JPS62121929A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS62121929A JPS62121929A JP60262223A JP26222385A JPS62121929A JP S62121929 A JPS62121929 A JP S62121929A JP 60262223 A JP60262223 A JP 60262223A JP 26222385 A JP26222385 A JP 26222385A JP S62121929 A JPS62121929 A JP S62121929A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/848—Coating a support with a magnetic layer by extrusion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/842—Coating a support with a liquid magnetic dispersion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は移動する基体上に蒸着法による強磁性薄膜を磁
気記録層として設けてなる磁気記録媒体の製造法に関し
、特に耐候性および電磁変換特性にすぐれる磁気記録媒
体の製造方法に関する。
気記録層として設けてなる磁気記録媒体の製造法に関し
、特に耐候性および電磁変換特性にすぐれる磁気記録媒
体の製造方法に関する。
従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上にｒ−Ｆ
ｅ２０ａ、Ｃｏをドープしたｒ Ｆｅ２Ｏ３、Ｆ ｅ
３０４、ＣｏをドープしたＦｅ３Ｏ４、ｒ−Ｆｅ２０
ａとＦｅ３Ｏ４のベルトライド化合物、ＣＯをドープし
たベルトライド化合物、Ｃｒ Ｏ２等の酸化物磁性粉末
あるいはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金磁性粉
末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共を合体
、スチレン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリ
ウレタン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、塗布
、乾燥させる塗布型のものが広く使用されてきている。
ｅ２０ａ、Ｃｏをドープしたｒ Ｆｅ２Ｏ３、Ｆ ｅ
３０４、ＣｏをドープしたＦｅ３Ｏ４、ｒ−Ｆｅ２０
ａとＦｅ３Ｏ４のベルトライド化合物、ＣＯをドープし
たベルトライド化合物、Ｃｒ Ｏ２等の酸化物磁性粉末
あるいはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金磁性粉
末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共を合体
、スチレン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリ
ウレタン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、塗布
、乾燥させる塗布型のものが広く使用されてきている。
近年高密度磁気記録への要求の高まりと共に、真空蒸着
、スノにツタリング、イオンブレーティング等の方法に
より形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しな
い、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴
びておシ実用化への努力がなされてきている。
、スノにツタリング、イオンブレーティング等の方法に
より形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しな
い、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴
びておシ実用化への努力がなされてきている。
従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和磁化の小
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率が３０−１０％にすぎ
ないため高出力高密度記録媒体とじては不適当なもので
ある。さらＫその製造工程も複雑で溶剤回収あるいは公
害防止のための大きな付帯設備を必要とするという欠点
を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物磁性
材料よシ大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機バイ
ンダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極めて薄い
膜として形成できるという利点を有する。高密度記録化
につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長も八 ０μｍ
以下のものを使用するようになってきているが、それに
伴って磁気記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、
