240 A JPS6194240 A JP S6194240A
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- Japan
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- magnetic
- recording medium
- electron beam
- magnetic recording
- substrate
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は移動する高分子成形物などのテープ状非磁性基
体に磁性薄膜を真空蒸着法によゆ形成せしめて磁気記録
媒体を製造する方法に関する。さらに磁気特性および電
磁変換特性の改良された磁気記録媒体の製造方法に関す
る。
体に磁性薄膜を真空蒸着法によゆ形成せしめて磁気記録
媒体を製造する方法に関する。さらに磁気特性および電
磁変換特性の改良された磁気記録媒体の製造方法に関す
る。
従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上にｒ−Ｆ
ｅ２０３、Ｃ０をドープし九ｒ−Ｆｅ２０Ｂ、Ｆｅ３Ｏ
４、ＣｏをドープしたＦｅ３Ｏ４、ｒ−Ｆｅ２０３とＦ
ｅａ０４のベルトライド化合物、ＣＯをドープしたベル
トライド化合物、ＣｒＯ２等の酸化物磁性粉末あるいは
Ｆｅ、ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金磁性粉末等の粉
末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、スチレ
ン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン
樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、塗布、乾燥さ
せる塗布型のものが広く使用されてきている。
ｅ２０３、Ｃ０をドープし九ｒ−Ｆｅ２０Ｂ、Ｆｅ３Ｏ
４、ＣｏをドープしたＦｅ３Ｏ４、ｒ−Ｆｅ２０３とＦ
ｅａ０４のベルトライド化合物、ＣＯをドープしたベル
トライド化合物、ＣｒＯ２等の酸化物磁性粉末あるいは
Ｆｅ、ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金磁性粉末等の粉
末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、スチレ
ン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン
樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、塗布、乾燥さ
せる塗布型のものが広く使用されてきている。
近年高密度磁気記、録への要求の高まシと共に、真空蒸
着、スパッタリング、イオンプレーテング等の方法によ
り形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しない
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴び
ており実用化へのｆ！ｊ、’。
着、スパッタリング、イオンプレーテング等の方法によ
り形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しない
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴び
ており実用化へのｆ！ｊ、’。
介゛今♂責Ｖひ１）。
従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和磁化の小
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率が３θ〜！−０１ｒに
すぎないため高出力高密度記録媒体としては限界になっ
てきている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収ある
いは公害防止のための大きな付帯設備を必要とするとい
う欠点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化
物磁性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有
機バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極め
て薄い薄膜として形成できるという利点を有する。高密
度磁気記録化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長
も／ 、Ｏｐｍを切る時代になっているが、それに伴っ
て磁気記録層への記録深場も浅くなる傾向があシ、磁性
