JPS59157847A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
金属薄膜型磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59157847A JPS59157847A JP3201783A JP3201783A JPS59157847A JP S59157847 A JPS59157847 A JP S59157847A JP 3201783 A JP3201783 A JP 3201783A JP 3201783 A JP3201783 A JP 3201783A JP S59157847 A JPS59157847 A JP S59157847A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- recording medium
- magnetic
- magnetic recording
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明１ま金属薄膜型磁気記録媒体に関するものであり
、更に詳細には、非磁性支持体上に酸素を含む雰囲気中
で強磁性金属を蒸着させることにより形成された磁性層
を有する金属薄膜型磁気記録媒体に関するものである。
、更に詳細には、非磁性支持体上に酸素を含む雰囲気中
で強磁性金属を蒸着させることにより形成された磁性層
を有する金属薄膜型磁気記録媒体に関するものである。
従来、蒸着装置内の酸素分圧を他の気体の分圧よりも尚
（した酸素雰囲気中で磁性金属単体または磁性合金を非
磁性支持体に斜方襠看させることによって得られる磁気
テープの保磁力を向上させることか可能であるとの報告
がある。しかし、この方法では、酸素の分圧を大きくす
ると、蒸着物質の自由行程が短くなり十分な蒸着効率が
得られないかまたは全く蒸着されないという欠点がある
。
（した酸素雰囲気中で磁性金属単体または磁性合金を非
磁性支持体に斜方襠看させることによって得られる磁気
テープの保磁力を向上させることか可能であるとの報告
がある。しかし、この方法では、酸素の分圧を大きくす
ると、蒸着物質の自由行程が短くなり十分な蒸着効率が
得られないかまたは全く蒸着されないという欠点がある
。
また蒸着物質が酸素によって散乱される方向もランダム
になり不都合である。更に、この方法では、斜方蒸着に
おいて、蒸着率が大きくかつ入射角の小さい領域に優先
的に酸素を導入することができず実用的ではない。
になり不都合である。更に、この方法では、斜方蒸着に
おいて、蒸着率が大きくかつ入射角の小さい領域に優先
的に酸素を導入することができず実用的ではない。
また先に、磁気記録媒体の保持力を著しく向上させるた
めに、酸素ガス量が、蒸着物質を非磁性基材に吹き付け
て蒸着させる領域において他の領域より多くなり、かつ
、入射角の大きい領域よりも入射角の小さな領域の方が
多くなるようにして蒸沿を行なう方法が提案された（特
願昭５６−１３６４９３号）。しかし、そのような方法
で酸素を等大した場合、照漸物質例えはＣＯを連続斜方
癌着させて磁性層を形成すると、この鳩はその厚み方向
において酸素濃度が迩続的に増加又は減少するか、一定
となる。例えは、ＣＯが低入射角をもつて蒸着される非
磁性支持体の部分（以後、低入射角部分という）に支持
体の他の部分より酸素を多く導入した場合、低入射角部
分ではＣＯの蒸気密度と酸素濃度のいずれもが高くなり
、逆に Ｃｏが高入射角をもって蒸着される非磁性支持
体の部分（以後、高入射角部分という）では、ＣＯの蒸
気密度と酸素濃度のいずれもが低くなる。従って、この
場合、磁性層中のＣＯと酸素との割合は磁性層の厚み方
向において増加又は減少するかほぼ一定となる。これと
は別に、支持体の高入射角部分に他の支持体部分より酸
素を多く導入した場合、支持体の高入射角部分ではＣｏ
の蒸気密度が低く、かつ酸素濃度が高くなり、逆に、支
持体の低入射角部分ではＣＯの蒸気密度が隅く、かつ酸
素濃度が低くなるため、磁性層中のＣＯに対する酸素の
割合は磁性層の表面から支持体への厚み方向に大となる
。
めに、酸素ガス量が、蒸着物質を非磁性基材に吹き付け
て蒸着させる領域において他の領域より多くなり、かつ
、入射角の大きい領域よりも入射角の小さな領域の方が
多くなるようにして蒸沿を行なう方法が提案された（特
願昭５６−１３６４９３号）。しかし、そのような方法
で酸素を等大した場合、照漸物質例えはＣＯを連続斜方
癌着させて磁性層を形成すると、この鳩はその厚み方向