磁性膜の厚み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属
薄膜型磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極め
てすぐれている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜
の形成を真空蒸着によシ行なう方法は膜の形成速度の速
いこと、製造工程が簡単であることあるいは排液処理を
必要としないドライプロセスであること等の利点を有す
る。中でも特に磁性金属の蒸発ビームを非磁性基体表面
に斜めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は工程
および装置機構が比較的簡単であると同時に良好な磁気
特性を有する膜が得られるため実用上すぐれている。
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率が３０−１０％にすぎ
ないため高出力高密度記録媒体とじては不適当なもので
ある。さらＫその製造工程も複雑で溶剤回収あるいは公
害防止のための大きな付帯設備を必要とするという欠点
を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物磁性
材料よシ大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機バイ
ンダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極めて薄い
膜として形成できるという利点を有する。高密度記録化
につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長も八 ０μｍ
以下のものを使用するようになってきているが、それに
伴って磁気記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、
磁性膜の厚み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属
薄膜型磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極め
てすぐれている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜
の形成を真空蒸着によシ行なう方法は膜の形成速度の速
いこと、製造工程が簡単であることあるいは排液処理を
必要としないドライプロセスであること等の利点を有す
る。中でも特に磁性金属の蒸発ビームを非磁性基体表面
に斜めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は工程
および装置機構が比較的簡単であると同時に良好な磁気
特性を有する膜が得られるため実用上すぐれている。
しかしながら蒸着法による強磁性薄膜から成る磁気記録
媒体Ｋかかわる問題として耐候性がある。
媒体Ｋかかわる問題として耐候性がある。
磁気記録媒体はその保存中に腐蝕等による経時変化から
記録された信号の減少あるいは消失があってはならない
ことが要求される。、ま九ｒ ｗｇビデオは戸外等で使
用されることが多いため種々環境条件下においても充分
な耐候性を有する磁気記録媒体でなければならない。さ
らに蒸着法による強磁性薄膜から成る磁気記録媒体は、
従来の塗布型磁気記録媒体に比して秀でた電磁変換特性
を示すが、近年金属磁性粉末を用いた塗布型磁気記録媒
体の改良効果も著しく、蒸着型磁気記録媒体の電磁変換
特性の一層の向上が要求されている。
記録された信号の減少あるいは消失があってはならない
ことが要求される。、ま九ｒ ｗｇビデオは戸外等で使
用されることが多いため種々環境条件下においても充分
な耐候性を有する磁気記録媒体でなければならない。さ
らに蒸着法による強磁性薄膜から成る磁気記録媒体は、
従来の塗布型磁気記録媒体に比して秀でた電磁変換特性
を示すが、近年金属磁性粉末を用いた塗布型磁気記録媒
体の改良効果も著しく、蒸着型磁気記録媒体の電磁変換
特性の一層の向上が要求されている。
蒸着による磁気記録媒体の耐候性を改良する方法として
種々提案されているが、その１つにｖｆ開昭！７−／
９ｒ１４４３号、特開昭ｊ１−／７７１参号に開示され
ているような方法がある。すなわち回転キャンの周側面
に沿って移動する非磁性基板上に強磁性蒸着薄膜を形成
後、基板を同一キャン面に沿わせた状態で該強磁性薄膜
表面を酸化性ガスを用いたグロー放電雰囲気にさらす方
法である。この方法によシ高温高湿中保存での残留磁束
の減少は改善されるが、充分とは言えずまた電磁変換特
性の改良も得られない。
種々提案されているが、その１つにｖｆ開昭！７−／
９ｒ１４４３号、特開昭ｊ１−／７７１参号に開示され
ているような方法がある。すなわち回転キャンの周側面
に沿って移動する非磁性基板上に強磁性蒸着薄膜を形成
後、基板を同一キャン面に沿わせた状態で該強磁性薄膜
表面を酸化性ガスを用いたグロー放電雰囲気にさらす方
法である。この方法によシ高温高湿中保存での残留磁束
の減少は改善されるが、充分とは言えずまた電磁変換特
性の改良も得られない。
さらに強磁性材料の斜方入射蒸着の際に酸素を導入する
方法が、特開昭ｊ♂−３λコ３≠号、特開昭ｌｌ−３７
１１１３号、特開昭ｊｒ−１ｔ／１７３り号、特開昭ｊ