膜の厚み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属薄膜
型磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極めてす
ぐれている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜の形
成を真空蒸着によシ行なう方法は膜の形成速度の速いこ
と、製造工程が簡単であることあるいは排液処理を必要
としないドライプロセスであること等の利点を有する。
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率が３θ〜！−０１ｒに
すぎないため高出力高密度記録媒体としては限界になっ
てきている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収ある
いは公害防止のための大きな付帯設備を必要とするとい
う欠点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化
物磁性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有
機バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極め
て薄い薄膜として形成できるという利点を有する。高密
度磁気記録化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長
も／ 、Ｏｐｍを切る時代になっているが、それに伴っ
て磁気記録層への記録深場も浅くなる傾向があシ、磁性
膜の厚み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属薄膜
型磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極めてす
ぐれている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜の形
成を真空蒸着によシ行なう方法は膜の形成速度の速いこ
と、製造工程が簡単であることあるいは排液処理を必要
としないドライプロセスであること等の利点を有する。
中でも特に磁性金属の蒸発ビームを非磁性基体表面に斜
めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は工程およ
び装置機構が比較的簡単でらると同時に良好な磁気特性
を有する膜が得られるため実用化上すぐれている。
めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は工程およ
び装置機構が比較的簡単でらると同時に良好な磁気特性
を有する膜が得られるため実用化上すぐれている。
テープ状非磁性基体に蒸着によシ磁性薄膜を形成せしめ
て磁気テープを製造する際には、特開昭！グー／タコ０
０号、特開昭ｊ３−♂７７０４号に示されているように
移動するテープ状非磁性基体に電子ビームの照射加熱に
より蒸発せしめられ ゛た磁性材料の蒸気流を差し向
け蒸着する方法が用いられる。このようにして製造され
る蒸着型の磁気記録媒体は従来の塗布盤磁気記録媒体に
比し高出力が得られることからｒｍｍＶＴＲ用磁気テー
プあるいはディジタルオーデオ用磁気テープとして極め
て有望である。蒸着型の磁気記録媒体においてはノイズ
を低下させＳ／Ｎさらに改良するために磁性材料の蒸着
の際に酸素等の酸化性ガスを導入する方法が取られてい
るが、これＫよると磁気特性、特に（伯 が低下
するためにとのａｘ 改良が望まれていた。さらに従来の電子ビーム加熱法に
よる蒸着型磁気記録媒体ではビデオ信号等の特に高周波
信号の記録再生波の二ン°ベロープが充分でなくこの改
良も望まれていた。
て磁気テープを製造する際には、特開昭！グー／タコ０
０号、特開昭ｊ３−♂７７０４号に示されているように
移動するテープ状非磁性基体に電子ビームの照射加熱に
より蒸発せしめられ ゛た磁性材料の蒸気流を差し向
け蒸着する方法が用いられる。このようにして製造され
る蒸着型の磁気記録媒体は従来の塗布盤磁気記録媒体に
比し高出力が得られることからｒｍｍＶＴＲ用磁気テー
プあるいはディジタルオーデオ用磁気テープとして極め
て有望である。蒸着型の磁気記録媒体においてはノイズ
を低下させＳ／Ｎさらに改良するために磁性材料の蒸着
の際に酸素等の酸化性ガスを導入する方法が取られてい
るが、これＫよると磁気特性、特に（伯 が低下
するためにとのａｘ 改良が望まれていた。さらに従来の電子ビーム加熱法に
よる蒸着型磁気記録媒体ではビデオ信号等の特に高周波
信号の記録再生波の二ン°ベロープが充分でなくこの改
良も望まれていた。
本発明の目的は、上記の欠点を改良した蒸着法による金