において酸素濃度が迩続的に増加又は減少するか、一定
となる。例えは、ＣＯが低入射角をもつて蒸着される非
磁性支持体の部分（以後、低入射角部分という）に支持
体の他の部分より酸素を多く導入した場合、低入射角部
分ではＣＯの蒸気密度と酸素濃度のいずれもが高くなり
、逆に Ｃｏが高入射角をもって蒸着される非磁性支持
体の部分（以後、高入射角部分という）では、ＣＯの蒸
気密度と酸素濃度のいずれもが低くなる。従って、この
場合、磁性層中のＣＯと酸素との割合は磁性層の厚み方
向において増加又は減少するかほぼ一定となる。これと
は別に、支持体の高入射角部分に他の支持体部分より酸
素を多く導入した場合、支持体の高入射角部分ではＣｏ
の蒸気密度が低く、かつ酸素濃度が高くなり、逆に、支
持体の低入射角部分ではＣＯの蒸気密度が隅く、かつ酸
素濃度が低くなるため、磁性層中のＣＯに対する酸素の
割合は磁性層の表面から支持体への厚み方向に大となる
。
しかしながら、前記のように、磁性ノ曽がその部分てな
いという欠点のあることが判明した。
いという欠点のあることが判明した。
そこで、本発明は特に、従来のものに比べて格段に耐食
性が向上した磁気記録媒体を提供するものである。
性が向上した磁気記録媒体を提供するものである。
即ち、本発明は、非磁性支持体上に酸素を含む雰囲気中
で強磁性金属を蒸着させることにより形成された磁性層
を有する金属薄膜型磁気記録媒体において、前記磁性層
はその厚み方向に酸素濃度の大なる領域と小なる領域と
が交互に形成されてなる金属薄膜型磁気記録媒体に係る
ものである。
で強磁性金属を蒸着させることにより形成された磁性層
を有する金属薄膜型磁気記録媒体において、前記磁性層
はその厚み方向に酸素濃度の大なる領域と小なる領域と
が交互に形成されてなる金属薄膜型磁気記録媒体に係る
ものである。
本発明において使用される蒸着物質とは、磁気記録媒体
の強磁性薄膜を形成しうるものであれば何れでもよく、
例えば、Ｆｅ 、Ｃｏ 、Ｎｉ などの金属あるいは
Ｆｅ −Ｃｏ合金、Ｆｅ −Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆ
ｅ −Ｂ 合金などの合金からなる強磁性体などが列
挙できる。蒸着物質は、電熱線、電子線などを用いて加
熱し蒸発させて非磁性支持体上に蒸着される。この蒸着
物質を非磁性支持体上へ蒸着させるための入射角（のは
、斜方魚油できる入射角であればよく、好ましくは約３
０’ないし９０″になるようにするのがよい。また蒸着
物質はまず入射角の大きい領域で非磁性支持体上に蒸着
され、その基材の移動に従って入射角が小さくなる領域
で蒸着されるようにするのが好ましい。なお、使用でき
る非磁性支持体としては、磁気記録媒体を製造するのに
従来より使用されているものであれば何れも使用できる
。かかる非磁性支持体の素材としては、例えば、ポリエ
チレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリプロピ
レンなどのポリオレフィン、セルローストリアセテート
、セルロースジアセテートなどのセルロース誘導体、ポ
リカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリイミドなどの高
分子物質などが挙げられる。
の強磁性薄膜を形成しうるものであれば何れでもよく、
例えば、Ｆｅ 、Ｃｏ 、Ｎｉ などの金属あるいは
Ｆｅ −Ｃｏ合金、Ｆｅ −Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆ
ｅ −Ｂ 合金などの合金からなる強磁性体などが列
挙できる。蒸着物質は、電熱線、電子線などを用いて加
熱し蒸発させて非磁性支持体上に蒸着される。この蒸着
物質を非磁性支持体上へ蒸着させるための入射角（のは
、斜方魚油できる入射角であればよく、好ましくは約３
０’ないし９０″になるようにするのがよい。また蒸着
物質はまず入射角の大きい領域で非磁性支持体上に蒸着
され、その基材の移動に従って入射角が小さくなる領域
で蒸着されるようにするのが好ましい。なお、使用でき
る非磁性支持体としては、磁気記録媒体を製造するのに
従来より使用されているものであれば何れも使用できる
。かかる非磁性支持体の素材としては、例えば、ポリエ
チレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリプロピ
レンなどのポリオレフィン、セルローストリアセテート
、セルロースジアセテートなどのセルロース誘導体、ポ
リカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリイミドなどの高
分子物質などが挙げられる。
本発明によれば、前述のよう（こ、磁気記録媒体の磁性
層はそ゛の厚み方向に酸素濃度の犬なる領域と小なる領
域とが交互に形成されるようにしてなるが、磁性層にお
けるこのような酸素濃度の異なる領域の形成は、蒸着物
質が蒸泄される支持体の部分において、非磁性支持体の
２箇所又はそれ以上の幅方向に酸素を導入することによ
って行なうことができる。このようにして形成された磁
性層は、腐食性環境、例えば高湿度の亜硫乾ガス含有雰
囲気の中に置かれた場合、従来の磁性層に比べて耐食性
の著しい向上が認められる。これは、本発明の磁気記録
媒体における磁性層がその厚み方向に酸素濃度の犬なる
領域と子なる領域とが交互に存在するため、酸素濃度の
大なる領域で腐食の進行が阻止されることが一つの理由
として考えられる。又、この耐食性の著しい向上ｔこよ
り、磁気記録媒体のノイズの低減の向上が期待でき、又
、保磁率は従来通りすぐれている。
層はそ゛の厚み方向に酸素濃度の犬なる領域と小なる領
域とが交互に形成されるようにしてなるが、磁性層にお
けるこのような酸素濃度の異なる領域の形成は、蒸着物
質が蒸泄される支持体の部分において、非磁性支持体の
２箇所又はそれ以上の幅方向に酸素を導入することによ
って行なうことができる。このようにして形成された磁
性層は、腐食性環境、例えば高湿度の亜硫乾ガス含有雰
囲気の中に置かれた場合、従来の磁性層に比べて耐食性
の著しい向上が認められる。これは、本発明の磁気記録
媒体における磁性層がその厚み方向に酸素濃度の犬なる
領域と子なる領域とが交互に存在するため、酸素濃度の
大なる領域で腐食の進行が阻止されることが一つの理由
として考えられる。又、この耐食性の著しい向上ｔこよ
り、磁気記録媒体のノイズの低減の向上が期待でき、又
、保磁率は従来通りすぐれている。
以下、本発明を図面を参照して説明する。
第１−″は前記特願昭５６−１３６４９３号において提
案された薄膜型の磁気記録媒体の製造方法に使用される
装置の一例を示す図である。所定の真空度、例えば約Ｉ
Ｘ １０−’Ｔｏｒｒ以下にした真空権（１）に、蒸
着物質を蒸着させる非磁性支持体（２）が、繰出しロー
ラｔ３１から案内ローラー（４）を介して巻取りローラ
ー（５）に巻取られるように配置されている。
案された薄膜型の磁気記録媒体の製造方法に使用される
装置の一例を示す図である。所定の真空度、例えば約Ｉ
Ｘ １０−’Ｔｏｒｒ以下にした真空権（１）に、蒸
着物質を蒸着させる非磁性支持体（２）が、繰出しロー
ラｔ３１から案内ローラー（４）を介して巻取りローラ
ー（５）に巻取られるように配置されている。
この真空槽の下部には電熱線、電子線などの加熱手段（
７）を設けて、ＣＯなどの＃着物質（６）を加熱して蒸
発させ、非磁性支持体の表面に所定の入射角範囲（０１
〜θ２）で蒸着させて強磁性薄膜を形成でき支持体の表
面１こ蒸着物質の蒸発粒子が不要部分に直接入射しない
ようにする。また、蒸着物質が蒸着される支持体表面付
近に酸素を吹き出すためにノズル（９）を設けたパイプ
（１０）を内設して、そのノズルから酸素流が、蒸着粒
子の入射角の小さい部分から大きな部分に流れるように
配置すると共に、その酸素流によってその蒸発粒子が入
射角の小さい領域から大きな領域に散乱されるように構
成されている。
７）を設けて、ＣＯなどの＃着物質（６）を加熱して蒸
発させ、非磁性支持体の表面に所定の入射角範囲（０１
〜θ２）で蒸着させて強磁性薄膜を形成でき支持体の表
面１こ蒸着物質の蒸発粒子が不要部分に直接入射しない
ようにする。また、蒸着物質が蒸着される支持体表面付
近に酸素を吹き出すためにノズル（９）を設けたパイプ
（１０）を内設して、そのノズルから酸素流が、蒸着粒
子の入射角の小さい部分から大きな部分に流れるように
配置すると共に、その酸素流によってその蒸発粒子が入
射角の小さい領域から大きな領域に散乱されるように構
成されている。
第２図は、本発明の金属薄膜型磁気記録媒体の製造に使
用される装置の一例を示すものであって、第１図におけ
るノズル（９）の代わりに複数〜個（この図では３対）
のノズル対（ｉｉ 、ｉ２．ｉ６）が設けれていて、魚
油？Ｉ質が蒸着される支持体表面付近に、支持体の異な
る位置の幅方向に畝素を尋人するように構成されている
。第６図は第２図におけるノズル対（１１，１２，１５
）の配置例を示すものであって、支持体（２）の両縁部
の外側に左右の対から成る６対のノズル（１１ａ、１１
ｂ）、（１２ａ、１２ｂ）及び（１５ａ。