ｌｒ−４ｃ／４＃２号、特開昭！？−≠ハ１３号、特開
昭よｌ−！３θコア号、特開昭ｚｒ−弘！６２！号、特
開昭ｔＯ−／ｒ７７１７号等に開示されているが、耐候
性および電磁変換特性の改良は不十分であった。
方法が、特開昭ｊ♂−３λコ３≠号、特開昭ｌｌ−３７
１１１３号、特開昭ｊｒ−１ｔ／１７３り号、特開昭ｊ
ｌｒ−４ｃ／４＃２号、特開昭！？−≠ハ１３号、特開
昭よｌ−！３θコア号、特開昭ｚｒ−弘！６２！号、特
開昭ｔＯ−／ｒ７７１７号等に開示されているが、耐候
性および電磁変換特性の改良は不十分であった。
本発明の目的は、耐候性および電磁変換特性にすぐれる
蒸着法による磁気記録媒体の製造方法を提供することに
ある。
蒸着法による磁気記録媒体の製造方法を提供することに
ある。
〔発明の構成〕
本発明は、蒸発源から蒸発せしめられた磁性金属材料の
蒸気流を移動する基体に斜方入射蒸着せしめて磁気記録
媒体を製造する方法において、前記移動基体に対する該
蒸気流の入射角（θ）が最大入射角（θｍａｘ ）から
最小入射角（θｍｉｎ）へと連続的に変化するように該
基体を移動せしめると共に、該基体近傍かつ最小入射角
（θｍｉｎ）蒸気流付近および該基体の近傍かつ中間入
射角（θｌ）蒸気流付近に同時に酸化性ガスを導入しつ
つ強磁性薄膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法、に関する。ここで上記中間入射角（θｉ）
は コθｍａＸ＋ｊθｍｉｎ □≦θｉ≦θｍａｘ ！ であるように設定されていることが好ましい。さらに、
中間入射角（θｉ）付近の酸化性ガスの導入量は最小入
射角（θｍｉｎ）付近の酸化性ガスの導入量の＋と等し
いかそれより大きいことが好ましい。
蒸気流を移動する基体に斜方入射蒸着せしめて磁気記録
媒体を製造する方法において、前記移動基体に対する該
蒸気流の入射角（θ）が最大入射角（θｍａｘ ）から
最小入射角（θｍｉｎ）へと連続的に変化するように該
基体を移動せしめると共に、該基体近傍かつ最小入射角
（θｍｉｎ）蒸気流付近および該基体の近傍かつ中間入
射角（θｌ）蒸気流付近に同時に酸化性ガスを導入しつ
つ強磁性薄膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法、に関する。ここで上記中間入射角（θｉ）
は コθｍａＸ＋ｊθｍｉｎ □≦θｉ≦θｍａｘ ！ であるように設定されていることが好ましい。さらに、
中間入射角（θｉ）付近の酸化性ガスの導入量は最小入
射角（θｍｉｎ）付近の酸化性ガスの導入量の＋と等し
いかそれより大きいことが好ましい。
本発明による磁気記録媒体の製造方法を第１図によシ説
明する。真空槽ｌは上室コ、下室３に分離されていてそ
れぞれ排気口≠、ｊによって真空排気をれる。テープ状
基体６が送出しロール７から案内ローラーｔを経て円筒
状キャンプに沿って搬送されるようになっている。キャ
ンプに沿って搬送されるテープ状基体乙の表面にはキャ
ンプの下方に配置された蒸発源１０よシ飛来する強磁性
材料の蒸気流／ｌが到達し磁性薄膜が連続的に形成され
る。所望の入射角成分の蒸気流ｌｌのみがテープ状基体
に到達するようにマスク／２が配設されており、さらに
蒸着部に酸化性ガスを導入するためのガス導入部１３、
ｌ≠が設けられている。
明する。真空槽ｌは上室コ、下室３に分離されていてそ
れぞれ排気口≠、ｊによって真空排気をれる。テープ状
基体６が送出しロール７から案内ローラーｔを経て円筒
状キャンプに沿って搬送されるようになっている。キャ
ンプに沿って搬送されるテープ状基体乙の表面にはキャ
ンプの下方に配置された蒸発源１０よシ飛来する強磁性
材料の蒸気流／ｌが到達し磁性薄膜が連続的に形成され
る。所望の入射角成分の蒸気流ｌｌのみがテープ状基体
に到達するようにマスク／２が配設されており、さらに
蒸着部に酸化性ガスを導入するためのガス導入部１３、
ｌ≠が設けられている。
磁性薄膜の形成されたテープ状基本ｔはキャンプから案
内ローラー／ｊを経て巻取りロール１７に巻取られる。
内ローラー／ｊを経て巻取りロール１７に巻取られる。
第２図および第３図は本発明による磁気記録媒体の製造
方法を詳細に示したものである。テープ状基体６がキャ
ンプの面に沿って移動するにつれ、蒸発源ｉｏからの蒸
気流ｌｌの基体６面への入射角は最大入射角（θｍａｘ
）から最小入射角（ｅ’ｍｔｎ）へ連続的に変化する。
方法を詳細に示したものである。テープ状基体６がキャ
ンプの面に沿って移動するにつれ、蒸発源ｉｏからの蒸
気流ｌｌの基体６面への入射角は最大入射角（θｍａｘ
）から最小入射角（ｅ’ｍｔｎ）へ連続的に変化する。
本発明においてはキャンプ上のテープ状基本乙の近傍且
つ最小入射角（θｍｉｎ）蒸気流付近に酸化性ガスを導
入するためのガス導入部１３が設けられると共に中間入
射角（θｉ）蒸気流付近に酸化性ガスを導入するための
ガス導入部ｌμが設けられている。
つ最小入射角（θｍｉｎ）蒸気流付近に酸化性ガスを導
入するためのガス導入部１３が設けられると共に中間入
射角（θｉ）蒸気流付近に酸化性ガスを導入するための
ガス導入部ｌμが設けられている。
本発明において最大入射角（θｍａｘ）はｔｏ”〜りＯ
ｏ、最小入射角（θｍｉｎ）は２！’ 〜７０゜が望ま
しく、中間入射角（θｉ）としては、となるように設定
されるのが好ましい。
ｏ、最小入射角（θｍｉｎ）は２！’ 〜７０゜が望ま
しく、中間入射角（θｉ）としては、となるように設定
されるのが好ましい。