属薄膜型磁気記録媒体、すなわち磁気特性、特に ０働
の改良された金属薄膜型磁ａｘ 気記録媒体の製造方法を提供することにある。さらに本
発明の目的は電磁変換特性、特に再生信号のエンベロー
プのすぐれた蒸着法による金属薄膜型磁気記録媒体の製
造方法を提供することにある。
属薄膜型磁気記録媒体、すなわち磁気特性、特に ０働
の改良された金属薄膜型磁ａｘ 気記録媒体の製造方法を提供することにある。さらに本
発明の目的は電磁変換特性、特に再生信号のエンベロー
プのすぐれた蒸着法による金属薄膜型磁気記録媒体の製
造方法を提供することにある。
本発明は真空雰囲気内にて連続して移動するテープ状非
磁性基体に、電子ビームの走査加熱によシ蒸発せしめら
れた磁性材料の蒸気を差し向け該非磁性基体上に蒸着磁
性薄膜を形成せしめて磁気記録媒体を製造°する方法に
おいて、該非磁性基体の移動速度をｕ（ｍ７分）、該非
磁性支持体幅方向と略平行な磁性材料蒸発源上の電子ビ
ームの走査幅をω（ｍ）とした時、電子ビームの走査周
波数をコωｕ（Ｈｚ） 以上とすることを特徴とする
磁気記録媒体の製法に関する。
磁性基体に、電子ビームの走査加熱によシ蒸発せしめら
れた磁性材料の蒸気を差し向け該非磁性基体上に蒸着磁
性薄膜を形成せしめて磁気記録媒体を製造°する方法に
おいて、該非磁性基体の移動速度をｕ（ｍ７分）、該非
磁性支持体幅方向と略平行な磁性材料蒸発源上の電子ビ
ームの走査幅をω（ｍ）とした時、電子ビームの走査周
波数をコωｕ（Ｈｚ） 以上とすることを特徴とする
磁気記録媒体の製法に関する。
第７図は、本発゛明による磁気記録媒体製造方法を実施
するための装置の一例を示している。適当な真空排気系
を備えてなる真空槽（図示せず）内に配設されたシリン
ダー状冷却キャン／ｌに沿ってテープ状非磁性基体ｌ−
が搬送される。冷却キャン／／の下方には磁性金属材料
１３を加熱蒸発させるためのルツメ／ダが配置されてお
り、磁性金属材料１３は電子銃／ｊからの電子ビーム／
４の照射によシ加熱される。加熱蒸発された磁性金属材
料の蒸気流は冷却キャン／ｌの表面に沿って移動するテ
ープ状非磁性基体／コの表面に達し蒸着磁性薄膜が形成
される。本発明においてテープ状非磁性基体の移動速度
とは、テープ状非磁性基体表面への磁性金属材料の蒸着
が行なわれる領域における上記テープ状基体の移動する
速度を指す。
するための装置の一例を示している。適当な真空排気系
を備えてなる真空槽（図示せず）内に配設されたシリン
ダー状冷却キャン／ｌに沿ってテープ状非磁性基体ｌ−
が搬送される。冷却キャン／／の下方には磁性金属材料
１３を加熱蒸発させるためのルツメ／ダが配置されてお
り、磁性金属材料１３は電子銃／ｊからの電子ビーム／
４の照射によシ加熱される。加熱蒸発された磁性金属材
料の蒸気流は冷却キャン／ｌの表面に沿って移動するテ
ープ状非磁性基体／コの表面に達し蒸着磁性薄膜が形成
される。本発明においてテープ状非磁性基体の移動速度
とは、テープ状非磁性基体表面への磁性金属材料の蒸着
が行なわれる領域における上記テープ状基体の移動する
速度を指す。
第１図においてテープ状非磁性基体７．２の表面が磁性
金属材料の蒸気流にさらされる領域におけるテープ状非
磁性基体／コの移動速度Ｌｌ（ｍ／分〕が本発明におけ
るテープ状非磁性基体の移動速度である。電子ビーム／
ごはテープ状非磁性基体／コの幅方向と略平行にルツボ
／４ｔの磁性金属材料／３を走査照射されるが、その際
の電子ビーム走査のテープ状非磁性基体７．２幅方向に
沿っての走査長を本発明における走査幅ω（ｒｎ）と定
義する。
金属材料の蒸気流にさらされる領域におけるテープ状非
磁性基体／コの移動速度Ｌｌ（ｍ／分〕が本発明におけ
るテープ状非磁性基体の移動速度である。電子ビーム／
ごはテープ状非磁性基体／コの幅方向と略平行にルツボ
／４ｔの磁性金属材料／３を走査照射されるが、その際
の電子ビーム走査のテープ状非磁性基体７．２幅方向に
沿っての走査長を本発明における走査幅ω（ｒｎ）と定
義する。
本発明者等はテープ状非磁性基体の移動速度と電子ビー
ム走査幅について種々検討の結果、テープ状非磁性基体
の移動速度をυ（ｍ／分）、上記電子ビーム走査幅をω
（ｍ）とした時、電子ビームの走査周波数をコωυ（Ｈ
ｚ）以上、特に好ましくはグωｕ （Ｈｚ）以上として
製造された磁気記録媒体は磁気特性がすぐれると共に電
磁変換特性にすぐれた蒸着法による金属薄膜型磁気記録
媒体であることを見出したものである。
ム走査幅について種々検討の結果、テープ状非磁性基体
の移動速度をυ（ｍ／分）、上記電子ビーム走査幅をω
（ｍ）とした時、電子ビームの走査周波数をコωυ（Ｈ
ｚ）以上、特に好ましくはグωｕ （Ｈｚ）以上として
製造された磁気記録媒体は磁気特性がすぐれると共に電
磁変換特性にすぐれた蒸着法による金属薄膜型磁気記録
媒体であることを見出したものである。
本発明の方法によって磁気記録媒体を製造する場合、磁