用される装置の一例を示すものであって、第１図におけ
るノズル（９）の代わりに複数〜個（この図では３対）
のノズル対（ｉｉ 、ｉ２．ｉ６）が設けれていて、魚
油？Ｉ質が蒸着される支持体表面付近に、支持体の異な
る位置の幅方向に畝素を尋人するように構成されている
。第６図は第２図におけるノズル対（１１，１２，１５
）の配置例を示すものであって、支持体（２）の両縁部
の外側に左右の対から成る６対のノズル（１１ａ、１１
ｂ）、（１２ａ、１２ｂ）及び（１５ａ。
１６ｂ）を設けるようにしである。
以下、本発明を実施例により説明する。
実施例１
真空度を６×１０ とした第２図に示すような真空槽を
用いて、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に、４
０°〜９０°の入射角範囲で蒸着層の厚みが約１５００
＾になるようにＣＯを蒸着した。この場合、第６図に示
したノズル（１１ａ、１１ｂ）、（１２ａ、１２ｂ）及
び（１３ａ 、１５ｂ ）の各位置及びこれらのノズル
から導入される酸素の流量を次の通りとした。なお、ノ
ズルの位置は、蒸着物質が入射角（θ）で蒸着される支
持体部分の両縁部の外側にある場合を入射角（θ）とし
て表わす。
用いて、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に、４
０°〜９０°の入射角範囲で蒸着層の厚みが約１５００
＾になるようにＣＯを蒸着した。この場合、第６図に示
したノズル（１１ａ、１１ｂ）、（１２ａ、１２ｂ）及
び（１３ａ 、１５ｂ ）の各位置及びこれらのノズル
から導入される酸素の流量を次の通りとした。なお、ノ
ズルの位置は、蒸着物質が入射角（θ）で蒸着される支
持体部分の両縁部の外側にある場合を入射角（θ）とし
て表わす。
ノズル（１１ａ、ｌ１ｂ）： 入射角４［Ｊ’ 、６
０ｃｃＡｍノズル（１２ａ、１２ｂ）： 入射角５０
°、４０ ｃｃ／ｍｖ＋ノズル（１３ａ、１３ｂ）
： 入射角７０°、１５ ｃｃ／ｆｎｍ得られたテー
プ試料を、相対湿度７０％、６０Ｃで、亜ＷｔｒＲガス
を０．１ ｐｐｍ 含有する雰囲気中に２４時間放置
する耐食試験を行なった。耐食性を試験前の試料の磁束
（φ）に対する試験による磁束減少量（Δφ）の百分率
即ち、磁束変化率で示すと、Δφ／φＸ１００＝５．２
％ であった。
０ｃｃＡｍノズル（１２ａ、１２ｂ）： 入射角５０
°、４０ ｃｃ／ｍｖ＋ノズル（１３ａ、１３ｂ）
： 入射角７０°、１５ ｃｃ／ｆｎｍ得られたテー
プ試料を、相対湿度７０％、６０Ｃで、亜ＷｔｒＲガス
を０．１ ｐｐｍ 含有する雰囲気中に２４時間放置
する耐食試験を行なった。耐食性を試験前の試料の磁束
（φ）に対する試験による磁束減少量（Δφ）の百分率
即ち、磁束変化率で示すと、Δφ／φＸ１００＝５．２
％ であった。
このテープについて、オージェ（Ａｕｇｅｒ ）電子分
光法により磁性層内の厚み方向における０ｏＯ）ｆｉと
酸素の量を測定した。この結果を、磁性層の深さに対す
るＣｏ及び酸素の各オージェビークの茜さく相対値）で
示すと、第４図の通り、酸素の曲線（１１とＣＯの曲線
印） がイ葬られる。この図かられかるように、本実
施例で得られた磁性Ｊ曽にはその厚み方向に酸素濃度の
犬なる領域と小なる領域とが交互に形成されている。
光法により磁性層内の厚み方向における０ｏＯ）ｆｉと
酸素の量を測定した。この結果を、磁性層の深さに対す
るＣｏ及び酸素の各オージェビークの茜さく相対値）で
示すと、第４図の通り、酸素の曲線（１１とＣＯの曲線
印） がイ葬られる。この図かられかるように、本実
施例で得られた磁性Ｊ曽にはその厚み方向に酸素濃度の
犬なる領域と小なる領域とが交互に形成されている。
比較例として、第６図におけるノズル（１１ａ、１１ｂ
）のみから、及びノズル（１３ａ 、１３ｂ ）のみか
らそれぞれ酸素を１５５ ｃｃ／罷導入して２糧類のテ
ープ試料を得た。これらのテープの磁束変化率（Δφ／
φ×１００）はいずれも１０％以上であり、この実施例
のテープに比べて耐食性が明らかに劣っていた。
）のみから、及びノズル（１３ａ 、１３ｂ ）のみか
らそれぞれ酸素を１５５ ｃｃ／罷導入して２糧類のテ
ープ試料を得た。これらのテープの磁束変化率（Δφ／
φ×１００）はいずれも１０％以上であり、この実施例
のテープに比べて耐食性が明らかに劣っていた。
実施例２
ノズル（Ｉｌａ、１ｌｂ） 、 （１２ａ、１２ｂ）及
び（１３ａ、１３ｂ）の位置をそれぞれ４０”、６０°
及び９０°とし、酸素導入量を各ノズルとも５０ ｃｃ
／ｍｍ とした以外は実施例１と同様にしてテープ試