本発明に用いられる磁性金属材料としては、Ｆｅ、Ｃｏ
、Ｎｉ等の金属、あるいはＦｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃ
６−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ。
、Ｎｉ等の金属、あるいはＦｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃ
６−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ。
Ｆｅ−Ｒｈ、Ｆｅ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃ６−Ａｕ、Ｃ
ｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃ。
ｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃ。
−Ｇｄ、Ｃｏ−８ｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｆｅ−
Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎ
ｉ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ ｃｒ等の強磁性
合金である。
Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎ
ｉ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ ｃｒ等の強磁性
合金である。
磁性金属蒸着膜の膜厚は磁気記録媒体として充分な出力
を与え得る厚さおよび高密度記録の充分行える薄さを必
要とすることから約０．０２μｍからｊ、０μｍ、好ま
しくは０．０！μｍからコ。
を与え得る厚さおよび高密度記録の充分行える薄さを必
要とすることから約０．０２μｍからｊ、０μｍ、好ま
しくは０．０！μｍからコ。
０μｍである。
本発明に用いられる基体としてはポリエチレンテレフタ
レート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ［化ビニル、三
酢酸セルロース、ポリカポネート、ポリエチレンナフタ
レートのようなプラスチックベースが好ましい。
レート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ［化ビニル、三
酢酸セルロース、ポリカポネート、ポリエチレンナフタ
レートのようなプラスチックベースが好ましい。
酸化性ガスとしては酸素を用いるのが良く、酸素単独で
も他のガスと混合してもどちらでも良い。
も他のガスと混合してもどちらでも良い。
酸化性ガスの導入量は、真空槽容積、排気速度、真空槽
内のレイアウト、磁性材料の蒸発速度、蒸着速度、テー
プ状基体の移動速度、テープ状基体の幅、磁性材料の種
類等により変化し明確に限定できぬが、ｃｏを主体とす
る磁性材料を用いて膜厚０．／−０，２μｍ形成する場
合にはテープ状基体面積あたりの導入量としては≠ｏ−
、ｒｏｏｃｃ７ｍ２が好ましい。ここでテープ状基本面
積あたり導入量とはテープ状基体の幅方向に沿って導入
されるガス流量をＤとしてテープ状基体の搬送速で表わ
される値である。さらに本発明においては、中間入射角
（θｉ）付近の酸化性ガスの導入ｔｒ最小入射角（θｍ
ｉｎ）付近の酸化性ガスの導入量の上と等しいかそれよ
シ大きくすることが望ましい。
内のレイアウト、磁性材料の蒸発速度、蒸着速度、テー
プ状基体の移動速度、テープ状基体の幅、磁性材料の種
類等により変化し明確に限定できぬが、ｃｏを主体とす
る磁性材料を用いて膜厚０．／−０，２μｍ形成する場
合にはテープ状基体面積あたりの導入量としては≠ｏ−
、ｒｏｏｃｃ７ｍ２が好ましい。ここでテープ状基本面
積あたり導入量とはテープ状基体の幅方向に沿って導入
されるガス流量をＤとしてテープ状基体の搬送速で表わ
される値である。さらに本発明においては、中間入射角
（θｉ）付近の酸化性ガスの導入ｔｒ最小入射角（θｍ
ｉｎ）付近の酸化性ガスの導入量の上と等しいかそれよ
シ大きくすることが望ましい。
本発明における蒸着とは、米国特許第３３≠コぶ３λ号
の明細書等に述べられている通常の真空蒸着の他、電界
、磁界あるいは電子ビーム照射等により蒸気流のイオン
化、加速化等を行って蒸発分子の平均自由行程の大きい
雰囲気にて支持基体上に薄膜を形成させる方法をも含む
ものであって、例えば特開昭ｊ１−／≠りｏｏｒ号明細
書に示されているような電界蒸着法、特公昭４４３−／
／ｊ２ｊ号、特公昭弘ｔ−λθｑｔぴ号、特公昭弘７−
２６１７２号、特公昭≠９−４Ａｊｌ１３り号、特開昭
≠ター３３１２０号、特開昭μター３４Ａ４ＡＩ３号、
特開昭μター６３１号公報に示されているようなイオン
化蒸着法も本発明に用いられる。
の明細書等に述べられている通常の真空蒸着の他、電界
、磁界あるいは電子ビーム照射等により蒸気流のイオン
化、加速化等を行って蒸発分子の平均自由行程の大きい
雰囲気にて支持基体上に薄膜を形成させる方法をも含む
ものであって、例えば特開昭ｊ１−／≠りｏｏｒ号明細
書に示されているような電界蒸着法、特公昭４４３−／
／ｊ２ｊ号、特公昭弘ｔ−λθｑｔぴ号、特公昭弘７−
２６１７２号、特公昭≠９−４Ａｊｌ１３り号、特開昭