性薄膜を形成させるための強磁性金属としてはＦｅ、Ｃ
ｏ５Ｎｉ等の金属あるいはＦｅ−Ｃｏ。
性薄膜を形成させるための強磁性金属としてはＦｅ、Ｃ
ｏ５Ｎｉ等の金属あるいはＦｅ−Ｃｏ。
Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ５ Ｆｅ−
Ｒｈ、Ｆｅ−ＣｕＳ Ｆｅ−８ｉ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ
−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇ
ｄ。
Ｒｈ、Ｆｅ−ＣｕＳ Ｆｅ−８ｉ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ
−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇ
ｄ。
Ｃｏ−８ｍ、Ｃｏ−ＰＬ、Ｃｏ−８ｔ、Ｃｏ−Ｍｎ。
Ｃｏ−Ｐ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂ１．Ｍｎ−８ｂ。
Ｍｎ−ＡＪＳ Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ −Ｃｒ
。
。
Ｆｅ−Ｐ、Ｎ１−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｂ
、Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｇ、ｃｏ−Ｎｉ −Ｃｒ、 Ｆｅ−
Ｃｏ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ −ＣｒＳ Ｃｏ−Ｎｔ
−Ｚｎ、 Ｃｏ −Ｎｉ −Ｗ、 Ｆｅ−Ｃｏ −Ｎ
ｉ−Ｐ等のような強磁性合金が用いられる。磁性膜の厚
さは、磁気記録媒体として充分な出力を与え得る厚さお
よび高密度記録の充分性なえる薄さを必要とすることか
ら一般にはＯ，Ｏａμｍから３．０２ｍ。
、Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｇ、ｃｏ−Ｎｉ −Ｃｒ、 Ｆｅ−
Ｃｏ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ −ＣｒＳ Ｃｏ−Ｎｔ
−Ｚｎ、 Ｃｏ −Ｎｉ −Ｗ、 Ｆｅ−Ｃｏ −Ｎ
ｉ−Ｐ等のような強磁性合金が用いられる。磁性膜の厚
さは、磁気記録媒体として充分な出力を与え得る厚さお
よび高密度記録の充分性なえる薄さを必要とすることか
ら一般にはＯ，Ｏａμｍから３．０２ｍ。
好ましくはｏ 、ｏｒｐｍからλ、Ｏｐｍである。
蒸着中に０２ 、Ｃ０２、Ｎ２ 、ＮＨｓ 、スチレン
等のガスを導入して磁性薄膜中にＯ，ＮＳＣ等の元素を
含有させるようにしてもよい。
等のガスを導入して磁性薄膜中にＯ，ＮＳＣ等の元素を
含有させるようにしてもよい。
テープ状非磁性基体としてはポリエチレンテレフタレー
ト、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、三酢酸
セルロース、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレ
ート、ポリフェニレンサルファイドのようなプラスチッ
クベース、あるいはｈｌ、Ａ１合金、Ｔｉ、Ｔｉ合金、
ステンレス鋼のような金属帯が用いられる。
ト、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、三酢酸
セルロース、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレ
ート、ポリフェニレンサルファイドのようなプラスチッ
クベース、あるいはｈｌ、Ａ１合金、Ｔｉ、Ｔｉ合金、
ステンレス鋼のような金属帯が用いられる。
ルツボ／４ｔから蒸発された磁性材料／３を補給するた
めに線状、粒状、帯状、棒状の磁性材料をルツボ／４ｔ
に上、下あるいは横から連続的あるいは断続的に供給す
るような機構を設けてもよい。
めに線状、粒状、帯状、棒状の磁性材料をルツボ／４ｔ
に上、下あるいは横から連続的あるいは断続的に供給す
るような機構を設けてもよい。
さらに磁性材料の蒸気流をテープ状基板面に斜めに入射
させる斜方入射真空蒸着法による場合には入射角を３０
０゛〜９００の範囲にするのが好ましい。
させる斜方入射真空蒸着法による場合には入射角を３０
０゛〜９００の範囲にするのが好ましい。
さらに本発明においてテープ状非磁性基体上に有機ある
いは無機物よりなる下地層を設けても良いし、磁性薄膜
を多層化したシ、各磁性膜間に有機あるいは無機物よシ
なる中間層を設けてもよい。
いは無機物よりなる下地層を設けても良いし、磁性薄膜
を多層化したシ、各磁性膜間に有機あるいは無機物よシ
なる中間層を設けてもよい。
また磁性膜上に有機あるいは無機物よりなる保護層を設