料（４）を作製した。
び（１３ａ、１３ｂ）の位置をそれぞれ４０”、６０°
及び９０°とし、酸素導入量を各ノズルとも５０ ｃｃ
／ｍｍ とした以外は実施例１と同様にしてテープ試
料（４）を作製した。
比較例として、ノズル（１１ａ、１１ｂ）から１５０ｃ
ｃ／ｖｒｍの酸素を導入してテープ試料但）を得た。
ｃ／ｖｒｍの酸素を導入してテープ試料但）を得た。
テープ試料（８）及び［Ｆ］）について、５０Ｃ，相対
湿度８０％の雰囲気に７日間放置する耐食試験を行なっ
た。磁束変化率は次の通りであった。
湿度８０％の雰囲気に７日間放置する耐食試験を行なっ
た。磁束変化率は次の通りであった。
試料（５）； ２チ
試料０３）：１３％
第１図は特願昭５６−１３６４９３号において提案され
た磁気記録媒体の製造方法に使用される装置の一例を示
す概略図、第２図は本発明の金属薄膜型磁気記録媒体の
製造に使用される装置の一例を示す正面図、第６図は第
２図の一部を示す１１１１１面図、第４図は本発明の磁
気記録媒体の磁性層の表面からの深さと、００及び酸素
のオージェピーク高さとの関係を示す図である。 なお、図面に用いられている符号において、（１）・・
・・・・・・・・・・・・・真を槽（２）・・・・・・
・・・・・・・・・非磁性支持体（６）・・・・・・・
・・・・・・・・蒸着物質（９）・・・・・・・・・・
・・・・・ノズル口υ−（］３１・・・・・・・・・ノ
ズルＩ ・・・・−・・・・・・・・・・ 酸素のオー
ジェピーク曲線■ ・・・・・・・・・・・・・・・
Ｃｏのオージェピーク曲線である。 代理人 上屋 勝 〃 常包芳男 〃 杉浦俊貴 第２図 第３図 第４図
た磁気記録媒体の製造方法に使用される装置の一例を示
す概略図、第２図は本発明の金属薄膜型磁気記録媒体の
製造に使用される装置の一例を示す正面図、第６図は第
２図の一部を示す１１１１１面図、第４図は本発明の磁
気記録媒体の磁性層の表面からの深さと、００及び酸素
のオージェピーク高さとの関係を示す図である。 なお、図面に用いられている符号において、（１）・・
・・・・・・・・・・・・・真を槽（２）・・・・・・
・・・・・・・・・非磁性支持体（６）・・・・・・・
・・・・・・・・蒸着物質（９）・・・・・・・・・・
・・・・・ノズル口υ−（］３１・・・・・・・・・ノ
ズルＩ ・・・・−・・・・・・・・・・ 酸素のオー
ジェピーク曲線■ ・・・・・・・・・・・・・・・
Ｃｏのオージェピーク曲線である。 代理人 上屋 勝 〃 常包芳男 〃 杉浦俊貴 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 非磁性支持体上に酸素を含む雰囲気中で強磁性金属を蒸
着させることにより形成された磁性層を有する金属薄膜
型磁気記録媒体において、前記磁性層はその厚み方向に
酸素濃度の犬なる領域と小なる領域とが交互に形成され
てなることを特徴とする金属薄膜型磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201783A JPS59157847A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201783A JPS59157847A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59157847A true JPS59157847A (ja) | 1984-09-07 |
Family
ID=12347085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3201783A Pending JPS59157847A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59157847A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62121929A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1983
- 1983-02-28 JP JP3201783A patent/JPS59157847A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62121929A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
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