≠ター３３１２０号、特開昭μター３４Ａ４ＡＩ３号、
特開昭μター６３１号公報に示されているようなイオン
化蒸着法も本発明に用いられる。
さらに本発明により磁気記録媒体を製造する際、磁性薄
膜を積層として設けてもいいし、さらに積層してなる磁
性薄膜の間にＣｒ、Ｓｔ、Ａｔ、Ｍｎ、Ｂｉ、Ｔｉ％５
ｎ１Ｐｂ、Ｉｎ、Ｚｎ。
膜を積層として設けてもいいし、さらに積層してなる磁
性薄膜の間にＣｒ、Ｓｔ、Ａｔ、Ｍｎ、Ｂｉ、Ｔｉ％５
ｎ１Ｐｂ、Ｉｎ、Ｚｎ。
ＣＵあるいはこれらの酸化物、窒化物等の非磁性層を介
在させてもいい。さらにこれらを磁性薄膜と基体の間に
下地層として設けてもいい。磁性薄膜上に有機物あるい
は無機物の保護層を設けても良いし、磁性薄膜とは反対
側の基体面にパック層を設けてもよい。
在させてもいい。さらにこれらを磁性薄膜と基体の間に
下地層として設けてもいい。磁性薄膜上に有機物あるい
は無機物の保護層を設けても良いし、磁性薄膜とは反対
側の基体面にパック層を設けてもよい。
次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれらに限定されるものではない。
明はこれらに限定されるものではない。
実施例１
第２図にその要部を示した巻取り式蒸着装置を用い９．
！μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に斜
方入射蒸着法によ１）Ｃｏ−Ｎｉ（ＮｉＪｊ重景係）蒸
着磁性薄膜を形成させて磁気テープ原反を作製した。フ
ィルム幅は１００゜とじ、搬送速度は１０ｍ１分、θｍ
ａｘはりＯｏ、θｍｉｎは３００とし膜厚０．１３μｍ
となるよう磁性薄膜を形成した。最低入射角（θｍｉｎ
）近傍より酸素ガスを♂０ＯＣＣ／分（／ Ｋｇ ／
ｃｒｒ１２ ）導入しつつ、中間入射角（θ１ｌｉ７０
’とし、ここに導入する酸素ガス量を変化させてサンプ
ルを作製した。最低入射角（θｍｉｎ）近傍導入量は、
テープ状基体面積あたり導入量／ＡＯｃｃ／ｍ２に相当
する。こうして得られた磁気テープ原反をＩｎ幅にスリ
ットし１１１１ビデオ用カセツトに組込んでｆａｌｌＶ
ＴＲ（富士写真フィ”ム＠ ＦＵＪＩＸ−４ｍ＆ 〕を
用いてビデオ輝度信号のＳ／Ｎおよび♂ｎビデオカセッ
トをｔｏｏｃ、りｏ４相相対変中に７７月保存し交換で
の錆の発生状況を顕微鏡で観察したところ表７のようで
あった。
！μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に斜
方入射蒸着法によ１）Ｃｏ−Ｎｉ（ＮｉＪｊ重景係）蒸
着磁性薄膜を形成させて磁気テープ原反を作製した。フ
ィルム幅は１００゜とじ、搬送速度は１０ｍ１分、θｍ
ａｘはりＯｏ、θｍｉｎは３００とし膜厚０．１３μｍ
となるよう磁性薄膜を形成した。最低入射角（θｍｉｎ
）近傍より酸素ガスを♂０ＯＣＣ／分（／ Ｋｇ ／
ｃｒｒ１２ ）導入しつつ、中間入射角（θ１ｌｉ７０
’とし、ここに導入する酸素ガス量を変化させてサンプ
ルを作製した。最低入射角（θｍｉｎ）近傍導入量は、
テープ状基体面積あたり導入量／ＡＯｃｃ／ｍ２に相当
する。こうして得られた磁気テープ原反をＩｎ幅にスリ
ットし１１１１ビデオ用カセツトに組込んでｆａｌｌＶ
ＴＲ（富士写真フィ”ム＠ ＦＵＪＩＸ−４ｍ＆ 〕を
用いてビデオ輝度信号のＳ／Ｎおよび♂ｎビデオカセッ
トをｔｏｏｃ、りｏ４相相対変中に７７月保存し交換で
の錆の発生状況を顕微鏡で観察したところ表７のようで
あった。
表 ７
○：顕微鏡（ｘｉｏｏ）で観察されない。Δ：肉眼で観
察されない。×：肉眼で観察される。
察されない。×：肉眼で観察される。
実施例コ
第２図にその要部を示した巻取り式蒸着装＃ｔを用い／
ｉ ｊμｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上
に斜方入射蒸着法によＦ）Ｃｏ蒸着磁性膜を形成させて
磁気テープ原反を作製した。フィルム幅は２００．幅と
し搬送速度はＡ Ｏｍ ７分、０ｍ１ｈＸＦ１？０’、
θｍｉｎは４Ａｏ０とし膜厚□、ｌｒμｍとなるよう磁
性薄膜を形成した。最低入射角（θｍｉｎ）近傍よシ酸
素ガスをλ０ＯＯＣＸ：、／分（／ Ｋｇ／ｃ１ｎ２
）、中間入射角（θｉ）がらはａｏｏ。
ｉ ｊμｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上
に斜方入射蒸着法によＦ）Ｃｏ蒸着磁性膜を形成させて
磁気テープ原反を作製した。フィルム幅は２００．幅と
し搬送速度はＡ Ｏｍ ７分、０ｍ１ｈＸＦ１？０’、
θｍｉｎは４Ａｏ０とし膜厚□、ｌｒμｍとなるよう磁
性薄膜を形成した。最低入射角（θｍｉｎ）近傍よシ酸
素ガスをλ０ＯＯＣＸ：、／分（／ Ｋｇ／ｃ１ｎ２
）、中間入射角（θｉ）がらはａｏｏ。
ＣＯ／分（／Ｋｇ／α２）導入し友。中間入射角（θｉ
）を変化させて種々のサンプルを作製し、実施例／と同
様にしてＩｎビデオ用カセットに組込みビデオ輝度信号
のＳ／Ｎおよび錆の発生状況を調べたところ表λのよう
であった。
）を変化させて種々のサンプルを作製し、実施例／と同
様にしてＩｎビデオ用カセットに組込みビデオ輝度信号
のＳ／Ｎおよび錆の発生状況を調べたところ表λのよう
であった。
表 ２
（注）サンプルＡｆは＃ｍｉｎより２０００Ｃｃ１分＋
２０００（支）７分導入して作製した。
２０００（支）７分導入して作製した。
実施例３
第３図にその要部を示した巻取シ式蒸着装置を用いｌλ
、ｊμｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に