けてもよい。
けてもよい。
次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが本発明
はこれらに限定されるものではない。
はこれらに限定されるものではない。
実施例１
第１図に示す装置を用いて／２ｐｍ厚のポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に強磁性薄膜を形成し磁気記録
媒体を作成した。蒸発源としてはルツボにＣｏ Ｎ ｉ
合金（Ｎｉ／／重量％）をチャージし加速電圧ＪＯｋＶ
の電子ビームをポリエチレンテレフタレートフィルムの
幅方向と平行に走査させて蒸着を実施した。蒸着の際磁
性材料の蒸発流近傍に酸素ガスを導入し、真空度がλ、
Ｏ×ＩＱ″′″４Ｔｏｒｒとなるようにして厚み０．７
２２ｍの磁性薄膜を蒸着形成した。電子ビームの走査幅
を０．７ｍとし、ポリエチレンテレフタレートフィルム
の移動速度および電子ビーム走査周波数を変化させた磁
気テープ原反を作製した。こうして得た磁気テープの磁
気特性Ｂ−Ｈ曲線でのＧΦ。、値およびテープとヘッド
相対速度が３、ｙｊｍ／秒なるＶＴＲでｊＭＨｚの信号
を記録し再生した時のエンベロープ特性を測定したとこ
のように電子ビームの走査幅ω（ｍ）でポリエチレンテ
レフタレートフィルムの移動速度υ（ｍ／分）とした時
、電子ビームの走査周波数をλωｕ（Ｈｚ）以上〔走査
幅０．６ｍで移動速度！θｍ／分の時はｊ ＯＨｚ以上
；走査幅０ 、１ｍで移動速度７００ｍ／分の時は１０
ＯＨｚ以上〕にて製造された磁気テープは（ｄＨ）ｍａ
Ｘ値が向上し、すぐれたエンベロープ特性を示すことが
確かめられた。
レフタレートフィルム上に強磁性薄膜を形成し磁気記録
媒体を作成した。蒸発源としてはルツボにＣｏ Ｎ ｉ
合金（Ｎｉ／／重量％）をチャージし加速電圧ＪＯｋＶ
の電子ビームをポリエチレンテレフタレートフィルムの
幅方向と平行に走査させて蒸着を実施した。蒸着の際磁
性材料の蒸発流近傍に酸素ガスを導入し、真空度がλ、
Ｏ×ＩＱ″′″４Ｔｏｒｒとなるようにして厚み０．７
２２ｍの磁性薄膜を蒸着形成した。電子ビームの走査幅
を０．７ｍとし、ポリエチレンテレフタレートフィルム
の移動速度および電子ビーム走査周波数を変化させた磁
気テープ原反を作製した。こうして得た磁気テープの磁
気特性Ｂ−Ｈ曲線でのＧΦ。、値およびテープとヘッド
相対速度が３、ｙｊｍ／秒なるＶＴＲでｊＭＨｚの信号
を記録し再生した時のエンベロープ特性を測定したとこ
のように電子ビームの走査幅ω（ｍ）でポリエチレンテ
レフタレートフィルムの移動速度υ（ｍ／分）とした時
、電子ビームの走査周波数をλωｕ（Ｈｚ）以上〔走査
幅０．６ｍで移動速度！θｍ／分の時はｊ ＯＨｚ以上
；走査幅０ 、１ｍで移動速度７００ｍ／分の時は１０
ＯＨｚ以上〕にて製造された磁気テープは（ｄＨ）ｍａ
Ｘ値が向上し、すぐれたエンベロープ特性を示すことが
確かめられた。
実施例２
実施例／と同様にして／２ 、ｊｐｍ厚のポリイミドフ
ィルム上にＣｏ−Ｃｒ （Ｃｒ ： ｔｗｔ％）よυ成
る強磁性薄膜を蒸着形成せしめ磁気記録媒体を作製した
。真空度／、ｊ×１０″−５ＴｏｒｒにてＣｏ−Ｃｒを
蒸着せしめ膜厚０．２μｍとなるよう磁性薄膜を形成し
た。電子ビームの走査幅、ポリイミドフィルムの移動速
度に対して電子ビーム走査周波数を変化させて磁気テー
プサンプルを作製このように電子ビームの走査幅ω（ｍ
）でポリイミドフィルムの移動速度ｕ（ｍ／分）とした
時、電子ビームの走査周波数を２ωυ（Ｈｚ）以上〔走
査幅０ 、４ｔｍで移動速度ｒ Ｏｍ ７分の時は６’
Ｉ ＩＨｚ以上；走査幅０．／ｍで移動速度ｒ Ｏｍ
７分の時は／ＪＬ！ｒＨｚ以上〕にて製造された磁気テ
ｄｉ） −プはｉ−値が向上し、すぐれたエンベａｘ ロープ特性を示すことが確かめられた。
ィルム上にＣｏ−Ｃｒ （Ｃｒ ： ｔｗｔ％）よυ成
る強磁性薄膜を蒸着形成せしめ磁気記録媒体を作製した
。真空度／、ｊ×１０″−５ＴｏｒｒにてＣｏ−Ｃｒを
蒸着せしめ膜厚０．２μｍとなるよう磁性薄膜を形成し
た。電子ビームの走査幅、ポリイミドフィルムの移動速
度に対して電子ビーム走査周波数を変化させて磁気テー
プサンプルを作製このように電子ビームの走査幅ω（ｍ
）でポリイミドフィルムの移動速度ｕ（ｍ／分）とした
時、電子ビームの走査周波数を２ωυ（Ｈｚ）以上〔走
査幅０ 、４ｔｍで移動速度ｒ Ｏｍ ７分の時は６’
Ｉ ＩＨｚ以上；走査幅０．／ｍで移動速度ｒ Ｏｍ
７分の時は／ＪＬ！ｒＨｚ以上〕にて製造された磁気テ
ｄｉ） −プはｉ−値が向上し、すぐれたエンベａｘ ロープ特性を示すことが確かめられた。
本発明の蒸着法による磁気記録媒体の製造方法によれば
磁気特性および電磁変換特性の改良された磁気記録媒体
を得ることができる。高密度記録に際しては記録波長が
小さくなると自己減磁損失が増すため’ｄＨ）ｍａＸ値
の大なることが必要となるが、本発明の方法によるとこ