斜方入射蒸着法によＦ）Ｃｏ−Ｎｉ（Ｎｉｊ重量重量源
着磁性薄膜を形成させて磁気テープ原反を作製した。フ
ィルム幅はｉｏｏ、とじ搬送速度は≠Ｏｍ ７分、θｍ
ａｘはりＯｏ、θｍｉｎは≠！０とし膜厚Ｏ，コＯμｍ
となるよう磁性薄膜を形成した。最低入射角（θｍｉｎ
）近傍より酸素ガスをｊｏｏ（Ｘ：、７分（ｌＫｑ／創
２）導入し、中間入射角（Ｕｉ）から７！ＯＣＸ：、７
分（／ Ｋ９／Ｃｍ２ ）導入した。実施例λと同様に
中間入射角（Ｕｉ）を変化させて種々の磁気テープを作
製しビデオ輝度信号のＳ／Ｎおよび錆の発生状況を調べ
た。結果は表３のようであった。
、ｊμｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に
斜方入射蒸着法によＦ）Ｃｏ−Ｎｉ（Ｎｉｊ重量重量源
着磁性薄膜を形成させて磁気テープ原反を作製した。フ
ィルム幅はｉｏｏ、とじ搬送速度は≠Ｏｍ ７分、θｍ
ａｘはりＯｏ、θｍｉｎは≠！０とし膜厚Ｏ，コＯμｍ
となるよう磁性薄膜を形成した。最低入射角（θｍｉｎ
）近傍より酸素ガスをｊｏｏ（Ｘ：、７分（ｌＫｑ／創
２）導入し、中間入射角（Ｕｉ）から７！ＯＣＸ：、７
分（／ Ｋ９／Ｃｍ２ ）導入した。実施例λと同様に
中間入射角（Ｕｉ）を変化させて種々の磁気テープを作
製しビデオ輝度信号のＳ／Ｎおよび錆の発生状況を調べ
た。結果は表３のようであった。
表 ３
（１）サンプルＡ／μはθｍｉｎより２００■／分十７
！ＯＣＸ：、／分を導入して作製した。
！ＯＣＸ：、／分を導入して作製した。
上の実施例から明らかなように、最大入射角（θｍａｘ
ｌから最小入射角（θｍｉｎ ）に連続して変化する
ように斜方入射蒸着せしめると共に、最小入射角（θｍ
ｉｎ）近傍および中間入射角（Ｕｉ）近傍に同時に酸化
性ガスを導入せしめることによシミ磁変換特性および耐
候性にすぐれる金属薄膜型磁気記録媒体を得ることがで
きるものである。
ｌから最小入射角（θｍｉｎ ）に連続して変化する
ように斜方入射蒸着せしめると共に、最小入射角（θｍ
ｉｎ）近傍および中間入射角（Ｕｉ）近傍に同時に酸化
性ガスを導入せしめることによシミ磁変換特性および耐
候性にすぐれる金属薄膜型磁気記録媒体を得ることがで
きるものである。
さらに実施例λ、３から明らかなように中間入射角（Ｕ
ｉ）としてはθｍａｘ以下で−２＃ｍａｘ ｘ ３ ｍ
ｉｎ（実施例コではｔｏ’、実施例３では６３°）以上
とするのが好ましく、実施例１から明らかなように中間
入射角（Ｕｉ）付近の酸化性ガスの導入量を最小入射角
（θｍｉｎ ｌ付近の酸化性ガスの導入量の半分以上と
するのが好ましい。
ｉ）としてはθｍａｘ以下で−２＃ｍａｘ ｘ ３ ｍ
ｉｎ（実施例コではｔｏ’、実施例３では６３°）以上
とするのが好ましく、実施例１から明らかなように中間
入射角（Ｕｉ）付近の酸化性ガスの導入量を最小入射角
（θｍｉｎ ｌ付近の酸化性ガスの導入量の半分以上と
するのが好ましい。
このように本発明の製造方法によれば電磁変換特性およ
び耐候性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
製造することができるもので、本発明により得られる金
属薄膜型磁気記録媒体は実用±極めて優れるものである
。
び耐候性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
製造することができるもので、本発明により得られる金
属薄膜型磁気記録媒体は実用±極めて優れるものである
。
第１図は本発明による磁気記録媒体の製造方法を図式的
に示し、第２図、第３図は本発明による磁気記録媒体の
製造方法の要部を示している。 ハ・・・・・真空槽 ≠、！・旧・・真空排気
口６・・・・・・テープ状基体 タ・・・・・・円筒
状キャン１０・・・蒸発源 ｌ／・・・蒸気流
／２・・・マスク ／３・・・最小入射角（θｍ１ｎｌ付近ガス導入部／弘
・・・中間入射角（Ｕｉ）付近ガス導入部特許出願人
富士写真フィルム株式会社第１図 第２図 １゜
に示し、第２図、第３図は本発明による磁気記録媒体の
製造方法の要部を示している。 ハ・・・・・真空槽 ≠、！・旧・・真空排気
口６・・・・・・テープ状基体 タ・・・・・・円筒
状キャン１０・・・蒸発源 ｌ／・・・蒸気流
／２・・・マスク ／３・・・最小入射角（θｍ１ｎｌ付近ガス導入部／弘
・・・中間入射角（Ｕｉ）付近ガス導入部特許出願人
富士写真フィルム株式会社第１図 第２図 １゜
Claims (3)
- （１）蒸発源から蒸発せしめられた磁性金属材料の蒸気
流を、移動する基体に斜方入射蒸着せしめて磁気記録媒
体を製造する方法において、該移動基体に対する該蒸気
流の入射角（θ）が最大入射角（θ＿ｍ＿ａ＿ｘ）から
最小入射角（θ＿ｍ＿ｉ＿ｎ）へと連続的に変化するよ
うに該基体を移動せしめると共に、該基本の近傍かつ最
小入射角（θ＿ｍ＿ｉ＿ｎ）蒸気流付近および該基本の
近傍かつ中間入射角（θ＿ｉ）蒸気流付近に同時に酸化
性ガスを導入しつつ強磁性薄膜を形成することを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。 - （２）前記中間入射角（θ＿ｉ）が （２θ＿ｍ＿ａ＿ｘ＋３θ＿ｍ＿ｉ＿ｎ）／５≦θ＿ｉ
≦θ＿ｍ＿ａ＿ｘであるように設定されていることを特
徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の磁気記録媒体
の製造方法。 - （３）中間入射角（θ＿ｉ）付近の酸化性ガスの導入量
を、最小入射角（θ＿ｍ＿ｉ＿ｎ）付近の酸化性ガス導
入量の半分と等しいかそれより大きくすることを特徴と
する特許請求の範囲第（２）項記載の磁気記録媒体の製
造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60262223A JPS62121929A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US06/933,446 US4702938A (en) | 1985-11-21 | 1986-11-21 | Process for producing magnetic recording material |
| US06/934,897 US4746542A (en) | 1985-11-21 | 1986-11-25 | Coating method for use in the production of magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60262223A JPS62121929A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62121929A true JPS62121929A (ja) | 1987-06-03 |
Family
ID=17372787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60262223A Pending JPS62121929A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4702938A (ja) |
| JP (1) | JPS62121929A (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4994306A (en) * | 1989-03-13 | 1991-02-19 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for applying plural liquids to continuously moving nonmagnetic carrier |
| JPH046627A (ja) * | 1990-04-23 | 1992-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高機能性薄膜とその製造方法 |
| EP0477641A3 (en) * | 1990-09-11 | 1993-05-05 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium for digital recording |
| DE4101195A1 (de) * | 1991-01-21 | 1992-07-23 | Basf Magnetics Gmbh | Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungstraegers |
| JP2630519B2 (ja) * | 1991-08-23 | 1997-07-16 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US5549936A (en) * | 1993-10-20 | 1996-08-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Manufacturing method of magnetic recording medium |
| US5625524A (en) * | 1994-07-28 | 1997-04-29 | Ricoh Company, Ltd. | Reversible thermosensitive recording medium and method of producing the same |
| US20030054203A1 (en) * | 1997-10-22 | 2003-03-20 | Quantum Corporation, A California Corporation | Magnetic tape |
| US6033723A (en) * | 1998-02-24 | 2000-03-07 | Imation Corp. | Method and apparatus for coating plurality of wet layers on flexible elongated web |
| US7029726B1 (en) | 1999-07-27 | 2006-04-18 | Quantum Corporation | Method for forming a servo pattern on a magnetic tape |
| DE19913382C2 (de) | 1998-03-24 | 2002-08-14 | Quantum Corp | Mehrkanaliges Magnetbandsystem mit einem optischen Spur-Servo |