の目的に合った磁気記録媒体を製造することができる。
磁気特性および電磁変換特性の改良された磁気記録媒体
を得ることができる。高密度記録に際しては記録波長が
小さくなると自己減磁損失が増すため’ｄＨ）ｍａＸ値
の大なることが必要となるが、本発明の方法によるとこ
の目的に合った磁気記録媒体を製造することができる。
さらＫすぐれたＶＴＲ再生画像を得るにはエンベロープ
のすぐれることが必要であるが、本発明によればエンベ
ロープの改良された金属薄膜型磁気記録媒体を製造する
ことができるものである。
のすぐれることが必要であるが、本発明によればエンベ
ロープの改良された金属薄膜型磁気記録媒体を製造する
ことができるものである。
第１図は本発明による磁気記録媒体を製造する方法を実
施するための装置例を示している。 ／／ニジリンダー状耐冷却キャ ン、２＝テ一プ状非磁性基体 ／３：磁性金属材料 ／４ｔ＝蒸発源ルツボ ／ｊ：電 子 銃 ／に：電子ビーム
施するための装置例を示している。 ／／ニジリンダー状耐冷却キャ ン、２＝テ一プ状非磁性基体 ／３：磁性金属材料 ／４ｔ＝蒸発源ルツボ ／ｊ：電 子 銃 ／に：電子ビーム
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 真空雰囲気において連続して移動するテープ状非磁性基
体上に、電子ビームの走査加熱により蒸発せしめられた
磁性材料の蒸気流を差し向け該非磁性基体上に蒸着磁性
薄膜を形成せしめて磁気記録媒体を製造する方法におい
て、該非磁性基体の移動速度をυ〔ｍ／分〕、該非磁性
支持体幅方向と略平行な磁性材料蒸発源上の電子ビーム
走査幅をω〔ｍ〕としたとき、電子ビームの走査周波数
を２ωυ〔Ｈｚ〕以上とすることを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21692384A JPS6194240A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US06/788,177 US4604293A (en) | 1984-10-16 | 1985-10-16 | Process for producing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21692384A JPS6194240A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6194240A true JPS6194240A (ja) | 1986-05-13 |
| JPH0341899B2 JPH0341899B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=16696042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21692384A Granted JPS6194240A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6194240A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270576A (ja) * | 1985-09-21 | 1987-04-01 | Kawasaki Steel Corp | 大量蒸気流発生用蒸発源装置 |
| US8695338B2 (en) | 2010-09-09 | 2014-04-15 | Denso Corporation | Exhaust gas control apparatus for engine |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP21692384A patent/JPS6194240A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270576A (ja) * | 1985-09-21 | 1987-04-01 | Kawasaki Steel Corp | 大量蒸気流発生用蒸発源装置 |
| JPH0325508B2 (ja) * | 1985-09-21 | 1991-04-08 | Kawasaki Steel Co | |
| US8695338B2 (en) | 2010-09-09 | 2014-04-15 | Denso Corporation | Exhaust gas control apparatus for engine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341899B2 (ja) | 1991-06-25 |
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