| US7153366B1 (en) | 1998-03-24 | 2006-12-26 | Quantum Corporation | Systems and method for forming a servo pattern on a magnetic tape |
| US6194058B1 (en) | 1998-07-31 | 2001-02-27 | Quantegy, Inc. | Multi-layer magnetic recording medium, method and system of manufacture |
| JP2000167474A (ja) * | 1998-12-08 | 2000-06-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布方法 |
| EP1205912A4 (en) | 1999-02-16 | 2002-08-21 | Quantum Corp | METHOD FOR WRITING SERVO SIGNALS ON MAGNETIC TAPE |
| JP4286457B2 (ja) | 1999-02-17 | 2009-07-01 | クウォンタム・コーポレイション | 磁気テープへのサーボ信号書き込み方法 |
| US6961200B2 (en) * | 1999-07-27 | 2005-11-01 | Quantum Corporation | Optical servo track identification on tape storage media |
| US6558774B1 (en) | 1999-08-17 | 2003-05-06 | Quantum Corporation | Multiple-layer backcoating for magnetic tape |
| US6940676B1 (en) | 2000-06-07 | 2005-09-06 | Quantum Corporation | Triple push-pull optical tracking system |
| US6940681B2 (en) | 2001-08-20 | 2005-09-06 | Quantum Corporation | Optical to magnetic alignment in magnetic tape system |
| US7023650B2 (en) | 2001-11-07 | 2006-04-04 | Quantum Corporation | Optical sensor to recording head alignment |
| US20040001921A1 (en) * | 2002-06-26 | 2004-01-01 | Imation Corp. | Coating in an environment that includes solvent vapor |
| US6980390B2 (en) * | 2003-02-05 | 2005-12-27 | Quantum Corporation | Magnetic media with embedded optical servo tracks |
| US7187515B2 (en) * | 2003-02-05 | 2007-03-06 | Quantum Corporation | Method and system for tracking magnetic media with embedded optical servo tracks |
| US7954714B2 (en) * | 2006-09-18 | 2011-06-07 | Xerox Corporation | Inline coatings process for xerographically prepared MICR checks |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59157847A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-07 | Sony Corp | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE545464A (ja) * | 1955-02-23 | 1900-01-01 |
-
1985
- 1985-11-21 JP JP60262223A patent/JPS62121929A/ja active Pending
-
1986
- 1986-11-21 US US06/933,446 patent/US4702938A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-25 US US06/934,897 patent/US4746542A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59157847A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-07 | Sony Corp | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4746542A (en) | 1988-05-24 |
| US4702938A (en) | 1987-10-27 |
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